JP2009004114A - 検査方法および装置 - Google Patents
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Abstract
反射電子結像による検査装置において、絶縁物からなる試料においても電子線照射による負帯電を解消し、極微小の異物や欠陥の高感度検出を高速に行うことが可能となる検査技術を提供する。
【解決手段】
上記の課題を解決するため、電子光学系の動作モードに紫外線照射発生による光電子結像モードを付加した上、紫外線の照射領域を光電子像として表示し、光電子像と反射電子像とをモニタ上に重ねて表示することにより、相互の位置関係と大きさの差を容易に把握できるようにした。すなわち、電子線の照射領域と紫外線の照射領域の形状を表示画面上で一致させ、電子線の照射領域における紫外線の強度を、反射電子像の反射電子結像条件を保持しながら調整するよう構成した。また、紫外線照射時の反射電子像を観察しながら紫外線の光量調整ができるように、モニタから紫外線の光量調整機構を制御できるようにした。
【選択図】図1
Description
(1)電子源から放出された電子線を、試料上の視野を含む範囲に照射する電子光学系と、前記試料に電圧を印加する手段と、前記照射電子線により前記試料から反射された電子を結像し反射電子像を取得する電子線結像手段と、前記試料を搭載し前記照射電子線に対して移動させる手段と、前記反射電子像を用いて前記試料の異物や欠陥を抽出しその位置や像を記録する手段と、前記試料に紫外線を照射する紫外線照射系とを有し、前記電子線の照射領域と前記紫外線の照射領域の形状を一致させる手段と、前記電子線の照射領域における前記紫外線の強度を、前記反射電子像の反射電子結像条件を保持しながら調整する手段とを備えたことを特徴とする。
(10)電子光学系により電子線を、電圧を印加された試料上の視野を含む範囲に照射する工程と、前記電子線照射により前記試料からの反射電子を結像し、反射電子像を取得する工程と、前記反射電子像を用いて前記試料上の異物および欠陥を抽出しその位置や像を記録し表示する工程と、前記電子線照射によって生じた前記試料上の負帯電を紫外線の照射によって軽減する工程とを有し、前記電子線の照射領域と前記紫外線の照射領域の形状を一致させる工程と、前記電子線の照射領域における前記紫外線の光量を、前記反射電子像の反射電子結像条件を保持しながら調整する工程とを含むことを特徴とする。
(実施例1)
図1に、本発明を実現する反射電子結像式の検査装置のハードウェア構成の一実施例を示す。ただし、本図には、真空排気用のポンプやその制御装置、排気系配管などは略されている。また、図示上の都合により、寸法の割合は適宜変更してある。
本実施例においては、図1で示した紫外線輸送系122の紫外線の強度変調を、簡単にフィルターを挿入することによって行う。本実施例では、紫外線光源121は、光電子像を取得するために十分な光量の紫外線を供給できる光源である。
これまでの実施例では、紫外線照射領域と電子線照射領域との一致動作を、主に紫外線光路上のピンホールで行っていた。しかし、本実施例では、電子線の光路上にも視野制限のための絞りを設置し、紫外線照射領域と電子線照射領域の一致精度を向上した。
これまでの実施例における、紫外線調整用の試料は、パターンの無い一様な試料が想定されていた。本実施例で、より紫外線照射条件の調整が容易になる調整用試料の例を示す。
本発明によれば、紫外線照射による正帯電と、反射電子結像時に生じる負帯電とを、精度よく釣り合わせることができ、絶縁物からなる試料においても電子線照射による負帯電を解消し、極微小の異物や欠陥の高感度検出を高速に行うことが可能となる。
Claims (13)
- 電子源から放出された電子線を、試料上の視野を含む範囲に照射する電子光学系と、前記試料に電圧を印加する手段と、前記照射電子線により前記試料から反射された電子を結像し反射電子像を取得する電子線結像手段と、前記試料を搭載し前記照射電子線に対して移動させる手段と、前記反射電子像を用いて前記試料の異物や欠陥を抽出しその位置や像を記録する手段と、前記試料に紫外線を照射する紫外線照射系とを有し、
前記電子線の照射領域と前記紫外線の照射領域の形状を一致させる手段と、
