JPH095232A - 多重反射セル及びその調整方法 - Google Patents
多重反射セル及びその調整方法Info
- Publication number
- JPH095232A JPH095232A JP15027095A JP15027095A JPH095232A JP H095232 A JPH095232 A JP H095232A JP 15027095 A JP15027095 A JP 15027095A JP 15027095 A JP15027095 A JP 15027095A JP H095232 A JPH095232 A JP H095232A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- concave mirror
- laser light
- outer container
- concave
- adjusting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N21/03—Cuvette constructions
- G01N21/031—Multipass arrangements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】多重反射セルの凹面鏡で反射する光の焦点を調
整し，鏡面間の反射回数を増加させる。 【構成】対向して設けた１枚の凹面鏡７と複数組の凹面
鏡８，９を配置した外筒容器の一部にベローズ１３を設
け，可動ステージ２２により前記対向する凹面鏡間７，
８，９の距離を可変とする。外筒容器の外部からレーザ
ー透過窓２８を通過させ，１枚の凹面鏡７に向けてレー
ザー光を入射することで，同凹面鏡７のあおりを調節し
た後，同凹面鏡７に角度をもたせて入射したレーザー光
が所望の位置に反射するよう同凹面鏡７の位置を前記可
動ステージ２２で調節する。これにより，対向する凹面
鏡７，８，９間の焦点を調整する。
整し，鏡面間の反射回数を増加させる。 【構成】対向して設けた１枚の凹面鏡７と複数組の凹面
鏡８，９を配置した外筒容器の一部にベローズ１３を設
け，可動ステージ２２により前記対向する凹面鏡間７，
８，９の距離を可変とする。外筒容器の外部からレーザ
ー透過窓２８を通過させ，１枚の凹面鏡７に向けてレー
ザー光を入射することで，同凹面鏡７のあおりを調節し
た後，同凹面鏡７に角度をもたせて入射したレーザー光
が所望の位置に反射するよう同凹面鏡７の位置を前記可
動ステージ２２で調節する。これにより，対向する凹面
鏡７，８，９間の焦点を調整する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，原料濃度の希薄な系に
おける分光分析等に用いる多重反射セル及び同反射セル
の凹面鏡で反射する光の焦点を調整する方法に関する。
おける分光分析等に用いる多重反射セル及び同反射セル
の凹面鏡で反射する光の焦点を調整する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来，例えばレーザー誘起蛍光法等によ
りプラズマ中の生成分子を計測する場合には，プラズマ
中へレーザー光を照射し同レーザー光照射部分で発生す
る蛍光を集光して検出器に導くことによって，蛍光の観
測を行う。しかし，レーザー吸収法によってプラズマＣ
ＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔ
ｉｏｎ）法のような原料濃度の希薄な系における生成分
子の計測を行う場合には，検出感度を上げるために光路
長を長くする必要があり，多重反射セルを用いる必要が
ある。
りプラズマ中の生成分子を計測する場合には，プラズマ
中へレーザー光を照射し同レーザー光照射部分で発生す
る蛍光を集光して検出器に導くことによって，蛍光の観
測を行う。しかし，レーザー吸収法によってプラズマＣ
ＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔ
ｉｏｎ）法のような原料濃度の希薄な系における生成分
子の計測を行う場合には，検出感度を上げるために光路
長を長くする必要があり，多重反射セルを用いる必要が
ある。
【０００３】通常，多重反射セルを用いる場合は，１枚
の凹面鏡及び２枚組の凹面鏡を対向させて設け，各凹面
鏡のあおりと呼ばれる鏡面の向き等を調整してその間を
数十回にわたってレーザー光を往復させている。
の凹面鏡及び２枚組の凹面鏡を対向させて設け，各凹面
鏡のあおりと呼ばれる鏡面の向き等を調整してその間を
数十回にわたってレーザー光を往復させている。
【０００４】図４は従来の多重反射セルの構成を示して
いる。同図においては多重反射セル内を光が７回通過し
ている。多重反射セルの外容器１０１はステンレスやガ
ラス等で構成される円筒形の容器である。同外容器１０
１の一端部壁には，使用する光の波長に応じて石英板や
ＮａＣｌ板等の材料から構成されるレーザー光透過窓１
０２，１０３が設けられている。外容器１０１には，同
外容器１０１中に試料ガスを導入する試料ガス導入管１
０４が設置され，その途中にはバルブ１０５が設けられ
ている。また，外容器１０１には，試料ガスを排出する
排気管１０６が設置され，その途中にはバルブ１１０が
設けられている。
いる。同図においては多重反射セル内を光が７回通過し
ている。多重反射セルの外容器１０１はステンレスやガ
ラス等で構成される円筒形の容器である。同外容器１０
１の一端部壁には，使用する光の波長に応じて石英板や
ＮａＣｌ板等の材料から構成されるレーザー光透過窓１
０２，１０３が設けられている。外容器１０１には，同
外容器１０１中に試料ガスを導入する試料ガス導入管１
０４が設置され，その途中にはバルブ１０５が設けられ
ている。また，外容器１０１には，試料ガスを排出する
排気管１０６が設置され，その途中にはバルブ１１０が
設けられている。
【０００５】外容器１０１内部のレーザー光透過窓１０
２，１０３が設置されている側の端部壁中央部分には凹
面鏡１０７が設けられ，反対側の端部壁にはその焦点が
凹面鏡１０７の鏡面上に結ばれるように配置された同種
類の凹面鏡１０８，１０９が設けられている。前記凹面
鏡１０８，１０９には，それぞれあおりを調節する調節
ネジ１１１，１１２及び１１３，１１４が設けられてい
る。
２，１０３が設置されている側の端部壁中央部分には凹
面鏡１０７が設けられ，反対側の端部壁にはその焦点が
凹面鏡１０７の鏡面上に結ばれるように配置された同種
類の凹面鏡１０８，１０９が設けられている。前記凹面
鏡１０８，１０９には，それぞれあおりを調節する調節
ネジ１１１，１１２及び１１３，１１４が設けられてい
る。
【０００６】上記構成の多重反射セルにおいて，まず試
料ガス導入管１０４のバルブ１０５を開けて試料ガスを
外容器１０１に導入する。次に，バルブ１０５を閉めた
後，排気管１０６のバルブ１１０を開けて図示しない真
空ポンプで外容器１０１内が所望の圧力になるように減
圧する。その後，図示しないレーザー光源からレーザー
光透過窓１０２を通してレーザー光を入射する。
料ガス導入管１０４のバルブ１０５を開けて試料ガスを
外容器１０１に導入する。次に，バルブ１０５を閉めた
後，排気管１０６のバルブ１１０を開けて図示しない真
空ポンプで外容器１０１内が所望の圧力になるように減
圧する。その後，図示しないレーザー光源からレーザー
光透過窓１０２を通してレーザー光を入射する。
【０００７】レーザー光は凹面鏡１０８の鏡面内に収ま
るように入射され，同凹面鏡１０８によって反射された
レーザー光は対向する凹面鏡１０７の鏡面上に焦点を結
ぶ。その後同レーザー光は凹面鏡１０７，１０８間若し
くは１０７，１０９間で複数回反射し同凹面鏡間を通過
する。同レーザー光の凹面鏡間の通過回数は調節ネジ１
１１，１１２，１１３若しくは１１４で凹面鏡１０８，
