JP2009054623A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009054623A JP2009054623A JP2007217068A JP2007217068A JP2009054623A JP 2009054623 A JP2009054623 A JP 2009054623A JP 2007217068 A JP2007217068 A JP 2007217068A JP 2007217068 A JP2007217068 A JP 2007217068A JP 2009054623 A JP2009054623 A JP 2009054623A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- barrier layer
- gate electrode
- polarization
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
Abstract
【課題】ノーマリオフ動作を実現可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】第1の窒化物半導体を含むキャリア走行層と、キャリア走行層の上に設けられ、第1の窒化物半導体よりもバンドギャップが大きい第2の窒化物半導体を含む障壁層と、障壁層の上に設けられたソース電極と、障壁層の上に設けられたドレイン電極と、障壁層の上であってソース電極とドレイン電極との間に設けられたゲート電極と、ゲート電極の下で障壁層の上に設けられ、障壁層内に生じる分極に対して反転した分極が生じる第3の窒化物半導体を含む分極反転層とを備えている。
【選択図】図1
【解決手段】第1の窒化物半導体を含むキャリア走行層と、キャリア走行層の上に設けられ、第1の窒化物半導体よりもバンドギャップが大きい第2の窒化物半導体を含む障壁層と、障壁層の上に設けられたソース電極と、障壁層の上に設けられたドレイン電極と、障壁層の上であってソース電極とドレイン電極との間に設けられたゲート電極と、ゲート電極の下で障壁層の上に設けられ、障壁層内に生じる分極に対して反転した分極が生じる第3の窒化物半導体を含む分極反転層とを備えている。
【選択図】図1
Description
本発明は、窒化物半導体を用いた半導体装置に関する。
高い臨界電界強度を有する窒化物半導体を用いると、低いオン抵抗と高い耐圧を有する電力変換用半導体装置が提供可能となる。一般に、窒化物半導体は、その大きな分極効果により、高い二次元電子系濃度を得られるため、低いオン抵抗を実現することができる。
特に、電力変換用半導体装置ではノーマリオフ動作が必要なため、ゲート下では分極により発生した二次元電子系濃度を抑える必要がある。ノーマリオフを実現する構造の一つとして、障壁層におけるゲート下の部分のみエッチングを行って薄くするリセス構造が知られている(例えば特許文献1)。
特開2006−32650号公報
本発明は、ノーマリオフ動作を実現可能な半導体装置を提供する。
本発明の一態様によれば、第1の窒化物半導体を含むキャリア走行層と、前記キャリア走行層の上に設けられ、前記第1の窒化物半導体よりもバンドギャップが大きい第2の窒化物半導体を含む障壁層と、前記障壁層の上に設けられたソース電極と、前記障壁層の上に設けられたドレイン電極と、前記障壁層の上であって前記ソース電極と前記ドレイン電極との間に設けられたゲート電極と、前記ゲート電極の下で前記障壁層の上に設けられ、前記障壁層内に生じる分極に対して反転した分極が生じる第3の窒化物半導体を含む分極反転層と、を備えたことを特徴とする半導体装置が提供される。
また、本発明の他の一態様によれば、GaNを含むキャリア走行層と、前記キャリア走行層の上に設けられ、InxAlyGazN(0≦x<1、0<y≦1、0≦z<1、x/(x+y)<0.25)を含む障壁層と、前記障壁層の上に設けられたソース電極と、前記障壁層の上に設けられたドレイン電極と、前記障壁層の上であって前記ソース電極と前記ドレイン電極との間に設けられたゲート電極と、前記ゲート電極の下で前記障壁層の上に設けられ、InsAltGauN(0<s<1、0<t<1、0≦u<1、s/(s+t)>0.25)を含む分極反転層と、を備えたことを特徴とする半導体装置が提供される。
本発明によれば、ノーマリオフ動作を実現可能な半導体装置が提供される。
以下、図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る半導体装置の要部断面を示す模式図である。
本実施形態に係る半導体装置は、キャリア走行層1と障壁層2とのヘテロ接合構造を有する。これらキャリア走行層1と障壁層2は、図示しない基板上にバッファ層を介して順にエピタキシャル成長される。
本実施形態に係る半導体装置は、キャリア走行層1と障壁層2とのヘテロ接合構造を有する。これらキャリア走行層1と障壁層2は、図示しない基板上にバッファ層を介して順にエピタキシャル成長される。
キャリア走行層1は第1の窒化物半導体を含み、障壁層2は第1の窒化物半導体よりもバンドギャップが大きい第2の窒化物半導体を含む。具体的には、キャリア走行層1は不純物が添加されていないアンドープのGaNを含み、障壁層2はn型またはアンドープのAlGaNを含む。
障壁層2の表面上には、ソース電極11とドレイン電極12とが互いに離間して設けられている。ソース電極11及びドレイン電極12は、障壁層2の表面にオーミック接触している。障壁層2の上であってソース電極11とドレイン電極12との間の部分には、分極反転層3及び絶縁膜5を介して、ゲート電極13が設けられている。
