JP2009020034A

JP2009020034A - Angular velocity sensor

Info

Publication number: JP2009020034A
Application number: JP2007183979A
Authority: JP
Inventors: Hideyuki Murakami; 英之村上; Takashi Kawai; 孝士川井
Original assignee: Panasonic Corp
Current assignee: Panasonic Corp
Priority date: 2007-07-13
Filing date: 2007-07-13
Publication date: 2009-01-29
Anticipated expiration: 2027-07-13
Also published as: JP5050695B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an angular velocity sensor capable of improving time responsiveness without generating time delay by outputting to change an angular velocity signal to a failure signal. <P>SOLUTION: The angular velocity sensor outputs an output signal including a digital signal by changing the level of an output signal from a first DA conversion means 48 and a second DA conversion means 66 based on the output signal from a comparative circuit 70. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、特に、航空機、車両などの移動体の姿勢制御やナビゲーションシステム等に用いられるデジタル回路を用いた角速度センサに関するものである。 The present invention particularly relates to an angular velocity sensor using a digital circuit used for attitude control of a moving body such as an aircraft or a vehicle, a navigation system, or the like.

従来のこの種の角速度センサは、図３および図４に示すように構成されていた。 Conventional angular velocity sensors of this type have been configured as shown in FIGS.

図３は従来の角速度センサの回路ブロック図、図４は同角速度センサにおける駆動回路およびその故障検出回路のブロック図である。 FIG. 3 is a circuit block diagram of a conventional angular velocity sensor, and FIG. 4 is a block diagram of a drive circuit and its failure detection circuit in the angular velocity sensor.

図３、図４において、１はＨ型の音叉からなる水晶製の振動子で、この振動子１は一対の駆動部２と、この一対の駆動部２の反対側に配設された一対の検知部３とにより構成されており、この検知部３に角速度検出用電極（図示せず）を設けている。 In FIGS. 3 and 4, reference numeral 1 denotes a quartz crystal vibrator composed of an H-shaped tuning fork. The vibrator 1 includes a pair of driving units 2 and a pair of driving units 2 disposed on opposite sides of the pair of driving units 2. The detection unit 3 includes an angular velocity detection electrode (not shown).

また前記振動子１の駆動部２の一方には駆動用電極４を設けるとともに、駆動部２の他方には駆動検出用電極５を設けている。６は駆動回路で、この駆動回路６は前記振動子１における駆動用電極４および駆動検出用電極５と電気的に接続されており、前記振動子１を一定の振幅になるように制御している。また、駆動回路６にはＥＥＰＲＯＭ６ａを設けており、このＥＥＰＲＯＭ６ａに保存した補正データをさらに、２つのメモリ（図示せず）に保存して、互いに比較することにより、補正データの改竄を防止した状態で、駆動信号を補正している。７は故障診断回路で、この故障診断回路７は、ウインドウコンパレータ８と、このウインドウコンパレータ８の出力信号をモニタするＢＩＴ論理９とにより構成されている。１０は検出回路で、この検出回路１０は振動子１における検知部３から出力される電荷を増幅して、電圧に変換し、出力信号として入出力端子１１から外部に出力している。 A driving electrode 4 is provided on one side of the driving unit 2 of the vibrator 1, and a driving detection electrode 5 is provided on the other side of the driving unit 2. Reference numeral 6 denotes a drive circuit. The drive circuit 6 is electrically connected to the drive electrode 4 and the drive detection electrode 5 in the vibrator 1, and controls the vibrator 1 to have a constant amplitude. Yes. Further, the drive circuit 6 is provided with an EEPROM 6a, and the correction data stored in the EEPROM 6a is further stored in two memories (not shown) and compared with each other, thereby preventing the correction data from being falsified. Thus, the drive signal is corrected. Reference numeral 7 denotes a failure diagnosis circuit. The failure diagnosis circuit 7 includes a window comparator 8 and a BIT logic 9 that monitors an output signal of the window comparator 8. Reference numeral 10 denotes a detection circuit. The detection circuit 10 amplifies the electric charge output from the detection unit 3 in the vibrator 1, converts it into a voltage, and outputs it as an output signal from the input / output terminal 11 to the outside.

以上のように構成された従来の角速度センサについて、次にその動作を説明する。 Next, the operation of the conventional angular velocity sensor configured as described above will be described.

振動子１の駆動用電極４に交流電圧を加えると前記振動子１が共振し、前記振動子１の駆動検出用電極５に、振動子１の振動振幅に応じた電荷が発生する。そして、この電荷を駆動回路６により増幅、調整した後、駆動用電極４に入力することにより、振動子１が一定の振幅で振動するように制御している。また、振動子１のバラツキにより、振幅が所定の値と外れている場合には、駆動回路６におけるＥＥＰＲＯＭ６ａのデータを書き換えることにより、振幅を微調整している。 When an AC voltage is applied to the drive electrode 4 of the vibrator 1, the vibrator 1 resonates, and a charge corresponding to the vibration amplitude of the vibrator 1 is generated on the drive detection electrode 5 of the vibrator 1. The electric charge is amplified and adjusted by the drive circuit 6 and then input to the drive electrode 4 to control the vibrator 1 to vibrate with a constant amplitude. Further, when the amplitude deviates from a predetermined value due to variations in the vibrator 1, the amplitude is finely adjusted by rewriting the data of the EEPROM 6a in the drive circuit 6.

