JP2009044028A - 捕集装置 - Google Patents

Abstract

【課題】排気流路の排気を停止することなく捕集部材の切り換えを行うことができ、被捕集成分の捕集を確実に行うことができる捕集装置を提供する。
【解決手段】流路９を流れる被捕集成分Ｇを捕集する捕集装置７において、流入口７１ａと流出口７２ａとを有して中空状に形成されるハウジング７０と、ハウジング内に収容されて被捕集成分を捕集する複数の捕集部材７３と、複数の連通孔７５を有し各連通孔に捕集部材を着脱可能に保持する捕集部材保持体７４と、捕集部材保持体の流入側に回動可能に連結されて連通孔の１つと連通する切換孔７７を有する切換盤７６と、捕集部材の流入口側と流出口側とをハウジングの外部で開閉弁９３を介して連通する分岐流路９０とを設ける。捕集機能が低下した使用済の捕集部材を未使用の捕集部材に切り換える際に分岐流路の開閉弁を開放した状態で切換盤を回転させて切換孔を未使用の捕集部材を装着する連通孔に連通させる。
【選択図】 図４

Description

この発明は、例えば塗布・現像処理された半導体ウエハやＬＣＤガラス基板等の被処理基板を熱処理する熱処理装置で発生する被捕集成分を捕集する捕集装置に関するものである。

一般に、塗布・現像処理後の熱処理装置では、発生する昇華物で排気流路が目詰まりするのを防止するために排気流路に被捕集成分を捕集する捕集装置が配設されている。

この捕集装置としては、排気流路の途上に設けられ、円板状の支持部に複数の捕集部を周方向に沿って等間隔に配置し、この捕集部の一つと排気流路とを接続することによって、排気流路から排出される被捕集成分を捕集し、使用済みの捕集部を未使用の捕集部に切り換える際に、支持部を回転させることによって捕集部の位置を変化させ、捕集部を切り換えることができる構造のものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００３−３４０３４７号公報（段落番号００１７，００１８，００２０、図４，５）

しかしながら、従来の特開２００３−３４０３４７号公報に記載の捕集装置は、使用済みの捕集部を未使用の捕集部に切り換える際、排気流路の排気を停止させる必要があるため、処理装置の稼働効率が下がるという問題があった。

この発明は、上記事情に鑑みてなされたのもので、排気流路の排気を停止することなく捕集部材の切り換えを行うことができ、かつ、被捕集成分の捕集を確実に行う捕集装置を提供することを課題とする。

上記課題を解決するために、請求項１記載の捕集装置は、流路内を流れる流体中の被捕集成分を捕集する捕集装置において、 上記流路を分断し、流入口と流出口とを有して中空状に形成されるハウジングと、このハウジング内に収容されて、上記流路から流入する被捕集成分を捕集する複数の捕集部材と、上記ハウジング内に固定されて、ハウジングの流入口と流出口とを連通する複数の連通孔を有すると共に、各連通孔に上記捕集部材を着脱可能に保持する捕集部材保持体と、この捕集部材保持体の流入側において、捕集部材保持体に対して回動可能に連結されると共に、上記連通孔の１つと連通する切換孔を有する切換盤と、上記捕集部材の流入口側と流出口側とをハウジングの外部で連通する開閉弁が介設された分岐流路と、を具備してなり、 使用済の捕集部材を未使用の捕集部材に切り換える際、分岐流路の開閉弁を開放した状態で、上記切換盤を回転させ、切換孔を未使用の捕集部材を装着する連通孔に連通するように形成してなる、ことを特徴とする。

このように構成することにより、流入口からハウジング内に流入する被捕集成分を、切換盤の切換孔を介して複数のうちの１つの捕集部材によって捕集することができる。また、捕集部材の捕集機能が低下した場合、使用済の捕集部材を未使用の捕集部材に切り換える際、分岐流路の開閉弁を開放した状態で、切換盤を回転させて切換孔を未使用の捕集部材を装着する連通孔に連通して、未使用の捕集部材による捕集を行うことができる。

また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の捕集装置において、上記ハウジングは、流入口を有すると共に、上記捕集部材保持体を固定する第１のハウジング半体と、流出口を有する第２のハウジング半体とを分割可能に形成し、 上記分岐流路は、上記第１及び第２のハウジング半体にそれぞれ連結される第１及び第２の流路同士を分離可能に形成してなる、ことを特徴とする。