分極反転層3は、障壁層2の表面上においてゲート電極13の下の部分に選択的に設けられて障壁層2の上に設けられている。分極反転層3は、第3の窒化物半導体としての例えばInAlGaNを含む。
例えばシリコン酸化膜、シリコン窒化膜等の絶縁膜5は、分極反転層3、ゲート電極13とソース電極11との間の障壁層2の表面、およびゲート電極13とドレイン電極12との間の障壁層2の表面を覆っている。
キャリア走行層1として例えばGaN層を、障壁層2として例えばAlGaN層を用いたこれらのヘテロ接合構造において、AlGaN層の方がGaN層よりも格子定数が小さいことからAlGaN層に歪みが生じて、ピエゾ効果によりAlGaN層内にピエゾ分極が生じ、これにより、GaN層におけるAlGaN層との界面付近に二次元電子ガスが形成される。ゲート電極13に印加するゲート電圧を制御することで、その下の障壁層2とキャリア走行層1とのヘテロ接合界面における二次元電子ガス濃度が増減し、ソース電極11とドレイン電極12間に流れる主電流を制御できる。
障壁層2内の分極によって生じる電界の方向は、キャリア走行層1との界面からその界面とは反対側の表面に向かう方向(第1の方向とする)である。ゲート電極13下の障壁層2上に設けられた分極反転層3には、障壁層2に生じる分極に対して反転した分極が生じる。すなわち、分極反転層3内の分極によって生じる電界の方向は、ゲート電極13側から障壁層2との界面に向かう方向(第2の方向とする)である。この分極反転層3の分極電界によって、ゲート電極13下の障壁層2における分極が打ち消されることで、ゲート電圧が0(V)のオフ状態のときにゲート電極13下の二次元電子ガスの発生を抑制して、ドレイン電極12とソース電極11との間に漏れ電流が実質流れないノーマリオフを実現することができる。
ソース電極11とゲート電極13との間およびゲート電極13とドレイン電極12との間には、分極反転層3は設けられていないため、ソース電極11とゲート電極13との間における障壁層2とキャリア走行層1との界面およびゲート電極13とドレイン電極12との間における障壁層2とキャリア走行層1との界面には二次元電子ガスが存在し、オン抵抗の増大をまねかない。分極反転層3は、ゲート電極13とソース電極11との間、およびゲート電極13とドレイン電極12との間になければよい。ゲート電極13の少なくとも一部が分極反転層3の上に形成されていればノーマリーオフ動作の効果が得られるため、図5に示すように、ゲート電極13が、ゲート電極13とソース電極11との間、もしくはゲート電極13とドレイン電極12との間の絶縁膜5上に形成されていてもかまわない。ゲート電極13を分極反転層3の上のみに形成する場合に比べて歩留まりよく作製可能になる。
分極反転層3は、まず、障壁層2の全面に例えばエピタキシャル成長法にて形成され、その後、ゲート電極13の下に位置することになる部分にだけマスクを形成して分極反転層3をエッチングする。障壁層2上の全面に形成された分極反転層3において、ソース電極11とゲート電極13との間の部分およびゲート電極13とドレイン電極12との間の部分を確実に除去するため、それら部分のエッチングを障壁層2との界面よりも下まで行う。したがって、障壁層2において分極反転層3が設けられた部分は他の部分よりも突出した構造となる。
図2は、GaN上に形成したInYAl1−YN膜におけるInの組成比YとこのInYAl1−YN膜内に生じる分極電荷密度との関係、およびGaN上に形成したAlYGa1−YN膜におけるAlの組成比YとこのAlYGa1−YN膜内に生じる分極電荷密度との関係を示すグラフである。このグラフにおいて、縦軸における分極電荷密度の符号が負の場合は分極による電界方向が前述した第1の方向であり、正の場合は分極による電界方向が前述した第2の方向である。
図2の結果より、GaN上のAlYGa1−YNは、Alの組成比Yが0より大きければAlの組成比Yに関係なく、分極電界の方向は第1の方向となるので、AlGaNとGaNとの界面に二次元電子ガスの形成が可能となる。
また、GaN上のInYAl1−YNは、Inの組成比Yが0.25を境に分極電界の方向が反転している。すなわち、InYAl1−YNにおけるInの組成比Yが0.25より小さければ分極電界の方向は第1の方向となり、Inの組成比Yが0.25より大きいと分極電界の方向は第2の方向となる。したがって、障壁層2としてはAlGaNに限らず、InYAl1−YN(Y<0.25)を用いることもできる。すなわち、障壁層2としては、InxAlyGazN(0≦x<1、0<y≦1、0≦z<1、x/(x+y)<0.25)を用いることができる。なお、二次元電子ガスの形成に必要なキャリア走行層1と障壁層2との伝導帯のエネルギー差を考慮すると、障壁層2のAl組成比は0.2以上が望ましい。
図2より、InYAl1−YNにおけるInの組成比Yが0.25より大きいと分極電界の方向は第2の方向となり、障壁層2の分極を打ち消すことができるため、分極反転層3として、InsAltGauN(0<s<1、0<t<1、0≦u<1、s/(s+t)>0.25)を用いれば、ゲート電圧が0(V)のオフ状態のときにゲート電極13下の二次元電子ガスの発生を抑制して、ノーマリーオフを実現できる。
図3は、前述した本実施形態に係る半導体装置において、分極反転層3のゲート電極13側の表面を基準(距離0)として、ゲート電圧が0(V)のゲート電極13の下の部分での深さ方向の伝導帯エネルギーを計算した結果を示す。分極反転層3の厚さを20(nm)、障壁層2における分極反転層3の下の部分の厚さも20(nm)とした。
障壁層2においては、キャリア走行層1との界面側が正に、分極反転層3との界面側が負に分極し、分極反転層3においては障壁層2とは反転した分極が生じ、障壁層2との界面側が負に、ゲート電極13側が正に分極する。
