JP2009043762A - ヒューズ回路 - Google Patents

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Abstract

【課題】従来のヒューズ回路では、ヒューズが再癒着した場合に確実に導通状態を検出できない問題があった。
【解決手段】本発明のヒューズ回路は、第1の電源ラインGNDと、第2の電源ラインVDDと、第1の電源ラインGNDと出力端子との間に接続される電流源11と、出力端子DETと接続されるドレインを有し、出力端子DETに対して電流源11よりも大きな電流供給能力又は電流引き抜き能力を有する第1のトランジスタTr5と、第1のトランジスタTr5のゲートと共通接続されるゲートを有する第2のトランジスタTr4と、第1のトランジスタTr5のトランジスタのソースと第2の電源ラインVDDとの間に直列に接続される第1の抵抗素子R2及びヒューズF1と、第2のトランジスタTr4のトランジスタのソースと第2の電源ラインVDDとの間に接続される第2の抵抗素子R1とを有するものである。
【選択図】図1

Description

本発明はヒューズ回路に関し、特にカレントミラー回路の動作によってヒューズの切断状態を判定するヒューズ回路に関する。
近年、1つの半導体チップ上に形成される素子数が膨大になってきている。そのため、全ての素子を欠陥無く製造することが困難になってきており、製造歩留まりの低下が問題となっている。そこで、不良素子を同じチップ上に形成された冗長素子に置き換えて、不良チップを救済する回路を有する半導体チップが提案されている。このような置き換えを行う回路では、ヒューズなどの状態記憶素子を用いて、その未切断/切断状態に応じて既存素子を使用するか冗長素子を使用するかを選択する。また、このような回路ではヒューズの未切断/切断状態を判定するヒューズ回路が用いられる。そこで、ヒューズ回路の一例が特許文献1(以下、従来例と称す)に開示されている。
従来例に示されるヒューズ回路100の回路図を図21に示す。図21に示すように、ヒューズ回路100は、カレントミラー回路を介して出力端子DETに供給される電流I12及び電流I14を生成する。このとき、ヒューズ回路100では、ヒューズF10と抵抗R10との抵抗比に基づいて電流I12及び電流I14の大小関係を設定する。ヒューズF10は、未切断状態では抵抗R10よりも抵抗値が十分小さく、切断状態では抵抗R10よりも抵抗値が十分大きくなる。そのため、ヒューズF10が未切断状態では電流I14が電流I12よりも大きくなり、切断状態では電流I12が電流I14よりも大きくなる。つまり、ヒューズF10の未切断/切断状態に応じて電流I12と電流I14との大小関係が逆転して、出力端子DETの電位が反転する。後段の回路は、出力端子DETの電位からヒューズの未切断/切断状態を判定することが可能になる。
特開2005−332964号公報
しかしながら、ヒューズF10は、切断後に再癒着が発生する可能性がある。ヒューズF10で再癒着が発生すると、ヒューズF10の抵抗値は切断状態のときよりも小さくなる。そのため、ヒューズF10の再癒着後の抵抗値と抵抗R10の抵抗値との関係によっては、電流I12及び電流I14が所望の大小関係とならない場合がある。また、抵抗R10は製造工程において、抵抗値のばらつきを有する。抵抗値が大きくばらついた場合、やはりヒューズF10の抵抗値と抵抗R10との抵抗比の関係は所望の比率とならない。このようなことから、ヒューズ回路100は、ヒューズF10の未切断/切断状態を誤判定する可能性がある。
本発明の一態様は、第1の電源ラインと、第2の電源ラインと、前記第1の電源ラインと出力端子との間に接続される電流源と、前記出力端子と接続されるドレイン又はコレクタを有し、前記出力端子に対して前記電流源よりも大きな電流供給能力又は電流引き抜き能力を有する第1のトランジスタと、前記第1のトランジスタのゲート又はベースと共通接続されるゲート又はベースを有する第2のトランジスタと、前記第1、第2のトランジスタのうち一方のトランジスタのソース又はエミッタと前記第2の電源ラインとの間に直列に接続される第1の抵抗素子及びヒューズと、前記第1、第2のトランジスタのうち他方のトランジスタのソース又はエミッタと前記第2の電源ラインとの間に接続される第2の抵抗素子と、を有するヒューズ回路である。
本発明にかかるヒューズ回路は、第1、第2のトランジスタのソース又はエミッタにそれぞれ抵抗素子が接続されるため、ヒューズの抵抗値を第1、第2のトランジスタのソース又はエミッタ側の抵抗値の差とすることが可能である。そのため、ヒューズに再癒着が発生した場合であっても、ヒューズの抵抗値に基づき第1のトランジスタの電流供給能力又は引き抜き能力を確実に制御することができる。
本発明にかかるヒューズ回路によれば、ヒューズの未切断/切断状態を確実に判定することが可能である。
実施の形態1
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1に本実施の形態にかかるヒューズ回路1の回路図を示す。図1に示すように、ヒューズ回路1は、基準電流源10、第1の電流源(例えば、第1のカレントミラー)11、第2の電流源(例えば、第2のカレントミラー)12、記憶回路13、出力端子DET、抵抗R1、R2、ヒューズF1、カレントミラー制御用トランジスタ20、ヒューズ切断用トランジスタ21を有している。
基準電流源10は、PMOSトランジスタTr6、NMOSトランジスタTr7、インバータINVを有している。PNOSトランジスタTr6とNMOSトランジスタTr7は、トランスファゲートを構成する。トランスファゲートは、第2の電源ライン(以下、電源ラインVDDと称す)と第1のカレントミラー11との間に接続される。PMOSトランジスタTr6の制御端子(以下、ゲートと称す)には、インバータINVを介して制御端子CNT1から電流制御信号が入力され、NMOSトランジスタTr7のゲートには制御端子CNT1から電流制御信号が直接入力される。基準電流源10は、トランスファゲートが導通状態である場合のトランジスタの抵抗値に基づき基準電流I1を生成する。