このように構成することにより、ハウジングを第１のハウジング半体と第２のハウジング半体とに分割し、分岐流路を第１及び第２の流路とに分割することで、ハウジング内に収容された捕集部材を交換することができる。

また、請求項１又は２記載の捕集装置において、上記切換盤の側面に切換操作部を設け、この切換操作部を上記ハウジングの側面に設けられた窓穴を介して操作可能に形成してなる方が好ましい（請求項３）。

このように構成することにより、窓穴を介して手動で切換盤を回転させることができる。

また、請求項１ないし３のいずれかに記載の捕集装置において、上記ハウジングの流出口に、この流出口を流れる流体の圧力を検出する差圧計測手段を配設してなる方が好ましい（請求項４）。

このように構成することにより、差圧計測手段によって検出された圧力状態に応じて、捕集部材の目詰まりを確認することができる。

また、請求項５記載の発明は、請求項１又は２記載の捕集装置において、 上記切換盤を切換駆動手段により回動可能に形成し、 上記ハウジングの流出口に、この流出口を流れる流体の圧力を検出する差圧計測手段を配設し、 上記差圧計測手段により検出された信号に基づいて上記切換駆動手段及び上記分岐流路に介説された開閉弁に信号を伝達するコントローラを具備してなり、 上記差圧計測手段により流体の圧力が所定の圧力以下を検出した際、上記コントローラからの制御信号に基づいて上記開閉弁を開放すると共に、上記切換駆動手段を駆動して、上記切換盤の切換孔を上記捕集部材の保持体の連通孔の選択された１つに連通するように形成してなる、ことを特徴とする。

このように構成することにより、差圧計測手段が出口側の流体の圧力が所定の圧力以下を検出したことで、使用中の捕集部材の捕集機能が低下したことを確認してコントローラに伝達し、コントローラからの制御信号に基づいて開閉弁を開放すると共に、切換駆動手段を駆動して、切換盤の切換孔を未使用の捕集部材を装着する捕集部材保持体の連通孔に連通することができる。

また、請求項６記載の発明は、請求項１ないし５のいずれかに記載の捕集装置において、 上記流路を、半導体基板のレジスト塗布・現像処理システムを構成する少なくともレジスト塗布処理後の熱処理ユニット、反射防止膜塗布処理後の熱処理ユニット及び露光処理後の熱処理ユニットに接続してなる、ことを特徴とする。

このように構成することにより、半導体基板のレジスト塗布・現像処理システムを構成するレジスト塗布処理後の熱処理ユニット、反射防止膜塗布処理後の熱処理ユニット及び露光処理後の熱処理ユニットにおいて発生する昇華物等の被捕集成分を、熱処理ユニットの稼働を低下させることなく捕集することができる。

この発明は、上記のように構成されているので、以下のような効果が得られる。

（１）請求項１記載の発明によれば、流入口からハウジング内に流入する被捕集成分を、切換盤の切換孔を介して複数のうちの１つの捕集部材によって捕集することができ、排気流路を停止することなく捕集部材の切り換えを行うことができるので、処理装置の稼働を低下させることなく被捕集成分の捕集を確実に行うことができる。

（２）請求項２記載の発明によれば、ハウジングを第１のハウジング半体と第２のハウジング半体とに分割し、分岐流路を第１及び第２の流路とに分割することで、ハウジング内に収容された捕集部材を交換することができるので、上記（１）に加えて、更に捕集部材の交換を容易にすることができ、捕集装置のメンテナンスを容易にすることができる。

（３）請求項３記載の発明によれば、切換盤の側面に設けられた切換操作部を、ハウジングの側面に設けられた窓穴を介して操作可能に形成することで、切換盤を容易に回転することができるので、上記（１）、（２）に加えて、更に捕集部材の切換操作を容易に行うことができる。

（４）請求項４記載の発明によれば、差圧計測手段によって検出された圧力状態に応じて、捕集部材の目詰まりを確認することができるので、上記（１）、（２）に加えて、更に捕集部材の目詰まりによる捕集機能の低下を抑制することができ、処理装置の稼働効率の低下を防ぐことができる。

