JP2020140928A - 荷電粒子マルチビーム装置 - Google Patents
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Abstract
Description
荷電粒子ビームを放出する荷電粒子源と、
前記荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームを平行化するコリメータレンズと、
前記平行化された荷電粒子ビームを複数に分割してマルチビームを形成するとともに、当該マルチビームの各々を1つの面上に集光してマルチ光源を形成するマルチ光源形成部と、
前記マルチ光源を試料面上に縮小投影する縮小投影光学系と、
を備え、
前記マルチ光源形成部は、前記荷電粒子源側から順に光軸方向に並んで配置された第1〜第3多孔電極を有し、
前記第1〜第3多孔電極には、それぞれ、マルチビームを通過させる複数の孔が形成されており、
前記第1多孔電極と前記第3多孔電極は同電位であり、前記第2多孔電極は前記第1多孔電極および前記第3多孔電極とは異なる電位であり、
前記マルチ光源が位置する面が前記荷電粒子源側に凸の形状となるように、前記第2多孔電極上の孔の径は、光軸から離れるほど大きく形成されている。
前記第1〜第3多孔電極のうち前記複数の孔が形成されている部分は、それぞれ、平板形状を有する。
前記第1多孔電極と前記第3多孔電極とはインロー構造で組み付けられている。
前記マルチ光源形成部において、前記第1電極より前記荷電粒子源側には、前記平行化された荷電粒子ビームを複数に分割してマルチビームを形成する多孔絞りが設けられている。
前記マルチ光源形成部において、前記第1多孔電極が、前記平行化された荷電粒子ビームを複数に分割してマルチビームを形成する。
前記第2多孔電極は光軸からの距離に応じて複数の領域に区分けされており、各領域は光軸からの距離が異なる孔を少なくとも2つ含んでおり、
領域ごとに孔の径が同一に揃えられており、光軸から離れた領域ほど孔の径が大きくなっている。
縮小投影光学系の像面湾曲係数Aをシミュレーションまたは実験により求めるステップと、
第2多孔電極の孔の内径Φと焦点位置のズレ量Δzоとの関係をシミュレーションで求め、下式1Aにて近似することにより、近似関数の係数a、b、cを求めるステップと、
縮小投影光学系の像面湾曲係数Aをシミュレーションまたは実験により求めるステップと、
第2多孔電極の孔の内径Φと焦点位置のズレ量Δzоとの関係をシミュレーションで求め、下式3Aにて近似することにより、近似関数の係数an、an-1、・・・、a1、a(nは3以上の自然数)を求めるステップと、
図1は、一実施の形態に係る荷電粒子マルチビーム装置10の概略構成を示す図である。なお、以下では、荷電粒子マルチビーム装置10の一例として、電子線マルチビーム装置について説明するが、電子線マルチビーム装置はあくまでも一例であり、本実施の形態に係る荷電粒子マルチビーム装置は、電子線マルチビーム装置に限定されるものではなく、たとえば、イオンマルチビーム装置であってもよい。また、荷電粒子ビーム装置10の処理対象である試料30は、シリコンウエハ、ガラスマスク、半導体基板、半導体パターン基板、または金属膜を有する基板などであってもよい。
次に、マルチ光源形成部の詳細な内部構成について説明する。図2は、マルチ光源形成部13の構成の一例を示す概略図である。
(計算条件)
・加速電圧:3kV
・第1多孔電極と第3多孔電極の印加電圧:0V(グランド)
・第2多孔電極の印加電圧:−880.74V
・第1多孔電極と第3多孔電極の孔の内径:0.05mm(固定)
・第2多孔電極の孔の内径Φ:0.05〜0.1mm(可変)
ここで、近似関数の係数an、an-1、・・・、a1、aはシミュレーションで求めることが可能である。
次に、本実施の形態に係る具体的な実施例について説明する。
・孔の配置:三角格子0.1mmピッチ(第1〜第3多孔電極22a〜22c共通)
・各多孔電極22a〜22c上の孔の数:61個
・第1多孔電極22aと第3多孔電極22cの孔の径:全て0.05mm
・第2多孔電極22bの孔の径:中央の孔のみΦ0.05mm
とした計算モデルにおいて、上記の計算条件にて、焦点位置(マルチ光源の位置)のズレ量Δzoを計算した。
a=5.77415e+1
b=3.17322
c=−3.03012e−1
(計算条件)
