JP2009048677A - 書き込み電圧生成回路及びその方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】不揮発性メモリセルへの書き込み動作における各電圧が、それぞれのチャージポンプの各電圧が全て飽和した最終目標値に到達する前に、書き込み動作を開始する書き込み電圧生成回路とその方法とを提供する。
【解決手段】不揮発性メモリセルの書き込み動作のプログラムモードにおいて、電圧検知部20−1は、電圧生成部10に具備されるチャージポンプが生成するプログラム用ビット線電圧VPB_CPを検知し、プログラム可能な電圧に達したとき、制御信号CNT2又はPGMSTARTを発生し、この制御信号により不揮発性メモリセルにプログラムに要する各電圧を供給するためのスイッチ部30を制御する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、書き込み電圧生成回路及びその方法に係り、より詳しくは、不揮発性メモリセルの書き込み電圧生成回路及びその方法に関する。
不揮発性メモリセルの書き込み動作には、プログラムモードとイレースモードとがある。従来、これ等いずれのモードにおいても、書き込み電圧生成回路の各出力が、それぞれ該当する最終目標値に到達した後、または、最終値に到達したと推定できる時間の経過後に、書き込み動作が開始されていた。
図10は、従来のプログラムモードにおける各電圧と、プログラム動作の開始時間との関係を示すタイミングチャートである。図10において、書き込み用高電圧VPI_CP、プログラム用ビット線電圧VPB_CP、及びプログラム用バルク電圧VBULK_CPの各々は、それぞれのチャージポンプの時間関数に応じて電圧が上昇する。書き込み開始信号PGMSTARTは、それぞれのチャージポンプの各電圧が全て飽和した最終目標値に到達後ハイレベルとなり、書き込み動作がスタートする。この各電圧が全て飽和する時間TCは、実際に書き込みに必要な時間と同等の時間を必要とするため、書き込み動作時間の短縮を図る上での障害の一つとなっていた。また、イレースモードにおいても同様の問題があった。
特許文献1には、不揮発性メモリセルアレイへの書き込みコマンドが書き込まれると、内部昇圧回路は昇圧を開始し、昇圧完了とともに書き込みを行い、書き込み完了後も内部昇圧回路は停止せず、連続した書き込みに備え、オン/オフを冗長に行っていた時間を削減する、旨の記載がある。
特開2002−230985号公報
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、不揮発性メモリセルへの書き込み動作における各電圧が、それぞれのチャージポンプの各電圧が全て飽和した最終目標値に到達する前に、書き込み動作を開始する書き込み電圧生成回路とその方法とを提供することにある。
本発明の書き込み電圧生成回路は、不揮発性メモリセルの書き込み電圧生成回路であって、電圧生成部と電圧検知部とスイッチ部とを有し、不揮発性メモリセルの書き込み動作のプログラムモードにおいて、電圧検知部は、電圧生成部に具備されるチャージポンプが生成するプログラム用ビット線電圧を検知し、プログラム可能な電圧に達したとき制御信号を発生し、不揮発性メモリセルにプログラムに要する各電圧を供給するためのスイッチ部を制御することを特徴とする。
本発明の書き込み電圧生成回路の電圧検知部は、電圧生成部に具備されるチャージポンプが生成する書き込み用高電圧、プログラム用ビット線電圧、及びプログラム用バルク電圧を検知し、全てがプログラム可能な電圧に達したとき制御信号を発生し、不揮発性メモリセルにプログラムに要する各電圧を供給するためのスイッチ部を制御することを特徴とする。
本発明の書き込み電圧生成回路は、不揮発性メモリセルの書き込み電圧生成回路であって、電圧生成部と電圧検知部とスイッチ部とを有し、不揮発性メモリセルの書き込み動作のイレースモードにおいて、電圧検知部は、電圧生成部に具備されるチャージポンプが生成するイレース用高負電圧を検知し、イレース可能な電圧に達したとき制御信号を発生し、不揮発性メモリセルにイレースに要する各電圧を供給するためのスイッチ部を制御することを特徴とする。