（５）請求項５記載の発明によれば、流出口側の流体圧力を検出する差圧計測手段と、切換盤の切換駆動手段及び分岐流路に介設された開閉弁とを、コントローラを介して連動することができるので、捕集部材の切り換えを自動的に行うことができる。したがって、上記（１）、（２）に加えて、更に捕集部材の交換を容易かつ確実に行うことができる。

（６）請求項６記載の発明によれば、上記（１）〜（５）に加えて、更に半導体基板のレジスト塗布・現像処理システムを構成するレジスト塗布処理後の熱処理ユニット、反射防止膜塗布処理後の熱処理ユニット及び露光処理後の熱処理ユニットにおいて発生する昇華物等の被捕集成分を、熱処理ユニットの稼働を低下させることなく昇華物等の被捕集成分の捕集を確実に行うことができる。

以下に、この発明の最良の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。ここでは、この発明に係る捕集装置を半導体ウエハのレジスト塗布・現像処理システムにおける加熱処理装置に適用した場合について説明する。

図１は、この発明に係る捕集装置を具備する半導体ウエハのレジスト塗布・現像処理システムを示す概略平面図、図２は、レジスト塗布・現像処理システムの概略正面図、図３は、レジスト塗布・現像処理システムの概略背面図である。

上記レジスト塗布・現像処理システム１（以下に処理システム１という）は、図１に示すように、例えば２５枚のウエハＷをカセット単位で外部から処理システム１に対して搬入出すると共に、カセットＣに対してウエハＷを搬入出するカセットステーション２と、このカセットステーション２に隣接して設けられ、塗布現像工程の中で枚葉式に所定の処理を施す各種処理ユニットを多段配置してなる処理ステーション３と、この処理ステーション３に隣接して設けられている露光装置（図示せず）との間でウエハＷの受け渡しをするインターフェース部４とを一体に接続した構成を有している。

カセットステーション２は、カセット載置台５上の所定の位置に、複数のカセットＣを水平のＸ方向に一列に載置可能となっている。また、カセットステーション２には、搬送路６上をＸ方向に沿って移動可能なウエハ搬送アーム８が設けられている。ウエハ搬送アーム８は、カセットＣに収容されたウエハＷのウエハ配列方向（Ｚ方向；鉛直方向）にも移動自在であり、Ｘ方向に配列された各カセットＣ内のウエハＷに対して選択的にアクセスできるように構成されている。

また、ウエハ搬送アーム８は、Ｚ軸を中心としてθ方向に回転可能に構成されており、後述するように処理ステーション３側の第３の処理ユニット群Ｇ３に属するトランジション装置（ＴＲＳ）３１に対してもアクセスできるように構成されている。

処理ステーション３は、複数の処理ユニットが多段に配置された、例えば５つの処理ユニット群Ｇ１〜Ｇ５を備えている。図１に示すように、処理ステーション３の正面側には、カセットステーション２側から第１の処理ユニット群Ｇ１，第２の処理ユニット群Ｇ２が順に配置されている。また、処理ステーション３の背面側には、カセットステーション２側から第３の処理ユニット群Ｇ３，第４の処理ユニット群Ｇ４及び第５の処理ユニット群Ｇ５が順に配置されている。第３の処理ユニット群Ｇ３と第４の処理ユニット群Ｇ４との間には、第１の搬送機構１１０が設けられている。第１の搬送機構１１０は、第１の処理ユニット群Ｇ１，第３の処理ユニット群Ｇ３及び第４の処理ユニット群Ｇ４に選択的にアクセスしてウエハＷを搬送するように構成されている。第４の処理ユニット群Ｇ４と第５の処理ユニット群Ｇ５との間には、第２の搬送機構１２０が設けられている。第２の搬送機構１２０は、第２の処理ユニット群Ｇ２，第４の処理ユニット群Ｇ４及び第５の処理ユニット群Ｇ５に選択的にアクセスしてウエハＷを搬送するように構成されている。

第１の処理ユニット群Ｇ１には、図２に示すように、ウエハＷに所定の処理液を供給して処理を行う液処理ユニット、例えばウエハＷにレジスト液を塗布するレジスト塗布ユニット（ＣＯＴ）１０，１１，１２、露光時の光の反射を防止するための反射防止膜を形成するボトムコーティングユニット（ＢＡＲＣ）１３，１４が下から順に５段に重ねられている。第２の処理ユニット群Ｇ２には、液処理ユニット、例えばウエハＷに現像処理を施す現像処理ユニット（ＤＥＶ）２０〜２４が下から順に５段に重ねられている。また、第１の処理ユニット群Ｇ１及び第２の処理ユニット群Ｇ２の最下段には、各処理ユニット群Ｇ１及びＧ２内の前記液処理ユニットに各種処理液を供給するためのケミカル室（ＣＨＭ）２５，２６がそれぞれ設けられている。