１０９のあおりを調節することによって設定する。そし
て，最終的に前記凹面鏡１０９で反射されたレーザー光
をレーザー光透過窓１０３を通して外部に取り出し，図
示しない光検出器で受光する。
るように入射され，同凹面鏡１０８によって反射された
レーザー光は対向する凹面鏡１０７の鏡面上に焦点を結
ぶ。その後同レーザー光は凹面鏡１０７，１０８間若し
くは１０７，１０９間で複数回反射し同凹面鏡間を通過
する。同レーザー光の凹面鏡間の通過回数は調節ネジ１
１１，１１２，１１３若しくは１１４で凹面鏡１０８，
１０９のあおりを調節することによって設定する。そし
て，最終的に前記凹面鏡１０９で反射されたレーザー光
をレーザー光透過窓１０３を通して外部に取り出し，図
示しない光検出器で受光する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】多重反射セルでは，凹
面鏡の焦点距離と対向する凹面鏡間の距離の設定が厳密
でないと，レーザー光が凹面鏡上で焦点を結ばずに面鏡
上のレーザー光のスポットがぼやけたものとなり，同レ
ーザー光の通過回数を稼げない。レーザー光の通過回数
を増やすには，凹面鏡のあおり及び凹面鏡の焦点位置を
厳密に調整する必要があるが，従来はその調整を試行錯
誤的に行うしかなかったため，厳密な調整には非常に手
間がかかっていた。本発明はこのような課題を解決する
ことを目的とする。
面鏡の焦点距離と対向する凹面鏡間の距離の設定が厳密
でないと，レーザー光が凹面鏡上で焦点を結ばずに面鏡
上のレーザー光のスポットがぼやけたものとなり，同レ
ーザー光の通過回数を稼げない。レーザー光の通過回数
を増やすには，凹面鏡のあおり及び凹面鏡の焦点位置を
厳密に調整する必要があるが，従来はその調整を試行錯
誤的に行うしかなかったため，厳密な調整には非常に手
間がかかっていた。本発明はこのような課題を解決する
ことを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】試料ガスの導入口及び排
出口を設けた外容器と，同外容器内の端部に設けた第１
の凹面鏡と，外容器内の他端に前記第１の凹面鏡に対向
して設けた複数組の第２の凹面鏡と，前記第１の凹面鏡
及び第２の凹面鏡のあおりを調節する調節手段と，前記
第１の凹面鏡を設置した側の外容器端部に設けたレーザ
ー光透過窓から成る多重反射セルにおいて，外容器に設
けた外容器伸長手段と，同外容器の一端部に設けた可動
ステージと，第２の凹面鏡を設置した側の外容器端部に
設けた２枚のレーザー光透過窓を有したことを特徴とす
る。
出口を設けた外容器と，同外容器内の端部に設けた第１
の凹面鏡と，外容器内の他端に前記第１の凹面鏡に対向
して設けた複数組の第２の凹面鏡と，前記第１の凹面鏡
及び第２の凹面鏡のあおりを調節する調節手段と，前記
第１の凹面鏡を設置した側の外容器端部に設けたレーザ
ー光透過窓から成る多重反射セルにおいて，外容器に設
けた外容器伸長手段と，同外容器の一端部に設けた可動
ステージと，第２の凹面鏡を設置した側の外容器端部に
設けた２枚のレーザー光透過窓を有したことを特徴とす
る。
【００１０】また，請求項１に記載の多重反射セルの調
整方法において，外容器外部から第２の凹面鏡側のレー
ザー光透過窓を通過させて第１のレーザー光を第１の凹
面鏡上に入射し同第１の凹面鏡で反射させ，反射したレ
ーザー光が入射光と同一の光路を通るように同第１の凹
面鏡のあおりを調整し，前記第１のレーザー光の光路か
ら一定の距離をとってレーザー光源と光検出器を同光路
に対して対称に配置し，外容器から第２の凹面鏡を取り
外した状態で，前記レーザー光源から所望の角度で入射
した第２のレーザー光が前記第１の凹面鏡で反射し前記
光検出器に入るよう同第１の凹面鏡を前記第１のレーザ
ー光の光路方向に移動させ，前記第２のレーザー光を入
射する角度，レーザー光源若しくは光検出器から前記第
１のレーザー光の光路までの距離及びレーザー光源と第