本発明の書き込み電圧生成回路の電圧検知部は、電圧生成部に具備されるチャージポンプが生成するイレース用高負電圧及びイレース用高バルク電圧検知し、いずれもイレース可能な電圧に達したとき制御信号を発生し、不揮発性メモリセルにイレースに要する各電圧を供給するためのスイッチ部を制御することを特徴とする。
本発明の書き込み電圧生成方法は、不揮発性メモリセルの書き込み電圧生成方法であって、不揮発性メモリセルの書き込み動作のプログラムモードにおいて、チャージポンプが生成するプログラム用ビット線電圧を検知し、プログラム可能な電圧に達したとき制御信号を発生し、不揮発性メモリセルにプログラムに要する各電圧を供給するためのスイッチ部を制御するステップ、または、チャージポンプが生成する書き込み用高電圧、プログラム用ビット線電圧、及びプログラム用バルク電圧を検知し、全てがプログラム可能な電圧に達したとき制御信号を発生し、不揮発性メモリセルにプログラムに要する各電圧を供給するためのスイッチ部を制御するステップ、不揮発性メモリセルの書き込み動作のイレースモードにおいて、チャージポンプが生成するイレース用高負電圧を検知し、イレース可能な電圧に達したとき制御信号を発生し、不揮発性メモリセルにイレースに要する各電圧を供給するためのスイッチ部を制御するステップ、または、チャージポンプが生成するイレース用高負電圧及びイレース用高バルク電圧を検知し、いずれもイレース可能な電圧に達したとき制御信号を発生し、不揮発性メモリセルにイレースに要する各電圧を供給するためのスイッチ部を制御するステップ、から成ることを特徴とする。
本発明の書き込み電圧生成回路及びその方法によれば、不揮発性メモリセルへの書き込み動作における各電圧が、それぞれのチャージポンプの各電圧が全て飽和した最終目標値に到達する前の書き込み可能な電圧状態において書き込み動作を開始することが可能となるため、書き込みに要する全体の時間を短縮することができる。
本発明による書き込み電圧生成回路の実施の形態について、図を用いて説明する。なお、本発明による書き込み電圧生成回路は、プログラムモードにおける電圧生成回路とイレースモードにおける電圧生成回路から構成されている。図1は、本発明の書き込み電圧生成回路のプログラムモードにおける電圧生成回路の第1の実施例を示すブロック図である。図1において、電圧生成回路50−1は、電圧生成部10、電圧検知部20−1及びスイッチ部30を有し、セル回路40のメモリセルへプログラムのための電圧を供給している。
電圧生成部10は、チャージポンプで構成される電圧生成回路1とレギュレータで構成される電圧生成回路2とを有している。電圧生成回路1のチャージポンプで発生されるプログラム用ビット線電圧VPB_CP、書き込み用高電圧VPI_CP及びプログラム用バルク電圧VBULK_CPは、電圧生成回路2のレギュレータで所定の電圧に調整され、プログラム用ビット線電圧VPB、書き込み用高電圧VPI、プログラム用ワード線電圧VPW、及びプログラム用バルク電圧VBULKとして出力される。
電圧検知部20−1は、コンパレータCOMP2と、AND回路と、その出力端に接続されたインバータとを有している。コンパレータCOMP2の非反転入力端には、プログラム用ビット線電圧VPB_CPが接続され、反転入力端には、基準電圧VREF2(=VPBT)が接続され、プログラム用ビット線電圧VPB_CPが基準電圧VREF2に達すると、制御信号CNT2が出力される。AND回路は、制御信号CNT2を入力とし、新たな制御信号PGMSTARTを出力し、インバータからPGMSTARTBが出力される。
