JP2009046234A - 搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】クリーンルーム床面上を搬送装置がコンテナ等を積載して走行した場合の塵埃等の巻上げを抑制する。
【解決手段】クリーンルームで床面に沿って移動して荷物の搬送を行う搬送装置Ｃであって、上記床面の近傍に搬送装置Ｃの移動により気圧の低い領域を形成する低圧形成部７０、７１を備える。このように構成することで、搬送装置が荷物を積載して移動することにより発生する気圧の低い領域である低圧部が、人為的に床面近傍であって低圧形成部の背後に形成することができる。
【選択図】図４

Description

本発明は、搬送装置に関するものであり、特にクリーンルーム内で床面上を走行するクレーン等の搬送装置に関するものである。

空気中における浮遊微小粒子、塵埃等が限定された清浄度レベル以下に管理されたクリーンルームで扱う工作物、特にガラスの液晶基板、半導体ウエハ等にとって塵埃等は大敵であり、塵埃等が付着し工作物が汚染されると製品の歩留まりを低下させる一因となっている。クリーンルーム床面上を走行する搬送装置において、搬送装置が工作物を搬送する際、空間を走行中に発生する空気圧により前記搬送物の背後に生じる低圧部に気流が流れ込むことによって、クリーンルーム床面上に積もっている塵埃等を巻上げてしまうという問題があった。
従来、クリーンルーム床面上の塵埃等を上方から気流をダウンフローとして与えることによって塵埃等を気流により上から押さえつけ、塵埃等の巻上がりを抑制する方法が取られている。また、搬送装置にユニット型空気清浄化装置を取り付け、クリーンルーム床面上の塵埃等を空気清浄フィルタと吸気ポンプにより吸入しながら走行することにより、塵埃等の巻上がりを抑制する方法がある（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
特開昭６３−１３３６４３号公報 特開昭６３−１３５７３８号公報

しかしながら、気流をダウンフローとして与えることにより塵埃等の巻上げを抑制する方法を用いても、クリーンルーム床面上を搬送装置がコンテナ等を積載して高速に走行した場合、コンテナ背後にできる低圧部に気流が流れ込むことにより床面から塵埃等が巻上げられ、コンテナ等および周囲のクリーン環境を汚染する問題があった。また、搬送装置にユニット型空気清浄化装置を取り付ける方法では、当該装置を作動させるための動力が搬送に要する動力と別に必要になり、搬送装置の重量が増加することで走行に要する電力も増加してコストがかかる問題がある。また搬送装置の走行速度により塵埃等の吸入率が変化するため適切な塵埃等の吸入力の制御が必要になるという技術的問題がある（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。

本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、クリーンルーム床面上を搬送装置がコンテナ等を積載して走行した場合でも塵埃等の巻上げを抑制することを目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明は、クリーンルームで床面に沿って移動して荷物の搬送を行う搬送装置であって、前記床面の近傍に前記搬送装置の移動により気圧の低い領域を形成する低圧形成部を備えるという構成を採用する。
このように構成することで、搬送装置が荷物を積載して移動することにより発生する気圧の低い領域である低圧部が、人為的に床面近傍であって低圧形成部の背後に形成することができる。
本発明によれば、搬送装置の低圧形成部の低圧部に気流が流れ込むことによって床面上に積もっている塵埃等の巻上がりが発生するが、塵埃等は床面近傍の低圧部に巻き込まれるため、荷物の背後に発生する低圧部に塵埃等を巻き込むことを抑制することができる。

また、本発明は、前記低圧形成部は、前記搬送装置の移動方向の両側に設けるという構成を採用する。
このように構成することで、本発明の搬送装置が、移動方向に往復運動する場合であっても前記低圧部を形成することができる。また、荷物の背後に形成された低圧部により塵埃等が巻上がり始めても、すぐ後の低圧形成部が低圧部を形成することにより、そこに気流が流れ込むため、荷物の低圧部によって巻上がり始めた塵埃等を引き寄せることができる。

そして、本発明は、前記低圧形成部は、先に記載した発明において、積載した前記荷物よりも低い位置に設けるという構成を採用する。
このように構成することで、本発明では、荷物の低圧部より低い位置に人為的に低圧形成部が低圧部を形成することにより、荷物よりも低い位置で塵埃等の巻き込みが発生し、荷物の背後に発生する低圧部に塵埃等を巻き込むことを抑制することができる。