そしてまた、前記振動子１に角速度ωが加わると、一対の検知部３に設けた角速度検出用電極（図示せず）に電荷が発生する。そしてこの角速度検出用電極（図示せず）に発生する電荷を検出回路１０により、出力電圧に変換して、前記入出力端子１１より角速度の信号として、相手側のコンピュータ（図示せず）等に入力し、角速度を検出するものである。 When the angular velocity ω is applied to the vibrator 1, electric charges are generated in the angular velocity detection electrodes (not shown) provided in the pair of detection units 3. Then, the electric charge generated in the electrode for detecting the angular velocity (not shown) is converted into an output voltage by the detection circuit 10 and is sent to the other computer (not shown) as an angular velocity signal from the input / output terminal 11. Input and detect angular velocity.

さらに、前記振動子１が破損して故障する場合には、振動子１における駆動検出用電極５から発生する電荷が減少し、駆動回路６の出力信号がモニタしている故障診断回路７におけるウインドウコンパレータ８の基準電圧より低下する。そうすると、ＢＩＴ論理９から図５に示す無効データが出力された後、入出力端子１１からの角速度としての出力信号が停止し、故障信号が出力されるものであった。 Further, when the vibrator 1 is damaged and fails, the electric charge generated from the drive detection electrode 5 in the vibrator 1 is reduced, and the window in the failure diagnosis circuit 7 monitored by the output signal of the drive circuit 6 is displayed. The voltage drops below the reference voltage of the comparator 8. Then, after the invalid data shown in FIG. 5 is output from the BIT logic 9, the output signal as the angular velocity from the input / output terminal 11 is stopped, and the failure signal is output.

なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
特開２００２−１７４５２１号公報 As prior art document information relating to the invention of this application, for example, Patent Document 1 is known.
JP 2002-174521 A

しかしながら、上記した従来の構成においては、振動子１の破損等により、角速度センサが故障する場合には、ＢＩＴ論理９からの無効データにより、入出力端子１１からの出力信号をアナログ信号からなる角速度信号からデジタル信号からなる故障信号に切り替えていたため、出力信号に時間的な遅れが発生してしまうという課題を有していた。 However, in the conventional configuration described above, when the angular velocity sensor fails due to damage to the vibrator 1 or the like, the output signal from the input / output terminal 11 is converted to an angular velocity consisting of an analog signal based on invalid data from the BIT logic 9. Since switching from a signal to a failure signal composed of a digital signal has occurred, there is a problem that a time delay occurs in the output signal.

本発明は上記従来の課題を解決するもので、ＢＩＴ論理により角速度信号を故障信号に切り替えて出力することにより、時間的な遅れが生じるということがなく、時間的な応答性を向上させることができる角速度センサを提供することを目的とするものである。 The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and by switching the angular velocity signal to a failure signal by BIT logic and outputting it, the temporal response can be improved without causing a time delay. An object of the present invention is to provide an angular velocity sensor that can be used.

上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。 In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration.

本発明の請求項１に記載の発明は、駆動電極と第１のセンス電極と第２のセンス電極とモニタ電極とを設けた振動子と、この振動子を所定の駆動周波数で駆動振動させるドライブ回路と、少なくとも２つのレベルの電荷量を出力する第１のＤＡ変換手段および第２のＤＡ変換手段と、前記第１のセンス電極と第１のＤＡ変換手段とから出力される電荷を積分しその積分値を保持する第１の積分回路と、前記第２のセンス電極と第２のＤＡ変換手段とから出力される電荷を積分しその積分値を保持する第２の積分回路と、前記第１の積分回路と第２の積分回路からの出力信号を比較する比較回路とを備え、前記比較回路からの出力信号を基に、前記第１のＤＡ変換手段および第２のＤＡ変換手段からの出力信号のレベルを切り替えるようにしたもので、この構成によれば、比較回路からの出力信号を基に、第１のＤＡ変換手段および第２のＤＡ変換手段からの出力信号のレベルを切り替えるようにしているため、比較回路よりデジタル信号からなる角速度信号を出力することができ、これにより、デジタル信号からなる角速度信号にデジタル信号からなる故障信号を足し合わせて出力することができるという作用効果を有するものである。 According to a first aspect of the present invention, a vibrator provided with a drive electrode, a first sense electrode, a second sense electrode, and a monitor electrode, and a drive for driving and vibrating the vibrator at a predetermined drive frequency A circuit, and first and second DA converters that output charge amounts of at least two levels; and the charges output from the first sense electrode and the first DA converter are integrated. A first integration circuit that holds the integration value; a second integration circuit that integrates charges output from the second sense electrode and the second DA conversion means and holds the integration value; A comparator circuit for comparing the output signals from the first integrator circuit and the second integrator circuit, and based on the output signal from the comparator circuit, the first DA converter means and the second DA converter means Changed output signal level Therefore, according to this configuration, the level of the output signal from the first DA conversion means and the second DA conversion means is switched based on the output signal from the comparison circuit. The angular velocity signal can be output, so that the malfunction signal consisting of the digital signal can be added to the angular velocity signal consisting of the digital signal and output.