スイッチ部30は、相補型MOSトランジスタスイッチSW1〜3と、それらの各出力端とグランド間に接続されたNMOSトランジスタとを有している。相補型MOSトランジスタスイッチSW1の一端には書き込み用高電圧VPIが接続され、ゲートには制御信号PGMSTART、PGMSTARTBがそれぞれ接続され、他端からはビット線選択信号VYAGATEが出力される。NMOSトランジスタのゲートには制御信号PGMSTARTBが接続され、相補型MOSトランジスタスイッチSW1がオフのとき、出力端をグランドに落とす動作をしている。同様にして、プログラム用ワード線電圧VPWCELL、及びプログラム用バルク電圧VBULKCELLが出力される。
セル回路40において、ビット線選択信号VYAGATEは、メモリセルのドレインに接続されたビット線選択用のNMOSトランジスタのゲートに接続され、プログラム用ワード線電圧VPWCELLはメモリセルのゲートに接続され、プログラム用バルク電圧VBULKCELLはメモリセルのPwellに接続されている。また、プログラム用ビット線電圧VPBがビット線選択用のNMOSトランジスタのドレインに接続されている。次に図2を基に全体の回路動作を説明する。
図2は、T2をプログラムスタートとするプログラムモードのタイミングチャートである。図2において、電圧生成部10の電圧生成回路1のチャージポンプで発生されるプログラム用ビット線電圧VPB_CPが、立ち上がり時間T2で、VPBの設定電圧VPBTに達している。コンパレータCOMP2は、チャージポンプで発生されるプログラム用ビット線電圧VPB_CPがプログラム用高電圧VPBの設定レベル(VPBT)に達したことを検知すると、制御信号CNT2を発生し、さらに制御信号PGMSTART及びその反転信号PGMSTARTBが生成される。
これらの制御信号PGMSTART、PGMSTARTBは、スイッチ部30を構成する各トランジスタのゲートに入力され、スイッチSW1〜3がオンし、プログラムに要する各電圧がセル回路40に供給される。セル回路40において、ビット線選択用のNMOSトランジスタは、ゲートにビット線選択信号VYAGATEが印加されてオンし、プログラム用ビット線電圧VPBがメモリセルのドレインに供給される。さらに、プログラム用ワード線電圧VPWCELLはメモリセルのゲートに印加され、プログラム用バルク電圧VBULKCELLはメモリセルのPwellに印加されることにより、メモリセルに情報がプログラムされる。
このように、プログラム用ビット線電圧VPB_CPが、プログラム可能なレベルに達する時点で、セルは直ちにプログラム動作を開始する。この時点で、プログラム用ワード線電圧VPW、プログラム用バルク電圧VBULKは設定電圧には達していないが、メモリセルの特性上、プログラム用ビット線電圧VPBが設定電圧に達していればメモリセルへの書き込みは可能である。そして、この時間T2は、図10における各電圧が全て飽和する時間TCに比べて短いため、プログラム動作を早く開始することが可能となり、プログラムに要する全体の時間を短縮することができる。
図3は、本発明の書き込み電圧生成回路のプログラムモードにおける電圧生成回路の第2の実施例を示すブロック図である。図3において、電圧生成回路50−2の電圧生成部10とスイッチ部30は、図1の場合と同じ構成である。電圧検知部20−2は、図1の構成に、コンパレータCOMP1、3が、新たに加わっている。
コンパレータCOMP1の非反転入力端には、書き込み用高電圧VPI_CPが接続され、反転入力端には、基準電圧VREF1(=VPWT)が接続され、書き込み用高電圧VPI_CPがVPWの設定電圧VPWTである基準電圧VREF1に達すると、制御信号CNT1が出力される。コンパレータCOMP3の非反転入力端には、プログラム用バルク電圧VBULK_CPが接続され、反転入力端には、基準電圧VREF3(=VBULKT)が接続され、プログラム用バルク電圧VBULK_CPがVBULKの設定電圧VBULKTである基準電圧VREF3に達すると、制御信号CNT3が出力される。