分極反転層3における分極によって、分極反転層3内に大きなポテンシャルの差が生じ、障壁層2との界面におけるピークポテンシャルが引き上げられる。これにより、大きな閾値電圧が得られ、サージ電圧の印加等により不所望にオン状態になるのを抑制できる。例えば、分極反転層3として厚さ20(nm)のIn0.3Al0.7Nを、障壁層2として厚さ20(nm)のAl0.25Ga0.75Nを用いた場合、約+1.6(V)の閾値電圧が得られた。
障壁層におけるゲート電極下のみエッチングを行って薄くするリセス構造でノーマリオフを実現する技術では、数nmという精度で障壁層のエッチングを制御する必要があるため高い歩留まりで製品を提供することが困難である。また、このリセス構造では、表面電位以上に閾値電圧が大きくならないため、大きな閾値電圧を得ることもできない。
分極反転層を用いずp型の窒化物半導体層をゲート電極下のみに形成してノーマリオフを実現する技術では、大きな閾値電圧を実現するには、p型窒化物半導体層のアクセプタ濃度を高くする必要があるため、p型窒化物半導体層のエピタキシャル成長の制御が難しく、またゲート電極の下のpn接合によりスイッチング速度が低下する問題が生じる。
これに対して、本実施形態では、前述した分極反転層3をゲート電極13の下に設けることで、p型窒化物半導体層を用いずに、大きな閾値電圧を有するノーマリーオフ型の窒化物半導体装置を容易に製造することができ、またゲート下にpn接合が形成されないためスイッチング速度の低下も抑制できる。また、分極反転層3にp型窒化物半導体層を用いた場合であっても、分極反転層3のない場合と比べてアクセプタ濃度を低くすることができるため、エピタキシャル成長の制御性・pn接合のスイッチング速度の低下を抑えることができる。
また、本実施形態に係る半導体装置は大きな閾値電圧が得られるが、分極反転層3のバンドギャップを障壁層2のバンドギャップよりも大きくすることで、大きなゲート電圧を加えてもゲートリーク電流を抑制できる。さらに、ゲート電極13と分極反転層3との間に絶縁膜5が設けられたゲート絶縁型の構造であるため、ゲートリーク電流をより抑制できる。
また、図4に示すように、分極反転層3の表面を覆うキャップ層(例えばGaN層、第4の窒化物半導体)4を設けてもよい。このキャップ層4を設けることにより、より安定した材料・組成をもつ層を最上層に形成することにより表面状態を安定させることができ、特性のばらつきを抑えることができる。
また、絶縁膜5を設けずに、ゲート電極13を、分極反転層3またはキャップ層4の表面にショットキー接触させた構造(ショットキーメタルゲート構造)であってもよい。
1…キャリア走行層、2…障壁層、3…分極反転層、4…キャップ層、5…絶縁膜、11…ソース電極、12…ドレイン電極、13…ゲート電極
Claims (5)
- 第1の窒化物半導体を含むキャリア走行層と、
前記キャリア走行層の上に設けられ、前記第1の窒化物半導体よりもバンドギャップが大きい第2の窒化物半導体を含む障壁層と、
前記障壁層の上に設けられたソース電極と、
前記障壁層の上に設けられたドレイン電極と、
前記障壁層の上であって前記ソース電極と前記ドレイン電極との間に設けられたゲート電極と、
前記ゲート電極の下で前記障壁層の上に設けられ、前記障壁層内に生じる分極に対して反転した分極が生じる第3の窒化物半導体を含む分極反転層と、
を備えたことを特徴とする半導体装置。 - GaNを含むキャリア走行層と、
前記キャリア走行層の上に設けられ、InxAlyGazN(0≦x<1、0<y≦1、0≦z<1、x/(x+y)<0.25)を含む障壁層と、
前記障壁層の上に設けられたソース電極と、
前記障壁層の上に設けられたドレイン電極と、
前記障壁層の上であって前記ソース電極と前記ドレイン電極との間に設けられたゲート電極と、
前記ゲート電極の下で前記障壁層の上に設けられ、InsAltGauN(0<s<1、0<t<1、0≦u<1、s/(s+t)>0.25)を含む分極反転層と、
を備えたことを特徴とする半導体装置。 - 前記分極反転層のバンドギャップは、前記障壁層のバンドギャップよりも大きいことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記分極反転層と前記ゲート電極との間に設けられた絶縁膜をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記分極反転層と前記ゲート電極との間に設けられ、第4の窒化物半導体を含むキャップ層をさらに備えたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007217068A JP2009054623A (ja) | 2007-08-23 | 2007-08-23 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007217068A JP2009054623A (ja) | 2007-08-23 | 2007-08-23 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009054623A true JP2009054623A (ja) | 2009-03-12 |
Family
ID=40505483
