JP4547385B2 - ガスセンサ - Google Patents
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Description
Beer-Lambertの法則は上記の式(1)で表される。初期光度(Io)及び測定対象ガスの吸収係数が一定の場合、最終光度(I)は光路上のガス濃度(J)と光路長(L)の関数として表される。
式(2):I = Io
従って、測定対象ガスがない場合とガス濃度がJの場合との光度差は式(3)で得られる。
式(3):ΔI = Io・(1−e−KJL(x))
しかし、従来の赤外線センサは光度に比例した電圧を出力するため、ガスの有無によるセンサの出力は式(4)で表される。
式(4):ΔV=α・ΔI=α・Io・(1−e−KJL(x))
但し、αは比例係数とする。
2番目に、特許文献5または非特許文献2は、1つの光検出器と熱劣化補償のために2つの赤外線光源を備えたタイプを開示している。
3番目に、非特許文献3は、円筒状光キャビティを用い、対象とするガスの波長を選択するためのFabry-Perotフィルタを利用したものを開示している。
4番目に、非特許文献1は、容量の小さい容器内に3つの楕円鏡を備えて光路を延長させているものを開示している。
複数のガス拡散孔は、好ましくは赤外線センサから照射される入射光と同軸上に配置されている。
ガスチャンバは、支持板上の赤外線光源から照射される赤外線の少なくとも一部を投射するための光照射口を有する。
赤外線光源を放物面鏡の焦点位置に配置することができる。
図5に示す通り、放物面鏡の場合、光軸に平行に入射した光の反射光は必ず反射鏡の焦点を通過し、鏡の焦点を通過した反射光は必ず光軸に平行に進む。
本発明はこのような放物面鏡の光学的特性を利用する。
図6に示す光空キャビティシステムは、互いに対向する2つの放物面鏡が同じ位置に焦点を持つが焦点距離(OA−F,OB−F)が異なるように配置されている。
光キャビティシステムは光源の位置によって、入射光を光キャビティ内で発散させる発散システム (図6a)と入射光を光キャビティ内で収束させる収束システム(図6b)とに分類される。
図6bに示すように、OA−F<OB−Fの条件を満たす場合、光が凹面(B)から光軸上の焦点Fに向かって進むと、光は焦点を通ってから凹面(A)で反射し、その後光軸に平行に進む。この反射光は、光軸に収束して最終的に凹面(A)または(B)に到達するまで凹面(B)で反射されるプロセスを繰り返す。また、光軸に収束した光は反射して入射してきた方向に再び向かう。
図7bに示す通り、OAF−OBF>OA’F−OB’Fであるような光キャビティシステムは、光キャビティ(C’)内での光の反射回数が図7aに示す光キャビティ(C)の反射回数より多いため、光キャビティ(C’)での光路は光キャビティ(C)での光路より長いという特徴がある。
本発明の一実施例による光学的ガスセンサは、ガスチャンバ、ガス通気孔(40)、放物面鏡(50)、赤外線センサ(60)、光照射口(80)、赤外線ランプ(90)、高さ調整構造(110)、ガス拡散孔(120)及びガスフィルター(130)を備え、前記ガスチャンバはガスチャンバ下方支持板(10)、第1の鏡(20)、第2の鏡(30)およびガスチャンバ上板(70)を有する。
赤外線ランプ(90)をガスチャンバの下方支持板(10)の下部に設け、放物面鏡(50)の焦点位置に配置する。
図16は、光キャビティ内での光路長を計算するための有用な情報を提供する、入射光の光路を示す。
図17は、光源から照射される平行光が特定の点に集光される特性を示す。即ち、所定の位置にある光源から、複数の円弧の中心がある光軸に平行な光が照射されてから、2度反射させると、光源と対向する鏡面上に位置する赤外線センサに隣接した位置に焦点ができ、これにより、赤外線センサの出力電圧を増大させる。
図18において、受光点の位置および各位置での受光結果が着色されている。
図20は、照射器から照射される光を示し、特に、照射器の中心から照射されて受光器、即ち赤外線センサ、の中心に到達する光を示す。
