JP2009033168A - 金属コンタクト層を有するパワー半導体素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】金属コンタクト層を有するパワー半導体素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、基体と、少なくとも1つの接触面とを有するパワー半導体素子であって、この接触面の上に、第1材料の少なくとも1つの第1の薄い金属層が配置されたパワー半導体素子に関する。本発明によれば、第1の層に比べて厚い、第2材料のさらなる金属層が、その材料の加圧焼結接続によって、第1の層の上に配置される。関連の方法は、以下の本質的なステップを含む。ウェハ集合体内に複数のパワー半導体素子を製造するステップと、それぞれのパワー半導体素子の少なくとも1つの接触面の上に、少なくとも1つの第1の薄い金属層を施与するステップと、各パワー半導体素子ごとに、第1の金属層の少なくとも1つの上に、第2材料と溶媒とからなるペースト状の層を配置するステップと、ペースト状の層に圧力を印加するステップと、半導体素子を個別化するステップ。
【選択図】図1
【解決手段】本発明は、基体と、少なくとも1つの接触面とを有するパワー半導体素子であって、この接触面の上に、第1材料の少なくとも1つの第1の薄い金属層が配置されたパワー半導体素子に関する。本発明によれば、第1の層に比べて厚い、第2材料のさらなる金属層が、その材料の加圧焼結接続によって、第1の層の上に配置される。関連の方法は、以下の本質的なステップを含む。ウェハ集合体内に複数のパワー半導体素子を製造するステップと、それぞれのパワー半導体素子の少なくとも1つの接触面の上に、少なくとも1つの第1の薄い金属層を施与するステップと、各パワー半導体素子ごとに、第1の金属層の少なくとも1つの上に、第2材料と溶媒とからなるペースト状の層を配置するステップと、ペースト状の層に圧力を印加するステップと、半導体素子を個別化するステップ。
【選択図】図1
Description
本発明は、好ましくは単結晶基体と少なくとも1つのpn接合とを有する、少なくとも1つのコンタクト・メタライゼーションのパワー半導体素子に関する。そのようなパワー半導体素子は、例えば、パワー・ダイオード、パワー・トランジスタ、またはパワー・サイリスタ、さらには太陽電池、および抵抗素子である。
コンタクト・メタライゼーションは、半導体本体の接触面と外部接続要素との導電接続を担う。そのような接続要素は、例えば、ワイヤボンディング接続、はんだ技法によって接続された基板、または加圧接触された結合要素として形成することができる。
従来技術によれば、多数の異なるコンタクト・メタライゼーションが一般的に用いられている。それらの構造は、それぞれ意図されている接触対象によって異なり、例えばワイヤボンディング接続である。ここで、特にパワー半導体素子の分野において、異なる金属の積層から構成される多層コンタクト・メタライゼーションが知られている。この積層の中で、それぞれの層の個々の厚さは同じではなく、ただし数十分の1から数マイクロメートルの範囲内であることが多い。
また、加圧接触された結合要素の使用に関して、結合要素とパワー半導体素子との間に、ミリメートルのオーダーの厚さを有する金属板を配置することも知られている。これらの金属板は、パワー半導体素子、またはそのコンタクト・メタライゼーションの機械的負荷を減少させる働きをする。
本発明の目的は、接触性質が改善されるようにコンタクト・メタライゼーションの分野でパワー半導体素子を進展させ、かつそのパワー半導体素子を容易な製造で実現可能にする方法を提供することである。
この課題は、本発明によれば、請求項1に記載の特徴を有するパワー半導体素子を、請求項4に記載の方法によって製造することによって解決される。好ましい実施形態は、従属請求項に記載されている。
本発明の出発点は、好ましくは単結晶基体と少なくとも1つのpn接合とを有するパワー半導体素子である。このパワー半導体素子は、半導体本体の領域内に少なくとも1つの接触面を有し、この接触面の上に、第1材料の少なくとも1つの第1の薄い金属層が配置される。これらの第1の金属層の少なくとも1つの上に、第1の層に比べて厚い、第2材料の金属層が配置される。その際、第2の金属材料が、90%よりも高い貴金属含有率を有すると有利である。その際、この貴金属が銀であると特に有利である。
この配置は、加圧焼結接続によって成される。それに関して、ここで、加圧焼結接続とは、以下に述べる方法によって材料の層が配置されることを意味するものとする。
本発明に係る、そのようなパワー半導体素子を製造するための方法は、以下の本質的なステップを含む。