２の凹面鏡を設置すべき位置との距離から，外容器内で
対向する凹面鏡間の距離を調整することを特徴とする。
整方法において，外容器外部から第２の凹面鏡側のレー
ザー光透過窓を通過させて第１のレーザー光を第１の凹
面鏡上に入射し同第１の凹面鏡で反射させ，反射したレ
ーザー光が入射光と同一の光路を通るように同第１の凹
面鏡のあおりを調整し，前記第１のレーザー光の光路か
ら一定の距離をとってレーザー光源と光検出器を同光路
に対して対称に配置し，外容器から第２の凹面鏡を取り
外した状態で，前記レーザー光源から所望の角度で入射
した第２のレーザー光が前記第１の凹面鏡で反射し前記
光検出器に入るよう同第１の凹面鏡を前記第１のレーザ
ー光の光路方向に移動させ，前記第２のレーザー光を入
射する角度，レーザー光源若しくは光検出器から前記第
１のレーザー光の光路までの距離及びレーザー光源と第
２の凹面鏡を設置すべき位置との距離から，外容器内で
対向する凹面鏡間の距離を調整することを特徴とする。
【００１１】
【作用】第２の凹面鏡を設置した側の外筒容器端部に設
けたレーザー光透過窓から第１の凹面鏡に向けてレーザ
ー光を入射することで，同第１の凹面鏡のあおりを調整
し，また，対向する第１の凹面鏡と第２の凹面鏡間の焦
点距離の調整のため，ベローズ付きの外筒容器を可動ス
テージにて移動させる。
けたレーザー光透過窓から第１の凹面鏡に向けてレーザ
ー光を入射することで，同第１の凹面鏡のあおりを調整
し，また，対向する第１の凹面鏡と第２の凹面鏡間の焦
点距離の調整のため，ベローズ付きの外筒容器を可動ス
テージにて移動させる。
【００１２】また，レーザー光を第１の凹面鏡へ向けて
入射し，同凹面鏡で反射されたレーザー光が前記入射光
と同一光路を通るように前記第１の凹面鏡のあおりを調
整する。その後，前記光路と角度をもたせてレーザー光
を前記第１の凹面鏡へ向けて入射し，同凹面鏡を前記光
路方向に移動させながら，前記第２組の凹面鏡の焦点距
離と対向する第１，第２の凹面鏡間の距離とを一致させ
る。
入射し，同凹面鏡で反射されたレーザー光が前記入射光
と同一光路を通るように前記第１の凹面鏡のあおりを調
整する。その後，前記光路と角度をもたせてレーザー光
を前記第１の凹面鏡へ向けて入射し，同凹面鏡を前記光
路方向に移動させながら，前記第２組の凹面鏡の焦点距
離と対向する第１，第２の凹面鏡間の距離とを一致させ
る。
【００１３】
【実施例】以下，本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明に関する多重反射セルの構成図で
ある。同図において，架台１９にて固定されたＣＶＤチ
ャンバー１０の長手方向の一端には，架台２０にて固定
された円筒形の外容器１２が設置されている。ＣＶＤチ
ャンバー１０の他端には，ベローズ１３を介して円筒形
の外筒容器１１が設置されており，同外筒容器１１は可
動ステージ２２によってＣＶＤチャンバー１０の長手方
向に伸縮自在に移動できるようになっている。
明する。図１は本発明に関する多重反射セルの構成図で
ある。同図において，架台１９にて固定されたＣＶＤチ
ャンバー１０の長手方向の一端には，架台２０にて固定
された円筒形の外容器１２が設置されている。ＣＶＤチ
ャンバー１０の他端には，ベローズ１３を介して円筒形
の外筒容器１１が設置されており，同外筒容器１１は可
動ステージ２２によってＣＶＤチャンバー１０の長手方
向に伸縮自在に移動できるようになっている。
【００１４】円筒形の外筒容器１１の端部はフランジ１
４によって塞がれており，同フランジ１４の内側面の中
央部には凹面鏡７が外筒容器１２の方向へ向けて設置さ
れている。外筒容器１２の端部はフランジ１５によって
塞がれており，同フランジ１５の内側面には，円筒の中
心軸に対して上下対称の位置に同一の凹面鏡８，９が外
筒容器１１の方向へ向けて設置されている。フランジ１
４の外側面には凹面鏡７の設置位置と重ならないよう