以上のように本発明の角速度センサは、駆動電極と第１のセンス電極と第２のセンス電極とモニタ電極とを設けた振動子と、この振動子を所定の駆動周波数で駆動振動させるドライブ回路と、少なくとも２つのレベルの電荷量を出力する第１のＤＡ変換手段および第２のＤＡ変換手段と、前記第１のセンス電極と第１のＤＡ変換手段とから出力される電荷を積分しその積分値を保持する第１の積分回路と、前記第２のセンス電極と第２のＤＡ変換手段とから出力される電荷を積分しその積分値を保持する第２の積分回路と、前記第１の積分回路と第２の積分回路からの出力信号を比較する比較回路とを備え、前記比較回路からの出力信号を基に、前記第１のＤＡ変換手段および第２のＤＡ変換手段からの出力信号のレベルを切り替えるようにしているため、比較回路よりデジタル信号からなる角速度信号を出力することができ、これにより、デジタル信号からなる角速度信号にデジタル信号からなる故障信号を足し合わせて出力することができるため、故障時の時間的な応答性を向上させることができる角速度センサを提供することができるという優れた効果を奏するものである。 As described above, the angular velocity sensor of the present invention includes a vibrator provided with a drive electrode, a first sense electrode, a second sense electrode, and a monitor electrode, and a drive circuit for driving and vibrating the vibrator at a predetermined drive frequency. And integrating the charges output from the first DA converter and the second DA converter for outputting charge amounts of at least two levels, the first sense electrode and the first DA converter, A first integration circuit for holding an integration value; a second integration circuit for integrating charges output from the second sense electrode and the second DA converter; and holding the integration value; And an output from the first DA converter and the second DA converter based on the output signal from the comparator. To switch the signal level Therefore, it is possible to output an angular velocity signal composed of a digital signal from the comparison circuit, and thereby, by adding a failure signal composed of a digital signal to an angular velocity signal composed of a digital signal, it is possible to output at the time of failure. This provides an excellent effect of providing an angular velocity sensor that can improve temporal response.

以下、本発明の一実施の形態における角速度センサについて、図面を参照しながら説明する。図１は本発明の一実施の形態における角速度センサの回路図である。 Hereinafter, an angular velocity sensor according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a circuit diagram of an angular velocity sensor according to an embodiment of the present invention.

図１において、３０は振動子で、この振動子３０は振動体３１と、この振動体３１を振動させるための圧電体を有する駆動電極３２と、振動状態に応じて電荷を発生する圧電体を有するモニタ電極３３と、前記振動子３０に角速度が印加されると電荷を発生する圧電体を有する第１のセンス電極３４と第２のセンス電極３５とを設けている。そして、前記第１のセンス電極３４と第２のセンス電極３５とは互いに逆極性になるように構成されている。３６は電荷増幅器で、この電荷増幅器３６には前記振動子３０におけるモニタ電極３３が出力する電荷が入力され、そしてこの入力された電荷を所定の倍率で電圧に変換するものである。３７はバンドパスフィルタで、このバンドパスフィルタ３７には前記電荷増幅器３６の出力が入力され、そしてこの入力された信号のノイズ成分を除去してモニタ信号を出力するものである。３８はＡＧＣ回路で、このＡＧＣ回路３８は半波整流平滑回路（図示せず）を有しているもので、前記バンドパスフィルタ３７の出力信号を半波整流して平滑したＤＣ信号を生成し、このＤＣ信号をもとに前記バンドパスフィルタ３７の出力するモニタ信号を増幅あるいは減衰させて出力するものである。３９は駆動回路で、この駆動回路３９には前記ＡＧＣ回路３８の出力が入力され、前記振動子３０の駆動電極３２に駆動信号を出力するものである。そして、前記電荷増幅器３６、バンドパスフィルタ３７、ＡＧＣ回路３８および駆動回路３９によりドライブ回路４０を構成している。 In FIG. 1, reference numeral 30 denotes a vibrator. The vibrator 30 includes a vibrating body 31, a drive electrode 32 having a piezoelectric body for vibrating the vibrating body 31, and a piezoelectric body that generates an electric charge according to the vibration state. And a first sense electrode 34 and a second sense electrode 35 having a piezoelectric body that generates an electric charge when an angular velocity is applied to the vibrator 30. The first sense electrode 34 and the second sense electrode 35 are configured to have opposite polarities. Reference numeral 36 denotes a charge amplifier. The charge amplifier 36 receives the charge output from the monitor electrode 33 in the vibrator 30 and converts the input charge into a voltage at a predetermined magnification. Reference numeral 37 denotes a band-pass filter. The output of the charge amplifier 36 is input to the band-pass filter 37, and a noise component of the input signal is removed to output a monitor signal. An AGC circuit 38 has a half-wave rectifying / smoothing circuit (not shown). The AGC circuit 38 generates a smoothed DC signal by half-wave rectifying the output signal of the bandpass filter 37. Based on this DC signal, the monitor signal output from the band-pass filter 37 is amplified or attenuated and output. Reference numeral 39 denotes a drive circuit. The output of the AGC circuit 38 is input to the drive circuit 39 and a drive signal is output to the drive electrode 32 of the vibrator 30. The charge amplifier 36, the band pass filter 37, the AGC circuit 38, and the drive circuit 39 constitute a drive circuit 40.

