JP2009012104A - 被研磨物支持工具及び研磨装置 - Google Patents

Abstract

【課題】複数の被研磨物を研磨工具に当接させて研磨する際に、被研磨物を支持する被研磨物支持工具を提供する。
【解決手段】被研磨物を直接支持する被研磨物受け具６と、被研磨物受け具６を複数個同時に支持して装置本体側の支持棒に回転可能に支持される被研磨物受け具支持具２２とを備える。複数の被研磨物受け具６は、被研磨物受け具支持具２２の回転中心を中心とした周囲にそれぞれ支持される。被研磨物受け具支持具２２を支持する支持棒は研磨工具の回転軸芯から傾斜して配設される。
【選択図】図６

Description

本発明は、光学素子の材料として用いられるガラス等の被加工物を研削・研磨装置で球面形状、平面形状等に研削・研磨加工する際に用いられる被加工物支持工具に関する。

ガラス等の被加工物を球面形状等に研削・研磨加工する研削・研磨装置は一般に知られている。この例として特許文献１がある。この特許文献１の研削・研磨装置を図２に基づいて概説する。

図中の研磨工具１は、駆動モータ(図示せず)に連結された工具基体１ｂの半球状の工具面１ａに研磨シート３を接着して構成されている。この研磨工具１は、被加工物であるガラスレンズ５と接する面であって、凹凸相反する形状で曲率半径の略一致する研磨表面４を有している。ガラスレンズ５は、レンズ受け具６に保持されて研磨工具１の研磨表面４に当接され、レンズ受け具６の支持部８に合致された支持棒７により適宜設定された圧力で押圧される。

また、研磨工具１の研磨表面４上には研磨液１１を噴出するノズル１０が設けられている。このノズル１０には濾過器１２が取り付けられている。

以上の研磨工具１では、レンズ受け具６に保持されたガラスレンズ５の被加工面を研磨工具１の研磨表面４に当接させるとともに支持棒７を介して適宜設定された圧力で押圧し、ノズル１０の先端部に取り付けられた濾過器１２のフィルター素材１３を介して不純物が分離された状態の研磨液１１を研磨工具１の研磨表面４上に噴出させる。そして、研磨工具１の取り付けられた下軸を回転させて研磨工具１を回転させ、かつ支持棒７を介してガラスレンズ５を矢印ｂの方向に適度な揺動運動を与えて、ガラスレンズ５の研磨加工を行う。
特開２００３−３３４７４７号公報

ところで、前記研削・研磨装置では、１つのガラスレンズ５を加工する際には何ら問題なくガラスレンズ５を研磨することができる。

しかし、ガラスレンズ５を１枚ずつ研磨する前記研削・研磨装置では、多数のガラスレンズ５を研磨しなければならない場合には効率が悪い。大量のガラスレンズ５を短い納期で仕上げなければならないような場合には、前記研削・研磨装置では対応できず、作業効率の良い前記研削・研磨装置が望まれる。

その一方で、前記研削・研磨装置を新たな装置に入れ替えるのはコストがかかるため、既存の設備を利用して研磨作業の効率を向上させる研削・研磨装置が望まれる。

本発明は、上述の問題点を解決するためになされたものであり、既存の装置に組み込むだけで既存の設備をそのまま利用して研磨作業効率を向上させることができる被研磨物支持工具及び研磨装置を提供することを目的とする。

前記課題を解決するために本発明に係る被研磨物支持工具は、被研磨物を研磨工具に当接させて研磨する際に、前記被研磨物を支持する被研磨物支持工具であって、前記被研磨物を直接支持する被研磨物受け具と、当該被研磨物受け具を複数個同時に支持して装置本体側の支持棒に回転可能に支持される被研磨物受け具支持具とを備え、前記複数の被研磨物受け具が、前記被研磨物受け具支持具の回転中心を中心とした周囲にそれぞれ支持されたことを特徴とする。

以上の構成により、前記被研磨物受け具支持具の回転中心を中心とした周囲にそれぞれ支持された前記複数の被研磨物受け具が、前記被研磨物を支持して前記研磨工具に当接させ、前記研磨工具が回転される。これにより、前記被研磨物受け具支持具が回転して、前記被研磨物受け具で支持された前記被研磨物が前記研磨工具の表面で研磨される。