に，レーザー光透過窓１６，１７が上下に設置されてい
る。平面鏡１，２及び凹面鏡５は，レーザー光透過窓１
６を介して，レーザー光を所望の角度にて多重反射セル
内に入射する反射鏡であり，また，平面鏡３，４及び凹
面鏡６は，レーザー光透過窓１７を通って多重反射セル
から出力されるレーザー光を所望の位置にあるビームダ
ンパへ導く反射鏡である。
４によって塞がれており，同フランジ１４の内側面の中
央部には凹面鏡７が外筒容器１２の方向へ向けて設置さ
れている。外筒容器１２の端部はフランジ１５によって
塞がれており，同フランジ１５の内側面には，円筒の中
心軸に対して上下対称の位置に同一の凹面鏡８，９が外
筒容器１１の方向へ向けて設置されている。フランジ１
４の外側面には凹面鏡７の設置位置と重ならないよう
に，レーザー光透過窓１６，１７が上下に設置されてい
る。平面鏡１，２及び凹面鏡５は，レーザー光透過窓１
６を介して，レーザー光を所望の角度にて多重反射セル
内に入射する反射鏡であり，また，平面鏡３，４及び凹
面鏡６は，レーザー光透過窓１７を通って多重反射セル
から出力されるレーザー光を所望の位置にあるビームダ
ンパへ導く反射鏡である。
【００１５】図２は，上記の多重反射セルにおいて，凹
面鏡７のあおりを調整するために必要な構成である。同
図において，円筒形の外筒容器２３の外部には，レーザ
ー光源２９が同外筒容器２３の長手方向に対して直角に
配置されている。レーザー光源２９からのレーザー光
は，円筒形の外筒容器２３の中心軸上に同中心軸に対し
て４５度の角度で設けられたビームスプリッタ３０にて
一部反射し，レーザー透過窓２７を通って外筒容器２３
内の中心軸上に入射する。ビームースプリッタ３０はガ
ラス等の基板上にクロム膜や誘電多層膜等をコーティン
グして光を分割するものである。ビームスプリッタ３０
を透過した方のレーザー光はビームダンパ３１にて吸収
される。
面鏡７のあおりを調整するために必要な構成である。同
図において，円筒形の外筒容器２３の外部には，レーザ
ー光源２９が同外筒容器２３の長手方向に対して直角に
配置されている。レーザー光源２９からのレーザー光
は，円筒形の外筒容器２３の中心軸上に同中心軸に対し
て４５度の角度で設けられたビームスプリッタ３０にて
一部反射し，レーザー透過窓２７を通って外筒容器２３
内の中心軸上に入射する。ビームースプリッタ３０はガ
ラス等の基板上にクロム膜や誘電多層膜等をコーティン
グして光を分割するものである。ビームスプリッタ３０
を透過した方のレーザー光はビームダンパ３１にて吸収
される。
【００１６】前記レーザー透過窓２７を通って外筒容器
２３内の中心軸上に入射したレーザー光は凹面鏡７の鏡
面で反射する。凹面鏡７が外筒容器２３の中心軸に対し
て垂直に設置されていれば，反射した光も前記中心軸上
を進み，ビームスプリッタ３０の表面では，入射レーザ
ー光と反射レーザー光のスポットが一致する。従って，
レーザー光のスポットをビームスプリッタ表面で一致す
るようにするように調整することによって，凹面鏡７を
外筒容器２３の中心軸と直角にすることができる。ここ
で，前記ビームスプリッタ３０に到達したレーザー光
は，同ビームスプリッタ３０を透過し，ビームダンパ３
２に吸収される。なお，上記実施例ではビームスプリッ
タを用いたが，代わりに平面鏡を用いてもよい。
２３内の中心軸上に入射したレーザー光は凹面鏡７の鏡
面で反射する。凹面鏡７が外筒容器２３の中心軸に対し
て垂直に設置されていれば，反射した光も前記中心軸上
を進み，ビームスプリッタ３０の表面では，入射レーザ
ー光と反射レーザー光のスポットが一致する。従って，
レーザー光のスポットをビームスプリッタ表面で一致す
るようにするように調整することによって，凹面鏡７を
外筒容器２３の中心軸と直角にすることができる。ここ
で，前記ビームスプリッタ３０に到達したレーザー光
は，同ビームスプリッタ３０を透過し，ビームダンパ３