４１はＰＬＬ回路で、このＰＬＬ回路４１は前記ドライブ回路４０におけるバンドパスフィルタ３７が出力するモニタ信号を逓倍し、位相ノイズを時間的に積分し低減して出力するものである。４２はタイミング生成回路で、このタイミング生成回路４２は前記ＰＬＬ回路４１から出力されるモニタ信号を逓倍した信号をもとに、タイミング信号を生成して出力するものである。そして、前記ＰＬＬ回路４１とタイミング生成回路４２とでタイミング制御回路４３を構成している。４７は第１のＤＡ切替手段で、この第１のＤＡ切替手段４７は、第１の基準電圧４９および第２の基準電圧５０を有し、そしてこの第１の基準電圧４９と第２の基準電圧５０を所定の信号により切り替えるものである。５１はＤＡ出力手段で、このＤＡ出力手段５１は前記第１のＤＡ切替手段４７の出力信号が入力されるコンデンサ５２と、このコンデンサ５２の両端に接続され、第２のタイミングΦ２で動作してコンデンサ５２の電荷を放電するスイッチ５３，５４とにより構成されている。そして、前記第１のＤＡ切替手段４７と第１のＤＡ出力手段５１とで第１のＤＡ変換手段４８を構成し、かつこの第１のＤＡ変換手段４８は第１のタイミングΦ１で前記コンデンサ５２の電荷を放電するとともに、第１のＤＡ切替手段４７が出力する基準電圧に応じた電荷を入出力するものである。５５は第１のスイッチで、この第１のスイッチ５５は前記第１のタイミングΦ１で第１の検出電極３４から、電流からなる出力信号を出力するものである。５６は第１の積分回路で、この第１の積分回路５６には前記第１のスイッチ５５の出力が入力されるもので、演算増幅器５７と、この演算増幅器５７の帰還に並列に接続されるコンデンサ５８とにより構成されている。 The PLL circuit 41 multiplies the monitor signal output from the bandpass filter 37 in the drive circuit 40, and integrates and reduces the phase noise in time to output it. The timing generation circuit 42 generates and outputs a timing signal based on a signal obtained by multiplying the monitor signal output from the PLL circuit 41. The PLL circuit 41 and the timing generation circuit 42 constitute a timing control circuit 43. Reference numeral 47 denotes first DA switching means. The first DA switching means 47 has a first reference voltage 49 and a second reference voltage 50, and the first reference voltage 49 and the second reference voltage 50. The voltage 50 is switched by a predetermined signal. Reference numeral 51 denotes DA output means. The DA output means 51 is connected to the capacitor 52 to which the output signal of the first DA switching means 47 is input and to both ends of the capacitor 52, and operates at the second timing Φ2. The switches 53 and 54 for discharging the electric charge of the capacitor 52 are included. The first DA switching means 47 and the first DA output means 51 constitute a first DA converting means 48, and the first DA converting means 48 has the capacitor 52 at a first timing Φ1. The electric charge corresponding to the reference voltage output from the first DA switching means 47 is input / output. Reference numeral 55 denotes a first switch, and the first switch 55 outputs an output signal composed of a current from the first detection electrode 34 at the first timing Φ1. Reference numeral 56 denotes a first integration circuit. The output of the first switch 55 is input to the first integration circuit 56 and is connected in parallel to the operational amplifier 57 and the feedback of the operational amplifier 57. And a capacitor 58.

５９は第２のＤＡ切替手段で、この第２のＤＡ切替手段５９は、第１の基準電圧６０および第２の基準電圧６１を有し、そしてこの第１の基準電圧６０と第２の基準電圧６１を所定の信号により切り替えるものである。６２は第２のＤＡ出力手段で、この第２のＤＡ出力手段６２は前記第２のＤＡ切替手段５９の出力信号が入力されるコンデンサ６３と、このコンデンサ６３の両端に接続され、第２のタイミングΦ２で動作してコンデンサ６３の電荷を放電するスイッチ６４ａ，６４ｂとにより構成されている。そして、前記第２のＤＡ切替手段５９と第２のＤＡ出力手段６２とで第２のＤＡ変換手段６６を構成し、かつこの第２のＤＡ変換手段６６は第２のタイミングΦ２で前記コンデンサ６３の電荷を放電するとともに、第２のＤＡ切替手段５９が出力する基準電圧に応じた電荷を入出力するものである。６５は第２のスイッチで、この第２のスイッチ６５は前記第１のタイミングΦ１で、第２のセンス電極３５から出力信号を出力するものである。６７は第２の積分回路で、この第２の積分回路６７には前記第２のスイッチ６５の出力が入力されるもので、演算増幅器６８と、この演算増幅器６８の帰還に並列に接続されるコンデンサ６９とにより構成されている。７０は比較回路で、この比較回路７０には前記第１の積分回路５６が出力する積分信号と第２の積分回路６７が出力する積分信号とを比較する比較器７１と、Ｄ型フリップフロップ７２とにより構成されており、前記Ｄ型フリップフロップ７２に、比較器７１が出力する１ビットからなるデジタル信号を入力している。また、前記Ｄ型フリップフロップ７２は前記第１のタイミングΦ１の開始時に前記１ビットデジタル信号をラッチしてラッチ信号を出力するものであり、このラッチ信号は、前記第１のＤＡ変換手段４８の第１のＤＡ切替手段４７に入力されて第１の基準電圧４９または第２の基準電圧５０を切り替えるとともに、前記第２のＤＡ変換手段６６の第２のＤＡ切替手段５９に入力されて第１の基準電圧６０または第２の基準電圧６１を切り替えるものである。そして、前記第１のＤＡ変換手段４８、第２のＤＡ変換手段６６、第１の積分回路５６、第２の積分回路６７および比較回路７０によりΣΔ変調器７３を構成している。そして、このΣΔ変調器７３は上記構成により、前記振動子３０における第１のセンス電極３４および第２のセンス電極３５より出力される電荷をΣΔ変調し、１ビットデジタル信号に変換して出力するものである。 59 is a second DA switching means, and this second DA switching means 59 has a first reference voltage 60 and a second reference voltage 61, and the first reference voltage 60 and the second reference voltage 61. The voltage 61 is switched by a predetermined signal. Reference numeral 62 denotes second DA output means. The second DA output means 62 is connected to a capacitor 63 to which the output signal of the second DA switching means 59 is input, and to both ends of the capacitor 63. The switches 64a and 64b are operated at the timing Φ2 and discharge the capacitor 63. The second DA switching means 59 and the second DA output means 62 constitute a second DA converting means 66, and the second DA converting means 66 has the capacitor 63 at a second timing Φ2. The electric charge corresponding to the reference voltage output from the second DA switching means 59 is input / output. Reference numeral 65 denotes a second switch, and the second switch 65 outputs an output signal from the second sense electrode 35 at the first timing Φ1. Reference numeral 67 denotes a second integration circuit. The output of the second switch 65 is input to the second integration circuit 67 and is connected in parallel to the operational amplifier 68 and the feedback of the operational amplifier 68. The capacitor 69 is used. Reference numeral 70 denotes a comparison circuit. The comparison circuit 70 includes a comparator 71 that compares the integration signal output from the first integration circuit 56 with the integration signal output from the second integration circuit 67, and a D-type flip-flop 72. The D-type flip-flop 72 receives a 1-bit digital signal output from the comparator 71. The D-type flip-flop 72 latches the 1-bit digital signal at the start of the first timing Φ1 and outputs a latch signal. The latch signal is output from the first DA converter 48. The first DA switching means 47 inputs the first reference voltage 49 or the second reference voltage 50, and the second DA conversion means 66 inputs the second DA switching means 59 to the first DA voltage switching means 47. The reference voltage 60 or the second reference voltage 61 is switched. The first DA conversion means 48, the second DA conversion means 66, the first integration circuit 56, the second integration circuit 67, and the comparison circuit 70 constitute a ΣΔ modulator 73. With this configuration, the ΣΔ modulator 73 performs ΣΔ modulation on the electric charges output from the first sense electrode 34 and the second sense electrode 35 in the vibrator 30, converts it to a 1-bit digital signal, and outputs it. Is.