第1のカレントミラー11は、NMOSトランジスタTr1〜Tr3を有している。NMOSトランジスタTr1は、第2の端子(以下、ドレインと称す)に基準電流源10が出力する基準電流I1が入力される。NMOSトランジスタTr1は、ドレインとゲートとが共通に接続され、第1の端子(以下、ソースと称す)が第1の電源ライン(以下、接地ラインGNDと称す)と金属配線等の配線よって接続される。NMOSトランジスタTr2、Tr3のゲートは、NMOSトランジスタTr1のゲートと共通に接続される。NMOSトランジスタTr2は、ドレインから中間電流I2を出力し、ソースが接地ラインGNDと金属配線等の配線よって接続される。NMOSトランジスタTr3は、ドレインから第1の出力電流Io1を出力し、ソースが接地ラインGNDと金属配線等の配線よって接続される。なお、NMOSトランジスタTr1のドレインと接地ラインGNDとの間にはカレントミラー制御用トランジスタ(本実施の形態においてはNMOSトランジスタを使用する)20が接続される。カレントミラー制御用トランジスタ20は、ゲートに制御端子CNT2からカレントミラー制御信号が入力される。
第2のカレントミラー12は、PMOSトランジスタTr4、Tr5を有している。本実施の形態では、PMOSトランジスタTr4を第2のトランジスタとして使用し、PMOSトランジスタTr5を第1のトランジスタとして使用する。また、第2のカレントミラー12と、電源ラインVDDとの間には抵抗R1、抵抗R2、ヒューズF1が接続される。本実施の形態では、第1の抵抗素子として抵抗R2を使用し、第2の抵抗素子として抵抗R1を使用する。
PMOSトランジスタTr4は、ドレインがNMOSトランジスタTr2のドレインに接続され、中間電流I2が入力される。PMOSトランジスタTr4は、ドレインとゲートが共通に接続され、ソースと電源ラインVDDとの間に抵抗R1が接続される。PMOSトランジスタTr5は、ゲートがPMOSトランジスタTr4のゲートと共通に接続される。PMOSトランジスタTr5は、ソースと電源ラインVDDとの間に、抵抗R2とヒューズF1が直列に接続される。図1に示す例では、抵抗R2がPMOSトランジスタTr5側に配置され、ヒューズF1が電源ラインVDD側に配置される。PMOSトランジスタTr5は、ドレインから第2の出力電流Io2を出力する。また、PMOSトランジスタTr5のドレインは、NMOSトランジスタTr3のドレインと接続され、これらのドレインの接続点に出力端子DETが接続される。なお、PMOSトランジスタTr5のソースとヒューズF1との接続点と接地ラインGNDとの間にはヒューズ切断用トランジスタ(本実施の形態ではNMOSトランジスタを使用する)21が接続される。ヒューズ切断用トランジスタ21のゲートは、制御端子CNT3からヒューズ切断制御信号が入力される。
出力端子DETには記憶回路13が接続される。記憶回路13は、NANDゲート14、ラッチ回路15を有している。NANDゲート14は、第1の入力端子が出力端子DETに接続され、第2の入力端子にENABLE信号が入力される。NANDゲート14は、ENABLE信号が許可状態(例えば、ハイレベル)である場合に第1の入力端子に入力される信号レベルを反転した論理レベルを出力し、ENABLE信号が遮断状態(例えば、ロウレベル)である場合に出力をハイレベルに固定する。なお、以下の説明ではNANDゲート14の出力信号をゲーティング出力信号Gate_oと称す。ラッチ回路15は、第1の入力端子がNANDゲート14に接続され、第2の入力端子にRESET信号が入力される。ラッチ回路15は、例えば、RESET信号がリセット解除状態(例えば、ロウレベル)である場合に第1の入力端子にハイレベルからロウレベルへの立ち下がりエッジが入力された場合に出力をロウレベルにする。そして、その後第1の入力端子の信号レベルがハイレベルとなってもロウレベルの出力を保持する。また、ラッチ回路15は、RESET信号がリセット解除状態である場合に第1の入力端子がハイレベルから変化しない場合、このハイレベルの出力を維持する。一方、RESET信号がリセット状態(例えば、ハイレベル)になると出力をハイレベルにリセットする。この記憶回路13の出力論理を示す表を図2に示す。図2に示すように、本実施の形態においては、ヒューズが切断された状態では記憶回路13はハイレベルを出力し、ヒューズが未切断の状態では記憶回路13はロウレベルを出力する。
ここで、本実施の形態におけるトランジスタのトランジスタサイズ比の設定と抵抗の抵抗値の設定について説明する。なお、本実施の形態におけるこれらの設定は一例であり、ヒューズF1の接続箇所あるいはヒューズ回路に必要な特性に応じて種々の設定が可能である。本実施の形態では、NMOSトランジスタTr1のトランジスタサイズW1とTr2のトランジスタサイズW2がW1=W2とし、NMOSトランジスタTr3のトランジスタサイズW3がW2/W3=2となるように設定する。また、PMOSトランジスタTr4のトランジスタサイズW4とPMOSトランジスタTr5のトランジスタサイズW5は、W4=W5となるように設定する。抵抗値に関しては、抵抗R1と抵抗R2とは、実質的に同じ抵抗値となるように設定することが好ましい。これによって、ヒューズF1の未切断時は、第2の出力電流Io2が第1の出力電流Io1に対して2倍の大きさとなる。なお、このトランジスタのサイズ比は、MOSトランジスタである場合、トランジスタのゲート長Lとゲート幅Wとの比(W/L)で表される。すなわち、NMOSトランジスタTr2は、NMOSトランジスタTr3に対して(W/L)で表される比が2倍となる。なお、図面中のW1〜W5は各トランジスタのサイズ比を示す記号である。
また、ヒューズ回路1において用いられる抵抗R1、R2の変形例を図3に示す。図3に示すヒューズ回路1aでは、抵抗R1、R2に相当する抵抗素子としてPMOSトランジスタPR1、PR2を用いる。PMOSトランジスタPR1、PR2は、それぞれゲートとドレインが接続されるダイオード接続となっている。そして、PMOSトランジスタPR1、PR2が導通した状態におけるソースドレイン間の抵抗値(以下、オン抵抗と称す)を用いて抵抗R1、R2の代わりとする。なお、PMOSトランジスタPR1、PR2は、ソースが電源ラインVDDに接続される。また、PMSOトランジスタPR1のドレインは、PMOSトランジスタTr4のソースに接続され、PMOSトランジスタPR2のドレインは、ヒューズF1を介してPMOSトランジスタTr5のソースに接続される。ここで、PMOSトランジスタPR1、PR2を用いる場合、PMOSトランジスタPR2をヒューズF1の電源ラインVDD側に接続する。これによって、PMOSトランジスタPR1、PR2は、バックゲート電圧が同じになり、さらにソース電圧も同じになるため、オン抵抗の相対精度が向上する。また、切断用電源をヒューズF1に確実に印加するためにヒューズF1の電源ライン側端子に切断用電源ラインVDD2を電源ラインVDDとは別に設けることが好ましい。