２に吸収される。なお，上記実施例ではビームスプリッ
タを用いたが，代わりに平面鏡を用いてもよい。
【００１７】その後，多重反射セルを構成する凹面鏡間
の距離を測るため，図３のように装置を構成する。同図
においては，凹面鏡８，９は取り外されている。また，
レーザー光透過窓２６は，外筒容器２３における凹面鏡
８，９を設置すべき壁面の中央部分に設置され，レーザ
ー光透過窓２７，２８は同壁面上の前記レーザー光透過
窓２６について対称となる位置に設置されている。レー
ザー光源２９及び光検出器３３は外筒容器２３の外部
に，外筒容器２３の中心軸に対象となる位置に設置され
ている。レーザー光源２９からの出射レーザー光をレー
ザー光透過窓２６を通して凹面鏡７の中心部に照射す
る。そして，前記凹面鏡７で反射されレーザー光透過窓
２８を通過したレーザー光をフォトダイオード，光電子
像倍管等の光検出器３３で検出する。このように同光検
出器３３でレーザー光が検出されたときのレーザー出射
面から前記凹面鏡７までの距離ｘは次式から求まる。
の距離を測るため，図３のように装置を構成する。同図
においては，凹面鏡８，９は取り外されている。また，
レーザー光透過窓２６は，外筒容器２３における凹面鏡
８，９を設置すべき壁面の中央部分に設置され，レーザ
ー光透過窓２７，２８は同壁面上の前記レーザー光透過
窓２６について対称となる位置に設置されている。レー
ザー光源２９及び光検出器３３は外筒容器２３の外部
に，外筒容器２３の中心軸に対象となる位置に設置され
ている。レーザー光源２９からの出射レーザー光をレー
ザー光透過窓２６を通して凹面鏡７の中心部に照射す
る。そして，前記凹面鏡７で反射されレーザー光透過窓
２８を通過したレーザー光をフォトダイオード，光電子
像倍管等の光検出器３３で検出する。このように同光検
出器３３でレーザー光が検出されたときのレーザー出射
面から前記凹面鏡７までの距離ｘは次式から求まる。
【００１８】
【数１】 ｘ＝Ｌ／（２ｃｏｓθ） （１） ここで，Ｌはレーザー光源２９のレーザー出射面から光
検出器３３までの距離，θは前記レーザ出射面と前記凹
面鏡７の中心を結ぶ線と，前記レーザー出射面と前記光
検出器３３の受光部を結ぶ線とのなす角である。
検出器３３までの距離，θは前記レーザ出射面と前記凹
面鏡７の中心を結ぶ線と，前記レーザー出射面と前記光
検出器３３の受光部を結ぶ線とのなす角である。
【００１９】レーザー光源２９のレーザー出射面から凹
面鏡８が設置される位置までの距離を実測して前記ｘか
ら差し引くことにより，前記凹面鏡７と凹面鏡８が設置
される位置との距離が求まる。従って，レーザー光源２
９のレーザー出射面及び光検出器３３の受光部の位置及
び角度θを固定しておき，可動ステージ２２を作動させ
ながらレーザー光が光検出器３３の同受光部に達する位
置を特定することで，前記凹面鏡７，８間の距離を所望
の値に調整することができる。上記のように凹面鏡７，
９間の距離も前記凹面鏡７，８間の距離に等しく，かつ
凹面鏡７は外筒容器２３の中心軸に対して垂直に設置さ
れているので，前記凹面鏡８，９の焦点距離が既知であ
れば前記方法によって対向する凹面鏡７，８若しくは
７，９間の距離を同焦点距離に合わせることができる。
面鏡８が設置される位置までの距離を実測して前記ｘか
ら差し引くことにより，前記凹面鏡７と凹面鏡８が設置
される位置との距離が求まる。従って，レーザー光源２
９のレーザー出射面及び光検出器３３の受光部の位置及
び角度θを固定しておき，可動ステージ２２を作動させ
ながらレーザー光が光検出器３３の同受光部に達する位
置を特定することで，前記凹面鏡７，８間の距離を所望
の値に調整することができる。上記のように凹面鏡７，
９間の距離も前記凹面鏡７，８間の距離に等しく，かつ
凹面鏡７は外筒容器２３の中心軸に対して垂直に設置さ
れているので，前記凹面鏡８，９の焦点距離が既知であ
れば前記方法によって対向する凹面鏡７，８若しくは