７４は補正演算手段で、この補正演算手段７４にはフリップフロップ７２が出力する１ビット信号が入力され、この１ビット差分信号と所定の補正情報との補正演算を置換処理により実現するものである。つまり、上記したように補正演算手段７４に入力される１ビット差分信号が“０”“１”“−１”であり、例えば、補正情報が“５”である場合にはそれぞれ“０”“５”“−５”と置き換えて出力する構成となっている。７５はデジタルフィルタで、このデジタルフィルタ７５には前記補正演算手段７４より出力されるデジタル信号が入力され、ノイズ成分を除去するフィルタリング処理を行うものである。そして、補正演算手段７４およびデジタルフィルタ７５により演算手段７６を構成している。また、この演算手段７６は、第１のタイミングΦ１で１ビットデジタル信号をラッチして、補正演算、フィルタリング処理を行い、マルチビット信号を出力している。そしてまた、前記タイミング制御回路４３とΣΔ変調器７３および演算手段７６によりセンス回路を構成している。 Reference numeral 74 denotes a correction calculation means. The correction calculation means 74 receives a 1-bit signal output from the flip-flop 72, and realizes a correction calculation between the 1-bit difference signal and predetermined correction information by replacement processing. . That is, as described above, the 1-bit difference signal input to the correction calculation unit 74 is “0”, “1”, “−1”, and for example, when the correction information is “5”, “0” “ The output is replaced with 5 ""-5 ". Reference numeral 75 denotes a digital filter. The digital filter 75 receives a digital signal output from the correction calculation means 74 and performs a filtering process to remove noise components. The correction calculation means 74 and the digital filter 75 constitute a calculation means 76. Further, the calculation means 76 latches the 1-bit digital signal at the first timing Φ1, performs correction calculation and filtering processing, and outputs a multi-bit signal. The timing control circuit 43, the ΣΔ modulator 73, and the calculation means 76 constitute a sense circuit.

以上のように構成された本発明の一実施の形態における角速度センサについて、次にその動作を説明する。 Next, the operation of the angular velocity sensor according to one embodiment of the present invention configured as described above will be described.

前記振動子３０の駆動電極３２に交流電圧を加えると、前記振動体３１が共振し、モニタ電極３３に電荷が発生する。このモニタ電極３３に発生した電荷をドライブ回路４０における電荷増幅器３６に入力し、正弦波形の出力電圧に変換する。そしてこの電荷増幅器３６の出力電圧をバンドパスフィルタ３７に入力し、前記振動体３１の共振周波数のみを抽出し、ノイズ成分を除去した図２（ａ）に示すような正弦波形を出力する。そしてまた、前記ドライブ回路４０におけるバンドパスフィルタ３７の出力信号をＡＧＣ回路３８が有する半波整流平滑回路（図示せず）に入力することにより、ＤＣ信号に変換する。そしてＡＧＣ回路３８はこのＤＣ信号が大の場合には前記ドライブ回路４０におけるバンドパスフィルタ３７の出力信号を減衰させるような信号を、一方、前記ＤＣ信号が小の場合には前記ドライブ回路４０におけるバンドパスフィルタ３７の出力信号を増幅させるような信号を駆動回路３９に入力し、そして前記振動体３１の振動が一定振幅となるように調整するものである。さらに、タイミング制御回路４３に、図２（ａ）に示される正弦波信号が入力され、そしてこの正弦波信号を前記ＰＬＬ回路４１で逓倍した信号をもとにタイミング生成回路４２により図２（ｂ）で示される第１のタイミングΦ１および第２のタイミングΦ２を形成する。そして、このタイミング信号が前記ΣΔ変調器７３および補正演算手段７４に、スイッチの切替およびラッチ回路のラッチタイミングとして入力される。 When an AC voltage is applied to the drive electrode 32 of the vibrator 30, the vibrating body 31 resonates and charges are generated at the monitor electrode 33. The charge generated on the monitor electrode 33 is input to the charge amplifier 36 in the drive circuit 40 and converted into a sinusoidal output voltage. Then, the output voltage of the charge amplifier 36 is input to a band pass filter 37, and only the resonance frequency of the vibrating body 31 is extracted, and a sine waveform as shown in FIG. Further, the output signal of the bandpass filter 37 in the drive circuit 40 is input to a half-wave rectifying / smoothing circuit (not shown) included in the AGC circuit 38 to be converted into a DC signal. The AGC circuit 38 generates a signal for attenuating the output signal of the bandpass filter 37 in the drive circuit 40 when the DC signal is large, while the AGC circuit 38 in the drive circuit 40 when the DC signal is small. A signal that amplifies the output signal of the bandpass filter 37 is input to the drive circuit 39, and the vibration of the vibrating body 31 is adjusted to have a constant amplitude. Further, the sine wave signal shown in FIG. 2A is input to the timing control circuit 43, and the timing generation circuit 42 generates the sine wave signal shown in FIG. The first timing Φ1 and the second timing Φ2 shown in FIG. This timing signal is input to the ΣΔ modulator 73 and the correction calculation means 74 as the switch timing and the latch timing of the latch circuit.