・ウェハ集合体内に複数のパワー半導体素子を製造するステップ。
・それぞれのパワー半導体素子の少なくとも1つの接触面の上に、少なくとも1つの第1の薄い金属層を施与するステップ。
・各パワー半導体素子ごとに、第1の金属層の少なくとも1つの上に、第2材料と溶媒とからなるペースト状の層を配置するステップ。
・ペースト状の層に圧力を印加するステップ。その際、圧力を印加する前に、ペースト状の層から溶媒の余剰分を除去することが好ましい。
・半導体素子を個別化するステップ。
・ウェハ集合体内に複数のパワー半導体素子を製造するステップ。
・それぞれのパワー半導体素子の少なくとも1つの接触面の上に、少なくとも1つの第1の薄い金属層を施与するステップ。
・各パワー半導体素子ごとに、第1の金属層の少なくとも1つの上に、第2材料と溶媒とからなるペースト状の層を配置するステップ。
・ペースト状の層に圧力を印加するステップ。その際、圧力を印加する前に、ペースト状の層から溶媒の余剰分を除去することが好ましい。
・半導体素子を個別化するステップ。
ここで、ペースト状の層がスクリーン印刷法によって施与されると好ましいことがある。その際、一方で、要求された層厚に関して、所要の位置決め精度を達成することができる。他方で、この方法は低コストで実現可能である。
ペースト状の層に圧力を印加する第1の有利な実施は、1つのプレスと2つの成形プラグ(押出ポンチ)とを用いて行うことができる。その際、さらに、少なくとも1つの成形プラグが、準静水圧を生み出すシリコン・パッド(Silikonkissen)をその上に配置されて形成されると有利である。
ペースト状の層に圧力を印加する第2の有利な実施は、適切な液体または気体で充填される圧力タンクを用いて行うことができる。その際、パワー半導体素子を、ウェハ集合体内で箔、好ましくはテフロン(登録商標)箔によって覆って、圧力タンク内に配置し、次いで、圧力タンク内の流体に外部から圧力を印加することが好ましい。
このパワー半導体素子および製造方法の特に好ましいさらなる構成は、実施形態の各説明において挙げられる。さらに、本発明の解決策を、図1〜3の実施形態に基づいて以下に説明する。
図1および2は、本発明に係る第1のパワー半導体素子の本発明に係る製造方法の個々のステップを示す。図1に、半導体本体が、後にパワー半導体素子10の縁部になる部分12と、この半導体本体において概略的に両方の主面102、104にある複数の接触面20、22、24と共に示されている。さらに、第1の金属材料36の第1の薄層の製造が示されている。その際、従来技術によれば、例えば、シャドウマスク38を用いた蒸着法が用いられ、あるいはまたスパッタリング法が用いられる。長い間知られているこれらの方法によって、マイクロメートルのオーダーでの層厚を有する少なくとも1つの均質な層が堆積される。その際、この層が、それぞれ異なる層厚を有するそれぞれ異なる金属からなる複数の薄い個別の層から堆積されると非常に好ましいことがある。
明示しない次のステップで、好ましくはスクリーン印刷法によって、従来技術による焼結接続から知られているように、ペースト状の層44(図2)が、第1の層34の上に配置される。その際、層34、44が互いに直接重ねて配置されるか、ペースト状の第2の層44が第1の層34をわずかに覆う、あるいはまた完全には覆わないかは、本発明には関係しない。
ペースト状の層44(図2)自体は、マイクロメートルのオーダーの最大寸法を有する金属フレークと溶媒との形での金属材料の混合物からなる。金属フレークの金属として特に銀が適しているが、別の貴金属、または90%よりも高い貴金属含有率を有する混合物も適している。
図2は、第1の層に比べて厚い第2の金属層の形成のための、ペースト状の層44への圧力印加60を示す。ここで、圧力印加60の前に施与された箔50、例えばテフロン(登録商標)箔がさらに示されており、これも好ましい。その際、ウェハ集合体全体を被覆することが好ましい。ただし、いくつかの構成では、それぞれのペースト状の層のみを箔で選択的に覆うことも可能である。
ペースト状の層44と第1の金属層34との間の十分に耐久性のある接続を形成するために、圧力印加60の際に導入される最大最終圧力を少なくとも15MPaにすると好ましい。
さらに、圧力印加60に加えて、パワー半導体素子10または半導体本体を350Kよりも高い温度に加熱することが有利であることがある。完成した金属層が溶媒を含むべきではないので、これは、ペースト状の層44からの溶媒の除去のために有利である。
この第2の金属層は、圧力印加60の後、10μm〜80μmの好ましい厚さを有し、また、1μm〜250μmの層も製造可能であり、用途によってはそれも適当である。