次に、ヒューズ回路1の動作について説明する。ヒューズ回路1の動作を示すタイミングチャートを図4、図5に示す。図4に示すタイミングチャートは、ヒューズ回路1においてヒューズF1を切断し、切断されたヒューズF1の状態を検出する場合のものである。また、図5に示すタイミングチャートは、ヒューズ回路1においてヒューズF1の切断を行わず、ヒューズF1が未切断であることを検出するものである。
まず、図4に示すタイミングチャートを参照してヒューズF1の切断動作及び切断したヒューズF1の検出動作について説明する。図4に示すように、ヒューズF1の切断動作は、ヒューズF1の状態を検出する前に設定されるヒューズ設定区間において行われる。ヒューズF1を切断する場合、ヒューズ切断制御信号が所定の期間の間ハイレベルとなる。そして、ヒューズ切断制御信号がハイレベルである間、ヒューズ切断用トランジスタ21が導通状態となる。これによって、ヒューズF1に電流が流れ、ヒューズF1が切断される。一方、第1のカレントミラー11及び第2のカレントミラー12は、動作する必要がないため、電流制御信号をロウレベルとして基準電流源10のトランスファゲートを非導通状態とする。また、カレントミラーの誤動作を防止するため、カレントミラー制御信号をハイレベルとして、カレントミラー制御用トランジスタ20を導通状態とする。これによって、NMOSトランジスタTr1のゲート、ソース、ドレインの各端子の電圧が接地電圧となり、第1のカレントミラー11は動作しない状態となる。ヒューズF1の切断後は、ヒューズ切断制御信号はロウレベルになる。なお、ヒューズF1は、未切断状態の抵抗値よりも切断状態の抵抗値の方が遙かに大きくなる。
次に、第1のカレントミラー11及び第2のカレントミラー12を動作させる。ここで、第1のカレントミラー11及び第2のカレントミラー12が安定して動作するまでの期間をカレントミラー動作安定区間と称す。カレントミラー安定動作区間では、電流源制御信号をロウレベルからハイレベルに切り替え、カレントミラー制御信号をハイレベルからロウレベルに切り替える。これによって、基準電流源10が動作して基準電流I1が生成される。また、カレントミラー制御用トランジスタ20が非導通状態となるため、第1のカレントミラー11及び第2のカレントミラー12が動作する。一方、ヒューズ切断用制御信号はロウレベルであるため、ヒューズ切断用トランジスタ21は非導通状態である。
このとき、基準電流I1とNMOSトランジスタTr1〜NMOSトランジスタTr3のサイズ比とに基づき、第1のカレントミラー回路11は、中間電流I2及び第1の出力電流Io1を出力する。本実施の形態においては、各電流の関係は、I1/2=I2/2=Io1である。また、第2のカレントミラー12では、中間電流I2とNMOSトランジスタTr4とNMOSトランジスタTr5のサイズ比とに基づき、第2の出力電流Io2を出力する。しかし、ヒューズF1が切断されているため、PMOSトランジスタTr5に電流を流そうとするとヒューズF1の抵抗値によって、PMOSトランジスタTr5のソースの電位低下がPMOSトランジスタTr4のソースの電圧低下より大きくなる。そのため、PMOSトランジスタTr5のソース・ゲート間にトランジスタが十分動作するだけの電位差が発生しない。従って、第2の出力電流Io2はほとんど流れない。つまり、Io2=0であって、Io1=I1/2となることから、出力端子DETに供給される電流はIo2−Io1=−I1/2となる。このことから、出力端子DETの判定電圧は接地電圧(ロウレベル)となる。
続いて、記憶回路13に出力端子DETの判定電圧を取り込む。この取り込みに用いる期間を以下ではラッチ区間と称す。ラッチ区間では、まず、RESET信号をハイレベルからロウレベルにしてリセット解除状態とする。その後、ENABLE信号をロウレベルからハイレベルに切り替えて許可状態にする。図4に示す例では、判定電圧がロウレベルであるため、NANDゲート14が出力するゲーティング出力信号Gate_oはハイレベルを維持する。従って、リセット解除状態であるものの、ラッチ回路15の第1の入力端子の電圧レベルが変化しないため、ラッチ回路15が出力する救済信号はハイレベルを維持する。なお、ラッチ区間の終了時点においては、ENABLE信号はハイレベルからロウレベルに切り替わり遮断状態になる。これによって、ラッチ回路15の出力は、その後の判定電圧の変化の影響を受けない。また、ラッチ区間後においてもRESET信号のリセット解除状態を維持することで、ラッチ回路15の出力を維持する。
このようにして記憶回路15にヒューズの切断状態が取り込まれた後の期間を、以下では論理固定期間と称す。論理固定期間では、電流制御信号をロウレベルとし、さらにカレントミラー制御信号をハイレベルとする。これによって、第1のカレントミラー11及び第2のカレントミラー12に供給される基準電流I1を遮断し、さらに第1のカレントミラー11及び第2のカレントミラー12の動作を停止する。つまり、第1のカレントミラー11及び第2のカレントミラー12において消費される電流が遮断されながら、記憶回路13はハイレベルを保持して、ヒューズの切断状態を記憶する。
次に、図5に示すタイミングチャートを参照してヒューズF1の未切断状態を検出する動作について説明する。図5に示すように、この場合、ヒューズ設定区間においてヒューズ切断制御信号はロウレベルを維持する。これによって、ヒューズ切断用トランジスタ21が非導通状態となるため、ヒューズF1は未切断の状態を維持する。一方、第1のカレントミラー11及び第2のカレントミラー12は、動作する必要がないため、電流制御信号をロウレベルとして基準電流源10のトランスファゲートを非導通状態とする。また、カレントミラーの誤動作を防止するため、カレントミラー制御信号をハイレベルとして、カレントミラー制御用トランジスタ20を導通状態とする。これによって、NMOSトランジスタTr1のゲート、ソース、ドレインの各端子の電圧が接地電圧となり、第1のカレントミラー11は動作しない状態となる。