コンパレータCOMP1〜3の出力である制御信号CNT1〜3はAND回路に入力され、新たな制御信号PGMSTARTが出力され、その反転信号PGMSTARTBが生成される。この場合、制御信号PGMSTARTと、その反転信号PGMSTARTBとが、図1のスイッチ部30の場合と同様に、相補型MOSトランジスタスイッチSW1〜3と、それらの各出力端とグランド間に接続されたNMOSトランジスタとに入力され、プログラムのための各電圧がメモリセルに一斉に印加されて、プログラム動作を開始する。
図4は、T3をプログラムスタートとするプログラムモードのタイミングチャートである。この場合は、図3の書き込み電圧生成回路を適用することによりプログラム動作が実施されている。プログラム開始時間は図1の場合より遅れるが、プログラム用ビット線電圧VPBだけでなく、プログラム用ワード線電圧VPW、プログラム用バルク電圧VBULKも設定電圧に達した後にプログラムを開始するので、図1の回路に比べて、より確実にプログラム動作を実施することが可能となる。この時間T3も、図10における各電圧が全て飽和する時間TCに比べて短いため、プログラム動作を早く開始することが可能となり、プログラムに要する全体の時間を短縮することができる。
図5は、本発明の書き込み電圧生成回路のイレースモードにおける電圧生成回路の第1の実施例を示すブロック図である。図5において、電圧生成回路50−3は、電圧生成部10、電圧検知部20−3及びスイッチ部30を有し、セル回路40のメモリセルへ、イレースのための電圧を供給している。
電圧生成部10は、チャージポンプで構成される電圧生成回路1とレギュレータで構成される電圧生成回路2とを有している。電圧生成回路1のチャージポンプで発生される書き込み用高電圧VPI_CP及びイレース用高負電圧VNEG_CPは、電圧生成回路2のレギュレータで所定の電圧に調整され、書き込み用高電圧VPI及びイレース用高負電圧VNEGとして出力される。
電圧検知部20−3は、コンパレータCOMP5と、AND回路と、その出力端に接続されたインバータとを有している。コンパレータCOMP5の非反転入力端には、イレース用高負電圧VNEG_CPが接続され、反転入力端には、基準電圧VREF5が接続され、イレース用高負電圧VNEG_CPがイレース可能な電圧である基準電圧VREF5に達すると、制御信号CNT5が出力される。AND回路は、制御信号CNT5を入力とし、新たな制御信号PGMSTARTが出力され、その反転信号PGMSTARTBが生成される。
スイッチ部30は、相補型MOSトランジスタスイッチSW4、5と、それらの各出力端とグランド間に接続されたNMOSトランジスタとを有している。相補型MOSトランジスタスイッチSW4の一端には書き込み用高電圧VPIが接続され、ゲートには制御信号PGMSTART、及びその反転信号PGMSTARTBがそれぞれ接続され、他端からはイレース用高バルク電圧VPMCELLが出力される。NMOSトランジスタのゲートには制御信号PGMSTARTBが接続され、相補型MOSトランジスタスイッチSW4がオフのとき、出力端をグランドに落とす動作をしている。同様にして、イレース用高負電圧VNEGCELLが出力される。
セル回路40において、イレース用高負電圧VNEGCELLはメモリセルのゲートに接続され、イレース用高バルク電圧VPMCELLはメモリセルのPwellに接続されている。この回路は、プログラムモードにおける図1の場合と同様のタイミングマージン関係に基づいており、次に全体の回路動作を説明する。
イレース用高負電圧VNEGは、イレース可能な電圧となる立ち上がり時間が、書き込み用高電圧VPIの立ち上がり時間に比べて長くなっている(図示せず)。このため、イレース用高負電圧VNEGは、コンパレータCOMP5においてイレース可能な電圧になったとき、スイッチ部30のスイッチSW5がオンし、VNGCELLとしてメモリセルのゲートに印加され、同時に、スイッチ部30のスイッチSW4がオンすると、書き込み用高電圧VPIは、イレース用高バルク電圧VPMCELLとしてメモリセルのPwellに印加され、メモリセルはイレースされる。このように、図1の場合と同様に、イレース動作を早く開始することが可能となり、イレースに要する全体の時間を短縮することができる。