そして、本発明は、前記低圧形成部は、先に記載した発明において、前記荷物を収容する複数段の荷物収容部の最下段の高さよりも低い位置に設けるという構成を採用する。
このように構成することで、本発明では、荷物収容部の最下段の高さよりも低い位置に低圧部を形成することにより、荷物収容部よりも低い位置で塵埃等の巻き込みが発生し、最下段の荷物収容部に収容している荷物への塵埃等の汚染を抑制することができる。

さらに、本発明は、先の発明において、前記床面に沿って移動するフレームと、前記フレームに沿って昇降する昇降フレームと、前記昇降フレームを駆動する駆動装置とを有し、前記低圧形成部は前記駆動装置を覆って筒状に設けられるという構成を採用する。
このように構成することで、本発明では、前記駆動装置を前記低圧形成部がカバーすることにより、前記駆動装置を外的要因から保護することができる。また、本発明では、別途低圧形成部を設置するスペースを確保する必要がなくなる。

本発明では、本発明の搬送装置が移動することにより、床面近傍に備えられた低圧形成部が低圧部を形成することで、床面近傍の低圧部に気流が流れ込み床面上の塵埃等を巻込むため、荷物により形成された低圧部への塵埃等の巻上げを抑制する効果がある。
また、本発明では、前記低圧形成部は移動により低圧部を形成するものであればよいため、ユニット型空気清浄化装置のように、別途動力が必要になることもなく、重さの軽い低圧形成部を採用すれば、搬送装置の重量増加による走行に要する電力コストも要しない。さらに、本発明では、搬送装置の移動の速度により低圧部の圧力が大きくなるため、速度による制御が必要になるという技術的問題も解消することができる。
つまり、本発明の搬送装置は、クリーンルーム床面上を搬送装置がコンテナ等を積載して走行した場合でも塵埃等の巻上げを抑制することができ、荷物の塵埃等による汚染を抑制することができる。

次に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態の搬送装置であるスタッカクレーンＣを備える、自動倉庫Ｓの平面図である。また、図２は、自動倉庫Ｓの側面図である。
これらの図に示すように、自動倉庫Ｓは、スタッカクレーンＣと、当該スタッカクレーンＣの軌道であるレールＲを挟んで対向配置されているラックＴ１、Ｔ２とを備えており、ラックＴ１、Ｔ２にスタッカクレーンＣよって荷物を搬送して保管するものである。また、自動倉庫Ｓは、荷物を入庫するための入庫用コンベヤ（不図示）と荷物を出庫するための出庫用コンベヤ（不図示）とを備えており、スタッカクレーンＣによって、入庫用コンベヤ及び出庫用コンベヤとの間にて荷物の受け渡しを行うことが可能とされている。
なお、本実施形態において、荷物はガラス基盤を複数収納したカセットＫであり、ラックＴ１、Ｔ２及びスタッカクレーンＣは、例えばクリーン度１００００レベルのクリーンルームＣＬ１内に設置されている。

ラックＴ１、Ｔ２は、水平方向に及び上下方向に複数配列された収納棚（荷物収容部）Ｔによって構成されており、各収納棚ＴにカセットＫを保管可能とされている。すなわち、ラックＴ１、Ｔ２は、多段配置された収納棚Ｔによって構成されている。
なお、以下の説明において、収納棚Ｔの水平方向の配列方向をＸ方向（移動方向）とし、Ｘ方向と直行する水平方向をＹ方向、Ｘ−Ｙ面と直行する垂直方向をＺ方向として説明する場合がある。

レールＲは、Ｘ方向に延在して、すなわちラックＴ１、Ｔ２に沿って敷設されており、クリーンルームＣＬ１の床に所定の間隔で平行に敷設されるレールＲ１、Ｒ２と、クリーンルームＣＬ１の天井に敷設されるレールＲ３と、によって構成されている。すなわち、本実施形態のスタッカクレーンＣが備えられる自動倉庫Ｓにおいては、レールＲが上下にそれぞれ設けられている。

