JP2021068505A - 電子線装置及び電極 - Google Patents
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Abstract
Description
続いて、第1の実施形態に係る1次光学系72について説明する。図2は、第1の実施形態に係る1次光学系72の概略の模式断面図である。検査装置は、電極723に接続され且つ設定された正の電圧を出力する電源75を更に備える。電極723には、この電源75によって当該設定された電圧が供給される。この構成により、電極723は電子源(ここでは電子銃721)よりも高い電位に設定されるので、電子銃721から放出された電子が対象物(ここではウエハ)に向かって進むことができる。電極723の電位は電子銃721より高く、電子銃721の基準電位0Vとした場合に一例として+4kVである。電極724の電位は電極723より高く、電子銃721の基準電位0Vとした場合に一例として+10kVである。これにより、電子銃721から放出された電子は、電極723の貫通孔を介して、電極724の方向へ進む。このように、電極724は、電子銃721と対象物(ここでは一例としてウエハW)との間の当該電子線の経路に設けられている。
一方、加速されてカーボンナノチューブ膜84を透過した電子線が残留ガスに衝突して発生したプラスイオンは、電子よりもサイズがはるかに大きく、物質中を透過する能力が低いため、カーボンナノチューブ膜84を通ることができない。そのため、プラスのイオンが電位差に従って電子源に向けて加速し、電子源(例えば、光電面)に衝突して電子源が劣化するのを防ぐことができる。
続いて本実施形態の変形例1について説明する。図6は、変形例1に係る図3の領域R2の拡大断面図である。図6に示すように、変形例1は、本実施形態に比べて、カーボンナノチューブ膜が導電部材の両面、すなわち電子銃721側の面と対象物側の面の両方に設けられている点で異なる。図6に示すように、電子銃721側の面に設けられたカーボンナノチューブ膜84bは、電子銃721から電極723への方向に対して略垂直になるように形成されている。この構成により、図6の矢印A3及びA4に示すように、カーボンナノチューブ膜84bは導体であるためカーボンナノチューブ膜84bの形状に沿って電界が形成されるので、カーボンナノチューブ膜84bを透過する前後で電子線は曲げられず、直進させることができる。
続いて本実施形態の変形例2について説明する。図7は、変形例2に係る図3の領域R2の拡大断面図である。図7に示すように、変形例2は、本実施形態に比べて、カーボンナノチューブ膜が導電部材の両面、すなわち電子銃721側の面と対象物側の面の両方に設けられている点で異なる。
続いて本実施形態の変形例3について説明する。図8は、変形例3に係る図3の領域R2の拡大断面図である。図8に示すように、変形例3は、カーボンナノチューブ膜84cが対象物(ここではウエハW)側に凸になるように形成されている点で異なる。この構成により、図8の矢印A7及びA8に示すように、電子線の幅を広げることができる。
続いて第2の実施形態について説明する。図9は第2の実施形態に係る1次光学系72の概略の模式断面図である。第1の実施形態では電極723が電源75に接続されていたが、第2の実施形態では、図9に示すように、電極723が接地に接続されている点が異なる。この構成によれば、カーボンナノチューブ膜も接地に接続される。具体的には例えば、電極723の電位が0Vになり、電子銃721の電位は電極723の電位より低く、一例として−4kVである。電極724の電位は電極723の電位より高く、一例として+6kVである。これにより、電子銃721から放出された電子は、電極723のカーボンナノチューブ膜を透過して、電極724の方向へ進む。図9の領域R3の拡大断面図は図3と同様である。但し、図10は、電子源側に設けられたカーボンナノチューブ膜84bの形状は、一例として第1の実施形態に係るカーボンナノチューブ膜84の形状とは異なっている。
70 電子光学装置
72 1次光学系
721 電子銃
722 レンズ
723 電極
724 電極
725 レンズ
726 E×Bフィルタ
727 レンズ
728 アパーチャ
74 2次光学系
741 レンズ
742 NAアパーチャ
743 レンズ
744 アライナ
745 EB−CCD
746 ステージ
747 開口
75 電源
761 検出器
763 画像処理部
80 ベース部材
81 支持部材
82 導電部材
83 ねじ
84、84b、84c、85、85b カーボンナノチューブ膜
871 光学顕微鏡
Claims (10)
- 電子線を対象物に照射する電子線装置であって、
前記電子線を供給する電子源と、
前記電子源と前記対象物との間の当該電子線の経路に設けられた電極と、
を備え、
前記電極は、
前記電子線が通過する貫通孔が設けられた導電部材と、
前記貫通孔の少なくとも一部を覆っており前記導電部材の少なくとも一面に設けられたカーボン膜と、
を有する電子線装置。 - 前記カーボン膜は、グラフェン膜、カーボンナノチューブ膜、またはカーボンナノファイバー膜である
請求項1に記載の電子線装置。 - 前記カーボンナノチューブ膜は、カーボンナノチューブが不織布状に構成されたものである
請求項2に記載の電子線装置。 - 前記カーボン膜は、前記電子源よりも高い電位に設定されている
請求項1から3のいずれか一項に記載の電子線装置。 - 前記カーボン膜は、前記電子源側に凸になるように形成されている
請求項1から4のいずれか一項に記載の電子線装置。 - 前記カーボン膜は、前記対象物側に凸になるように形成されている
請求項1から4のいずれか一項に記載の電子線装置。 - 前記カーボン膜は、前記電子源から前記電極への方向に対して略垂直になるように形成されている
請求項1から4のいずれか一項に記載の電子線装置。 - 前記カーボン膜は、前記導電部材の両面に設けられており、
前記電子源側の面に設けられたカーボン膜は、前記電子源側に凸になるように形成されており、
前記対象物側の面に設けられたカーボン膜は、前記対象物側に凸になるように形成されている
請求項1から4のいずれか一項に記載の電子線装置。 - 前記導電部材は、モリブデンを含む
請求項1から8のいずれか一項に記載の電子線装置。 - 電子線を対象物に照射する電子線装置において当該電子線を供給する電子源と当該対象物との間の当該電子線の経路に設けられて使用される電極であって、
前記電子線が通過する貫通孔が設けられた導電部材と、
前記貫通孔の少なくとも一部を覆っており前記導電部材の少なくとも一面に設けられたカーボン膜と、
を備える電極。
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