図6は、本発明の書き込み電圧生成回路のイレースモードにおける電圧生成回路の第2の実施例を示すブロック図である。図6において、電圧生成回路50−4の電圧生成部10とスイッチ部30は、図5の場合と同じ構成である。電圧検知部20−4は、図5の構成に、コンパレータCOMP4が新たに加わっている。
コンパレータCOMP4、5の出力CNT4、5はAND回路に入力され、制御信号PGMSTARTが出力され、反転信号PGMSTARTBが生成される。これらの信号は、図5のスイッチ部30の場合と同様に、相補型MOSトランジスタスイッチSW4、5と、それらの各出力端とグランド間に接続されたNMOSトランジスタとに入力され、イレースのための各電圧がメモリセルに印加されイレース動作が開始される。この回路は、プログラムモードにおける図3の場合と同様のタイミングマージン関係に基づいており、制御信号PGMSTARTは、図4におけると同様のプロセスにおいて生成され、イレース動作を早く開始することが可能となり、イレースに要する全体の時間を短縮することができる。
すでに説明したように、本発明による書き込み電圧生成回路は、プログラムモードにおける電圧生成回路とイレースモードにおける電圧生成回路から構成されているため、図1のプログラムモードにおける電圧生成回路と図5のイレースモードにおける電圧生成回路とを組み合わせることにより、本発明による書き込み電圧生成回路が構成される。また、図3のプログラムモードにおける電圧生成回路と図6のイレースモードにおける電圧生成回路とを組み合わせることにより、本発明によるもう1つの書き込み電圧生成回路が構成される。組み合わせにおいては、2つの回路をそのまま組み合わせても良いし、同じ動作をする部分は共通にしても良い。これにより、不揮発性メモリセルへの書き込み動作における各電圧が、それぞれ最終目標値に到達する前の書き込み可能な電圧状態において書き込み動作を開始することができる書き込み電圧生成回路が可能となる。
図7は、電圧検知部の入力電圧設定を示す入力電圧設定回路図である。図7aにおいて、抵抗R1側の一端Aには、プログラム用ビット線電圧VPB_CP、書き込み用高電圧VPI_CP、プログラム用バルク電圧VBULK_CP、又はイレース用高負電圧VNEG_CPが加えられ、抵抗R1、R2により抵抗分圧された電圧が、コンパレータの非反転入力端に加えられる。コンパレータの反転入力端には、それぞれの基準電圧が加えられて、制御信号CNT1、2、4をそれぞれ出力する。また、書き込み用高電圧VPI_CPの検知においては、セル回路40のビット線選択用のNMOSトランジスタの閾値電圧の影響を排除するため、抵抗R1と一端Aとの間にリファレンストランジスタを挿入しても良い。
図7bにおいて、抵抗R4側の一端Bには、プログラム用バルク電圧VBULK_CP、又はイレース用高負電圧VNEG_CPが加えられ、抵抗R3、R4により抵抗分圧された電圧V3が、コンパレータの反転入力端に加えられる。この回路では、電圧V1と等しい電圧V2と、プログラム用バルク電圧VBULK_CP、又はイレース用高負電圧VNEG_CPとの差分の電圧を抵抗R3、R4により抵抗分圧し、電圧V3をVcc〜Vssの範囲に設定することにより、一端Bに負電圧が加えられても容易に検知することができる。コンパレータの非反転入力端には、それぞれの基準電圧が加えられて、制御信号CNT3、5がそれぞれ出力される。
図8は、本発明の書き込み電圧生成方法による第1の実施例のフローチャートである。図8において、書き込み動作が開始されると、動作がプログラムモードであるか、否か判定される(ステップ10、20)。プログラムモードであれば、プログラム用ビット線電圧VPB_CPがプログラム可能な電圧に達したことを検知し、制御信号を発生する(ステップ21、22)。次に、制御信号により、スイッチをオンし、プログラムに必要な電圧をセルに印加して終了する(ステップ26、40)。
