JP7157708B2 - 電子線検査装置の二次光学系を評価する方法 - Google Patents
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Description
電子源から放出された電子線を観察対象位置に配置された試料に照射させる一次光学系と、前記試料から放出される電子線または前記試料を透過した電子線の拡大像を検出器に結像させる二次光学系と、を備えた電子線検査装置の前記二次光学系を評価する方法であって、
前記観察対象位置に光電面を配置し、前記光電面にレーザー光を照射し、前記光電面から放出される電子線の拡大像を前記二次光学系によって前記検出器に結像させ、前記検出器にて得られる電子線像に基づいて前記二次光学系を評価する。
前記光電面には予め定められたパターンが形成されている。
前記二次光学系は、対物レンズと、前記対物レンズと前記検出器との間に配置される結像レンズと、を有する。
前記レーザー光は、前記光電面に対して前記対物レンズの位置とは反対側から照射される。
前記レーザー光は、前記一次光学系の鏡筒が前記二次光学系の鏡筒から分離された状態で、前記チャンバ内に配置された前記光電面に照射される。
前記レーザー光は、チャンバの外部に配置されたレーザー源から放出され、前記チャンバに設けられたビューポートを透過して、前記チャンバ内に配置された前記光電面に照射される。
第1~5のいずれかの態様に係る方法に用いられる二次光学系評価用キットであって、
前記二次光学系に気密に接続されるチャンバと、
前記チャンバ内の前記観察対象位置に配置された光電面と、
前記光電面にレーザー光を照射するレーザー源と、
を備える。
図1は、第1の実施形態に係る電子線検査装置10の概略構成を示す図である。
図5は、第2の実施形態に係る電子線検査装置30の概略構成を示す図である。
図7は、第3の実施形態に係る電子線検査装置40の概略構成を示す図である。
10a 一次光学系
10b 二次光学系
11 一次光学系鏡筒
12 チャンバ
13 二次光学系鏡筒
14 電子源
15 ステージ
16 検出器
171 照射系レンズ
172 対物レンズ
173 中間レンズ
174 結像レンズ
20 二次光学系評価用キット
21 チャンバ
22 光電面
23 ビューポート
24 レーザー源
251 レンズ
252 レンズ
253 ミラー
29 閉止蓋
30 電子線検査装置
30a 一次光学系
30b 二次光学系
31 一次光学系鏡筒
32 チャンバ
33 二次光学系鏡筒
34 電子源
35 ステージ
36 検出器
371 照射系レンズ
372 中間レンズ
373 対物レンズ
374 結像レンズ
375 結像レンズ
38 ウィーンフィルタ
40 電子線検査装置
40a 一次光学系
40b 二次光学系
41 一次光学系鏡筒
42 チャンバ
43 二次光学系鏡筒
44 マルチ電子源
45 ステージ
46 検出器
471 照射系レンズ
472 中間レンズ
473 対物レンズ
474 結像レンズ
475 結像レンズ
48 ウィーンフィルタ
W 試料
Claims (6)
- 電子源から放出された電子線を観察対象位置に配置された試料に照射させる一次光学系と、前記試料から放出される電子線または前記試料を透過した電子線の拡大像を検出器に結像させる二次光学系と、を備えた電子線検査装置の前記二次光学系を評価する方法であって、
前記観察対象位置に光電面を配置し、前記光電面にレーザー光を照射し、前記光電面から放出される電子線の拡大像を前記二次光学系によって前記検出器に結像させ、前記検出器にて得られる電子線像に基づいて前記二次光学系を評価する、方法において、
前記レーザー光は、前記一次光学系の鏡筒が前記二次光学系の鏡筒から分離された状態で、前記光電面に照射される、方法。 - 前記光電面には予め定められたパターンが形成されている、請求項1に記載の方法。
- 前記二次光学系は、対物レンズと、前記対物レンズと前記検出器との間に配置される結像レンズと、を有する、請求項1または2に記載の方法。
- 前記レーザー光は、前記光電面に対して前記対物レンズの位置とは反対側から照射される、請求項3に記載の方法。
- 前記レーザー光は、チャンバの外部に配置されたレーザー源から放出され、前記チャンバに設けられたビューポートを透過して、前記チャンバ内に配置された前記光電面に照射される、請求項1~4のいずれかに記載の方法。
- 請求項1~5の方法に用いられる二次光学系評価用キットであって、
前記二次光学系に気密に接続されるチャンバと、
前記チャンバ内の前記観察対象位置に配置された光電面と、
前記光電面にレーザー光を照射するレーザー源と、
を備えた二次光学系評価用キット。
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