一方、第３の処理ユニット群Ｇ３には、図３に示すように、下から順に、温調ユニット（ＴＣＰ）３０、ウエハＷの受け渡しを行うためのトランジション装置（ＴＲＳ）３１及び精度の高い温度管理下でウエハＷを加熱処理する熱処理ユニット（ＵＬＨＰ）３２〜３８が９段に重ねられている。

第４の処理ユニット群Ｇ４では、例えば高精度温調ユニット（ＣＰＬ）４０、レジスト塗布処理後のウエハＷを加熱処理するプリベーキングユニット（ＰＡＢ）４１〜４４及び現像処理後のウエハＷを加熱処理するポストベーキングユニット（ＰＯＳＴ）４５〜４９が下から順に１０段に重ねられている。

第５の処理ユニット群Ｇ５では、ウエハＷを熱処理する複数の熱処理ユニット、例えば高精度温調ユニット（ＣＰＬ）５０〜５３、露光後のウエハＷを加熱処理するポストエクスポージャーベーキングユニット（ＰＥＢ）５４〜５９が下から順に１０段に重ねられている。

また、第１の搬送機構１１０のＸ方向正方向側には、図１に示すように、複数の処理ユニットが配置されており、例えば図３に示すように、ウエハＷを疎水化処理するためのアドヒージョンユニット（ＡＤ）８０，８１、ウエハＷを加熱する加熱ユニット（ＨＰ）８２，８３が下から順に４段に重ねられている。また、第２の搬送機構１２０の背面側には、図１に示すように、例えばウエハＷのエッジ部のみを選択的に露光する周辺露光ユニット（ＷＥＥ）８４が配置されている。なお、プリベーキングユニット（ＰＡＢ）４１〜４４及びポストエクスポージャーベーキングユニット（ＰＥＢ）５４〜５９等｛図４では、プリベーキングユニット（ＰＡＢ）４１〜４４を示す｝には、開閉弁８５を介設する給気流路８６を介してエアー供給手段８７が接続されている。

また、図２に示すように、カセットステーション２、処理ステーション３及びインターフェース部４の各ブロックの上部には、各ブロック内を空調するための空調ユニット６５が備えられている。この空調ユニット６５により、カセットステーション２，処理ステーション３及びインターフェース部４内は、所定の温度及び湿度に調整できる。また、図３に示すように、例えば処理ステーション３の上部には、第３の処理ユニット群Ｇ３、第４の処理ユニット群Ｇ４及び第５の処理ユニット群Ｇ５内の各装置に所定の気体を供給する、例えばＦＦＵ（ファンフィルタユニット）などの気体供給手段である気体供給ユニット６６がそれぞれ設けられている。気体供給ユニット６６は、所定の温度、湿度に調整された気体から不純物を除去した後、当該気体を所定の流量で送風できる。

インターフェース部４は、図１に示すように、処理ステーション３側から順に第１のインターフェース部１００と、第２のインターフェース部１０１とを備えている。第１のインターフェース部１００には、ウエハ搬送アーム１０２が第５の処理ユニット群Ｇ５に対応する位置に配設されている。ウエハ搬送アーム１０２のＸ方向の両側には、例えばバッファカセット１０３（図１の背面側），１０４（図１の正面側）が各々設置されている。ウエハ搬送アーム１０２は、第５の処理ユニット群Ｇ５内の熱処理装置とバッファカセット１０３，１０４に対してアクセスできる。第２のインターフェース部１０１には、Ｘ方向に向けて設けられた搬送路１０５上を移動するウエハ搬送アーム１０６が設けられている。ウエハ搬送アーム１０６は、Ｚ方向に移動可能で、かつθ方向に回転可能であり、バッファカセット１０４と、第２のインターフェース部１０１に隣接した図示しない露光装置に対してアクセスできるようになっている。したがって、処理ステーション３内のウエハＷは、ウエハ搬送アーム１０２，バッファカセット１０４，ウエハ搬送アーム１０６を介して露光装置に搬送でき、また、露光処理の終了したウエハＷは、ウエハ搬送アーム１０６，バッファカセット１０４，ウエハ搬送アーム１０２を介して処理ステーション３内に搬送できる。