ステップ20において、書き込み動作がプログラムモードでなかった場合は、イレースモードであるか、否かを判定する(ステップ30)。イレースモードであれば、イレース用高低電圧VNEG_CPがイレース可能な電圧に達したことを検知し、制御信号を発生する(ステップ31、22)。次に、制御信号により、スイッチをオンし、イレースに必要な電圧をセルに印加して終了する(ステップ26、40)。
図9は、本発明の書き込み電圧生成方法による第2の実施例のフローチャートである。図9において、書き込み動作が開始されると、動作がプログラムモードであるか、否か判定される(ステップ50、60)。プログラムモードであれば、プログラム用ビット線電圧VPB_CP、書き込み用高電圧VPI_CP、及びプログラム用バルク電圧VBULK_CPの全てが、プログラム可能な電圧に達したことを検知し、制御信号を発生する(ステップ61、62)。次に、制御信号により、スイッチをオンし、プログラムに必要な電圧をセルに印加して終了する(ステップ64、80)。ステップ60において、書き込み動作がプログラムモードでなかった場合は、イレースモードであるか、否かを判定する(ステップ70)。イレースモードであれば、イレース用高負電圧VNEG_CP、及びイレース用高バルク電圧となる書き込み用高電圧VPI_CPの両方が、イレース可能な電圧に達したことを検知し、制御信号を発生する(ステップ71、62)。制御信号により、スイッチをオンし、イレースに必要な電圧をセルに印加して終了する(ステップ64、80)。
以上説明したように、本発明によると、不揮発性メモリセルへの書き込み動作における各電圧が、それぞれのチャージポンプの各電圧が全て飽和した最終目標値に到達する前の書き込み可能な電圧状態において書き込み動作を開始することができるため、書き込みに要する全体の時間を短縮することができる。
本発明のプログラムモードの電圧生成回路の第1実施例を示すブロック図。 T2をプログラムスタートとするプログラムモードのタイミングチャート。 本発明のプログラムモードの電圧生成回路の第2実施例を示すブロック図。 T3をプログラムスタートとするプログラムモードのタイミングチャート。 本発明のイレースモードの電圧生成回路の第1の実施例を示すブロ。 本発明のイレースモードの電圧生成回路の第2の実施例を示すブロック図。 本発明の書き込み電圧生成回路の電圧検知部の入力電圧設定回路図。 本発明の書き込み電圧生成方法による第1の実施例のフローチャート。 本発明の書き込み電圧生成方法による第2の実施例のフローチャート。 従来のプログラムモードにおけるタイミングチャート。
符号の説明
10 電圧生成部
20−1〜4 電圧検知部
30 スイッチ部
40 メモリセル回路
50−1〜4 電圧発生回路
COMP1〜5 コンパレータ
SW1〜5 相補型MOSトランジスタスイッチ
CELL メモリセル
VPB_CP チャージポンプで発生されるプログラム用ビット線電圧
VPI_CP チャージポンプで発生される書き込み用高電圧
VBULK_CP チャージポンプで発生されるプログラム用バルク電圧
VNEG_CP チャージポンプで発生されるイレース用高負電圧
VPB プログラム用ビット線電圧
VPI 書き込み用高電圧
VPW プログラム用ワード線電圧
VBULK プログラム用バルク電圧
VPM イレース用高バルク電圧
VPBT プログラム用ビット線電圧のプログラム可能な設定電圧
VPWT プログラム用高電圧のプログラム可能な設定電圧
VBULKT プログラム用バルク電圧のプログラム可能な設定電圧
VNEG イレース用高負電圧
VPWCELL スイッチ部から出力されるプログラム用ワード線電圧
VBULKCELL スイッチ部から出力されるプログラム用バルク電圧
