JP4832368B2 - 熱処理装置 - Google Patents
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Description
また、加熱処理後に被処理基板が載置板から上方に移動される以外は、気体供給手段から供給される気体の全部を載置板側に流し、加熱処理後に被処理基板が載置板から上方に移動される際は、被処理基板に気体が接触するのを抑制することができる。
また、加熱処理後に被処理基板が載置板から上方に移動される際は、気流分岐部材によって被処理基板に気体が接触するのを抑制することができ、また、気流分岐部材によって筐体内の上部領域に誘導された気体を、上部カバー部材に設けられた複数の案内孔を介して載置板上の被処理基板の外部周囲に均等に分散案内することができる。
60 筐体
61 給気口
70 熱板
70a 蓋体
70h 駆動部
70j N2ガス供給源(不活性ガス供給源)
71 冷却板
72 昇降駆動機構
72a 支持ピン
73 ガスノズル(不活性ガスノズル)
74 ガス量調整器
75 コントローラ(制御手段、切換制御手段)
78 駆動手段
91 気体供給ユニット
200 気流制御手段
200A 気流制御部材
200B 可変気流制御部材
200C 気流分岐部材
200D 気流制御部材
201 通気孔
202 支持軸
203 モータ(切換駆動手段)
214 案内孔
A 上部領域
B下部領域
Claims (4)
- 被処理基板を載置して所定温度に加熱する載置板と、被処理基板を上記載置板に載置又は該載置板から離間すべく載置板に対して相対移動する支持部材と、上記載置板と支持部材を収容する筐体と、この筐体の側壁に設けられた給気口を介して筐体内に気体を供給する気体供給手段と、を具備する熱処理装置において、
少なくとも上記載置板から上方に被処理基板が移動した際に、上記気体供給手段から供給される気体の上記載置板側への流れを制御する気流制御手段を具備し、
上記気流制御手段は、気体供給手段から供給される気体を載置板側に流す位置と、上記載置板側への気体の流れを阻止する位置に切換可能に形成される可変気流制御部材と、上記支持部材の移動を検出し、その検出信号に基づいて上記可変気流制御部材を切り換える切換制御手段と、を具備することを特徴とする熱処理装置。 - 被処理基板を載置して所定温度に加熱する載置板と、被処理基板を上記載置板に載置又は該載置板から離間すべく載置板に対して相対移動する支持部材と、上記載置板と支持部材を収容する筐体と、この筐体の側壁に設けられた給気口を介して筐体内に気体を供給する気体供給手段と、を具備する熱処理装置において、
少なくとも上記載置板から上方に被処理基板が移動した際に、上記気体供給手段から供給される気体の上記載置板側への流れを制御する気流制御手段を具備し、
上記気流制御手段は、気体供給手段から供給される気体を筐体内の上部領域と下部領域に分岐する気流分岐部材と、上記載置板の上方を覆う上部カバー部材と、この上部カバー部材に設けられ、上記気流分岐部材によって上記筐体内の上部領域に誘導された気体を上記載置板上の被処理基板の外部周囲に均等に分散案内する複数の案内孔と、を具備することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1又は2に記載の熱処理装置において、
上記載置板と共働して処理室を形成する蓋体と、この蓋体に設けられ、上記載置板上に載置される被処理基板の中心部から放射状に不活性ガスを吐出する不活性ガスノズルと、この不活性ガスノズルに供給する不活性ガスの供給量を調整可能なガス量調整器と、上記支持部材及び蓋体の移動を検出し、その検出信号に基づいて上記ガス量調整器を操作し、被処理基板と不活性ガスノズルとの離間量に応じてガス量を増減する制御手段と、を更に具備する、ことを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の熱処理装置において、
上記筐体内に、上記載置板の上方に進退可能に移動し、上記支持部材との間で被処理基板を受け渡しする冷却板を更に具備する、ことを特徴とする熱処理装置。
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JP2007160936A JP4832368B2 (ja) | 2007-06-19 | 2007-06-19 | 熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007160936A JP4832368B2 (ja) | 2007-06-19 | 2007-06-19 | 熱処理装置 |
Publications (2)
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JP2009004404A JP2009004404A (ja) | 2009-01-08 |
JP4832368B2 true JP4832368B2 (ja) | 2011-12-07 |
Family
ID=40320508
Family Applications (1)
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JP2007160936A Active JP4832368B2 (ja) | 2007-06-19 | 2007-06-19 | 熱処理装置 |
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2007
- 2007-06-19 JP JP2007160936A patent/JP4832368B2/ja active Active
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