前記被研磨物受け具支持具は、前記複数の被研磨物受け具を、前記被研磨物受け具支持具の回転中心を中心とした同心円の位置にそれぞれ支持し、前記被研磨物受け具支持具を支持する支持棒が前記研磨工具の回転軸芯から傾斜して配設されることが望ましい。前記被研磨物受け具支持具は、前記複数の被研磨物受け具を、前記被研磨物受け具支持具の回転中心を中心とした、点対称位置又は正多角形の頂点位置にそれぞれ支持されることが望ましい。前記被研磨物受け具支持具は３つの足部を備えた三又状に形成されてその回転中心を中心とした正三角形の頂点位置である各足部に前記被研磨物受け具が支持されると共に、各足部は、前記研磨工具の湾曲面又は平面に合わせて湾曲して又は平面状に形成されることが望ましい。前記被研磨物受け具支持具は３つの足部を備えた三又状に形成されてその回転中心を中心とした正三角形の頂点位置である各足部に前記被研磨物受け具が支持されると共に、各足部が、前記研磨工具の湾曲面に合わせて回動可能に支持されることが望ましい。前記被研磨物受け具は、前記被研磨物受け具支持具に弾性体を介在させて回転可能に支持されることが望ましい。前記被研磨物受け具支持具は、前記被研磨物受け具を支持すると共に当該被研磨物受け具の位置を調整する長孔を備えることが望ましい。前記被研磨物受け具支持具は、前記研磨工具に合わせて円盤状又はほぼ円盤状に形成され、前記被研磨物受け具支持具の回転中心を中心とした、点対称位置又は正多角形の頂点位置に、前記被研磨物受け具を支持する円孔又は長孔を備えることが望ましい。前記複数の被研磨物受け具は、前記被研磨物受け具支持具の回転中心を中心とした、寸法の異なる複数の正多角形の頂点位置にそれぞれ支持されることが望ましい。また、被研磨物を研磨工具に当接させて研磨する研磨装置の被研磨物支持工具として、前記被研磨物支持工具を用いることが望ましい。

前記被研磨物支持工具を前記被研磨物受け具と前記支持棒の間に装着するため、被研磨物支持工具を既存の研磨装置にそのまま組み込むことができる。

被研磨物支持工具は低コストで製造できるため、低コストで且つ極めて容易に、既存の研磨装置の研磨作業効率を向上させることができる。

特に動力を用いないで被研磨物を自転させながら公転させることができると共に、被研磨物受け具を研磨工具の研磨表面の全域に亘って移動させて研磨するため、複数の被研磨物全てに対して同じ条件で研磨することができ、精密で、個体差の少ない均一な研磨を行うことができるようになる。

以下、本発明の実施形態に係る被研磨物支持工具及び研磨装置について添付図面を参照しながら説明する。

本実施形態に係る被研磨物支持工具は、被研磨物であるガラスレンズ等の光学素子を研磨工具に当接させて研磨する際に、前記被研磨物を支持するための工具である。ここでは、被研磨物としてガラスレンズを例に説明する。

本実施形態の被研磨物支持工具２１は、既存の研磨装置にそのまま組み込んで使用するための工具である。既存の研磨装置としては、例えば上述した従来の研削・研磨装置がある。以下では、この従来の研削・研磨装置を用いて説明する。被研磨物支持工具２１は、この研削・研磨装置のレンズ受け具６と支持棒７との間に介在させて研磨作業の効率化を図る工具である。なお、被研磨物支持工具２１を組み込む研削・研磨装置では、研磨工具１はレンズ受け具６を同時に複数枚当接できる寸法になっている。

被研磨物支持工具２１は、図１、３〜７に示すように、ガラスレンズ５を直接支持する被研磨物受け具としてのレンズ受け具６と、このレンズ受け具６を複数個同時に支持して装置本体側の支持棒７に回転可能に支持される被研磨物受け具支持具２２とを備えて構成されている。

レンズ受け具６は、既存の研削・研磨装置の部品である。本実施形態の被研磨物支持工具２１は、この既存のレンズ受け具６をそのまま利用して研磨作業の効率化を図るものである。ここでは、レンズ受け具６を３個用いる。

被研磨物受け具支持具２２は、複数のレンズ受け具６を、被研磨物受け具支持具２２の回転中心（支持棒７を軸心とした回転中心）を中心とした周囲にそれぞれ支持する。支持棒７は、研磨工具１の回転軸芯から傾斜して配設されている。これにより、支持棒７に支持された被研磨物受け具支持具２２も、研磨工具１の回転軸芯から傾斜して配設されている（図６参照）。

