JP2007044662A - 超音波洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 内槽と外槽とを組み合わせた超音波洗浄装置において、洗浄ムラが生じにくい洗浄装置の提供することにある。
【解決手段】底面32に超音波振動子40が取り付けられ、内部に超音波振動を伝達する媒介液50を収納する外槽30と、該外槽の内部に所定の間隔を以て配置され、内部に洗浄液60を入れて没入させた被洗浄物Mを前記媒介液を介して伝搬する超音波振動により洗浄するための内槽20とを備え、かつ前記内槽の底面が前記超音波振動子が取り付けられた外槽の底面に対し傾斜角θ°を有し、傾斜角θ°が、5°/(超音波振動数MHz)≦θ°<20°/(超音波振動数MHz)である。
【選択図】 図1
Description
そこで、内槽の底面を超音波振動子が取り付けられた外槽の底面に対し1〜4°ほど傾斜させて、内槽の底面に付着した気泡を傾斜に沿って上昇させることにより泡切れを良くしている(特許文献1,特許文献2参照)。
請求項1記載の超音波洗浄装置は、底面に超音波振動子が取り付けられ、内部に超音波振動を伝達する媒介液を収納する外槽と、該外槽の内部に所定の間隔を以て配置され、内部に洗浄液を入れて没入させた被洗浄物を前記媒介液を介して伝搬する超音波振動により洗浄するための内槽とを備え、かつ前記内槽の底面が前記超音波振動子が取り付けられた外槽の底面に対し所定の傾斜角θ°を有する超音波洗浄装置であって、前記内槽底面の所定の傾斜角θ°が、5°/(超音波振動数MHz)≦θ°<20°/(超音波振動数MHz)であることを特徴としている。
なお、前記傾斜角α°は、0°≦α°<5°の範囲であることが望ましい。
また、該底面の三角形状に連続する方向と直交する方向も前記超音波振動子が取り付けられた外槽の底面に対し一定の傾斜角α°を有しているので、外槽の媒介中に発生し内槽底面に付着した気泡を取り除くことができる。
なお、図1(a)は本実施の形態に係る超音波洗浄装置を正面から見た断面図、図1(b)は図1(a)を右側面から見た断面図である。
図に示すように、この超音波洗浄装置10は内槽20と外槽30とからなる二重槽構造のものである。外槽30には底面に超音波振動子40が取り付けられており、該外槽30の内部には所定の間隔を以て内槽20が配置されている。また、外槽30の内部には超音波を媒介する媒介液50が満たされていて、内槽20の底面22がこの媒介液50中に浸されている。媒介液は通常、水であり、脱気水でも良い。
なお、内槽20の材質は、石英ガラスなど熱や薬剤に耐久製のあるものが好ましく、外槽30はステンレスやプラスチックで頑丈なものが好ましい。
内槽20の大きさなどを考慮すると、5°≦θ°<15°程度が望ましい。
この時に、内槽20の底面22が外槽30の底面32に対しての傾斜角θ°が、5°/(超音波振動数MHz)≦θ°<20°/(超音波振動数MHz)に設定されているので、内槽20の底面22に入射する音圧がかなり均一となって、被洗浄物の洗浄ムラが軽減され、洗浄の安定性が増加する。
なお、図2(a)は本実施の形態に係る超音波洗浄装置を正面から見た断面図、図2(b)は図2(a)を右側面から見た断面図である。
図に示すように、この超音波洗浄装置70は内槽80と外槽90とからなる二重槽構造のものである。外槽90には底面に超音波振動子40が取り付けられており、該外槽90の内部には所定の間隔を以て内槽80が配置されている。また、外槽90の内部には超音波を媒介する媒介液50が満たされていて、内槽80の底面82がこの媒介液50中に浸されている。
また、図2(b)に示すように、内槽80の底面82の三角形状に連続する方向と直交する方向も前記超音波振動子40が取り付けられた外槽90の底面92に対し一定の傾斜角α°を有している。
そして、この傾斜角α°は、0°≦α°<5°の範囲としている。
なお、内槽80の側方に張り出している部分は、内槽内の洗浄液がオーバーフローした際の受け部84である。
その超音波の音圧分布状態を、図8の濃淡で示す。
20、80 内槽
22、82 内槽底面
30、90 外槽
32、92 外槽底面
40 超音波振動子
50 媒介液
60 洗浄液
Claims (3)
- 底面に超音波振動子が取り付けられ、内部に超音波振動を伝達する媒介液を収納する外槽と、該外槽の内部に所定の間隔を以て配置され、内部に洗浄液を入れて没入させた被洗浄物を前記媒介液を介して伝搬する超音波振動により洗浄するための内槽とを備え、かつ前記内槽の底面が前記超音波振動子が取り付けられた外槽の底面に対し所定の傾斜角θ°を有する超音波洗浄装置であって、
前記内槽底面の所定の傾斜角θ°が、5°/(超音波振動数MHz)≦θ°<20°/(超音波振動数MHz)であることを特徴とする超音波洗浄装置。 - 底面に超音波振動子が取り付けられ、内部に超音波振動を伝達する媒介液を収納する外槽と、該外槽の内部に所定の間隔を以て配置され、内部に洗浄液を入れて没入させた被洗浄物を前記媒介液を介して伝搬する超音波振動により洗浄するための内槽とを備え、かつ前記内槽の底面が前記超音波振動子が取り付けられた外槽の底面に対し所定の傾斜角±θ°で三角形状又は波状に連続する超音波洗浄装置であって、
前記内槽底面の所定の傾斜角θ°が、5°/(超音波振動数MHz)≦θ°<20°/(超音波振動数MHz)であるとともに、該底面の三角形状に連続する方向と直交する方向も前記超音波振動子が取り付けられた外槽の底面に対し一定の傾斜角α°を有していることを特徴とする超音波洗浄装置。 - 前記傾斜角α°は、0°≦α°<5°であることを特徴とする請求項2記載の超音波洗浄装置。
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2005
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