スタッカクレーンＣは、レールＲ１、Ｒ２に下方から支持されるとともに、レールＲ１、Ｒ２上において回転可能とされる４つの車輪１が取り付けられている。そして、スタッカクレーンＣの全体は、４つの車輪１によってレールＲ１、Ｒ２上を走行可能に支持されている。すなわち、スタッカクレーンＣにおいては、４つの車輪１によって立っていることが可能とされており、また、４つの車輪１が同期して回転することによって車輪１の回転方向に走行可能とされている。
なお、各車輪１に対してモータ２が接続されており、モータ２の駆動によって車輪１が回転される。また、車輪１のうちレールＲ２上を回転する車輪１ａには、レールＲ２の両側面に当接されるガイドローラ１ｂが設置されており、当該ガイドローラ１ｂによって車輪１ａがレールＲ２上をガイドされる。
また、スタッカクレーンＣは、昇降されるケージ４０（昇降フレーム）を備えており、ケージ４０上に設置された移載装置１００（例えば、フォークリフト装置）によって、ケージ４０と収納棚Ｔとの間、ケージ４０と入庫用コンベヤとの間及びケージ４０と出庫用コンベヤとの間にてカセットＫの受け渡しを行う。

図３は、スタッカクレーンＣの斜視図である。また図４は、スタッカクレーンＣの正面図である。なお、図３及び図４においては、図面の視認性を向上させるために、スタッカクレーンＣが備える車輪１、モータ２、ガイドローラ１ｂ及び移載装置１００の図示を省略している。
これらの図に示すように、スタッカクレーンＣは、下部フレーム１０（マスト支持フレーム）と、マスト２０と、上部フレーム３０と、ケージ４０と、昇降装置５０と、制御装置６０と、低圧形成部７０と、低圧形成部７１とを備えている。

下部フレーム１０は、上記車輪１が回転自在に設置される車輪取り付け部１１を有する土台とされるものであり、Ｘ方向に延在するとともに平行に設置される２つのメインフレーム土台１２と、２つのメインフレームの端部同士を接続する２つのサイドフレーム１３とを備えている

マスト２０は、下部フレーム１０に対して立設されるものであり、下部フレーム１０の一方のサイドフレーム１３ａに立設されるマスト２０ａと、下部フレームの他方のサイドフレーム１３ｂに立設されるマスト２０ｂとを備えている。
また、マスト２０は、下部フレーム１０の下側まで突出して延在されている。すなわち、マスト２０は、下部フレーム１０より、レールＲ１、Ｒ２が敷設される敷設面（クリーンルームＣＬ１の床面）寄りにまで延在されている。
なお、マスト２０ａとマスト２０ｂとは、Ｘ方向に配列されている。すなわち、マスト２０ａとマスト２０ｂとは、Ｙ方向において同一位置に立設されている。
このマスト２０は、角柱形状を有しており、各側面がＸ方向あるいはＹ方向と平行となるように立設されている。

上部フレーム３０は、マスト２０ａの上端部とマスト２０ｂの上端部とを接続するものであり、Ｘ方向に延在して配置されている。
この上部フレーム３０の略中央には、上記レールＲ３を把持することによって、スタッカクレーンＣのＹ方向の傾動を抑止するためのガイド３１が設置されている。

ケージ４０は、Ｘ方向に延在する２つのメインフレーム４１を有している。メインフレーム４１同士は、補強部材４２によって接続されている。メインフレーム４１の両端部の各々に対してはサイドフレーム４３が接続されている。
サイドフレーム４３は、Ｚ方向に立設される略三角形形状を有しており、その底辺部にて２つのメインフレーム４１を接続している。また、サイドフレーム４３は、底辺部及び頂部からマスト２０方向に突出するガイド部４４を備えている。
ガイド部４４には、マスト２０の側面を摺動面とするガイドローラが複数設置されている。これらのガイドローラ４６，４７にガイドされることによってサイドフレーム４３、さらにはケージ４０がマスト２０に沿って、上下方向（Ｚ方向）に移動可能とされている。
また、サイドフレーム４３の頂部から突出するガイド部４４には、後述する昇降装置５０が備える昇降ワイヤ５１が接続される接続部４８が設置されている。