・物面電位:Φo=3kV
・像面電位:Φi=3kV
・縮小光学系の倍率:M=0.1
・像面湾曲収差係数:A=500
なお、上述の実施の形態では、図19のテーブルに示すように、少なくとも1つの多孔電極(たとえば第2多孔電極22b)の孔の径が、光軸からの距離に応じて異なっていたが、本発明はこれに限定されるものではない。
11 荷電粒子源
12 コリメータレンズ
13 マルチ光源形成部
14 転送レンズ(縮小投影光学系)
15 スキャン偏向器
16 ビーム分離器
17 対物レンズ(縮小投影光学系)
18 投影レンズ
19 検出器
21 多孔絞り
22a 第1多孔電極
22b 第2多孔電極
22b1 電圧供給ピン
22b2 絶縁物
22c 第3多孔電極
30 試料
Claims (8)
- 荷電粒子ビームを放出する荷電粒子源と、
前記荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームを平行化するコリメータレンズと、
前記平行化された荷電粒子ビームを複数に分割してマルチビームを形成するとともに、当該マルチビームの各々を1つの面上に集光してマルチ光源を形成するマルチ光源形成部と、
前記マルチ光源を試料面上に縮小投影する縮小投影光学系と、
を備え、
前記マルチ光源形成部は、前記荷電粒子源側から順に光軸方向に並んで配置された第1〜第3多孔電極を有し、
前記第1〜第3多孔電極には、それぞれ、マルチビームを通過させる複数の孔が形成されており、
前記第1多孔電極と前記第3多孔電極は同電位であり、前記第2多孔電極は前記第1多孔電極および前記第3多孔電極とは異なる電位であり、
前記マルチ光源が位置する面が前記荷電粒子源側に凸の形状となるように、前記第2多孔電極上の孔の径は、光軸から離れるほど径が大きく形成されている、
ことを特徴とする荷電粒子マルチビーム装置。 - 前記第1〜第3多孔電極のうち前記複数の孔が形成されている部分は、それぞれ、平板形状を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の荷電粒子マルチビーム装置。 - 前記第1多孔電極と前記第3多孔電極とはインロー構造で組み付けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の荷電粒子マルチビーム装置。
- 前記マルチ光源形成部において、前記第1多孔電極より前記荷電粒子源側には、前記平行化された荷電粒子ビームを複数に分割してマルチビームを形成する多孔絞りが設けられている、
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の荷電粒子マルチビーム装置。 - 前記マルチ光源形成部において、前記第1多孔電極が、前記平行化された荷電粒子ビームを複数に分割してマルチビームを形成する、
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の荷電粒子マルチビーム装置。 - 前記第2多孔電極は光軸からの距離に応じて複数の領域に区分けされており、各領域は光軸からの距離が異なる孔を少なくとも2つ含んでおり、
領域ごとに孔の径が同一に揃えられており、光軸から離れた領域ほど孔の径が大きくなっている、
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の荷電粒子マルチビーム装置。 - 請求項1〜6のいずれかに記載の荷電粒子マルチビーム装置における第2多孔電極の孔の径を決める方法であって、
縮小投影光学系の像面湾曲係数Aをシミュレーションまたは実験により求めるステップと、
第2多孔電極の孔の内径Φと焦点位置のズレ量Δzоとの関係をシミュレーションで求め、下式1にて近似することにより、近似関数の係数a、b、cを求めるステップと、
- 請求項1〜6のいずれかに記載の荷電粒子マルチビーム装置における第2多孔電極の孔の径を決める方法であって、
縮小投影光学系の像面湾曲係数Aをシミュレーションまたは実験により求めるステップと、
第2多孔電極の孔の内径Φと焦点位置のズレ量Δzоとの関係をシミュレーションで求め、下式3にて近似することにより、近似関数の係数an、an-1、・・・、a1、a(nは3以上の自然数)を求めるステップと、
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