次に、この発明に係る捕集装置７について、図４ないし図１１を参照して説明する。

上記捕集装置７は、図１に示すように、レジスト塗布処理後、反射防止膜塗布処理後のウエハＷを加熱処理する第４の処理ユニット群Ｇ４のプリベーキングユニット（ＰＡＢ）４１〜４４、及び露光処理後のウエハＷを加熱処理する第５の処理ユニット群Ｇ５のポストエクスポージャーベーキングユニット（ＰＥＢ）等の熱処理ユニットの排気流路９の途上に設けられている。なお、ここでは図示しないが、レジスト膜の表面に保護膜（上層膜）を塗布する場合や層間絶縁膜を塗布する場合は、保護膜（上層膜）塗布処理後あるいは層間絶縁膜塗布処理後にウエハＷを加熱処理する熱処理ユニットの排気流路の途上に同様に捕集装置７を設ける。

捕集装置７は、図４ないし図６に示すように、流路９を分断し、流入口７１ａと流出口７２ａとを有して中空状に形成されるハウジング７０と、このハウジング７０内に収容されて、流路９から流入する例えば昇華物等の被捕集成分Ｇを捕集する複数の捕集部材７３と、ハウジング７０内に固定されて、ハウジング７０の流入口７１ａと流出口７２ａとを連通する複数の連通孔７５を有すると共に、各連通孔７５に捕集部材７３を着脱可能に保持する捕集部材保持体７４と、この捕集部材保持体７４の流入側において、捕集部材保持体７４に対して回動可能に連結されると共に、連通孔７５の１つと連通する切換孔７７を有する切換盤７６と、捕集部材７３の流入口７１ａ側と流出口７２ａ側とをハウジング７０の外部で連通する開閉弁９３が介設された分岐流路９０とで主に構成されている。

上記ハウジング７０は、図６及び図８に示すように、流入口７１ａを有する第１のハウジング半体７１と、流出口７２ａを有する第２のハウジング半体７２とで分割可能に形成されている。この場合、第１及び第２のハウジング半体７１，７２は、それぞれ流入口７１ａ又は流出口７２ａを有する略有底円筒状に形成されている。なお、第１のハウジング半体７１の側面には、後述する切換操作部７８を操作するための周方向に沿った窓穴７１ｂが設けられている。

上記捕集部材７３は、図５、図６及び図８に示すように、略有底円筒状に形成されて、内部に捕集材７３ａを充填する捕集基部７３ｂと、捕集基部７３ｂにハウジング７０の流入口７１ａから流入した流体すなわち被捕集成分Ｇを含んだ気体Ｆを流入する流入部７３ｃと、捕集基部７３ｂから気体Ｆを流出する流出部７３ｄとを有して形成されている。この場合、上記捕集材７３ａは、例えば多孔質セラミックや金属ウール等の部材で形成されている。

上記捕集部材保持体７４は、図５、図６及び図８に示すように、円盤状に形成されており、ハウジング７０内において第１のハウジング半体７１の流入口７１ａと第２のハウジング半体７２の流出口７２ａとを連通すると共に、同心円上の等間隔位置に捕集部材７３を着脱可能に保持する複数（この場合４個）の連通孔７５を有し、中央に後述する切換盤７６の回転軸７６ａを回転可能に枢着する軸受孔７４ａが設けられている。また、捕集部材７３の流入部７３ｂは、Ｏリング６０ａを介して図示しない係合手段によって連通孔７５に着脱可能に装着されている。

また、捕集部材保持体７４は、第１のハウジング半体７１内にＯリング６０ｂを介して収容されると共に、第１のハウジング半体７１に対して回転しないように係止手段（図示せず）によって係止固定されている。

上記切換盤７６は、図５ないし図８に示すように、上記捕集部材保持体７４の内径と略同一径に形成されており、上記連通孔７５と同心円上に、連通孔７５の１つと連通する切換孔７７が設けられると共に、上記軸受孔７４ａにＯリング６０ｃを介して回転可能に枢着される回転軸７６ａを有している。