続いて、カレントミラー動作安定区間において、第1のカレントミラー11及び第2のカレントミラー12を動作させる。カレントミラー安定動作区間では、電流源制御信号をロウレベルからハイレベルに切り替え、カレントミラー制御信号をハイレベルからロウレベルに切り替える。これによって、基準電流源10が動作して基準電流I1が生成される。また、カレントミラー制御用トランジスタ20が非導通状態となるため、第1のカレントミラー11及び第2のカレントミラー12が動作する。
このとき、基準電流I1とNMOSトランジスタTr1〜NMOSトランジスタTr3のサイズ比とに基づき、第1のカレントミラー回路11は、中間電流I2及び第1の出力電流Io1を出力する。本実施の形態においては、各電流の関係は、I1/2=I2/2=Io1である。また、第2のカレントミラー12では、中間電流I2とPMOSトランジスタTr4とPMOSトランジスタTr5のサイズ比とに基づき、第2の出力電流Io2を出力する。このとき出力される第2の出力電流Io2は、PMOSトランジスタTr4、Tr5のトランジスタサイズ比が同じであり、さらに抵抗R1、R2の抵抗値が同じであることから中間電流I2と実質的に同じ電流(Io2=I2)となる。そして、出力端子DETに供給される電流はIo2−Io1=I1/2となる。このことから、出力端子DETの判定電圧は電源電圧(ハイレベル)となる。
続いて、ラッチ区間において記憶回路13に出力端子DETの判定電圧を取り込む。ラッチ区間では、まず、RESET信号をハイレベルからロウレベルにしてリセット解除状態とする。その後、ENABLE信号をロウレベルからハイレベルに切り替えて許可状態にする。図4に示す例では、判定電圧がハイレベルであるため、NANDゲート14が出力するゲーティング出力信号Gate_oはハイレベルからロウレベルに切り替わる。従って、ラッチ回路15の第1の入力端子の電圧レベルが変化して、ラッチ回路15が出力する救済信号はハイレベルからロウレベルに切り替わる。なお、ラッチ区間の終了時点においては、ENABLE信号はハイレベルからロウレベルに切り替わり遮断状態になる。これによって、ラッチ回路15の出力は、その後の判定電圧の変化の影響を受けない。また、ラッチ区間後においてもRESET信号のリセット解除状態を維持することで、ラッチ回路15の出力を維持する。
図5に示す例においても、論理固定期間では、電流制御信号をロウレベルとし、さらにカレントミラー制御信号をハイレベルとする。これによって、第1のカレントミラー11及び第2のカレントミラー12に供給される基準電流I1を遮断し、さらに第1のカレントミラー11及び第2のカレントミラー12の動作を停止する。つまり、第1のカレントミラー11及び第2のカレントミラー12において消費される電流が遮断されながら、記憶回路13はハイレベルを保持して、ヒューズの未切断状態を記憶する。
上記実施の形態では、PMOSトランジスタTr5のソースと電源ラインVDDとの間にヒューズF1が接続される場合について説明したが、ヒューズF1はNMOSトランジスタTr2、Tr3のソースと接地ラインGNDとの間あるいはPMOSトランジスタTr4のソースと電源ラインVDDとの間に接続することも可能である。また、各トランジスタのサイズ比に関しても変更することが可能である。そこで、ヒューズF1を接続するトランジスタの違い及びトランジスタサイズ比の設定の種類について図6に例を示す。なお、上記説明の実施例は、ヒューズを接続するトランジスタがPMOSトランジスタTr5であって、3)に示す条件である場合である。図6に示すように、いずれのトランジスタにヒューズF1を接続する場合であってもトランジスタサイズ比は出力電流の大小関係がヒューズ切断によって反転するように設定すれば良い。また、ヒューズF1の接続箇所に応じてヒューズ切断用トランジスタの接続を適宜変更する必要がある。なお、ヒューズF1をPMOSトランジスタTr4に接続した場合、出力電流の大小関係が他の場合と反転する。つまり、ヒューズF1の未切断状態と切断状態を判定する出力端子DETの論理が他の場合と反転する。そのため、記憶回路13のNANDゲート14をANDゲートに置き換える必要がある。
また、第1のカレントミラー11及び第2のカレントミラー12を構成するトランジスタのトランジスタサイズ比を同じにして抵抗R1、R2の比によって出力電流を制御することも可能である。この場合の設定値の種類について図7に例を示す。図7に示す例のうちPMOSトランジスタTr5にヒューズを接続する場合、抵抗R1と抵抗R2の抵抗比を1:1/Nとすることで、ヒューズ切断前の出力電流の関係はIo1<Io2(Io1=1に対し、Io2=N)となり、ヒューズ切断後の出力電流の関係はIo1>Io2(Io1=1に対し、Io2=0)となる。つまり、抵抗比によって出力電流値を設定する場合においても、ヒューズ切断前と切断後で第1の出力電流と第2の出力電流の大小関係が逆転するように適宜抵抗比を設定すればよい。なお、抵抗比を示すNは、1よりも大きな数である。また、このNは、切断したヒューズが再癒着した場合の抵抗値の最小値を考慮して2〜3程度とすることが好ましい。
ここで、ヒューズ回路1におけるヒューズF1の抵抗値とヒューズ回路1の出力電圧との関係を図8に示す。なお、図8に示すグラフは、第1のカレントミラー11及び第2のカレントミラー12を構成するトランジスタのトランジスタサイズ比をW1=W2、W2/W3=2、W4=W5とし、抵抗R1、R2をそれぞれ1kΩとし、電源電圧は3.3Vとした場合における出力電圧(出力端子DETの電圧)を示すものである。図8に示すように、ヒューズ回路1は、ヒューズF1の抵抗値が3kΩ以上の場合、出力電圧が0.5V以下である。そして、ヒューズF1の抵抗値が3kΩより小さくなるに従って出力電圧が上昇し、ヒューズF1の抵抗値が1kΩ以下では出力電圧は2.5V以上になる。また、ヒューズF1は、再癒着が発生した場合における最小の抵抗値が10kΩ程度である。ここで、記憶回路13がハイレベルとロウレベルとを判定する閾値電圧を電源電圧の半分の1.8Vとする。つまり、ヒューズ回路1は、ヒューズF1の抵抗値が3kΩ程度までであれば、記憶回路13がロウレベルとして認識可能な電圧を出力する。一方、ヒューズF1の再癒着時の最小抵抗値は10kΩ程度である。このことより、ヒューズ回路1は、ヒューズF1に再癒着が発生した場合であっても、ヒューズF1が切断された状態を誤認識することがない。