被研磨物受け具支持具２２は具体的には足部２３とハブ２４とから構成されている。足部２３は、３つ備えており、全体として三又状に形成されている。この３つの足部２３は、１２０度間隔で配設されている。各足部２３は、前記研磨工具１の湾曲面に合わせて湾曲して形成されている（図３、６参照）。

各足部２３には長孔２５がそれぞれ設けられている。この長孔２５は、レンズ受け具６を支持してその位置を調整するための孔である。長孔２５は、足部２３の全長に亘って設けられている。

各長孔２５には、レンズ受け具６を支持するレンズ受け具支持棒２６がそれぞれ取り受けられる（図６、７参照）。レンズ受け具支持棒２６は、レンズ受け具６の支持部８に嵌合して、レンズ受け具６を研磨工具１に当接した状態で支持するための部材である。レンズ受け具支持棒２６は、支持筒部２７と、支持棒部２８と、スプリング２９と、ナット３０とから構成されている。

支持筒部２７は、支持棒部２８をスライド可能に支持するための部材である。支持筒部２７の直径は足部２３の長孔２５の幅とほぼ同じ寸法に設定されている。支持筒部２７の先端部（図７の下端部）近傍には位置決め用フランジ２７Ａが設けられている。支持筒部２７が長孔２５に挿入されてこの位置決め用フランジ２７Ａが足部２３の下側面に当接した状態で支持筒部２７が足部２３に固定される。支持筒部２７の基端部には、ナット３０がねじ込まれるためのねじ山が設けられている。

支持棒部２８は、支持筒部２７内に装着されて、レンズ受け具６を支持するための部材である。支持棒部２８の先端部は、前記支持部８に嵌合できるように、前記支持棒７と同じ形状になっている。

スプリング２９は、支持棒部２８を弾性的に支持するための弾性体である。スプリング２９は支持筒部２７内に挿入された状態で支持棒部２８に基端部を付勢することで、支持棒部２８を弾性的に支持している。このスプリング２９によって支持棒部２８が長いストロークで支持されている。これにより、レンズ受け具６は、被研磨物受け具支持具２２にスプリング２９を介在させて回転可能に支持されている。なお、支持棒部２８のストロークをあまり長くする必要がない場合は、弾性体としてスプリング２９の代わりにゴム等を用いてもよい。

ナット３０は、支持筒部２７を足部２３に固定するための部材である。支持筒部２７が長孔２５に挿入されて位置決め用フランジ２７Ａが足部２３の下側面に当接した状態で、ナット３０が支持筒部２７にねじ込まれてこの支持筒部２７が足部２３に固定される。

レンズ受け具支持棒２６の支持筒部２７の基端部には、ねじ山が設けられ、ナット３０が取り付けられている。長孔２５内で位置調整されたレンズ受け具支持棒２６は、ナット３０によって固定される。３つのレンズ受け具支持棒２６は、被研磨物受け具支持具２２の回転中心の周囲であって当該回転中心を中心とした正三角形の頂点位置に配設される。そして、レンズ受け具６が前記正三角形の頂点位置である各足部２３に支持される。他の配列でも良いが、正三角形の頂点位置が望ましい。

ハブ２４は、各足部２３を支持するための部材である。このハブ２４と各足部２３とは一体的に形成されている。ハブ２４には装着穴３３が設けられている。この装着穴３３の内側面にはねじ山が設けられている。装着穴３３にはソケット３４が取り付けられる（図４参照）。このソケット３４は、底面壁を有する円筒状に形成されている。このソケット３４の底面には円錐状の支持棒受け部３５が設けられている。この支持棒受け部３５は、円錐状の中心部が最も低くなっている。これにより、支持棒７が挿入されると、その先端部が円錐状の傾斜面に案内されて必然的に支持棒受け部３５の中心部に移動して支持されるようになっている。これにより、ソケット３４は、支持棒７で支持されることによって、横ずれが抑えられて、支持棒受け部３５の中心部を中心とした回転と揺動が許容されるようになっている。

ソケット３４にはストッパ３６が取り付けられている（図５参照）。ストッパ３６は、ソケット３４の設定位置に取り付けられる。ストッパ３６が取り付けられたソケット３４は、被研磨物受け具支持具２２の装着穴３３に取り付けられて、ストッパ３６で挿入位置が調整されている。ソケット３４の外周面にはねじ山が設けられている。これにより、ソケット３４が前記装着穴３３にねじ込まれると共にストッパ３６がソケット３４にねじ込まれる。

