JP2008544247A - ガスセンサーのための光空洞 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明による光空洞の原理に関する構造図である。
一般的な光源から放出された光は、直線でない拡散特性を有している。すなわち、光源は、点光源でなく、一定な光幅及び拡散を有して放射されるので、本発明で提案する光空洞に適用したとき、図1のような光の進行を見せずに図2のように進める。
図4の場合は、光源Sから放出されつつ広がる光源を楕円鏡Eを利用して焦点Fに集めることによって、光空洞内での光のほとんどを光検出器Dに検出可能に設計したものである。しかし、あらゆる設計で理想的なものはありえないので、たとえ楕円鏡Eを利用して光を焦点Fに集めるように設計したとしても、焦点と外れる光路がありうる。したがって、この場合にも、あらゆる光が光検出器Dに収斂する光路を有するように光空洞を設計する必要がある。
の勾配は、
と符号が逆であるので、それを利用して、B0’は、次の<数9>及び<数10>を利用して導出される。
と反射角
とが同じであるという条件から
の勾配
は、<数13>のように求めることができる。
図6及び図7に示すように、焦点Fに外れる入射光は、光軸に対して(+)と(−)とに分けられてそれぞれ異なる方向に光路が形成される。
Claims (14)
- ガスセンサーのための光空洞において、
第1焦点距離を有する第1放物鏡と、
前記第1焦点距離より長い第2焦点距離を有し、前記第1放物鏡と対向するように配置される第2放物鏡と、
前記第1放物鏡の一端部と前記第2放物鏡の一端部との間に配置される平面鏡と、を備え、
前記第1放物鏡と前記第2放物鏡とは、同じ光軸及び同じ焦点を有し、
前記平面鏡は、前記光軸上に配置され、前記同じ焦点は、前記平面鏡上に形成されることを特徴とするガスセンサーのための光空洞。 - 前記光軸上に置かれた平面鏡に光を入射させるために、前記第2放物鏡側に配置される光源と、
前記光空洞の内部で前記第1放物鏡、第2放物鏡及び平面鏡に順次に少なくとも1回以上反射された光を検出するために、前記第1放物鏡と前記平面鏡との連結部に配置される光検出器と、をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のガスセンサーのための光空洞。 - 前記光源からの光が前記焦点と前記光検出器との間の前記平面鏡部分に入射されるように、前記光源の光放出角が設定されることを特徴とする請求項2に記載のガスセンサーのための光空洞。
- 前記光源の光放出角の設定によって前記光の入射点の位置が前記焦点と前記光検出器との間で調節されて、前記光空洞内での光路の長さが調節されることを特徴とする請求項3に記載のガスセンサーのための光空洞。
- 前記光の反射が起きない前記光空洞の領域に形成される換気口をさらに備えることを特徴とする請求項1ないし4のうちいずれか一項に記載のガスセンサーのための光空洞。
- 前記換気口は、前記第1放物鏡の他端部と前記第2放物鏡の他端部との間に形成されることを特徴とする請求項5に記載のガスセンサーのための光空洞。
- 前記換気口は、前記焦点と前記第2放物鏡の前記一端部との間に形成されることを特徴とする請求項5に記載のガスセンサーのための光空洞。
- ガスセンサーのための光空洞において、
前記光空洞は、上面、下面及び時計回り方向に第1,2,3,4側面を含み、第1焦点距離を有する第1放物鏡が前記第1側面を形成し、
前記第1焦点距離より長い第2焦点距離を有し、前記第1放物鏡と対向するように配置される第2放物鏡が前記第3側面を形成し、
前記第1放物鏡の下端部と前記第2放物鏡の下端部との間に連接して配置される第1平面鏡が前記第4側面を形成し、
前記第1放物鏡の上端部に連接して配置される第2平面鏡、及び前記第2平面鏡と前記第2放物鏡の上端部との間に連接して配置される楕円鏡が前記第2側面を形成することを特徴とするガスセンサーのための光空洞。 - 前記第1放物鏡と前記第2放物鏡とは、同じ光軸及び同じ焦点を有し、
前記第1平面鏡は、前記光軸上に配置され、前記同じ焦点は、前記第1平面鏡上に形成されることを特徴とする請求項8に記載のガスセンサーのための光空洞。 - 前記光軸上に置かれた前記平面鏡に光を入射させるために、前記第2放物鏡側に配置される光源と、
前記光空洞の内部で前記第1放物鏡、第2放物鏡及び平面鏡に順次に少なくとも1回以上反射された光を検出するために、前記第1放物鏡と前記平面鏡との連結部に配置される光検出器と、
をさらに備えることを特徴とする請求項9に記載のガスセンサーのための光空洞。 - 前記第1放物鏡、第2放物鏡及び前記第1平面鏡の配置は、前記光空洞内の光路が収斂系を構成するようになされ、
前記光検出器は、前記収斂系の光収斂点に配置されることを特徴とする請求項9に記載のガスセンサーのための光空洞。 - 前記楕円鏡の焦点は、前記同じ焦点の近辺に形成されることを特徴とする請求項9ないし11のうちいずれか一項に記載のガスセンサーのための光空洞。
- 前記光空洞内で前記光の反射が起きない位置にガス換気口が形成されることを特徴とする請求項9ないし11のうちいずれか一項に記載のガスセンサーのための光空洞。
- 前記光空洞の上面または下面に前記ガス換気口が形成されることを特徴とする請求項13に記載のガスセンサーのための光空洞。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020510223A (ja) * | 2017-03-10 | 2020-04-02 | エリシェンズElichens | センサ及び装置 |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100693063B1 (ko) * | 2005-12-27 | 2007-03-12 | (주) 인바이런먼트 리딩 테크놀러지 | 경년 변화 보정 수단을 구비한 ndir 가스 센서 |
KR101026206B1 (ko) * | 2006-08-22 | 2011-03-31 | (주) 인바이런먼트 리딩 테크놀러지 | 비분산 적외선 방식의 가스 센서의 광 도파관 |
SE535267C2 (sv) * | 2009-10-26 | 2012-06-12 | Senseair Ab | En till en spektralanalys anpassad mätcell |