図21は、光源の照射部(例えば、半径2mm)より大きい光束が受光器に到達する様子を示す。このような構造の光キャビティ体は、例えば、光源より大きい半径を有する受光器である複数ガスセンサ(例えば、センサ半径が5mmのもの)に適用した場合に有用な場合がある。
図22は、赤外線センサの受光部(円形)に到達する時間当たりの光エネルギーが約時間当たり0.523ワットであることを示す。これは5回の反射を経て赤外線センサに到達する理想のエネルギーである時間当たり0.567ワットと比べると0.44ワットだけ少ない。この理由は、投光器から照射される光の一部が発散して、赤外線センサの受光部の外側に到達するためである。
投光器の中心軸から照射される光の全光路長を確認できた。本発明による光キャビティは、従来の光キャビティより長い光路を得られ、加えて、光の収束効果も得られた。さらに、光源(出力電圧:0.66ワット)が定常状態で作用する場合、鏡面での反射により光度が低減して光検出器に到達することが確認された。光検出器での受光結果が理論上の計算値よりわずかに小さい値を示すが、光は完全には光検出器に収束しないことを考慮すると、得られた結果は妥当であると考えられる。
20 第1の鏡
25 第1の放物面鏡
30 第2の鏡
35 第2の放物面鏡
40,45 ガス通気孔
50,55 放物面鏡
60,65 赤外線センサ
70,75 ガスチャンバ上板
80,85 光照射口
90,95 赤外線ランプ
100 蓋
110,115 高さ調整構造
120,125 ガス拡散孔
130,135 ガスフィルタ
Claims (24)
- 試料ガスを受容するためのガスチャンバと、
前記試料ガスを前記ガスチャンバ内へ注入または、前記試料ガスを前記ガスチャンバから排出するためのガス開口部と、
前記試料ガスに向けて赤外線を照射するための光源と、
前記試料ガスを通過した前記赤外線の光度を検出するための赤外線センサと
を備えた光学的ガスセンサであって、
前記ガスチャンバの壁は、焦点位置が同じであるが異なる焦点距離を有する互いに対向する2つの凹面鏡から成り、前記2つの凹面鏡は、前記2つの凹面鏡の軸に平行な入射光を一方の前記凹面鏡の表面で反射させてから前記2つの凹面鏡の前記焦点位置を通過させ、前記2つの凹面鏡の前記焦点位置を通過した前記入射光を他方の前記凹面鏡の表面で反射させて前記2つの凹面鏡の軸に平行に進ませる曲率を有する
ことを特徴とする光学的ガスセンサ。 - 前記ガス開口部が、前記ガスチャンバの特定の壁に配置されたガス通気孔および前記ガスチャンバの下方あるいは上方支持板に配置された複数のガス拡散孔を含むことを特徴とする請求項1に記載の光学的ガスセンサ。
- 前記複数のガス拡散孔が、ガスフィルタで覆われていることを特徴とする請求項1または2に記載の光学的ガスセンサ。
- 前記複数のガス拡散孔が、好ましくは前記赤外線センサからの入射光軸上に配置されていることを特徴とする請求項3に記載の光学的ガスセンサ。
- 前記ガス通気孔が、有利に下向きに曲げられているか、着脱可能な蓋を備えていることを特徴とする請求項2に記載の光学的ガスセンサ。
- 前記凹面鏡の表面が、金メッキまたは金蒸着されていることを特徴とする請求項1に記載の光学的ガスセンサ。
- 前記ガスチャンバが、前記支持板に形成されている前記赤外線光源に隣接する位置で、前記ガスチャンバの前記支持板と一体形成されている放物面鏡を収容することを特徴とする請求項2に記載の光学的ガスセンサ。
- 前記赤外線光源からの前記赤外線の少なくとも一部を照射するための光照射口が、前記ガスチャンバの前記支持板に形成されていることを特徴とする請求項7に記載の光学的ガスセンサ。
- 前記赤外光源線が、前記放物面鏡の前記焦点位置に配置されていることを特徴とする請求項7または8に記載の光学的ガスセンサ。
- 前記ガスチャンバの前記支持板には、前記赤外線光源の高さによって生じる前記支持板の傾きを調整するための高さ調整構造が取付けられていることを特徴とする請求項2に記載の光学的ガスセンサ。