以上のように構成された被研磨物支持工具２１は次のようにして使用される。

既存の研削・研磨装置のレンズ受け具６を支持棒７から外して、研磨対象のレンズを装着したレンズ受け具６を３つ用意する。これらのレンズ受け具６の支持部８と、被研磨物支持工具２１の各レンズ受け具支持棒２６の先端とを合わせて、各レンズ受け具６を研磨工具１の研磨表面４に当接させる。次いで、被研磨物受け具支持具２２のソケット３４に支持棒７を挿入して、支持棒７の先端を支持棒受け部３５に当接させる。これにより、支持棒７でソケット３４が支持されて押圧されると、支持棒７は支持棒受け部３５でほぼ点接触されているため、圧力が分散して３つのレンズ受け具６に均等に作用する。

この状態で、駆動モータによって研磨工具１を回転させる。これにより、３つのレンズ受け具６のうち、研磨工具１の研磨表面４の縁部（図６の半球状の研磨表面４の下端部）付近に位置するレンズ受け具６は、研磨工具１の回転軸芯（図６の半球状の研磨表面４の上端部）付近のレンズ受け具６よりも回転方向の力を強く受ける。これにより、研磨表面４の縁部付近のレンズ受け具６が受ける回転方向の力により被研磨物受け具支持具２２が回転して、３つのレンズ受け具６は、研磨表面４の縁部付近から回転軸芯付近までを交互に移動する。さらに、各レンズ受け具６は、研磨工具１の回転軸芯付近では研磨工具１の回転によって、研磨表面４の縁部付近ではコリオリ力によって自転する。即ち、各レンズ受け具６は、レンズ受け具支持棒２６に支持されて自転すると共に、支持棒７に支持された被研磨物受け具支持具２２の回転によって公転する。さらに、支持棒７によるソケット３４の支持棒受け部３５での支持と、各レンズ受け具支持棒２６のスプリング２９とで、各レンズ受け具６は均一な圧力で押圧される。これにより、３つのガラスレンズ５は同時にかつ均等に研磨されていく。

このとき、各レンズ受け具支持棒２６を、被研磨物受け具支持具２２の回転中心を中心とした正三角形の頂点位置に配設すると、３つのレンズ受け具６が同一軌跡を辿りながら研磨工具１の研磨表面４を移動するため、３つのガラスレンズ５はさらに均等に研磨される。

以上のように、被研磨物支持工具２１をレンズ受け具６と支持棒７の間に装着することにより、被研磨物支持工具２１を既存の研削・研磨装置にそのまま組み込むことができ、既存の研削・研磨装置の研磨作業効率を大幅に向上させることができる。

しかも、被研磨物支持工具２１は低コストで製造できるため、低コストで且つ極めて容易に、既存の研削・研磨装置の研磨作業効率を向上させることができる。

さらに、動力を用いないでガラスレンズ５を自転させながら公転させることができると共に、レンズ受け具６を研磨工具１の研磨表面４の縁部付近から回転軸芯付近まで全域に亘って移動させて研磨するため、既存の研削・研磨装置そのままで、複数のガラスレンズ５全てに対して同じ条件で精密に研磨することができるようになる。

特に、レンズ受け具支持棒２６を被研磨物受け具支持具２２の回転中心を中心とした正三角形の頂点位置に配設することで、３つのレンズ受け具６が全て同じ軌跡を辿って研磨工具１の研磨表面４を移動することができ、精密で、個体差の少ない均一な研磨を行うことができるようになる。

[変形例]
前記実施形態では、レンズ受け具６を支持するレンズ受け具支持棒２６を被研磨物受け具支持具２２に対して、その回転中心を中心とした正三角形の頂点位置にそれぞれ配設したが、正三角形の頂点位置からずれた位置に配設しても良い。研磨工具１の研磨表面４の前面を使用したい場合等の諸条件に応じて適宜設定できる。

また、前記被研磨物受け具支持具２２は、各レンズ受け具支持棒２６を前記正三角形の頂点位置にそれぞれ配設したが、足部２３の数に応じて、点対称位置又は正四角形以上の正多角形の頂点位置にそれぞれ配設するようにしても良い。