KR101088360B1 (ko) | 2010-06-04 | 2011-12-01 | (주) 인바이런먼트 리딩 테크놀러지 | 복수의 독립된 광 경로를 갖는 광 도파관 및 그를 이용한 ndir 가스 센서 |
TW201200858A (en) * | 2010-06-28 | 2012-01-01 | Unimems Mfg Co Ltd | A photoelectric gas sensor device and manufacturing method therefor |
US8003945B1 (en) * | 2010-08-25 | 2011-08-23 | Jacob Y Wong | Intrinsically safe NDIR gas sensor in a can |
CN102128804B (zh) * | 2010-11-12 | 2013-06-19 | 上海芯敏微系统技术有限公司 | 一种侧壁进/出气的红外气体传感器 |
CN102495003B (zh) * | 2011-11-16 | 2013-12-04 | 上海芯敏微系统技术有限公司 | 小型长光程红外气体传感器模块 |
FI20125665L (fi) * | 2012-06-15 | 2013-12-16 | Vaisala Oyj | Anturi ja menetelmä ankariin olosuhteisiin tarkoitetun anturin yhteydessä |
CN103528957B (zh) * | 2013-10-23 | 2015-11-25 | 中北大学 | 一种气室封装一体化的红外气体传感器 |
KR101581341B1 (ko) * | 2014-02-03 | 2015-12-31 | 한국교통대학교산학협력단 | 복수의 독립된 광 경로를 갖는 광 도파관 및 그를 이용한 광학적 가스센서 |
CN103822893B (zh) * | 2014-02-28 | 2016-07-06 | 江苏物联网研究发展中心 | 一种ndir气体传感器 |
CN103941576A (zh) * | 2014-04-10 | 2014-07-23 | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 | 基于mems技术的原子气体腔器件及其制造方法 |
CN104122223B (zh) * | 2014-08-07 | 2017-02-08 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种双光程多气体红外气体传感器 |
DE102014016515B4 (de) * | 2014-11-10 | 2021-04-29 | Dräger Safety AG & Co. KGaA | Optischer Gassensor |
FR3035511A1 (fr) * | 2015-04-24 | 2016-10-28 | Peugeot Citroen Automobiles Sa | Dispositif d’analyse optique de la qualite de l’air circulant dans une installation de chauffage/ climatisation de vehicule |
KR101893870B1 (ko) * | 2015-12-18 | 2018-08-31 | 김창현 | 가스 농도 측정 장치 |
US9909926B2 (en) | 2016-05-31 | 2018-03-06 | Ams Sensors Uk Limited | Chemical sensor |
FR3057363B1 (fr) * | 2016-10-11 | 2019-05-24 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Cavite optique pendulaire a fort repliement. |
US10161859B2 (en) | 2016-10-27 | 2018-12-25 | Honeywell International Inc. | Planar reflective ring |
FR3072775B1 (fr) * | 2017-10-23 | 2019-09-27 | Elichens | Detecteur de gaz compact |
CN110231288B (zh) * | 2018-03-06 | 2022-04-08 | 徐州旭海光电科技有限公司 | 一种紧凑和稳定的光程气室 |
KR20190120499A (ko) | 2018-04-16 | 2019-10-24 | 주식회사 이엘티센서 | 가스센서용 광 공동 및 이 광 공동을 갖는 가스센서 |
DE102019210163A1 (de) * | 2019-07-10 | 2021-01-14 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Optische messanordnung und gassensor mit derselben |
EP3859308B1 (en) * | 2020-01-28 | 2023-12-20 | Infineon Technologies AG | Radiation source and gas sensor using the radiation source |
CN112649388A (zh) * | 2020-12-07 | 2021-04-13 | 珠海格力电器股份有限公司 | 气体浓度检测系统及空调器 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63304137A (ja) * | 1987-06-04 | 1988-12-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 赤外分光分析器用試料セル |
JPH0419546A (ja) * | 1990-04-19 | 1992-01-23 | Nitta Ind Corp | レーザ式エアロゾル検出方法及びエアロゾル検出装置 |