ヒューズF1は、未切断状態では金属配線とほぼ同等の抵抗値を有し、切断状態では金属配線よりも遙かに大きい抵抗値(例えば、金属配線よりも2桁以上大きい抵抗値)を有する。このような、ヒューズF1の切断状態を判定するために、ヒューズ回路1は、ヒューズF1が接続されるPMOSトランジスタTr5のソースと、PMOSトランジスタTr5とカレントミラーを構成するPMOSトランジスタTr4のソースとに、それぞれ抵抗R1、R2を接続する。これによって、ヒューズF1の切断後に再癒着が発生してヒューズF1の抵抗値が小さくなった場合であっても、PMOSトランジスタTr4、Tr5の抵抗値の差は、抵抗R1、R2がない場合に比べて大きくなる。つまり、ヒューズF1に再癒着が発生した場合であっても、カレントミラーを構成するトランジスタのソースに接続される抵抗成分の抵抗値は、切断したヒューズF1の抵抗成分を的確に反映させたものとなる。従って、ヒューズ回路1は、切断されたヒューズF1において再癒着が発生した場合であっても、ヒューズF1の導通状態を誤判定することがない。換言すれば、ヒューズ回路1は、ヒューズF1が再癒着したとしても第1の出力電流Io1と第2の出力電流Io2の大小関係が反転することはなく、確実にヒューズF1の切断状態を判定することが可能である。本実施の形態にかかるヒューズ回路1は、ヒューズが未切断の状態においては第2の電流源12の供給電流又は引き抜き電流によって出力端子の電圧値を設定し、ヒューズが切断された状態においては第1の電流源11の供給電流又は引き抜き電流によって出力端子の電圧値を設定する。つまり、ヒューズ回路1は、ヒューズが切断された状態であるか未切断の状態であるかに応じて、第1の電流源の電流供給能力又は電流引き抜き能力と第2の電流源の電流供給能力又は電流引き抜き能力との関係を逆転させる。そのため、ヒューズを切断した後に再癒着が発生した場合であっても、出力端子の電圧値を確実に設定することができる。
また、ヒューズ回路1は、出力端子DETに記憶回路13を接続して、判定結果を保持して後段回路に出力する。そして、基準電流源10は基準電流の出力を停止することが可能である。このことより、ヒューズ回路1は、ヒューズF1の未切断/切断状態の判定後にカレントミラーに供給する電流を遮断し、カレントミラーでの消費電流を低減することが可能である。つまり、ヒューズ回路1によれば、ヒューズF1の未切断/切断状態を判定した後は、消費電力を低減することが可能である。
なお、上記記憶回路13の出力論理は、反転させることも可能である。記憶回路13の出力論理を反転させる場合に用いる記憶回路13aの回路図を図9に示す。図9に示すように、記憶回路13aは、NORゲート14aとNORゲートによって構成されるラッチ回路15aを有する。ラッチ回路15aは、ラッチ回路15のNANDゲートをNORゲートに置き換えたものである。また、記憶回路13aの出力論理を示す表を図10に示す。図10に示すように、記憶回路13aは、ヒューズF1が切断された状態でロウレベルを出力し、ヒューズF1が未切断の状態でハイレベルを出力する。
また、記憶回路13aを使用した場合におけるヒューズ回路1の動作を示すタイミングチャートを図11、図12に示す。なお、ここでは、記憶回路13を使用した場合と記憶回路13を使用した場合とで異なる部分についてのみ説明する。図11は、ヒューズF1の切断動作及び切断されたヒューズF1の検出動作を示すものである。図11に示すように、記憶回路13aを使用した場合、ENABLE信号の論理が記憶回路13aと反転する。そして、ラッチ区間において、ENABLE信号が許可状態(ロウレベル)になると、NORゲート14aが出力するゲーティング出力信号Gate_oがロウレベルからハイレベルに切り替わる。そして、リセット解除状態でハイレベルであったラッチ回路15aの出力がゲーティング出力信号Gate_oの立ち下がりに応じてロウレベルに切り替わる。つまり、救済信号がロウレベルとなる。
一方、図12は、ヒューズF1が未切断の状態を検出する場合を示すものである。図12に示すように、この場合、ラッチ区間において、ENALBE信号が許可状態になっても、NORゲート14aが出力するゲーティング出力信号Gate_oはロウレベルを維持する。従って、ラッチ回路15aは出力をハイレベルのまま維持する。
実施の形態2
実施の形態2にかかるヒューズ回路2の回路図を図13に示す。図13に示すように、実施の形態2にかかるヒューズ回路2は、実施の形態1にかかるヒューズ回路1のNMOSトランジスタTr1〜Tr3のソースと接地ラインGNDとの間に、それぞれ抵抗Ri1〜Ri3を接続したものである。抵抗Ri1〜Ri3の抵抗値は、NMOSトランジスタTr1〜Tr3のサイズ比に応じた比で設定すれば良い。本実施の形態では、NMOSトランジスタTr1〜Tr3のサイズ比W1:W2:W3が1:1:1であるので、抵抗Ri1〜Ri3の抵抗比も1:1:1で設定する。
カレントミラー回路では、カレントミラーを構成するトランジスタのソース側に抵抗を接続することで、入力電流と折り返し電流とのミラー比の誤差を低減することが可能である。つまり、実施の形態2にかかるヒューズ回路2は、基準電流I1と中間電流I2のミラー比の精度、及び、基準電流I1と第1の出力電流Io1のミラー比の精度をヒューズ回路1よりも高くすることが可能である。これによって、ヒューズ回路2は、ヒューズ回路1よりも確実にヒューズF1の未切断/切断状態を検出することが可能である。
実施の形態3
実施の形態3にかかるヒューズ回路3の回路図を図14に示す。図14に示すように、ヒューズ回路3は、ヒューズ回路1における第1のカレントミラー11と第2のカレントミラー12とをバイポーラトランジスタを用いて構成した第1のカレントミラー11aと第2のカレントミラー12aを有している。バイポーラトランジスタは、MOSトランジスタのゲートに相当する制御端子としてベースを有し、ドレインに相当する第1の端子としてコレクタを有し、ソースに相当する第2の端子としてエミッタを有している。