昇降装置５０は、昇降ワイヤ５１と、ドラム５２と、モータ５３と、減速器５４とを備えている。
昇降ワイヤ５１は、ケージ４０のサイドフレーム４３が備えるガイド部４４の接続部４８に一端が接続されるとともに、ドラム５２に他端が巻回されている。また、昇降ワイヤ５１としては、マスト２０ａ側に位置するサイドフレーム４３のガイド部４４に接続される昇降ワイヤ５１ａと、マスト２０ｂ側に位置するサイドフレーム４３のガイド部４４に接続される昇降ワイヤ５１ｂとが存在するが、いずれの昇降ワイヤ５１ａ，５１ｂも他端がドラム５２に巻回されている。
なお、マスト２０ａの頂部及びマスト２０ｂの頂部には、昇降ワイヤ５１を案内するためのシーブ５５が設置されている。マスト２０ａの頂部に設置されたシーブ５５ａは、Ｘ−Ｚ平面内にて回転自在とされており、昇降ワイヤ５１ａをサイドフレーム４３マスト２０ａ側のサイドフレーム４３に案内するとともに、昇降ワイヤ５１ｂをマスト２０ｂの頂部に設置されたシーブ５５ｂに案内するものである。マスト２０ｂの頂部に設置されたシーブ５５ｂは、Ｘ−Ｚ平面内にて回転自在とされており、昇降ワイヤ５１ｂをサイドフレーム４３、マスト２０ｂ側のサイドフレーム４３に案内するものである。

ドラム５２は、下部フレーム１０のサイドフレーム１３ａ上に、Ｙ方向を向く回転軸を中心として回転可能に設置されている。
モータ５３は、減速器５４を介してドラム５２と接続されており、減速器５４を介してドラム５２を回転する。なお、モータ５３及び減速器５４は、ドラム５２の両端に各々設置されている。

制御装置６０は、スタッカクレーンＣ全体の動作を制御するものであり、下部フレーム１０のサイドフレーム１３ｂ上に設置されている。
なお、制御装置６０は、ケーブル６１によって、自動倉庫Ｓ全体の制御を行う外部の制御装置と電気的に接続されている。

低圧形成部７０は、低圧形成部７０ａと、低圧形成部７０ｂを備えている（図３及び図４では、低圧形成部７０ｂ図示せず）。低圧形成部７０ａは、ドラム５２の両端に各々設置されている駆動装置（モータ５３及び減速機５４）５５の一方（＋Ｙ側）を覆って設置されている。低圧形成部７０ｂは、ドラム５２の両端に各々設置されている駆動装置５５の他方（−Ｙ側）を覆って設置されている。より詳しくは、各々、その駆動装置５５の外周を覆って、Ｙ方向に延在して設置されている。当該低圧形成部の一実施例として円筒状のカバーがある。

低圧形成部７１は、スタッカクレーンＣの−Ｘ方向外側にむけて、かつ、床面近傍に突出されている。より詳しくは、スタッカクレーンＣの−Ｘ方向外側に設けられた制御装置６０の−Ｘ方向側の側面にＹ方向に延在して設置されている。当該低圧形成部の一実施例として円柱形状の棒がある。

続いて、上記構成のスタッカクレーンＣの動作について説明する。
スタッカクレーンＣは、ガイドローラ１ｂによってレールＲ２上に沿ってＸ方向にガイドされた状態で、レールＲ１、Ｒ２上に立っていることが可能であり、また、モータ２の駆動によって車輪１が同期して回転することにより、レールＲ１、Ｒ２上を走行する。
また、スタッカクレーンＣは、モータ５３を制御してドラム５２の回転量を調整することによって昇降ワイヤ５１の巻回量を変化させ、これによって昇降ワイヤ５１に接続されたケージ４０のサイドフレーム４３の高さが調整される。すなわち、昇降装置５０の駆動によって、ケージ４０の高さが制御される。そして、スタッカクレーンＣの走行位置及びケージ４０の高さが調整されることによって、ケージ４０に搭載された移載装置１００によって、カセットＫの受け渡しが収納棚Ｔとの間で行われる。

ここで、低圧形成部７１は、スタッカクレーンＣが、モータ２によって車輪１が回転されレールＲ１、Ｒ２上を＋Ｘ方向に走行することにより、クリーンルームＣＬ１空間内を移動した時に、床面近傍に設置されている低圧形成部７１の背後であって移動方向と逆方向（−Ｘ方向）側に、低圧部を形成する。その低圧部に気流が流れ込むことによって、クリーンルームＣＬ１床面上に積もっている塵埃等が巻上げられる。
また、スタッカクレーンＣが往復移動し、−Ｘ方向に走行した場合には、床面近傍に設置されている低圧形成部７０（７０ａ、７０ｂ）の背後であって移動方向と逆方向（＋Ｘ方向）側に低圧部を形成する。その低圧部に気流が流れ込むことによって、クリーンルームＣＬ１床面上に積もっている塵埃等が巻上げられる。