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007217068A Pending JP2009054623A (ja) | 2007-08-23 | 2007-08-23 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009054623A (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010064706A1 (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-10 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
JP2011210750A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-20 | Nec Corp | 電界効果トランジスタ、電界効果トランジスタの製造方法、および電子装置 |
WO2012014883A1 (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-02 | 日本碍子株式会社 | 半導体素子用エピタキシャル基板、半導体素子、pn接合ダイオード素子、および半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法 |
JP2013074188A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Fujitsu Ltd | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
JPWO2011118099A1 (ja) * | 2010-03-26 | 2013-07-04 | 日本電気株式会社 | 電界効果トランジスタ、電界効果トランジスタの製造方法、および電子装置 |
JPWO2011118098A1 (ja) * | 2010-03-26 | 2013-07-04 | 日本電気株式会社 | 電界効果トランジスタ、電界効果トランジスタの製造方法、および電子装置 |
JP2018157177A (ja) * | 2016-08-24 | 2018-10-04 | ローム株式会社 | 窒化物半導体デバイスおよび窒化物半導体パッケージ |
CN112335056A (zh) * | 2020-09-09 | 2021-02-05 | 英诺赛科(苏州)科技有限公司 | 半导体装置结构和其制造方法 |
CN112368842A (zh) * | 2020-09-09 | 2021-02-12 | 英诺赛科(苏州)科技有限公司 | 半导体装置结构和其制造方法 |
US11233144B2 (en) | 2016-08-24 | 2022-01-25 | Rohm Co., Ltd. | Nitride semiconductor device and nitride semiconductor package |
WO2024026597A1 (en) * | 2022-07-31 | 2024-02-08 | Innoscience (suzhou) Semiconductor Co., Ltd. | Nitride-based semiconductordevice and method for manufacturing the same |
-
2007
- 2007-08-23 JP JP2007217068A patent/JP2009054623A/ja active Pending
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010064706A1 (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-10 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
JP2011210750A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-20 | Nec Corp | 電界効果トランジスタ、電界効果トランジスタの製造方法、および電子装置 |
JPWO2011118099A1 (ja) * | 2010-03-26 | 2013-07-04 | 日本電気株式会社 | 電界効果トランジスタ、電界効果トランジスタの製造方法、および電子装置 |
JPWO2011118098A1 (ja) * | 2010-03-26 | 2013-07-04 | 日本電気株式会社 | 電界効果トランジスタ、電界効果トランジスタの製造方法、および電子装置 |
US8921894B2 (en) | 2010-03-26 | 2014-12-30 | Nec Corporation | Field effect transistor, method for producing the same, and electronic device |
WO2012014883A1 (ja) * | 2010-07-29 | 2012-02-02 | 日本碍子株式会社 | 半導体素子用エピタキシャル基板、半導体素子、pn接合ダイオード素子、および半導体素子用エピタキシャル基板の製造方法 |
US9024325B2 (en) | 2010-07-29 | 2015-05-05 | Ngk Insulators, Ltd. | Epitaxial substrate for semiconductor element, semiconductor element, PN junction diode, and method for manufacturing an epitaxial substrate for semiconductor element |