また、前記振動子３０が図１に図示している駆動方向に速度値に相当する電荷で屈曲振動している状態において、前記振動体３１の長手方向の中心軸周りに角速度ωで回転すると、この振動子３０にＦ＝２ｍＶ×ωのコリオリ力が発生する。このコリオリ力により前記振動子３０が有する第１のセンス電極３４および第２のセンス電極３５に、図２（ｃ）および図２（ｄ）に示すように電荷が発生する。そしてこの第１のセンス電極３４および第２のセンス電極３５に発生する電荷はコリオリ力により発生するため、前記モニタ電極３３に発生する信号より位相が９０度進んでいる。前記第１のセンス電極３４および第２のセンス電極３５に発生した出力信号は図２（ｃ）および図２（ｄ）に示す通り、正極性信号と負極性信号の関係にある。 When the vibrator 30 is bent and vibrated with a charge corresponding to a speed value in the driving direction illustrated in FIG. 1, when the vibrator 30 rotates at an angular velocity ω around the central axis in the longitudinal direction of the vibrator 31, A Coriolis force of F = 2 mV × ω is generated in the vibrator 30. Due to this Coriolis force, electric charges are generated in the first sense electrode 34 and the second sense electrode 35 of the vibrator 30 as shown in FIGS. 2C and 2D. Since the charges generated in the first sense electrode 34 and the second sense electrode 35 are generated by the Coriolis force, the phase is advanced 90 degrees from the signal generated in the monitor electrode 33. The output signals generated at the first sense electrode 34 and the second sense electrode 35 are in a relationship between a positive polarity signal and a negative polarity signal, as shown in FIGS. 2 (c) and 2 (d).

この場合におけるΣΔ変調器７３の動作を以下に説明する。このΣΔ変調器７３は第１のタイミングΦ１および第２のタイミングΦ２を繰り返すことによって動作するもので、第１のタイミングΦ１および第２のタイミングΦ２では振動子３０における第１のセンス電極３４および第２のセンス電極３５から出力される正極性信号または負極性信号がΣΔ変調されて１ビットデジタル信号に変換される。 The operation of the ΣΔ modulator 73 in this case will be described below. The ΣΔ modulator 73 operates by repeating the first timing Φ1 and the second timing Φ2, and at the first timing Φ1 and the second timing Φ2, the first sense electrode 34 and the second timing Φ2 in the vibrator 30 are operated. The positive or negative signal output from the second sense electrode 35 is ΣΔ modulated and converted into a 1-bit digital signal.

上記した第１のタイミングΦ１および第２のタイミングΦ２での動作をひとつずつ説明する。 The operations at the first timing Φ1 and the second timing Φ2 will be described one by one.

ここでは、振動子３０の中心軸を中心に所定の角速度が振動子３０に付与されて、振動子３０が回転し、第１のセンス電極３４および第２のセンス電極３５に８値に相当する電荷の出力電圧が発生する場合を考える。 Here, a predetermined angular velocity is applied to the vibrator 30 around the central axis of the vibrator 30 and the vibrator 30 rotates, and the first sense electrode 34 and the second sense electrode 35 correspond to eight values. Consider the case where a charge output voltage is generated.