前記電子線の照射領域における前記紫外線の強度を、前記反射電子像の反射電子結像条件を保持しながら調整する手段とを備えたことを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置において、前記紫外線の照射によって試料から発生する光電子を、前記電子線結像手段を用いて結像せしめ、光電子像を取得して、前記紫外線の照射領域を表示する手段を有することを特徴とする検査装置。
- 請求項2に記載の検査装置において、前記光電子像の外縁輪郭と、前記反射電子像の外縁輪郭とが一致するように、前記紫外線の照射領域の位置および大きさを調整する手段を有することを特徴とする検査装置。
- 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の検査装置において、前記紫外線と前記電子線を同時に照射し、前記反射電子像の反射電子結像条件を保持しながら前記紫外線の強度を調整して、前記電子線の照射領域における前記照射電子線によって生じた負帯電を中和するようようにしたことを特徴とする検査装置。
- 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の検査装置において、前記紫外線照射系は、紫外線光源と、前記紫外線を前記試料へ照射するため、前記紫外線の進行方向を変える反射面とを有することを特徴とする検査装置。
- 請求項5に記載の検査装置において、前記反射面は、前記電子光学系の途中に設置され、前記電子線が前記試料を照射する方向と、前記紫外線が前記試料を照射する方向とを一致させるために、前記電子線が通過する開口部を有することを特徴とする検査装置。
- 請求項1乃至6のいずれか一項に記載の検査装置において、前記紫外線照射系は、前記紫外線光源と前記反射面との間に、紫外線の光量調整を行う手段と、ピンホールとを有することを特徴とする検査装置。
- 請求項7に記載の検査装置において、前記電子光学系の光路上に視野制限のための絞りを設置し、前記絞りと前記ピンホールとにより、前記紫外線の照射領域と、前記電子線照射領域の形状および大きさを一致させるようにしたことを特徴とする検査装置。
- 電子源から放出された電子線を面状の電子線に形成し、試料上の視野を含む範囲に照射する電子光学系と、前記試料に負電圧を印加する手段と、前記照射電子線により前記試料から反射された電子を結像し反射電子像を取得する電子線結像手段と、前記試料を搭載し前記照射電子線に対して移動させる手段と、前記反射電子像を用いて前記試料の異物や欠陥を抽出しその位置や像を記録する手段と、前記試料に紫外線を照射する紫外線照射系とを有し、
前記電子線の照射領域と前記紫外線の照射領域の形状を一致させる手段と、
前記電子線の照射領域における前記紫外線の強度を、前記反射電子像の反射電子結像条件を保持しながら調整する手段とを設けて、前記電子線の照射領域における前記照射電子線によって生じた負帯電を中和するようにしたことを特徴とする検査装置。 - 電子光学系により電子線を、電圧を印加された試料上の視野を含む範囲に照射する工程と、前記電子線照射により前記試料からの反射電子を結像し、反射電子像を取得する工程と、前記反射電子像を用いて前記試料上の異物および欠陥を抽出しその位置や像を記録し表示する工程と、前記電子線照射によって生じた前記試料上の負帯電を紫外線の照射によって軽減する工程とを有し、
前記電子線の照射領域と前記紫外線の照射領域の形状を一致させる工程と、
前記電子線の照射領域における前記紫外線の光量を、前記反射電子像の反射電子結像条件を保持しながら調整する工程とを含むことを特徴とする検査方法。 - 請求項10に記載の検査方法において、前記紫外線照射によって前記試料から発生する光電子を結像し、光電子像を取得する工程を含むことを特徴とする検査方法。
- 請求項11に記載の検査方法において、前記光電子像の外縁輪郭と、前記反射電子像の外縁輪郭とが一致するように、前記紫外線の照射領域の位置および大きさを調整することを特徴とする検査方法。
- 請求項10乃至12に記載の検査方法において、前記紫外線と前記電子線を同時に照射し、前記反射電子像の反射電子結像条件を保持しながら前記紫外線の強度を調整し、前記電子線の照射領域における前記照射電子線によって生じた前記試料面の負帯電を中和することを特徴とする検査方法。
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