前記実施形態では、被研磨物受け具支持具２２の足部２３を、前記研磨工具１の湾曲面に合わせて湾曲して形成したが、研磨工具１の研磨表面４が平坦な場合は、足部２３も直線状になる。また、研磨工具１の研磨表面４が凹面状になる場合は、前記被加工物受け具支持具２２の足部２３は、前記実施形態の場合とは逆方向に湾曲して形成される。

前記実施形態では、被研磨物受け具支持具２２の足部２３とハブ２４とを一体的に設けたが、図８に示すように、別部材にしても良い。この場合、足部２３に嵌合凹部２３Ａを設け、ハブ２４に嵌合凸部２４Ａを設け、これら嵌合凹部２３Ａと嵌合凸部２４Ａとを互いに嵌合してボルト３８で固定する。これにより、各足部２３を、前記研磨工具１の湾曲面に合わせて回動させて固定して、球面状の研磨工具１から平坦面状に研磨工具１まで対応させることができる。

前記実施形態では、被研磨物受け具支持具２２の各足部２３に１ずつのレンズ受け具支持棒２６をそれぞれ取り付けるようにしたが、既存の具支持具２２に、又は図９に示すように、足部２３及び長孔２５を長くして、レンズ受け具支持棒２６を１つの長孔２５に２つ以上設けるようにしても良い。これにより、レンズ受け具６の数を２倍にすることができ、研磨作業の効率をさらに向上させることができる。また、孔の位置及び大きさは図１０及び図１１のようにしてもよい。図１０及び図１１は、図９と同じように足部とハブとを備えた被加工物受け具支持具を概略的に描いたものである。図１０では、図９の長孔２５の代わりに、円孔２５Ａを設け、図９と同じ位置にレンズ受け具支持棒２６を設けている。図１１は、２つの同心円状にレンズ受け具支持棒２６を設ける態様である。図１１では、図９の３つの足部に加えて、それらの間に短い足部を３つ設けると共に、各足部に円孔又は長孔２５Ｂを設けて、２つの同心円状にレンズ受け具支持棒２６を設けた例である。

前記実施形態では、被研磨物受け具支持具２２の各足部２３の長孔２５にレンズ受け具支持棒２６を取り付けたが、レンズ受け具支持棒２６の位置決めを正確にするために、図１２に示すように、位置決め板３９を設けてもよい。位置決め板３９は、レンズ受け具支持棒２６の設置位置に合わせてこのレンズ受け具支持棒２６を通す孔を予め設けておき、この位置決め板３９と足部２３とにレンズ受け具支持棒２６を通して取り付ける。

前記実施形態では、被研磨物受け具支持具２２を複数の足部２３を備えて構成したが、図１３に示すように、前記研磨工具１の湾曲面に沿ってこの湾曲面を覆うように構成しても良い。図１１の例では、被研磨物受け具支持具４０が平坦な円盤状に形成されている。この円盤状の被研磨物受け具支持具４０に多数の円孔４１が設けられている。この円孔４１は、前記被研磨物受け具支持具２２の回転中心を中心とした、点対称位置又は正多角形の頂点位置に設けられている。円孔４１が２つの場合は点対称位置に、３つ以上の場合は正多角形の頂点位置に設けられる。ここでは、８個の円孔４１を設けているため、正八角形の頂点位置に設けられる。また、前記回転中心を中心とした円周上の位置に円孔４１を設けてもよい。この場合、円周上の等間隔に位置や、点対称、線対称の位置等の任意の位置に円孔４１を設けてもよい。

なお、被研磨物受け具支持具４０は、円盤状に限らず、ほぼ円盤状、楕円状等の他の形状でも良い。また、円孔４１の代わりに長孔を設けてもよい。

また、図１４のように、被研磨物受け具支持具４０の円孔４１を２段にしても良い。即ち、各円孔４１を、寸法の異なる２つの正八角形の頂点位置にそれぞれ設けてもよい。また、寸法の異なる３つ以上の正多角形の頂点位置にそれぞれ設けてもよい。また、２つ以上の同心円状の任意の位置に設けてもよい。

本発明に係る被研磨物支持工具の被研磨物受け具支持具を示す平面図である。 従来の研削・研磨装置を示す概略構成図である。 本発明に係る被研磨物支持工具の被研磨物受け具支持具を示す側面図である。 本発明に係る被研磨物支持工具のソケットを示す断面図である。 本発明に係る被研磨物支持工具のストッパを示す平面図である。 本発明に係る被研磨物支持工具を示す斜視図である。 本発明に係る被研磨物支持工具のレンズ受け具支持棒を示す断面図である。 本発明の第１変形例を示す平面図である。 本発明の第２変形例を示す平面図である。 本発明の第３変形例を示す側面図である。 本発明の第４変形例を示す平面図である。 本発明の第５変形例を示す平面図である。 本発明の第６変形例を示す平面図である。 本発明の第７変形例を示す平面図である。