まず、第１のタイミングΦ１では、振動子３０における第１のセンス電極３４から発生する８値に相当する電荷からなる出力信号が第１の積分回路５６におけるコンデンサ５８に保持されるとともに、このコンデンサ５８に保持されている出力信号が比較回路７０における比較器７１の反転端子７１ａに入力される。同様に、振動子３０における第２のセンス電極３５から発生する出力信号が第２の積分回路６７におけるコンデンサ６９に保持されるとともに、このコンデンサ６９に保持されている−８値に相当する電荷からなる出力信号が比較回路７０における比較器７１の非反転端子７１ｂに入力される。そうすると、比較器７１から比較結果として、１ビットデジタル信号“１”がフリップフロップ７２に入力され、第２のタイミングΦ２時に、フリップフロップ７２にラッチされる。そして、第２のタイミングΦ２で、第１のＤＡ出力手段５１におけるスイッチ５３およびスイッチ５４がＯＮになり、コンデンサ５２に保持されている電荷が放電されるとともに、第２のＤＡ出力手段６２におけるスイッチ６４ａおよびスイッチ６４ｂがＯＮになり、コンデンサ６３に保持されている電荷が放電される。そして、フリップフロップ７２からのラッチ信号“１”が、次の、第１のタイミングΦ１時に第１のＤＡ変換手段４８における第１のＤＡ切替手段４７に入力され、−１０値に相当する電荷を発生する第２の基準電圧５０に切り替えられる。同様に、第２のＤＡ変換手段６６における第２のＤＡ切替手段５９に入力され、１０値に相当する電荷を発生する第１の基準電圧６０に切り替えられる。そうすると、第１のＤＡ出力手段５１におけるコンデンサ５２に、第２の基準電圧５０の−１０値に相当する電荷に対応する電荷が蓄えられ、第１の積分回路５６に入力されるとともに、第２のＤＡ出力手段６２におけるコンデンサ６３に第１の基準電圧６０の１０値に相当する電荷に対応する電荷が蓄えられ、第２の積分回路６７に入力される。それとともに、第１のスイッチ５５がＯＮになり、前記振動子３０の第１のセンス電極３４より発生する８値に相当する電荷に対応する電荷が第１の積分回路５６に出力される。さらに、第２のスイッチ６５がＯＮになり、第２のセンス電極３５から８値に相当する電荷に対応する電荷が第２の積分回路６７に入力される。 First, at the first timing Φ1, an output signal composed of charges corresponding to eight values generated from the first sense electrode 34 in the vibrator 30 is held in the capacitor 58 in the first integrating circuit 56, and this capacitor The output signal held at 58 is input to the inverting terminal 71 a of the comparator 71 in the comparison circuit 70. Similarly, the output signal generated from the second sense electrode 35 in the vibrator 30 is held in the capacitor 69 in the second integration circuit 67 and from the electric charge corresponding to the −8 value held in the capacitor 69. The output signal is input to the non-inverting terminal 71 b of the comparator 71 in the comparison circuit 70. Then, a 1-bit digital signal “1” is input to the flip-flop 72 as a comparison result from the comparator 71, and is latched by the flip-flop 72 at the second timing Φ2. Then, at the second timing Φ2, the switch 53 and the switch 54 in the first DA output means 51 are turned on, the electric charge held in the capacitor 52 is discharged, and the switch in the second DA output means 62 64a and the switch 64b are turned on, and the electric charge held in the capacitor 63 is discharged. Then, the latch signal “1” from the flip-flop 72 is input to the first DA switching unit 47 in the first DA conversion unit 48 at the next first timing Φ1, and the charge corresponding to the −10 value is supplied. The generated second reference voltage 50 is switched. Similarly, it is input to the second DA switching means 59 in the second DA conversion means 66 and switched to the first reference voltage 60 that generates a charge corresponding to 10 values. Then, the charge corresponding to the charge corresponding to the −10 value of the second reference voltage 50 is stored in the capacitor 52 in the first DA output means 51 and is input to the first integration circuit 56 and the second A charge corresponding to a charge corresponding to 10 values of the first reference voltage 60 is stored in the capacitor 63 of the DA output means 62 and input to the second integration circuit 67. At the same time, the first switch 55 is turned on, and a charge corresponding to the charge corresponding to the eight values generated from the first sense electrode 34 of the vibrator 30 is output to the first integrating circuit 56. Further, the second switch 65 is turned ON, and the charge corresponding to the charge corresponding to the eight values is input from the second sense electrode 35 to the second integration circuit 67.

これにより第２のタイミングΦ２では、第１の積分回路５６におけるコンデンサ５８に、図２（ｃ）の斜線部で示される電荷量と第１のＤＡ変換手段４８より出力される電荷量の総和が積分されて６値に相当する電荷からなる出力信号が第１の積分回路５６に保持されることになる。同様に、第２の積分回路６７におけるコンデンサ６９に、図２（ｄ）の斜線部で示される電荷量と第２のＤＡ変換手段６６より出力される電荷量の総和が積分されて−６値に相当する電荷からなる出力信号が第２の積分回路６７に保持されることになる。そして、比較器７１により比較して、フリップフロップ７２に１ビットデジタル信号として出力されることになる。そして、このような前述のサイクルを繰り返すことにより、第１の積分回路５６に保持される電圧は順次２値に相当する電荷づつ低下し、一方、第２の積分回路６７に保持される電圧は順次、２値に相当する電荷づつ増加する。その結果、第１の積分回路５６および第２の積分回路６７に保持される電圧が０値に相当する電荷になるまでは、“１”の出力信号が出力される。その後、第１の積分回路５６に保持される電圧が−２値に相当する電荷になるとともに、第２の積分回路６７に保持される電圧が２値に相当する電荷になると、比較器７１からは、“−１”出力信号が出力される。そうすると、フリップフロップ７２からは、“−１”の出力信号が第１のＤＡ切替手段４７および第２のＤＡ切替手段５９に入力され、第１のＤＡ変換手段４８における第１の基準電圧４９から、１０値に相当する電荷の電圧が出力され、対応した電荷がコンデンサ５２に保持されるとともに、第２のＤＡ変換手段６６における第２の基準電圧６１からは、−１０値に相当する電荷の電圧が出力され、対応する電荷がコンデンサ６３に保持される。そうすると、第１の積分回路５６に１６値に相当する電荷の電圧が保持されるとともに、第２の積分回路６７に−１６値に相当する電荷の電圧が保持される。以後、第１の積分回路５６および第２の積分回路６７の出力電圧が順次２値に相当する電荷づつ変化して、“１”の出力信号が９回出力された後、“−１”の出力信号が１回出力され、マルチビット化すると、“０．８”の出力信号が出力されて、角速度の信号として検出されるものである。 Accordingly, at the second timing Φ2, the sum of the charge amount indicated by the hatched portion in FIG. 2C and the charge amount output from the first DA conversion means 48 is stored in the capacitor 58 in the first integration circuit 56. An integrated output signal consisting of charges corresponding to six values is held in the first integrating circuit 56. Similarly, the capacitor 69 in the second integration circuit 67 is integrated with the sum of the charge amount indicated by the hatched portion in FIG. 2D and the charge amount output from the second DA conversion means 66 to obtain a −6 value. The second integration circuit 67 holds an output signal composed of charges corresponding to. Then, it is compared by the comparator 71 and output to the flip-flop 72 as a 1-bit digital signal. Then, by repeating such a cycle as described above, the voltage held in the first integration circuit 56 sequentially decreases by a charge corresponding to a binary value, while the voltage held in the second integration circuit 67 is Sequentially, the charge corresponding to the binary value increases. As a result, an output signal of “1” is output until the voltage held in the first integration circuit 56 and the second integration circuit 67 becomes a charge corresponding to a zero value. After that, when the voltage held in the first integration circuit 56 becomes a charge corresponding to −2, and the voltage held in the second integration circuit 67 becomes a charge corresponding to a binary value, the comparator 71 Outputs a "-1" output signal. Then, an output signal of “−1” is input from the flip-flop 72 to the first DA switching unit 47 and the second DA switching unit 59, and from the first reference voltage 49 in the first DA conversion unit 48. A charge voltage corresponding to 10 values is output, the corresponding charge is held in the capacitor 52, and from the second reference voltage 61 in the second DA converter 66, the charge corresponding to -10 value is output. A voltage is output and the corresponding charge is held in the capacitor 63. Then, the first integration circuit 56 holds a charge voltage corresponding to 16 values, and the second integration circuit 67 holds a charge voltage corresponding to −16 values. Thereafter, the output voltages of the first integration circuit 56 and the second integration circuit 67 are sequentially changed by the charge corresponding to the binary value, and the output signal “1” is output nine times. When the output signal is output once and converted into multi-bits, an output signal of “0.8” is output and detected as an angular velocity signal.

