JP2009005023A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007163084A JP5067034B2 (ja) | 2007-06-20 | 2007-06-20 | 音叉型振動子、発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007163084A JP5067034B2 (ja) | 2007-06-20 | 2007-06-20 | 音叉型振動子、発振器 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2009005023A JP2009005023A (ja) | 2009-01-08 |
| JP2009005023A5 true JP2009005023A5 (enExample) | 2010-07-29 |
| JP5067034B2 JP5067034B2 (ja) | 2012-11-07 |
Family
ID=40320938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007163084A Expired - Fee Related JP5067034B2 (ja) | 2007-06-20 | 2007-06-20 | 音叉型振動子、発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5067034B2 (enExample) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5275054B2 (ja) * | 2009-01-16 | 2013-08-28 | セイコーインスツル株式会社 | Atカット水晶振動子 |
| JP5622173B2 (ja) | 2010-07-29 | 2014-11-12 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、および電子機器 |
| JP5685962B2 (ja) | 2011-02-02 | 2015-03-18 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
| US8581669B2 (en) | 2011-02-02 | 2013-11-12 | Seiko Epson Corporation | Vibrator element, vibrator, oscillator, and electronic apparatus |
| JP6102075B2 (ja) | 2012-03-30 | 2017-03-29 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置 |
| JP6482169B2 (ja) | 2013-07-19 | 2019-03-13 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体 |
| JP6311815B2 (ja) * | 2017-03-02 | 2018-04-18 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58150317A (ja) * | 1982-03-02 | 1983-09-07 | Citizen Watch Co Ltd | 長さたて振動子 |
| JPH0666631B2 (ja) * | 1983-10-25 | 1994-08-24 | シチズン時計株式会社 | 水晶振動子 |
| JPS60126907A (ja) * | 1983-12-12 | 1985-07-06 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 単一応答複合圧電振動素子 |
| JPH09105U (ja) * | 1991-10-29 | 1997-02-25 | 東洋通信機株式会社 | ガス圧力センサ |
| JPH085382A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-01-12 | Nippondenso Co Ltd | 角速度センサ |
| JPH11257965A (ja) * | 1998-03-09 | 1999-09-24 | Hitachi Ltd | 角速度検出センサ |
| JP3514224B2 (ja) * | 1999-11-11 | 2004-03-31 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振子、フィルタ及び電子機器 |
| JP3514222B2 (ja) * | 1999-11-17 | 2004-03-31 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振子、電子部品及び電子機器 |
| JP2003051732A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-21 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子、フィルタおよび電子通信機器 |
| JP4862639B2 (ja) * | 2001-10-31 | 2012-01-25 | 有限会社ピエデック技術研究所 | 水晶振動子とその製造方法と水晶ユニットの製造方法 |
| JP3896585B2 (ja) * | 2001-12-18 | 2007-03-22 | 株式会社大真空 | 音叉型圧電振動子 |
| JP2004251663A (ja) * | 2003-02-18 | 2004-09-09 | Fujitsu Media Device Kk | 角速度センサ |
| US7362198B2 (en) * | 2003-10-30 | 2008-04-22 | Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd | Pass bandwidth control in decoupled stacked bulk acoustic resonator devices |
| JP2005249646A (ja) * | 2004-03-05 | 2005-09-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ用音叉型振動子、この振動子を用いた角速度センサ及びこの角速度センサを用いた自動車 |
| JP2007024810A (ja) * | 2005-07-21 | 2007-02-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ素子およびその製造方法 |
| JP2007096900A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片および圧電デバイス |
-
2007
- 2007-06-20 JP JP2007163084A patent/JP5067034B2/ja not_active Expired - Fee Related
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