符号の説明

５：ガラスレンズ、６：レンズ受け具、７：支持棒、２１：被研磨物支持工具、２２：被研磨物受け具支持具、２３：足部、２４：ハブ、２５：長孔、２６：レンズ受け具支持棒、２７：支持筒部、２７Ａ：位置決め用フランジ、２８：支持棒部、２９：スプリング、３０：ナット、３３：装着穴、３４：ソケット、３５：支持棒受け部、３６：ストッパ。

Claims (10)

1. 被研磨物を研磨工具に当接させて研磨する際に、前記被研磨物を支持する被研磨物支持工具であって、
   前記被研磨物を直接支持する被研磨物受け具と、
   当該被研磨物受け具を複数個同時に支持して装置本体側の支持棒に回転可能に支持される被研磨物受け具支持具とを備え、
   前記複数の被研磨物受け具が、前記被研磨物受け具支持具の回転中心を中心とした周囲にそれぞれ支持されたことを特徴とする被研磨物支持工具。
2. 請求項１に記載の被研磨物支持工具において、
   前記被研磨物受け具支持具が、前記複数の被研磨物受け具を、前記被研磨物受け具支持具の回転中心を中心とした同心円の位置にそれぞれ支持し、
   前記被研磨物受け具支持具を支持する支持棒が前記研磨工具の回転軸芯から傾斜して配設されたことを特徴とする被研磨物支持工具。
3. 請求項１に記載の被研磨物支持工具において、
   前記被研磨物受け具支持具が、前記複数の被研磨物受け具を、前記被研磨物受け具支持具の回転中心を中心とした、点対称位置又は正多角形の頂点位置にそれぞれ支持されたことを特徴とする被研磨物支持工具。
4. 請求項３に記載の被研磨物支持工具において、
   前記被研磨物受け具支持具が３つの足部を備えた三又状に形成されてその回転中心を中心とした正三角形の頂点位置である各足部に前記被研磨物受け具が支持されると共に、各足部が、前記研磨工具の湾曲面又は平面に合わせて湾曲して又は平面状に形成されたことを特徴とする被研磨物支持工具。
5. 請求項３に記載の被研磨物支持工具において、
   前記被研磨物受け具支持具が３つの足部を備えた三又状に形成されてその回転中心を中心とした正三角形の頂点位置である各足部に前記被研磨物受け具が支持されると共に、各足部が、前記研磨工具の湾曲面に合わせて回動可能に支持されたことを特徴とする被研磨物支持工具。
6. 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の被研磨物支持工具において、
   前記被研磨物受け具が、前記被研磨物受け具支持具に弾性体を介在させて回転可能に支持されたことを特徴とする被研磨物支持工具。
7. 請求項１乃至６のいずれか１項に記載の被研磨物支持工具において、
   前記被研磨物受け具支持具が、前記被研磨物受け具を支持すると共に当該被研磨物受け具の位置を調整する長孔を備えたことを特徴とする被研磨物支持工具。
8. 請求項１乃至７のいずれか１項に記載の被研磨物支持工具において、
   前記被研磨物受け具支持具が、前記研磨工具に合わせて円盤状又はほぼ円盤状に形成され、
   前記被研磨物受け具支持具の回転中心を中心とした、点対称位置又は正多角形の頂点位置に、前記被研磨物受け具を支持する円孔又は長孔を備えたことを特徴とする被研磨物支持工具。
9. 請求項１乃至８のいずれか１項に記載の被研磨物支持工具において、
   前記複数の被研磨物受け具が、前記被研磨物受け具支持具の回転中心を中心とした、寸法の異なる複数の正多角形の頂点位置にそれぞれ支持されたことを特徴とする被研磨物支持工具。
10. 被研磨物を研磨工具に当接させて研磨する研磨装置であって、
    前記被研磨物を前記研磨工具に当接させて研磨する際に、前記被研磨物を支持する被研磨物支持工具として、請求項１乃至９のいずれか１項に記載の被研磨物支持工具を用いたことを特徴とする研磨装置。

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