上記したように本発明の一実施の形態においては、比較回路７０からの出力信号を基に、第１のＤＡ変換手段４８および第２のＤＡ変換手段６６からの出力信号のレベルを切り替えるようにしているため、比較回路７０よりデジタル信号からなる角速度信号を出力することができ、これにより、デジタル信号からなる角速度信号にデジタル信号からなる故障信号を足し合わせて出力することができるという効果が得られるものである。 As described above, in one embodiment of the present invention, the level of the output signal from the first DA converter 48 and the second DA converter 66 is switched based on the output signal from the comparison circuit 70. Therefore, the comparison circuit 70 can output an angular velocity signal made up of a digital signal, thereby obtaining an effect of adding a failure signal made up of a digital signal to an angular velocity signal made up of a digital signal. It is what

ここで、モニタ信号と同相の不要信号が、発生する場合を考えると、不要信号は、図２（ｅ）に示すように、第１のセンス電極３４から発生する出力信号よりも、位相が９０度遅れており、同様に、図２（ｆ）に示すように、第２のセンス電極３５から発生する出力信号よりも、位相が９０度遅れている。それゆえに、第１の積分回路５６および第２の積分回路６７により積分すると、零値となり、不要信号がキャンセルされるものである。 Here, considering the case where an unnecessary signal having the same phase as the monitor signal is generated, the unnecessary signal has a phase of 90 than that of the output signal generated from the first sense electrode 34 as shown in FIG. Similarly, as shown in FIG. 2 (f), the phase is delayed by 90 degrees from the output signal generated from the second sense electrode 35. Therefore, when integration is performed by the first integration circuit 56 and the second integration circuit 67, a zero value is obtained, and unnecessary signals are canceled.

本発明にかかる角速度センサは、ＢＩＴ論理により角速度信号を故障信号に切り替えて出力することにより、時間的な遅れが生じるということがなく、時間的な応答性を向上させることができるという効果を有し、特に、航空機、車両などの移動体の姿勢制御やナビゲーションシステム等に用いられるデジタル回路を用いた角速度センサとに有用である。 The angular velocity sensor according to the present invention has an effect that the temporal responsiveness can be improved without causing a time delay by switching the angular velocity signal to the failure signal and outputting it by the BIT logic. In particular, it is useful for an angular velocity sensor using a digital circuit used for attitude control of a moving body such as an aircraft or a vehicle, a navigation system, or the like.

本発明の一実施の形態におけるΣΔ型ＡＤ変換器を用いた角速度センサの回路図1 is a circuit diagram of an angular velocity sensor using a ΣΔ AD converter according to an embodiment of the present invention. （ａ）〜（ｆ）同角速度センサの動作状態を示す図(A)-(f) The figure which shows the operation state of the same angular velocity sensor 従来の角速度センサの回路ブロック図Circuit block diagram of conventional angular velocity sensor 同角速度センサにおける駆動回路およびその故障検出回路を示すブロック図Block diagram showing drive circuit and failure detection circuit in same angular velocity sensor 同角速度センサにおける故障情報を保存する状態を示す図The figure which shows the state which preserves the failure information in the same angular velocity sensor

Explanation of symbols

３０振動子
３２駆動電極
３３モニタ電極
３４第１のセンス電極
３５第２のセンス電極
４８第１のＤＡ変換手段
５６第１の積分回路
６６第２のＤＡ変換手段
６７第２の積分回路
７０比較回路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 30 Vibrator 32 Drive electrode 33 Monitor electrode 34 1st sense electrode 35 2nd sense electrode 48 1st DA conversion means 56 1st integration circuit 66 2nd DA conversion means 67 2nd integration circuit 70 Comparison circuit

Claims

A vibrator provided with a drive electrode, a first sense electrode, a second sense electrode, and a monitor electrode, a drive circuit for driving and vibrating the vibrator at a predetermined drive frequency, and output of charge amounts of at least two levels First DA converting means and second DA converting means, a first integrating circuit for integrating charges output from the first sense electrode and the first DA converting means and holding the integrated value; , A second integration circuit that integrates the charges output from the second sense electrode and the second DA conversion means and holds the integrated value, and from the first integration circuit and the second integration circuit, An angular velocity sensor comprising a comparison circuit for comparing output signals, wherein the level of the output signal from the first DA conversion means and the second DA conversion means is switched based on the output signal from the comparison circuit.