次に、低圧形成部を取り付けた場合の塵埃等の巻上げ抑制の効果について、図５、図６に基づいて説明する。
図５は、シミュレーションでスタッカクレーンＣが床面上を移動した場合の、埃の巻上げの様子を表した図である。図６は、前記シミュレーションの計算結果を折れ線グラフで示した図である。
シミュレーションは、クリーンルーム内の清浄度をクリーンレベルクラス１０に設定し、スタッカクレーンＣを３メートル毎秒の速度でクリーンルーム内を移動させるものとして行った。
図５（ａ）から図５（ｃ）まで、床面上の埃８０は、図中に示す多数の点として表している。図５（ａ）は、シミュレーションでスタッカクレーンＣ（低圧形成部無し）が、カセットＫを積載しない状態で＋Ｘ側に移動した場合の、埃８０の巻上げを表した図である（パターンＡ）。図５（ｂ）は、シミュレーションでスタッカクレーンＣ（低圧形成部無し）が、カセットＫを積載した状態で＋Ｘ側に移動した場合の、埃８０の巻上げを表した図である（パターンＢ）。図５（ｃ）は、シミュレーションでスタッカクレーンＣ（低圧形成部在り）がカセットＫを積載した状態で＋Ｘ側に移動した場合の、埃８０の巻上げを表した図である（パターンＣ）。
図６に示されるグラフにおいて、縦軸は埃８０の巻上がり高さを示し、横軸はスタッカクレーンＣの走行時間を示す。図６で示されるグラフ上の、一点鎖線はパターンＡのシミュレーションの計算結果を表し、点線はパターンＢのシミュレーションの計算結果を表し、実線はパターンＣのシミュレーションの計算結果を表す。また、図６に示されるグラフは、走行時間を往路、一時停止、復路の三つの時間で点線により仕切ることによって視認性を向上させている。

続いて、パターンＡからＣについて説明する。
パターンＡの場合、巻上がる埃８０は、スタッカクレーンＣが往路、復路移動中は一時停止時と比べ多少高く巻上がるが、往路、一時停止、復路の一連の動作を通して埃８０はほとんど巻上がらないことが観察される（図５（ａ）、図６参照）。
パターンＢの場合、スタッカクレーンＣがカセットＫを積載したことによりパターンＡの場合と比べ、埃８０が、非常に高く巻上がっていることが観察できる（図５（ｂ）、図６参照）。また、図５（ｂ）より、埃８０が、積載したカセットＫの高さまで巻上がっていることが観察できる。これでは積載したカセットＫに埃８０が付着し、汚染される可能性がある。
パターンＣの場合、スタッカクレーンＣがカセットＫを積載し、低圧形成部７０、７１を移動方向の両側に備えているため、低圧形成部無しのパターンＢに比べて、埃８０が巻上がる高さが約三分の一以下に抑えられていることが観察される（図５（ｃ）、図６参照）。また、図５（ｃ）より、埃８０が、低圧形成部７１が設置されている高さ以下に巻き上がりが抑えられていることが観察される。したがって、スタッカクレーンＣが該低圧形成部７０、７１を備えることにより、積載したカセットＫの高さまで埃８０が巻上がらないため、埃８０が付着することによりカセットＫが汚染されることを抑制する効果が観察される。
これらは、本実施形態の低圧形成部７０、７１により塵埃等の巻上げを抑制するという効果が存在することを示すものである。

したがって、上述の実施の形態によれば、スタッカクレーンＣが、カセットＫを積載してクリーンルームＣＬ１床面上をＸ方向に移動した際、カセットＫの背後に気圧の低い低圧部が形成されるものの、低圧形成部７１が、床面近傍に人為的に低圧部を形成することにより、巻き上がり始めた塵埃等は床面近傍のその低圧部に巻き込まれるため、塵埃等の巻上げを低圧形成部７１の高さ以下まで抑制することができる。また、上述の実施の形態によれば、低圧形成部がスタッカクレーンＣの移動方向両側に設けられているため、スタッカクレーンＣが、往復移動した場合でも、進行方向後方側の低圧形成部により前記同様の効果が得られる。