JP2013074188A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Fujitsu Ltd | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
JP2018157177A (ja) * | 2016-08-24 | 2018-10-04 | ローム株式会社 | 窒化物半導体デバイスおよび窒化物半導体パッケージ |
US11233144B2 (en) | 2016-08-24 | 2022-01-25 | Rohm Co., Ltd. | Nitride semiconductor device and nitride semiconductor package |
JP7025853B2 (ja) | 2016-08-24 | 2022-02-25 | ローム株式会社 | 窒化物半導体デバイスおよび窒化物半導体パッケージ |
US11769825B2 (en) | 2016-08-24 | 2023-09-26 | Rohm Co., Ltd. | Nitride semiconductor device and nitride semiconductor package |
CN112335056A (zh) * | 2020-09-09 | 2021-02-05 | 英诺赛科(苏州)科技有限公司 | 半导体装置结构和其制造方法 |
CN112368842A (zh) * | 2020-09-09 | 2021-02-12 | 英诺赛科(苏州)科技有限公司 | 半导体装置结构和其制造方法 |
WO2022051932A1 (en) * | 2020-09-09 | 2022-03-17 | Innoscience (Suzhou) Technology Co., Ltd. | Semiconductor device structures and methods of manufacturing the same |
US11862722B2 (en) | 2020-09-09 | 2024-01-02 | Innoscience (Suzhou) Technology Co., Ltd. | Semiconductor device structures and methods of manufacturing the same |
WO2024026597A1 (en) * | 2022-07-31 | 2024-02-08 | Innoscience (suzhou) Semiconductor Co., Ltd. | Nitride-based semiconductordevice and method for manufacturing the same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2009054623A (ja) | 半導体装置 | |
US9196614B2 (en) | Inverted III-nitride P-channel field effect transistor with hole carriers in the channel | |
JP6174874B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5182835B2 (ja) | リサーフ構造を用いた窒化物半導体ヘテロ接合トランジスタ | |
JP5468768B2 (ja) | 電界効果トランジスタ及びその製造方法 | |
JP5084262B2 (ja) | 半導体装置 | |
US8390029B2 (en) | Semiconductor device for reducing and/or preventing current collapse | |
JP5334149B2 (ja) | 窒化物半導体電界効果トランジスタ | |
US8164117B2 (en) | Nitride semiconductor device | |
JP4705481B2 (ja) | 窒化物半導体装置 | |
JP5190923B2 (ja) | GaNをチャネル層とする窒化物半導体トランジスタ及びその作製方法 | |
JP5342152B2 (ja) | ガリウムナイトライド系エピタキシャル結晶及びその製造方法 | |
JP5534661B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5203725B2 (ja) | Iii族窒化物パワー半導体デバイス | |
JP5684574B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2008130655A (ja) | 半導体素子 | |
JP2008192701A (ja) | GaN系半導体素子 | |
US20100224911A1 (en) | Gallium nitride high electron mobility transistor | |
JP2009099774A (ja) | ヘテロ接合電界効果型トランジスタ | |
JP2011009493A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
WO2010016564A1 (ja) | 半導体装置 | |
JP2008263140A (ja) | 窒化物半導体素子 | |
JP5721782B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2006032650A (ja) | 半導体装置 | |
JP2011108712A (ja) | 窒化物半導体装置 |