JP2009016375A - 半導体装置の製造方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】A-A線までエッチングされると、SOG膜16からBPSG膜14の一部が露出する。BPSG膜14の一部が露出する点が「露出開始点」である。エッチング中の酸素原子のプラズマ発光強度の時間変化を観測して「露出開始点」を検出する。この「露出開始点」を基準として「エッチング終点」を設定するEPD検出を行い、BPSG膜14の露出開始後もエッチングを継続し、BPSG膜14の全面が露出するB-B線に到達する前に、C-C線でエッチングを終了する。
【選択図】図2
Description
コンピュータ52は、図示しない入力装置から「エッチングの開始」が指示されると、エッチング制御処理のルーチンを開始する。なお、このとき既に、被処理物38は下部電極40上に載置され、反応性ガスはガス導入口34より真空チャンバー32内に導入されている。
アルミニウム配線など回路パターンが形成された半導体基板を用意した。この半導体基板は、300nm程度の段差を有している。この半導体基板上に、絶縁膜としてBPSG膜を膜厚500nmで形成した。BPSG膜はほぼ一定の厚さで、BPSG膜の表面には、回路パターンによる段差が反映されている。次に、BPSG膜上にSOG膜を形成した。SOG膜は、BPSG膜の表面の段差を埋め、表面がほぼ平坦になるように形成されている。SOG膜は、最も厚い部分で膜厚が約450nmであり、最も薄い部分で膜厚が約150nmである。
アルミニウム配線など回路パターンが形成された半導体基板を用意した。この半導体基板は、実施例1と同じものを用いた。この半導体基板上に、絶縁膜としてBPSG膜を膜厚500nmで形成した。BPSG膜はほぼ一定の厚さで、BPSG膜の表面には、回路パターンによる段差が反映されている。
実施例1と同様にして、回路パターンが形成された半導体基板上に、BPSG膜とSOG膜とを形成した。図1に図示したのと同じ構成のエッチング装置を用い、BPSG膜とSOG膜とが形成された半導体基板を、真空チャンバー内の下部電極上に載置した。実施例1と同様に、三フッ化メタン(CHF3)と酸素(O2)を混合した反応性ガスを導入し、高周波電圧を印加してプラズマを発生させ、プラズマエッチングを開始した。酸素原子のプラズマ発光強度の時間変化を観測して、BPSG膜の全面が露出する「全面露出点」経過後に、エッチングを終了した。
12 半導体基板
14 BPSG膜
16 SOG膜
18 レジストマスク
20 コンタクトホール
22 コンタクトホール
24 コンタクトホール
26 コンタクトホール
30 エッチング装置
32 真空チャンバー
34 ガス導入口
36 ガス排出口
38 被処理物
40 下部電極
42 上部電極
44 観察窓
44 高周波電源
46 フィルター
48 光センサ
50 アナログ/デジタル変換器
52 コンピュータ
Claims (4)
- 回路パターンが形成された半導体基板上に、絶縁膜としてシリコン酸化膜とスピンオングラス膜(SOG膜)とをこの順に積層し、
プラズマエッチングによる前記絶縁膜の平坦化を開始し、
エッチング中の酸素原子のプラズマ発光強度の時間変化を観測して、前記プラズマ発光強度が一定になった後再び増加し始める前記シリコン酸化膜の露出開始点を検出し、
前記露出開始点又は前記露出開始点から所定時間内に、前記プラズマエッチングを終了する、
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記プラズマ発光強度が再び一定になる前記シリコン酸化膜の全面露出点より前に、前記プラズマエッチングを終了することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シリコン酸化膜が、リン、ホウ素が添加されたシリコン酸化膜(BPSG膜)であることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
- 回路パターンが形成され、該回路パターン上に絶縁膜としてシリコン酸化膜とスピンオングラス膜(SOG膜)とがこの順に積層された半導体基板に対し、プラズマエッチングを行うエッチング装置と、
エッチング中の酸素原子のプラズマ発光強度の時間変化を観測する観測手段と、
前記観測手段の観測結果に基づいて、前記プラズマ発光強度が一定になった後再び増加し始める前記シリコン酸化膜の露出開始点を検出する検出手段と、
前記検出手段で検出された前記露出開始点又は前記露出開始点から所定時間内に、前記プラズマエッチングを停止する停止手段と、
を備えたことを特徴とする半導体装置の製造装置。
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