すなわち、スタッカクレーンＣは、移動による塵埃等の巻上げを低圧形成部７０、７１より低い高さまでに抑制することができ、その結果、積載した荷物や荷物収容部に収容された荷物の塵埃等からの汚染を抑制することができる。
また、本実施形態では、前記低圧形成部は移動により低圧部を形成するものであればよいため、ユニット型空気清浄化装置のように、別途動力が必要になることもなく、体積や容積が大きく重さの軽い、例えば中空形状の低圧形成部を採用すれば、搬送装置の重量増加による走行に要する電力コストも要しない。さらに、本発明では、搬送装置の移動の速度により低圧部の圧力が大きくなるため、速度による制御が必要になるという技術的問題も解消することができる。そして、本実施形態では、低圧形成部をモータ等から成る駆動装置等をカバーするように設置することで、駆動装置等を外的要因、例えば衝突による衝撃等から保護することができ、かつ、別途低圧形成部を設置するスペースを確保する必要がなくなる。

以上、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

例えば、上記実施形態においては、搬送装置は、スタッカクレーンとして説明した。しかしながら、本発明の搬送装置は、クリーンルーム床面上を移動し荷物を積載可能な構成である搬送装置に広く適用可能である。

また、上記実施形態においては、低圧形成部は、円筒状、円柱状の構成として説明した。しかしながら、本発明にかかる低圧形成部は、移動により背後に低圧部を形成するという構成であればよく、例えば角筒状、角柱状、球状等各種の形状を採用できる。したがって、上記形状である必要は無く、また上記実施形態においては、低圧形成部を移動方向の両側に設置し、計二個の低圧形成部を備えていたが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、移動方向が一方側であれば進行方向後方側に一個、もしくは複数個の低圧形成部を備えるものであってもよい。

また、低圧形成部は移動方向と略直交する方向についてゲージよりも突出する構成を有することが好ましい。これにより、低圧形成部は、移動によりゲージの背後に移動方向と直交する方向で、ゲージの幅分の低圧部が形成され塵埃等が巻上がるものの、ゲージよりも突出した構成を有することから、その低圧部よりゲージの幅を越える範囲に低圧部を形成することができ、したがって、その低圧部に塵埃等を効果的、より確実に引き寄せることができる。
さらに、荷物が移動方向と略直交する方向でゲージよりも長い場合には、低圧形成部は荷物よりも突出することが好ましい。

更に、上記実施形態においては、スタッカクレーンＣの搬送対象物である荷物がガラス基盤を収納するカセットである構成について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。

本発明の実施の形態におけるスタッカクレーンを備える自動倉庫の平面図である。 本発明の実施の形態におけるスタッカクレーンを備える自動倉庫の側面図である。 本発明の実施の形態におけるスタッカクレーンの斜視図である。 本発明の実施の形態におけるスタッカクレーンの正面図である。 本発明の実施の形態におけるスタッカクレーンの埃巻上げ抑制のシミュレーションの図である。 本発明の実施の形態におけるスタッカクレーンの埃巻上げ抑制のシミュレーション結果を示す図である。

符号の説明

Ｃ…スタッカクレーン（搬送装置）、ＣＬ１…クリーンルーム、Ｋ…カセット（荷物）、Ｔ…収納棚（荷物収容部）、４０…ケージ（昇降フレーム）、５５…駆動装置、
７０（７０ａ，７０ｂ），７１…低圧形成部

Claims (5)

1. クリーンルームで床面に沿って移動して荷物の搬送を行う搬送装置であって、
   前記床面の近傍に前記搬送装置の移動により気圧の低い領域を形成する低圧形成部を備えることを特徴とする搬送装置。
2. 前記低圧形成部は、前記搬送装置の移動方向の両側に設けられることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記低圧形成部は、積載した前記荷物よりも低い位置に設けられることを特徴とする請求項１、または２に記載の搬送装置。
4. 前記低圧形成部は、前記荷物を収容する複数段の荷物収容部の最下段の高さよりも低い位置に設けられることを特徴とする請求項１、または２に記載の搬送装置。
5. 前記床面に沿って移動するフレームと、前記フレームに沿って昇降する昇降フレームと、前記昇降フレームを駆動する駆動装置とを有し、前記低圧形成部は前記駆動装置を覆って筒状に設けられることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の搬送装置。

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