- 試料ガスを受容するためのガスチャンバと、
前記試料ガスを前記ガスチャンバ内へ注入または、前記試料ガスを前記ガスチャンバから排出するためのガス開口部と、
前記試料ガスに向けて赤外線を照射するための光源と、
前記試料ガスを通過した前記赤外線の光度を検出するための光学センサと
を備えた光学的ガスセンサであって、
前記ガスチャンバの壁は、焦点位置が同じであるが異なる焦点距離を有する互いに対向する2つの凹面鏡から成り、前記2つの凹面鏡はそれぞれ放物線または円弧の一部の形状の断面を有する
ことを特徴とする光学的ガスセンサ。 - 前記ガス開口部が、前記ガスチャンバの特定の壁に配置されたガス通気孔および前記ガスチャンバの下方あるいは上方支持板に配置された複数のガス拡散孔を含むことを特徴とする請求項11に記載の光学的ガスセンサ。
- 前記複数のガス拡散孔が、ガスフィルタで覆われていることを特徴とする請求項11または12に記載の光学的ガスセンサ。
- 前記凹面鏡の表面が、金メッキまたは金蒸着されていることを特徴とする請求項11に記載の光学的ガスセンサ。
- 前記ガスチャンバが、前記赤外線光源からの入射光を前記ガスチャンバの水平支持板に平行に進ませるように形成した放物面鏡を収容することを特徴とする請求項12に記載の光学的ガスセンサ。
- 非分散形赤外線ガスセンサ用の光キャビティであって、
前記光キャビティが互いに対向する2つの凹面鏡から形成され、
前記凹面鏡の断面が円弧状で、
前記2つの円弧は異なる半径を有し、
前記2つの円弧の中心は同軸上にあり、
前記光キャビティは、光源、光検出器、ガス通気およびガス拡散用の孔を除いて光学的に閉鎖されていることを特徴とする光キャビティ。 - 前記2つの円弧の中心が、一方の円弧と他方の円弧とをつなぐ直線の中点と重なることを特徴とする請求項16に記載の光キャビティ。
- より大なる半径を有する円弧の中心がより小なる半径を有する円弧の外側にあり、前記より小なる半径を有する円弧の中心が前記より大なる半径を有する円弧の内側にあることを特徴とする請求項16または17に記載の光キャビティ。
- 前記光源および前記光検出器が異なる円弧上に設置されており、前記光源からの入射光は前記2つの円弧の中心が置かれている軸に平行に照射されて、各円弧で1回ずつ反射してから前記光検出器で検出されることを特徴とする請求項18に記載の光キャビティ。
- 前記光源からの前記入射光が、前記光検出器の配置されている前記円弧上で焦点を合わせることを特徴とする請求項19に記載の光キャビティ。
- 前記光源および前記光検出器を同じ前記円弧上に配置し、前記光源からの入射光を前記各円弧に奇数回反射させてから前記光検出器で検出することを特徴とする請求項17に記載の光キャビティ。
- 前記光源からの前記入射光が前記光キャビティの中心または中心に隣接する位置に入射し、複数回の反射の際に収束と発散を繰り返して前記光検出器に到達し、
前記光検出器が配置されている前記円弧に到達する光の断面積が前記光源から照射される光のそれより大であることを特徴とする請求項21に記載の光キャビティ。 - 非分散形赤外線ガスセンサ用の光キャビティであって、
赤外線を照射するための光源と、
前記光源からの入射光をついには検出する光検出器と、
断面が円弧状で、異なる半径を有し、双方の中心が同軸上にある、互いに対向する2つの凹面鏡によって形成され、前記光源、前記光検出器、ガス通気およびガス拡散用の孔を除いては光学的に閉鎖している光キャビティと、
前記光源から照射される前記赤外線を制御するための、パルス変調時間が200乃至600msであり、ターンオフ時間が2、2.5または3秒である光変調手段と、
前記光検出器からの電子信号を増幅するための増幅手段と
を備える非分散形赤外線ガスセンサ用の光キャビティ。 - 前記光変調手段が、前記光源のパルス変調時間を200msに、ターンオフ時間を3秒に設定することを特徴とする請求項23に記載の光キャビティ。
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