また、切換盤７６の外周面には、図７に示すように、連続する凹凸条７８ａによって形成される切換操作部７８が周設されており、この切換操作部７８を第１のハウジング半体７１に設けられた窓穴７１ｂを介して回転操作することで、切換盤７６を捕集部材保持体７４に対して回転させることができる。また、切換盤７６の側面すなわち切換操作部７８上の適宜位置には、例えば数字等の目印７８ｂが付されており、切換盤７６を回転させる際に捕集部材７３の切換回数を確認することができるようになっている。

なお、切換盤７６には、切換盤７６の回転を一方向にのみ制限する図示しない例えばラチェット機構等の回転制限手段が設けられ、また、切換孔７７が連通孔７５と確実に連通するための、図示しない位置合わせ手段が設けられている。

なお、切換盤７６の外周すなわち切換操作部７８より流入口７１ａ側にＯリング６０ｄを介して第１のハウジング半体７１の内面と接し、また、切換盤７６と捕集部材保持体７４との接触する面の周縁部にも気水密性を図るためにＯリング６０ｅが介在されている。

上記分岐流路９０は、図６及び図８に示すように、第１のハウジング半体７１の側面に設けられた開口７１ｃに連通する第１の流路９１と、第２のハウジング半体７２の側面に設けられた開口７２ｃに連通する第２の流路９２とで構成されている。この場合、第１及び第２の流路９１，９２同士は、分離可能に形成されている。また、第１の流路９１には開閉弁９３が介設され、第２の流路９２には補助捕集部材９４が介設されている。

このように分岐流路９０を形成することにより、捕集機能が低下した使用済みの捕集部材７３を未使用の捕集部材７３に切り換える際、第１の流路９１に介設された開閉弁９３を開放した状態で、切換盤７６を回転させ、切換孔７７を未使用の捕集部材７３を装着する連通孔７５に連通することで、排気流路９を停止することなく捕集部材７３の切り換えを行うことができるので、処理システム１の稼働効率の低下を防ぐことができる。また、第１のハウジング半体７１と第２のハウジング半体７２とを分離する際に、第１及び第２の流路９１，９２同士を分離することができるので、捕集装置７のメンテナンスを容易に行うことができる。

なお、第２のハウジング半体７２の流出口７２ａには、この流出口７２ａを流れる流体の圧力を検出する差圧計測手段である差圧計９５が配設されており、差圧計９５によって検出された圧力状態に応じて、捕集部材７３の目詰まりを確認することができるので、捕集部材７３の目詰まりによる捕集機能の低下を抑制することができ、処理システム１の稼働効率の低下を防ぐことができる。

このように構成された捕集装置７は、排気流路９から流入口７１ａを介して第１のハウジング７０内に流入された被捕集成分Ｇを含んだ気体Ｆが、切換盤７６の切換孔７７及び捕集部材保持体７４の連通孔７５を通って捕集部材７３内に流入し、捕集部材７３内の捕集材によって気体Ｆ内の被捕集成分Ｇが捕集される。被捕集成分Ｇが捕集された後の気体Ｆは、捕集部材７３の流出部７３ｄから第２のハウジング７０内に流出され、第２のハウジング７０の流出口７２ａから排気流路９に流出される。この流出口７２ａから流出される気体Ｆの圧力を差圧計９５により常時測定して、流出口７２ａから流出される気体Ｆの圧力の低下が確認されることで、使用されている捕集部材７３の捕集機能が低下したことが確認できるので、この使用済みの捕集部材７３を未使用の捕集部材７３に切り換える。

使用済みの捕集部材７３を未使用の捕集部材７３に切り換えるには、まず、分岐流路９０の開閉弁９３を開放し、次に、窓穴７１ｂを介して切換操作部７８を操作して切換盤７６を回転させる。このように切換盤７６を回転させると、切換孔７７と連通孔７５との連通が遮断されるため第１のハウジング半体７１内に気体Ｆが充満し、充満した気体Ｆが分岐流路９０内を通って第２のハウジング半体７２内に流出される。この場合、分岐流路９０内を通る気体Ｆに含まれた被捕集成分Ｇは、第２の流路９に設けられた補助捕集部材９４によって捕集される。この間に切換孔７７を未使用の捕集部材７３が装着される連通孔７５と連通する位置に移動することで、排気流路９を遮断することなく捕集部材７３の切り換えを行うことができる。これにより、処理システム１の稼働効率の低下を防ぐことができる。

