JP6957633B2 - 評価用半導体基板およびそれを用いた検査装置の欠陥検出感度評価方法 - Google Patents
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Description
Claims (15)
- ミラー電子像により半導体基板の欠陥を検出する検査装置の欠陥検出感度を評価するための評価用半導体基板であって、
前記評価用半導体基板は第1の圧痕を有し、
前記第1の圧痕は、所定の硬度及び形状を有する圧子を前記評価用半導体基板に第1の押し込み荷重で押し込むことによって、前記評価用半導体基板の表面に物理的な凹凸を形成することなく、前記評価用半導体基板の内部に結晶欠陥を形成させた圧痕である評価用半導体基板。 - 請求項1において、
前記第1の押し込み荷重は、前記第1の圧痕の前記ミラー電子像におけるコントラストが前記検査装置の検出限界となるように設定されている評価用半導体基板。 - 請求項1において、
前記評価用半導体基板に前記検査装置の光学顕微鏡モードで観察可能な第3の圧痕またはマークを有し、
前記第3の圧痕は、前記評価用半導体基板の表面に物理的な凹凸を形成するとともに、前記評価用半導体基板の内部に結晶欠陥を形成させた圧痕である評価用半導体基板。 - 請求項3において、
前記評価用半導体基板に設けられた複数の第2の圧痕を有し、
前記第3の圧痕は、前記圧子を前記評価用半導体基板に前記第1の押し込み荷重よりも大きな第3の押し込み荷重で押し込むことによって形成された圧痕であり、
前記第2の圧痕は、前記圧子を前記評価用半導体基板に前記第1の押し込み荷重よりも大きく、前記第3の押し込み荷重よりも小さな第2の押し込み荷重で押し込むことによって形成された圧痕である評価用半導体基板。 - 請求項1において、
前記評価用半導体基板の材料は前記半導体基板の材料に等しく、SiC、GaN、Si、Ga2O3またはダイヤモンドのいずれかである評価用半導体基板。 - 請求項5において、
前記評価用半導体基板はバルクウェハである評価用半導体基板。 - ミラー電子像により半導体基板の欠陥を検出する検査装置の欠陥検出感度を評価するための評価用半導体基板であって、
前記評価用半導体基板の表面に設けられた複数の第1のパターンを有し、
前記第1のパターンの幅は、前記第1のパターンの前記ミラー電子像におけるコントラストの大きさが、前記評価用半導体基板と同じ材料のウェハに形成された第1の圧痕の前記ミラー電子像におけるコントラストの大きさと同じになるように設定され、
前記第1の圧痕は、所定の硬度及び形状を有する圧子を前記ウェハに第1の押し込み荷重で押し込むことによって形成された圧痕であり、
前記第1の押し込み荷重は、前記第1の圧痕の前記ミラー電子像におけるコントラストが前記検査装置の検出限界となるように設定されている評価用半導体基板。 - 請求項7において、
前記評価用半導体基板の表面に設けられた複数の第2のパターンを有し、
前記第2のパターンの幅は、前記第2のパターンの前記ミラー電子像におけるコントラストの大きさが、前記ウェハに形成された第2の圧痕の前記ミラー電子像におけるコントラストの大きさと同じになるように設定され、
前記第2の圧痕は、前記圧子を前記ウェハに前記第1の押し込み荷重よりも大きい第2の押し込み荷重で押し込むことによって形成された圧痕である評価用半導体基板。 - 請求項7において、
前記評価用半導体基板の材料は前記半導体基板の材料に等しく、SiC、GaN、Si、Ga2O3またはダイヤモンドのいずれかである評価用半導体基板。 - 請求項9において、
前記第1のパターンは前記評価用半導体基板上に形成された金属層である評価用半導体基板。 - ミラー電子像により半導体基板の欠陥を検出する検査装置の欠陥検出感度評価方法であって、
所定の硬度及び形状を有する圧子を第1の押し込み荷重で押し込むことによって、それぞれ表面に物理的な凹凸を形成することなく、内部に結晶欠陥を形成させた複数の第1の圧痕が形成された評価用半導体基板をウェハホルダに載置し、
前記ミラー電子像において前記第1の圧痕のコントラストが観察できるように、前記ウェハホルダに印加する負電圧の大きさを調整し、
前記評価用半導体基板の前記複数の第1の圧痕について、前記ミラー電子像を取得し、
取得した前記ミラー電子像における前記複数の第1の圧痕の欠陥検出率を算出する欠陥検出感度評価方法。 - 請求項11において、
前記第1の押し込み荷重は、前記第1の圧痕の前記ミラー電子像におけるコントラストが前記検査装置の検出限界となるように設定されている欠陥検出感度評価方法。 - 請求項12において、
前記評価用半導体基板に複数の第2の圧痕が形成されており、
前記評価用半導体基板の前記複数の第2の圧痕について、前記ミラー電子像を取得し、
前記複数の第1の圧痕の欠陥検出率が規定未満の場合には、取得した前記ミラー電子像における前記複数の第2の圧痕の欠陥検出率を算出する欠陥検出感度評価方法。 - ミラー電子像により半導体基板の欠陥を検出する検査装置の欠陥検出感度評価方法であって、
表面に複数の第1のパターンが形成された評価用半導体基板をウェハホルダに載置し、
前記ミラー電子像において前記第1のパターンのコントラストが観察できるように、前記ウェハホルダに印加する負電圧の大きさを調整し、
前記評価用半導体基板上の前記複数の第1のパターンについて、前記ミラー電子像を取得し、
取得した前記ミラー電子像における前記複数の第1のパターンの検出率を算出し、
前記第1のパターンの幅は、前記第1のパターンの前記ミラー電子像におけるコントラストの大きさが、前記評価用半導体基板と同じ材料のウェハに形成された第1の圧痕の前記ミラー電子像におけるコントラストの大きさと同じになるように設定され、
前記第1の圧痕は、所定の硬度及び形状を有する圧子を前記ウェハに第1の押し込み荷重で押し込むことによって形成された圧痕であり、
前記第1の押し込み荷重は、前記第1の圧痕の前記ミラー電子像におけるコントラストが前記検査装置の検出限界となるように設定されている欠陥検出感度評価方法。 - 請求項14において、
前記評価用半導体基板の表面に複数の第2のパターンが形成されており、
前記評価用半導体基板上の前記複数の第2のパターンについて、前記ミラー電子像を取得し、
前記複数の第1のパターンの検出率が規定未満の場合には、取得した前記ミラー電子像における前記複数の第2のパターンの検出率を算出する欠陥検出感度評価方法。
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