JP2009021773A5 - - Google Patents
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Claims (3)
- （ａ）光透過性部を有し、内部空間に圧電振動片が配置され、貫通孔によって前記内部空間と外部が連通するパッケージを用意する工程と、
（ｂ）前記内部空間を、酸素プラズマで洗浄する工程と、
（ｃ）前記洗浄を行った後に前記内部空間を真空にする工程と、
（ｄ）前記貫通孔を塞いで前記内部空間を真空封止する工程と、
（ｅ）前記真空封止した後に、前記圧電振動片の振動腕に形成された金属膜に前記光透過性部を通してレーザービームを照射して、前記金属膜の一部を除去することで、前記圧電振動片の駆動周波数を調整する工程と、
を含み、
前記パッケージは、前記貫通孔が形成され、かつ、前記圧電振動片が接着剤によって固定されたベースと、前記ベースに接合され、前記光透過性部を有する蓋と、を有し、
前記圧電振動片は、基部と、前記基部に接続された複数の振動腕と、を有し、
前記酸素プラズマは、前記貫通孔から前記内部空間に導入される、圧電振動子の製造方法。 - （ａ）光透過性部を有し、内部空間に圧電振動片が配置され、貫通孔によって前記内部空間と外部が連通するパッケージを用意する工程と、
（ｂ）前記内部空間を、紫外線で洗浄する工程と、
（ｃ）前記洗浄を行った後に前記内部空間を真空にする工程と、
（ｄ）前記貫通孔を塞いで前記内部空間を真空封止する工程と、
（ｅ）前記真空封止した後に、前記圧電振動片の振動腕に形成された金属膜に前記光透過性部を通してレーザービームを照射して、前記金属膜の一部を除去することで、前記圧電振動片の駆動周波数を調整する工程と、
を含み、
前記パッケージは、前記貫通孔が形成され、かつ、前記圧電振動片が接着剤によって固定されたベースと、前記ベースに接合され、前記光透過性部を有する蓋と、を有し、
前記圧電振動片は、基部と、前記基部に接続された複数の振動腕と、を有し、
前記紫外線は、前記光透過性部を通して前記内部空間に照射される、圧電振動子の製造方法。 - 請求項２に記載された圧電振動子の製造方法において、
前記紫外線を前記内部空間に照射した後に、酸素プラズマを前記貫通孔から前記内部空間に導入する圧電振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007182203A JP2009021773A (ja) | 2007-07-11 | 2007-07-11 | 圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007182203A JP2009021773A (ja) | 2007-07-11 | 2007-07-11 | 圧電振動子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JP2009021773A JP2009021773A (ja) | 2009-01-29 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP2007182203A Withdrawn JP2009021773A (ja) | 2007-07-11 | 2007-07-11 | 圧電振動子の製造方法 |
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