JP2009021330A - 導電パターン形成方法、導電パターン形成装置及び太陽電池用基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 印刷手段10と、乾燥手段20と、印刷手段10及び乾燥手段20に基板Wを搬送する搬送手段30とを備え、第1の受け渡し位置P1または第2の受け渡し位置P2において支持台110に搭載された基板Wが、位置修正部120において位置修正された後に、支持台110の移動により印刷部130に供給されるように構成されており、搬送手段30は、基板Wを第1の受け渡し位置P1、乾燥手段20及び第2の受け渡し位置P2に順次搬送する導電パターン形成装置である。
【選択図】 図1
Description
10 印刷装置
110 支持台
112a,112b レール部材
114 駆動装置
120 位置修正部
122 位置検出部
124 補正駆動部
130 スクリーン印刷部
132 スクリーンマスク
134 スキージ走査部
124d スキージ
20 乾燥装置
24 搬送台
30 搬送装置
31 メインコンベア
32 第1の受渡装置
33 第2の受渡装置
34 第3の受渡装置
35 第4の受渡装置
P1,P2 受け渡し位置
P3 投入位置
P4 排出位置
W 基板
Claims (6)
- 開口部を有するスクリーンマスクに導電性ペーストを供給し、スキージの走査により前記開口部に対応したパターンを基板上に形成する第1の印刷ステップと、
パターン形成後の前記基板を加熱する乾燥ステップと、
前記第1の印刷ステップで形成された前記パターンに重なり合うように、前記第1の印刷ステップと同様にパターン形成を行う第2の印刷ステップとを備え、
前記第1の印刷ステップ及び第2の印刷ステップは、同一の前記スクリーンマスクに対して同一の向きとなるように前記基板を配置してパターン形成を行う導電パターン形成方法。 - 前記スクリーンマスクの開口部は、メッシュ状に形成されており、
前記第1の印刷ステップと第2の印刷ステップとの間で、前記スクリーンマスクに対する前記基板の相対位置を、前記開口部における前記スキージの走査方向に沿ったメッシュピッチの略半値だけシフトさせる請求項1に記載の導電パターン形成方法。 - 請求項1または2に記載の導電パターン形成方法により、受光面側に電極が形成された太陽電池用基板。
- 基板上にパターン形成を行う印刷手段と、
前記基板を加熱する乾燥手段と、
前記印刷手段及び乾燥手段に前記基板を搬送する搬送手段とを備え、
前記印刷手段は、
第1の受け渡し位置または第2の受け渡し位置において前記搬送手段から前記基板を受け取ることができるように往復動可能に構成された1又は複数の支持台と、
前記支持台上における前記基板の位置を検出して修正する位置修正部と、
開口部を有するスクリーンマスクに導電性ペーストを供給してスキージを走査することにより、前記開口部に対応したパターンを前記基板上に形成する印刷部とを備え、
前記第1の受け渡し位置または第2の受け渡し位置において前記支持台に搭載された前記基板が、前記位置修正部において位置修正された後に、前記支持台の移動により前記印刷部に供給されるように構成されており、
前記搬送手段は、前記基板を前記第1の受け渡し位置、前記乾燥手段及び前記第2の受け渡し位置に順次搬送する導電パターン形成装置。 - 前記スクリーンマスクの開口部は、メッシュ状に形成されており、
前記第1の受け渡し位置で搭載された前記基板と、前記第2の受け渡し位置で搭載された前記基板との間で、前記スクリーンマスクに対する相対位置を、前記開口部における前記スキージの走査方向に沿ったメッシュピッチの略半値だけシフトさせる請求項4に記載の導電パターン形成装置。 - 前記印刷手段および乾燥手段は、複数組設けられており、
前記搬送手段は、前記基板を各組の前記印刷手段及び乾燥手段に順次搬送するように構成されている請求項4又は5に記載の導電パターン形成装置。
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