JP2008243342A5 - - Google Patents
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Claims (6)
- 洗浄液を貯留するための内槽と、
超音波媒体液を貯留して該超音波媒体液中に前記内槽を保持するための外槽と、
前記外槽の底部から超音波を放射し、前記内槽内の洗浄液中に設置される磁気ディスク用ガラス基板を超音波洗浄する超音波振動子と、
前記内槽の底面に滞留する気泡を該底面の外側に移動させるよう、前記超音波媒体液中に液体を放出する液体放出手段とを含むことを特徴とする、磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄装置。 - 前記液体放出手段は、前記内槽の底面より外側に設置されていることを特徴とする、請求項１に記載の磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄装置。
- 前記液体放出手段は、前記内槽の底面を含む平面から３０ｍｍ以内の距離から液体を放出する放出口を備えることを特徴とする、請求項１または２に記載の磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄装置。
- 洗浄液を貯留するための内槽と、
超音波媒体液を貯留して該超音波媒体液中に前記内槽を保持するための外槽と、
前記外槽の底部から超音波を放射し、前記内槽内の洗浄液中に設置される磁気ディスク用ガラス基板を超音波洗浄する超音波振動子と、
前記内槽の底面を掃拭して該底面に滞留する気泡を該底面の外側に移動させる掃拭手段とを含むことを特徴とする、磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄装置。 - 内槽に貯留した洗浄液中に磁気ディスク用ガラス基板を設置するガラス基板設置工程と、
外槽の底部の超音波振動子から超音波を放射し、前記外槽に貯留した超音波媒体液中に保持された前記内槽内の磁気ディスク用ガラス基板を超音波洗浄する超音波洗浄工程と、
前記内槽の底面に滞留する気泡を該底面の外側に移動させる液体を前記超音波媒体液中に放出する液体放出工程とを含むことを特徴とする、磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄方法。 - 請求項５に記載の方法により製造されたガラス基板上に少なくとも磁性層を成膜する工程を含むことを特徴とする、磁気ディスクの製造方法。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2007086603A JP2008243342A (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄装置および超音波洗浄方法、磁気ディスク製造方法ならびに磁気ディスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007086603A JP2008243342A (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄装置および超音波洗浄方法、磁気ディスク製造方法ならびに磁気ディスク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2008243342A JP2008243342A (ja) | 2008-10-09 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007086603A Pending JP2008243342A (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | 磁気ディスク用ガラス基板の超音波洗浄装置および超音波洗浄方法、磁気ディスク製造方法ならびに磁気ディスク |
Country Status (1)
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| JP (1) | JP2008243342A (ja) |
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