第1のカレントミラー11aは、NPNトランジスタTr11〜Tr13を有している。NPNトランジスタTr11はNMOSトランジスタTr1に相当し、NPNトランジスタTr12はNMOSトランジスタTr2に相当し、NPNトランジスタTr13はNMOSトランジスタTr3に相当する。本実施の形態においては、NPNトランジスタTr11〜Tr13のトランジスタサイズE1〜E3は同じに設定する。
第2のカレントミラー12aは、PNPトランジスタTr14、Tr15を有している。PNPトランジスタTr14はPMOSトランジスタTr4に相当し、PNPトランジスタTr15はPMOSトランジスタTr5に相当する。ここで、PNPトランジスタTr5のトランジスタサイズE5は、PNPトランジスタTr4のトランジスタサイズE4と同じである。なお、バイポーラトランジスタにおけるトランジスタサイズは、エミッタ領域の面積によって定義される。
バイポーラトランジスタでカレントミラーを構成した場合、MOSトランジスタでカレントミラーを構成するよりも折り返し電流のミラー比を向上させることが可能である。これは、MOSトランジスタよりもバイポーラトランジスタの方がアーリー電圧が高いためである。つまり、ヒューズ回路3は、ヒューズ回路1よりもミラー比を向上させることが可能であり、高精度に設定された電流値に基づき確実な未切断/切断状態の検出を行うことが可能である。なお、ヒューズ回路3においても、図6に示すようなトランジスタ比の変更及び図7に示すような抵抗の付加による変形は可能である。
実施の形態4
実施の形態4にかかるヒューズ回路4の回路図を図15に示す。図15に示すように、ヒューズ回路4は、第1のカレントミラー11aと第2のカレントミラー12を有している。つまり、ヒューズ回路4は、第1のカレントミラーと第2のカレントミラーとを異なる形態のトランジスタで構成したものである。カレントミラーをこのような構成としても、ヒューズF1の切断の前後で、第1の出力電流Io1と第2の出力電流Io2との大小関係が逆転するように設定することで、上記実施の形態と同様の効果を得ることが可能である。なお、同一のカレントミラーを構成するトランジスタは同一の形態のトランジスタを用いることが好ましい。なお、ヒューズ回路4においても、図6に示すようなトランジスタ比の変更及び図7に示すような抵抗の付加による変形は可能である。
実施の形態5
実施の形態5にかかるヒューズ回路5の回路図を図16に示す。図16に示すように、ヒューズ回路5は、複数のヒューズ(図中のF1〜F3)を有する。また、ヒューズ回路5は、第1の電流源として第1のカレントミラー11bを有し、第2の電流源として第2のカレントミラー12bを有する。なお、図16において上記出力端子DETに対応する端子は、出力端子DET1である。
第1のカレントミラー11bは、第1のカレントミラー11に対してNMOSトランジスタTr21、Tr22を追加したものである。NMOSトランジスタTr21、Tr22は、ゲートがNMOSトランジスタTr1のゲートと共通に接続され、ソースが接地ラインGNDに接続される。NMOSトランジスタTr21のドレインは出力端子DET2に接続される。NMOSトランジスタTr22のドレインは出力端子DET3に接続される。
第2のカレントミラー12bは、第2のカレントミラー12に対してPMOSトランジスタTr23、Tr24を追加したものである。PMOSトランジスタTr23、Tr24は、ゲートがPMOSトランジスタTr4のゲートと共通に接続される。PMOSトランジスタTr23は、ソースが抵抗R3及びヒューズF2を介して電源ラインVDDに接続され、ドレインが出力端子DET2に接続される。PMOSトランジスタTr24は、ソースが抵抗R4及びヒューズF3を介して電源ラインVDDに接続され、ドレインが出力端子DET3に接続される。
つまり、ヒューズ回路5は、ヒューズ回路1にヒューズF2、F3を追加し、これに対応して、抵抗R3、R4及び第1、第2の電流源を追加したものである。本実施の形態では、ヒューズF2に対応する第1、第2の電流源としてNMOSトランジスタTr21及びPMOSトランジスタTr23が設けられ、ヒューズF3に対応する第1、第2の電流源としてNMOSトランジスタTr22及びPMOSトランジスタTr24が設けられる。
ここで、本実施の形態では、NMOSトランジスタTr21が出力する第1の出力電流Io3とPMOSトランジスタTr23が出力する第2の出力電流Io4との関係は、ヒューズF2が未切断の状態においてIo3<Io4となり、ヒューズF2が切断された状態においてIo3>Io4となる。また、NMOSトランジスタTr22が出力する第1の出力電流Io5とPMOSトランジスタTr24が出力する第2の出力電流Io6との関係は、ヒューズF2が未切断の状態においてIo3<Io4となり、ヒューズF2が切断された状態においてIo3>Io4となる。この出力電流の設定方法は、実施の形態1と同様に、各トランジスタのトランジスタサイズの比に基づき設定する。本実施の形態では、NMOSトランジスタTr21、Tr23のトランジスタサイズをNMOSトランジスタTr3と同様に1/N倍とし、その他のトランジスタのトランジスタサイズを1倍として設定する。
また、本実施の形態では、ヒューズ切断用トランジスタ21のドレインとヒューズF1〜F3の間に切り替えスイッチSWを接続する。切り替えスイッチSWは、切断するヒューズを選択して、選択したヒューズとヒューズ切断用トランジスタ21aを接続する。
上記説明より、ヒューズ回路5は、複数のヒューズに対応してヒューズ回路1における第1、第2のカレントミラーを変形したものである。つまり、ヒューズ回路5においても、ヒューズ回路1と同様に確実なヒューズ切断状態の検出を行うことができる。また、ヒューズ回路5では、1つの基準電流源を用いて、複数のヒューズの切断状態を検出できる。つまり、ヒューズの数に応じた基準電流源を準備することなく、複数のヒューズの切断状態の検出を行うことが可能である。そのため、ヒューズの増加分に対して消費電力と回路面積の増加とを抑制することが可能である。
実施の形態6
実施の形態6にかかるヒューズ回路6の回路図を図17に示す。図17に示すように、ヒューズ回路6は、図6に示す表において、NMOSトランジスタTr3にヒューズF1を接続した場合の例である。本実施の形態では、NMOSトランジスタTr3のトランジスタサイズ比を他のトランジスタのN倍に設定している。本実施の形態では、第1の電流源を第2のカレントミラー12とし、第2の電流源を第1のカレントミラー11とする。さらに、第1の電源ラインが接地ラインGNDとなり、第2の電源ラインが電源ラインVDDとなる。