JPH11118711A (ja) * | 1997-08-04 | 1999-04-30 | Texas Instr Inc <Ti> | ガス濃度を指示する方法およびガスセンサ装置 |
JP2003503828A (ja) * | 1999-07-01 | 2003-01-28 | コジェント・ライト・テクノロジーズ・インコーポレイテッド | 縦列パラボラリフレクタを用いる集光光学システム |
JP2003532071A (ja) * | 2000-04-26 | 2003-10-28 | センセエアー アーベー | ガスセル |
KR100494103B1 (ko) * | 2003-12-12 | 2005-06-10 | (주)이엘티 | 광학적 가스 센서 |
EP1541990A1 (de) * | 2003-12-12 | 2005-06-15 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Gasen oder Gasgemischen mittels Laserdiodenspektroskopie |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2937352C2 (de) * | 1979-09-13 | 1982-03-11 | Müller, Gerhard, Prof. Dr.-Ing., 7080 Aalen | Multipass-Anordnung |
DE19512126C1 (de) * | 1995-04-04 | 1996-09-05 | Hekatron Gmbh | Vorrichtung zum Detektieren eines Gases oder Aerosols |
JPH09229858A (ja) * | 1996-02-20 | 1997-09-05 | Horiba Ltd | 赤外線ガス分析計 |
GB9616809D0 (en) * | 1996-08-10 | 1996-09-25 | Eev Ltd | Gas monitors |
SE506942C2 (sv) * | 1996-08-28 | 1998-03-02 | Hans Goeran Evald Martin | Gassensor |
DE19848120C2 (de) * | 1998-10-20 | 2001-09-27 | Abb Patent Gmbh | Einrichtung zur Messung der Strahlungsabsorption von Gasen |
JP4216110B2 (ja) | 2003-04-09 | 2009-01-28 | 理研計器株式会社 | 多重反射式セルおよび赤外線式ガス検知装置 |
JP4375001B2 (ja) | 2003-12-04 | 2009-12-02 | 株式会社日立製作所 | 自動車の駆動装置および駆動方法 |
JP4547385B2 (ja) * | 2003-12-12 | 2010-09-22 | イーエルティー インコーポレイテッド | ガスセンサ |
-
2005
- 2005-06-16 KR KR1020050051687A patent/KR100576541B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-06-16 EP EP06768906.7A patent/EP1899709B1/en active Active
- 2006-06-16 US US11/922,343 patent/US7609375B2/en active Active
- 2006-06-16 CN CN2006800216550A patent/CN101198856B/zh active Active
- 2006-06-16 JP JP2008516758A patent/JP4726954B2/ja active Active
- 2006-06-16 WO PCT/KR2006/002315 patent/WO2006135212A1/en active Application Filing
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63304137A (ja) * | 1987-06-04 | 1988-12-12 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 赤外分光分析器用試料セル |
JPH0419546A (ja) * | 1990-04-19 | 1992-01-23 | Nitta Ind Corp | レーザ式エアロゾル検出方法及びエアロゾル検出装置 |
JPH11118711A (ja) * | 1997-08-04 | 1999-04-30 | Texas Instr Inc <Ti> | ガス濃度を指示する方法およびガスセンサ装置 |
JP2003503828A (ja) * | 1999-07-01 | 2003-01-28 | コジェント・ライト・テクノロジーズ・インコーポレイテッド | 縦列パラボラリフレクタを用いる集光光学システム |
JP2003532071A (ja) * | 2000-04-26 | 2003-10-28 | センセエアー アーベー | ガスセル |
KR100494103B1 (ko) * | 2003-12-12 | 2005-06-10 | (주)이엘티 | 광학적 가스 센서 |
EP1541990A1 (de) * | 2003-12-12 | 2005-06-15 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Gasen oder Gasgemischen mittels Laserdiodenspektroskopie |
Cited By (2)
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JP2020510223A (ja) * | 2017-03-10 | 2020-04-02 | エリシェンズElichens | センサ及び装置 |
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