VPMCELL スイッチ部から出力されるイレース用高バルク電圧
VNEGCELL スイッチ部から出力されるイレース用高負電圧
REF1〜5 基準電圧
CNT1〜5 制御信号
CNT1B〜5B 反転制御信号
PGMSTART 制御信号
PGMSTARTB 反転制御信号
VYAGATE 制御信号
TC 各電圧が全て飽和する時間
T1〜3 プログラム可能となる立ち上がり時間

Claims (5)

  1. 不揮発性メモリセルの書き込み電圧生成回路であって、
    前記書き込み電圧生成回路は、電圧生成部と電圧検知部とスイッチ部とを有し、
    前記不揮発性メモリセルの書き込み動作のプログラムモードにおいて、
    前記電圧検知部は、前記電圧生成部に具備されるチャージポンプが生成するプログラム用ビット線電圧を検知し、プログラム可能な電圧に達したとき制御信号を発生し、
    前記不揮発性メモリセルにプログラムに要する各電圧を供給するための前記スイッチ部を制御することを特徴とする書き込み電圧生成回路。
  2. 前記電圧検知部は、前記電圧生成部に具備される前記チャージポンプが生成する書き込み用高電圧、プログラム用ビット線電圧、及びプログラム用バルク電圧を検知し、全てがプログラム可能な電圧に達したとき制御信号を発生し、
    前記不揮発性メモリセルにプログラムに要する各電圧を供給するための前記スイッチ部を制御することを特徴とする請求項1に記載の書き込み電圧生成回路。
  3. 不揮発性メモリセルの書き込み電圧生成回路であって、
    前記書き込み電圧生成回路は、電圧生成部と電圧検知部とスイッチ部とを有し、
    前記不揮発性メモリセルの書き込み動作のイレースモードにおいて、
    前記電圧検知部は、前記電圧生成部に具備されるチャージポンプが生成するイレース用高負電圧を検知し、イレース可能な電圧に達したとき制御信号を発生し、
    前記不揮発性メモリセルにイレースに要する各電圧を供給するための前記スイッチ部を制御することを特徴とする書き込み電圧生成回路。
  4. 前記電圧検知部は、前記電圧生成部に具備される前記チャージポンプが生成するイレース用高負電圧及びイレース用高バルク電圧検知し、いずれもイレース可能な電圧に達したとき制御信号を発生し、
    前記不揮発性メモリセルにイレースに要する各電圧を供給するための前記スイッチ部を制御することを特徴とする請求項3に記載の書き込み電圧生成回路。
  5. 不揮発性メモリセルの書き込み電圧生成方法であって、
    不揮発性メモリセルの書き込み動作のプログラムモードにおいて、
    チャージポンプが生成するプログラム用ビット線電圧を検知し、プログラム可能な電圧に達したとき制御信号を発生し、前記不揮発性メモリセルにプログラムに要する各電圧を供給するためのスイッチ部を制御するステップ、
    または、前記チャージポンプが生成する前記書き込み用高電圧、プログラム用ビット線電圧、及びプログラム用バルク電圧を検知し、全てがプログラム可能な電圧に達したとき制御信号を発生し、前記不揮発性メモリセルに前記プログラムに要する各電圧を供給するための前記スイッチ部を制御するステップ、
    前記不揮発性メモリセルの書き込み動作のイレースモードにおいて、
    チャージポンプが生成するイレース用高負電圧を検知し、イレース可能な電圧に達したとき制御信号を発生し、前記不揮発性メモリセルにイレースに要する各電圧を供給するためのスイッチ部を制御するステップ、
    または、前記チャージポンプが生成する前記イレース用高負電圧及びイレース用高バルク電圧を検知し、いずれもイレース可能な電圧に達したとき制御信号を発生し、前記不揮発性メモリセルに前記イレースに要する各電圧を供給するための前記スイッチ部を制御するステップ、
    から成ることを特徴とする書き込み電圧生成方法。
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