図3は、本発明に係る第2のパワー半導体素子10、ここではパワー・サイリスタを示す。このパワー半導体素子10の半導体本体は、その第1の主面102に第1の接触面20、ここではカソードを有し、その第2の主面104に2つのさらなる接触面22、24、すなわち制御入力端子であるゲート22と、アノード24とを有する。この構造では、これらの接触面が全て、本発明に従ってさらに構築される。
各接触面20、22、24が、第1の金属材料30、32、34からなる第1の層を有し、ここでは、銀からなる最終部分層と、約5μmの全体の層厚とを有する様々な材料の部分層を有する。この第1材料30、32、34は、加圧焼結法によって配置される層厚50μmの第2の金属材料40、42、44、ここでは同様に銀によって覆われる。
そのように形成されたパワー半導体素子10は、製造が容易であるという利点を有する(図1および図2を参照のこと)。その一方で、そのようなパワー半導体素子10は、結合要素(図示せず)とパワー半導体素子10自体との間に0.2mm〜4mmの範囲の厚さを有するさらなる金属板が配置されることなく、加圧接触構成で使用することができる。この金属板の役割は、厚い第2の金属層40、42、44によって引き受けられる。
本発明に係るパワー半導体素子10の利点は、さらなる接続技法との組合せに際しても有利である。特にパワー半導体素子10と基板との焼結接続の製造に関して、パワー半導体素子10が、接続のために貴金属表面を有することが必要である。さらに、この貴金属表面が、10μmを超える層厚を有すると有利である。そのような層は、上述の方法を用いれば、標準の方法、例えば蒸着法またはスパッタリング法による製造に比べてはるかに容易に、かつ低コストで製造することができる。
10 パワー半導体素子
12 後に縁部になる部分
20、22、24 接触面
30、32、34、36 第1の金属材料
34 第1の層
38 シャドウマスク
40、42、44 第2の金属材料
42 第2の層、ペースト状の層
50 箔
60 圧力印加
102、104 主面
12 後に縁部になる部分
20、22、24 接触面
30、32、34、36 第1の金属材料
34 第1の層
38 シャドウマスク
40、42、44 第2の金属材料
42 第2の層、ペースト状の層
50 箔
60 圧力印加
102、104 主面
Claims (10)
- 基体と、少なくとも1つの接触面(20、22、24)とを有するパワー半導体素子(10)であって、前記接触面(20、22、24)の上に、第1材料(30、32、34)の少なくとも1つの第1の薄い金属層が配置され、前記第1の薄い金属層に比べて厚い、第2材料(40、42、44)のさらなる金属層が、前記第2材料の加圧焼結接続によって配置されているパワー半導体素子(10)。
- 前記第2の金属材料(40、42、44)が、90%よりも高い貴金属含有率を有する、請求項1に記載のパワー半導体素子。
- 前記貴金属が銀である請求項2に記載のパワー半導体素子。
- 本質的なステップとして、
・ウェハ集合体内に複数のパワー半導体素子(10)を製造するステップと、
・それぞれのパワー半導体素子(10)の少なくとも1つの接触面(20、22、24)の上に、少なくとも1つの第1の薄い金属層(30、32、34)を施与するステップと、
・各パワー半導体素子(10)ごとに、前記第1の金属層の少なくとも1つの上に、第2材料と溶媒とからなるペースト状の層(40、42、44)を配置するステップと、
・前記ペースト状の層(40、42、44)に圧力印加(60)するステップと、
・前記半導体素子(10)を個別化するステップと
を含む、請求項1に記載のパワー半導体素子(10)を製造する方法。 - 前記ペースト状の層(40、42、44)が、スクリーン印刷法によって施与される、請求項4に記載の方法。
- 前記圧力(60)が、1つのプレスと2つの成形プラグとによってもたらされ、少なくとも1つの成形プラグが、準静水圧を生み出すシリコン・パッドを上に配置されて形成される、請求項4に記載の方法。
- 前記圧力(60)が、外部から圧力を印加されかつ液体または気体で充填される圧力タンク内で生成され、ウェハ集合体内の前記パワー半導体素子(10)が、前記圧力タンク内に完全に配置されている、請求項4に記載の方法。
- 前記圧力印加(60)の際の最大最終圧力が、少なくとも15MPaに相当する、請求項4に記載の方法。
- 前記圧力印加(60)中に、前記パワー半導体素子(10)が、350Kよりも高い温度に加熱される、請求項4に記載の方法。
- 前記圧力印加(60)の前に、前記ペースト状の層(40、42、44)の表面、または前記ウェハ集合体全体が、箔(50)で覆われる、請求項4に記載の方法。
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