上記のように捕集部材７３の切り換え作業を複数回行い、捕集部材保持体９４に装着された捕集部材７３がすべて使用済みになった場合は、未使用の捕集部材７３への交換作業を行う。

交換作業を行うには、まず、未使用の捕集部材７３が無くなったことを切換盤７６の切換操作部７８に付された目印７８ｂによって確認した場合、又は、処理システム１のメンテナンス時に、排気流路９の排気が停止した状態で、第１のハウジング半体７１と第２のハウジング半体７２とを分離すると共に、第１の流路９１と第２の流路９２との接続を解除して分離する。そして、第１のハウジング半体７１に固定された捕集部材保持体７４から使用済みの捕集部材７３を取り外し、新規の捕集部材７３を取り付けて交換する。捕集部材７３の交換作業が終了した後、第１及び第２のハウジング半体７１,７２を連結すると共に、第１及び第２の流路９１,９２を接続することで、交換作業は終了する。

次に、この発明に係る捕集装置７の第２実施形態について、図９ないし図１１を参照して説明する。図９は、この発明に係る捕集装置７Ａの第２実施形態を示す概略図である。

第２実施形態の捕集装置７Ａは、捕集部材保持体７４の連通孔７５の流出口７２ａ側に連結部材９６を介して捕集部材７３を連結して、複数（この場合４個）の捕集部材７３をハウジング７０内で直列に配置した場合である。

上記連結部材９６は、図９ないし図１１に示すように、連通孔７５の流出側に連通して接続される接続部９７と、接続部９７から捕集部材保持体７４の中心に向かって折曲すると共に、下方に開口して捕集部材７３を着脱可能に保持する保持部９８とで形成される第１の連結部材９６Ａと、連通孔７５の流出側に連通して接続される接続部９７と、接続部９７から下方に延在して連通する延長部９９と、延長部９９から捕集部材保持体７４の中心に向かって折曲すると共に、下方に開口して捕集部材７３を着脱可能に保持する保持部９８とで形成される第２、第３及び第４の連結部材９６Ｂ，９６Ｃ，９６Ｄとで構成されている。

この場合、第２ないし第４の連結部材９６Ｂ，９６Ｃ，９６Ｄにおいて、延長部９９は、保持部９８に捕集部材７３を保持した際に、それぞれの捕集部材７３と保持部９８とが干渉しない長さに形成されている。なお、第１の連結部材９６Ａによって最上位に位置する捕集部材７３が保持されている。

なお、第２実施形態において、その他の部分は第１実施形態と同じであるので、同一部分には同一符号を付して説明は省略する。

このように構成することにより、複数の捕集部材７３をハウジング７０内に直列に配置することができるので、処理システム１における捕集装置７の配置設計を容易にすることができる。

なお、上記第１及び第２実施形態においては、切換盤７６を手動で回転させる場合について説明したが、図１２に示すように、切換盤７６を切換駆動手段２００により回転可能に形成し、上記により検出された信号すなわち流出口７２ａ内を流れる気体Ｆの圧力情報をコントローラ３００からの制御信号に基づいて分岐流路９０の開閉弁９３を開放すると共に、切換駆動手段２００を駆動して切換盤７６の切換孔７７を捕集部材保持体７４の未使用の捕集部材７３の連通孔７５に連通するようにしてもよい。

このように構成することにより、差圧計９５が捕集部材７３の捕集機能が低下した状態の所定圧力を検出したとき、その検出信号がコントローラ３００に伝達され、コントローラ３００からの制御信号に基づいて分岐流路９０の開閉弁９３が開放すると共に、切換駆動手段２００が駆動して、切換盤７６の切換孔７７を捕集部材保持体７４の未使用の捕集部材７３が装着された連通孔７５に連通することができる。したがって、捕集部材７３の切り換えを自動的に行うことができる。