また、ヒューズ回路6では、ヒューズF1の接続箇所に応じてヒューズ切断用トランジスタ21aを有する。ヒューズ切断用トランジスタ21aは、PMOSトランジスタで形成される。そして、ヒューズ切断用トランジスタ21aは、ゲートが制御端子CNT3に接続され、ソースが電源ラインVDDに接続され、ソースがヒューズF1とNMOSトランジスタTr3のソースとの間に接続される。
つまり、ヒューズ回路1において、第1のカレントミラー11と接地ラインGNDとの間にヒューズを接続する場合、ヒューズ回路6のようにヒューズ切断用トランジスタの接続をヒューズの接続箇所に応じて変更する。
なお、ヒューズ回路6では、NMOSトランジスタTr1〜Tr3のソースに抵抗R1〜R3が接続される。この抵抗R1〜R3は、実施の形態1における抵抗R1、R2に相当するものである。つまり、本実施の形態における抵抗R1〜R3も実質的に同じ抵抗値であることが好ましい。また、抵抗R3は、ヒューズF1とNMOSトランジスタTr3のソースとの間に接続される。
ヒューズ回路6においても、抵抗R1〜R3をトランジスタによって構成することも可能である。抵抗R1〜R3をトランジスタによって構成した場合のヒューズ回路6aを図18に示す。図18に示すように、ヒューズ回路6aは、抵抗R1〜R3として使用する抵抗素子としてNMOSトランジスタNR1〜NR3を有する。そして、NMOSトランジスタNR1〜NR3が導通している状態でのソースドレイン間の抵抗値を抵抗素子の抵抗成分として用いる。NMOSトランジスタNR1〜NR3はゲートとドレインが接続されたダイオード接続となっている。そして、NMOSトランジスタNR1〜NR3のソース及びバックゲート端子は、接地ラインGNDに接続される。また、NMOSトランジスタNR3のドレインはヒューズF1を介してNMOSトランジスタTr3のソースに接続される。なお、抵抗素子としてNMOSトランジスタを使用した場合、切断用電源をヒューズF1に確実に印加するためにヒューズF1の接地ライン側端子に切断用接地ラインGND2を接地ラインGNDとは別に設けることが好ましい。
実施の形態7
実施の形態7にかかるヒューズ回路7の回路図を図19に示す。図19に示すように、ヒューズ回路7では、第1の電流源として抵抗IR(図中の11c)を使用し、第2の電流源としてカレントミラー12cを使用する。また、本実施の形態では、基準電流源10がカレントミラー12cと接地ラインGNDとの間に接続される。
抵抗IRは、出力端子DETと接地ラインGNDとの間に接続される。そして、出力端子DETの電圧値に応じて第1の出力電流Io1を引き込む。つまり、第1の電流源は、出力端子DETの電圧値に応じた電流引き込み能力を有する。なお、抵抗IRの抵抗値は、後述する第2の出力電流Io2によって出力端子DETの電圧値が電源電圧まで上昇する程度のものであることが好ましい。
カレントミラー12は、PMOSトランジスタTr4、Tr5で構成されるカレントミラー回路である。PMOSトランジスタTr4は、ゲートとドレインとが共通接続されており、ソースが配線によって電源ラインVDDに接続される。また、PMOSトランジスタTr4のドレインは、基準電流源10に接続される。PMOSトランジスタTr5は、ゲートがPMOSトランジスタTr4のゲートと接続され、ソースがヒューズF1を介して電源ラインVDDに接続され、ドレインが出力端子DETに接続される。ここで、本実施の形態においては、PMOSトランジスタTr4、Tr5のトランジスタサイズ比は同じとする。そのため、PMOSトランジスタTr5が出力する第2の出力電流Io2は、基準電流源が出力する電流I1と同じ電流量となる。なお、このトランジスタサイズ比を変更して、電流I1と第2の出力電流Io2の電流量に差を設けても良い。
ここで、ヒューズ回路7の動作について説明する。なお、以下の説明では記憶回路13に関する動作については、実施の形態1と同じになるため説明を省略し、ヒューズF1が切断された状態と未切断である状態における出力端子DETの電圧値に関しての説明をする。
ヒューズF1が切断されている場合、ヒューズF1の抵抗値が、PMOSトランジスタTr4と電源ラインVDDを接続する配線よりも遙かに大きくなるため、出力電流Io2がゼロに近づく。一方、出力端子DETに接続される抵抗IRにより、出力端子DETからは第1の出力電流Io1が引き抜かれ、出力端子DETの電圧は接地電位となる。従って、ヒューズF1が切断されている状態では、出力端子DETの電圧は接地電位となる。
ヒューズF1が未切断である場合、ヒューズF1の抵抗値は、PMOSトランジスタTr4と電源ラインVDDを接続する配線とほぼ同じになるため、第2の出力電流Io2は電流I1とほぼ同じになる。これによって、抵抗IRには、第2の出力電流Io2が流れ込み、出力端子DETの電圧値は電源電圧まで上昇する。従って、ヒューズF1が未切断の状態では、出力端子DETの電圧値は電源電圧となる。
上記説明より、ヒューズ回路7は、第1の電流源を抵抗IRによって構成するが、ヒューズの導通状態に応じて、出力電流Io1と出力電流Io2の関係が逆転するようにすることでヒューズの導通状態を確実に検出できる。また、ヒューズ回路7においても、第2のカレントミラーは、一方のトランジスタのソースにヒューズF1が接続され、他方のトランジスタのソースは配線によって電源ラインに接続される。これによって、ヒューズF1が切断後に再癒着した場合であっても、ヒューズと配線の間には大きな抵抗値の差が生じるため、再癒着による出力電流Io2の増加はほとんどない。従って、ヒューズ回路7によっても、ヒューズF1の検出精度は向上する。すなわち、ヒューズ回路7においても、ヒューズの切断状態を検出する回路としての信頼性を向上させることができる。
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば、ヒューズF1の切断時に通常の電源電圧よりも高い電圧必要である場合、電源ラインVDDとは別に電源ラインVDD2を設けることも可能である。第2の電源ラインVDD2を設けたヒューズ回路8の回路図を図20に示す。これによって、ヒューズF1を確実に切断可能な電圧を電源ラインVDD2から供給することが可能になり、ヒューズF1の切断状態を検出する回路としての信頼性を向上させることができる。