なお、図１２に示す第３実施形態において、その他の部分は第１実施形態と同じであるので、同一部分には同一符号を付して説明は省略する。

この発明に係る捕集装置を適用したレジスト塗布・現像処理システムの一例を示す概略平面図である。 上記レジスト塗布・現像処理システムの概略正面図である。 上記レジスト塗布・現像処理システムの概略背面図である。 この発明に係る捕集装置の給気・排気機構を示す概略側面図である。 この発明に係る捕集装置の第１実施形態を示す概略斜視図である。 上記捕集装置の第１実施形態を示す概略断面図である。 図６におけるＩ−Ｉ線に沿う断面図（ａ）及び、（ａ）のII部を示す拡大断面図（ｂ）である。 第１実施形態において捕集装置を分解した状態を示す概略断面図である。 この発明に係る捕集装置の第２実施形態を示す概略斜視図である。 上記捕集装置の第２実施形態を示す概略断面図である。 第２実施形態において捕集装置を分解した状態を示す概略断面図である。 この発明に係る捕集装置の第３実施形態を示す概略側面図である。

符号の説明

Ｇ 被捕集成分
７，７Ａ 捕集装置
９ 排気流路
７０ ハウジング
７１ 第１のハウジング
７１ａ 流入口
７１ｂ 窓穴
７２ 第２のハウジング
７２ａ 流出口
７３ 捕集部材
７４ 捕集部材保持体
７５ 連通孔
７６ 切換盤
７７ 切換孔
７８ 切換操作部
９０ 分岐流路
９１ 第１の流路
９２ 第２の流路
９３ 開閉弁
９５ 差圧計（差圧計測手段）
２００ 切換駆動手段
３００ コントローラ

Claims (6)

1. 流路内を流れる流体中の被捕集成分を捕集する捕集装置において、
   上記流路を分断し、流入口と流出口とを有して中空状に形成されるハウジングと、このハウジング内に収容されて、上記流路から流入する被捕集成分を捕集する複数の捕集部材と、上記ハウジング内に固定されて、ハウジングの流入口と流出口とを連通する複数の連通孔を有すると共に、各連通孔に上記捕集部材を着脱可能に保持する捕集部材保持体と、この捕集部材保持体の流入側において、捕集部材保持体に対して回動可能に連結されると共に、上記連通孔の１つと連通する切換孔を有する切換盤と、上記捕集部材の流入口側と流出口側とをハウジングの外部で連通する開閉弁が介設された分岐流路と、を具備してなり、
   使用済みの捕集部材を未使用の捕集部材に切り換える際、分岐流路の開閉弁を開放した状態で、上記切換盤を回転させ、切換孔を未使用の捕集部材を装着する連通孔に連通するように形成してなる、ことを特徴とする捕集装置。
2. 請求項１記載の捕集装置において、
   上記ハウジングは、流入口を有すると共に、上記捕集部材保持体を固定する第１のハウジング半体と、流出口を有する第２のハウジング半体とを分割可能に形成し、
   上記分岐流路は、上記第１及び第２のハウジング半体にそれぞれ連結される第１及び第２の流路同士を分離可能に形成してなる、ことを特徴とする捕集装置。
3. 請求項１又は２記載の捕集装置において、
   上記切換盤の側面に切換操作部を設け、この切換操作部を上記ハウジングの側面に設けられた窓穴を介して操作可能に形成してなる、ことを特徴とする捕集装置。
4. 請求項１ないし３のいずれかに記載の捕集装置において、
   上記ハウジングの流出口に、この流出口を流れる流体の圧力を検出する差圧計測手段を配設してなる、ことを特徴とする捕集装置。
5. 請求項１又は２記載の捕集装置において、
   上記切換盤を切換駆動手段により回動可能に形成し、
   上記ハウジングの流出口に、この流出口を流れる流体の圧力を検出する差圧計測手段を配設し、
   上記差圧計測手段により検出された信号に基づいて上記切換駆動手段及び上記分岐流路に介説された開閉弁に信号を伝達するコントローラを具備してなり、
   上記差圧計測手段により流体の圧力が所定の圧力以下を検出した際、上記コントローラからの制御信号に基づいて上記開閉弁を開放すると共に、上記切換駆動手段を駆動して、上記切換盤の切換孔を上記捕集部材の保持体の連通孔の選択された１つに連通するように形成してなる、ことを特徴とする捕集装置。
6. 請求項１ないし５のいずれかに記載の捕集装置において、
   上記流路を、半導体基板のレジスト塗布・現像処理システムを構成する少なくともレジスト塗布処理後の熱処理ユニット、反射防止膜塗布処理後の熱処理ユニット及び露光処理後の熱処理ユニットに接続してなる、ことを特徴とする捕集装置。

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