実施の形態1にかかるヒューズ回路の回路図である。 実施の形態1にかかる記憶回路の出力論理を示す表である。 実施の形態1にかかるヒューズ回路の他の例を示す回路図である。 実施の形態1にかかるヒューズ回路のヒューズ切断動作及び切断したヒューズの検出動作を示すタイミングチャートである。 実施の形態1にかかるヒューズ回路の未切断のヒューズの検出動作を示すタイミングチャートである。 実施の形態1におけるヒューズ接続トランジスタとトランジスタのサイズ比の関係を示す表である。 実施の形態1におけるヒューズ接続トランジスタと抵抗の抵抗比の関係を示す表である。 実施の形態1にかかるヒューズ回路におけるヒューズF1の抵抗値と出力電圧の関係を示すグラフである。 実施の形態1にかかる記憶回路の他の例の回路図である。 実施の形態1にかかる記憶回路の他の例の出力利論理を示す表である。 実施の形態1にかかるヒューズ回路において他の例の記憶回路を用いた場合におけるヒューズ回路のヒューズ切断動作及び切断したヒューズの検出動作を示すタイミングチャートである。 実施の形態1にかかるヒューズ回路において他の例の記憶回路を用いた場合におけるヒューズ回路の未切断のヒューズの検出動作を示すタイミングチャートである。 実施の形態2にかかるヒューズ回路の回路図である。 実施の形態3にかかるヒューズ回路の回路図である。 実施の形態4にかかるヒューズ回路の回路図である。 実施の形態5にかかるヒューズ回路の回路図である。 実施の形態6にかかるヒューズ回路の回路図である。 実施の形態6にかかるヒューズ回路の他の例を示す回路図である。 実施の形態7にかかるヒューズ回路の回路図である。 本発明にかかるヒューズ回路のその他の例を示す回路図である。 従来例にかかるヒューズ回路の回路図である。
符号の説明
1〜8 ヒューズ回路
10 基準電流源
11、11a、11b、12、12a、12b、12c 電流源(カレントミラー)
11c 電流源(抵抗IR)
13、13a 記憶回路
14 NANDゲート
14b NORゲート
15、15b ラッチ回路
20 カレントミラー制御用トランジスタ
21 ヒューズ切断用トランジスタ
CNT1〜CNT4 制御端子
DET、DET1〜DET3 出力端子
F1〜F3 ヒューズ
GND、GND2 接地ライン
VDD、VDD2 電源ライン
I1 基準電流
I2 中間電流
Io1、Io2 出力電流
Ri1〜Ri3 抵抗
R1〜R3 抵抗素子(抵抗)
PR1、PR2、NR1〜NR3 抵抗素子(トランジスタ)
Tr1〜Tr3、Tr21、Tr22 NMOSトランジスタ
Tr4、Tr5、Tr23、Tr24 PMOSトランジスタ
Tr11〜Tr13 NPNトランジスタ
Tr14、Tr15 PNPトランジスタ
SW 切り替えスイッチ

Claims (12)

  1. 第1の電源ラインと、
    第2の電源ラインと、
    前記第1の電源ラインと出力端子との間に接続される電流源と、
    前記出力端子と接続されるドレイン又はコレクタを有し、前記出力端子に対して前記電流源よりも大きな電流供給能力又は電流引き抜き能力を有する第1のトランジスタと、
    前記第1のトランジスタのゲート又はベースと共通接続されるゲート又はベースを有する第2のトランジスタと、
    前記第1、第2のトランジスタのうち一方のトランジスタのソース又はエミッタと前記第2の電源ラインとの間に直列に接続される第1の抵抗素子及びヒューズと、
    前記第1、第2のトランジスタのうち他方のトランジスタのソース又はエミッタと前記第2の電源ラインとの間に接続される第2の抵抗素子と、
    を有するヒューズ回路。
  2. 前記第1の抵抗素子と前記第2の抵抗素子は、実質的に同じ抵抗値を有する請求項1に記載のヒューズ回路。
  3. 前記第1の抵抗素子の抵抗値と前記第2の抵抗素子の抵抗値は、トランジスタのソース・ドレイン間の抵抗値又はエミッタ・コレクタ間の抵抗値によって設定される請求項1又は2に記載のヒューズ回路。
  4. 前記第1のトランジスタと前記電流源は、前記ヒューズの切断状態に応じて電流供給能力又は電流引き抜き能力が逆転する請求項1乃至3のいずれか1項に記載のヒューズ回路。
  5. 前記電流源は、バイポーラトランジスタとMOSトランジスタとのうちいずれか一方の形態のトランジスタでカレントミラー回路を構成し、前記第1、第2のトランジスタは、前記電流源とは異なる形態のトランジスタでカレントミラー回路を構成する請求項1乃至4のいずれか1項に記載のヒューズ回路。
  6. 前記電流源のカレントミラー回路を構成するトランジスタは、前記第1の電源ラインとソース又はエミッタとの間に抵抗が接続される請求項5に記載のヒューズ回路。
  7. 前記電流源は、前記出力端子と前記第1の電源ラインとの間に接続される抵抗素子によって構成される請求項1乃至4のいずれか1項に記載のヒューズ回路。
  8. 前記出力端子には、前記出力端子の電圧値に基づき所定の論理値を保持する記憶回路が接続される請求項1乃至7のいずれか1項に記載のヒューズ回路。
  9. 前記ヒューズは、切断状態の抵抗値が未切断状態での抵抗値よりも2桁以上大きくなる請求項1乃至8のいずれか1項に記載のヒューズ回路。
  10. 前記ヒューズ回路は、前記第1の電源ラインと前記第2の電源ラインとの間に前記ヒューズと直列に接続されるヒューズ切断用トランジスタを有し、前記ヒューズ切断用トランジスタは、前記ヒューズを切断する場合に導通状態となるように制御される請求項1乃至9のいずれか1項に記載のヒューズ回路。
  11. 前記ヒューズ回路は、複数の前記ヒューズと、複数の前記ヒューズのうちいずれか一つを選択して前記ヒューズ切断用トランジスタに選択した前記ヒューズを接続する切り替えスイッチを有する請求項10に記載のヒューズ回路。
  12. 前記ヒューズ回路は、前記基準電流を出力する基準電流源を有し、前記基準電流源は外部からの制御信号に基づき前記基準電流を出力する状態と前記基準電流を遮断する状態とを切り替える請求項1乃至11のいずれか1項に記載のヒューズ回路。
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