７，９間の距離を同焦点距離に合わせることができる。
【００２０】凹面鏡８，９を前記多重反射セルに設置し
た後，同凹面鏡８，９のあおりを対応する各調節ネジで
調節し，多重反射セル内で反射するレーザー光の通過回
数を設定する。
た後，同凹面鏡８，９のあおりを対応する各調節ネジで
調節し，多重反射セル内で反射するレーザー光の通過回
数を設定する。
【００２１】
【発明の効果】多重反射セルを構成する対向した凹面鏡
間の距離を計測しながら凹面鏡の焦点距離と凹面鏡間の
距離を厳密に合わせることができるため，凹面鏡の鏡面
上におけるレーザースポットが最小になり，反射回数を
増加させることができる。従って原料濃度の希薄な系に
おける生成分子の検出感度を上げることが可能となる。
間の距離を計測しながら凹面鏡の焦点距離と凹面鏡間の
距離を厳密に合わせることができるため，凹面鏡の鏡面
上におけるレーザースポットが最小になり，反射回数を
増加させることができる。従って原料濃度の希薄な系に
おける生成分子の検出感度を上げることが可能となる。
【図１】本発明の一実施例に係る多重反射セルの構成
図。
図。
【図２】本発明の多重反射セルの凹面鏡のあおり調節に
係る構成図。
係る構成図。
【図３】本発明の多重反射セルの凹面鏡の焦点距離調整
に係る構成図。
に係る構成図。
【図４】従来の多重反射セルの構成図。
１，２，３，４
平面鏡 ５，６，７，８，９，１０７，１０８，１０９
凹面鏡 １０
ＣＶＤチャンバー １１，１２，２３，１０１
外筒容器 １３
ベローズ １４，１５
フランジ １６，１７，２６，２７，２８，１０２，１０３
レーザー光透過窓 １９，２０，２１
架台 ２２
可動ステージ ２４，２５，１１１，１１２，１１３，１１４
調節ネジ ２９
レーザー光源 ３０
ビームスプリッタ ３１，３２
ビームダンパ ３３
光検出器 １０４
試料ガス導入管 １０５，１１０
バルブ １０６
排気管
平面鏡 ５，６，７，８，９，１０７，１０８，１０９
凹面鏡 １０
ＣＶＤチャンバー １１，１２，２３，１０１
外筒容器 １３
ベローズ １４，１５
フランジ １６，１７，２６，２７，２８，１０２，１０３
レーザー光透過窓 １９，２０，２１
架台 ２２
可動ステージ ２４，２５，１１１，１１２，１１３，１１４
調節ネジ ２９
レーザー光源 ３０
ビームスプリッタ ３１，３２
ビームダンパ ３３
光検出器 １０４
試料ガス導入管 １０５，１１０
バルブ １０６
排気管
Claims (2)
- 【請求項１】試料ガスの導入口及び排出口を設けた外容
器と，同外容器内の端部に設けた第１の凹面鏡と，外容
器内の他端に前記第１の凹面鏡に対向して設けた複数組
の第２の凹面鏡と，前記第１の凹面鏡及び第２の凹面鏡
のあおりを調節する調節手段と，前記第１の凹面鏡を設
置した側の外容器端部に設けたレーザー光透過窓から成
る多重反射セルにおいて，外容器に設けた外容器伸長手
段と，同外容器の一端部に設けた可動ステージと，第２
の凹面鏡を設置した側の外容器端部に設けた２枚のレー
ザー光透過窓を有したことを特徴とする多重反射セル。 - 【請求項２】請求項１に記載の多重反射セルの調整方法
において，外容器外部から第２の凹面鏡側のレーザー光
透過窓を通過させて第１のレーザー光を第１の凹面鏡上
に入射し同第１の凹面鏡で反射させ，反射したレーザー
光が入射光と同一の光路を通るように同第１の凹面鏡の
あおりを調整し，前記第１のレーザー光の光路から一定
の距離をとってレーザー光源と光検出器を同光路に対し
て対称に配置し，外容器から第２の凹面鏡を取り外した
状態で，前記レーザー光源から所望の角度で入射した第
２のレーザー光が前記第１の凹面鏡で反射し前記光検出
器に入るよう同第１の凹面鏡を前記第１のレーザー光の
光路方向に移動させ，前記第２のレーザー光を入射する
角度，レーザー光源若しくは光検出器から前記第１のレ
ーザー光の光路までの距離及びレーザー光源と第２の凹
面鏡を設置すべき位置との距離から，外容器内で対向す
る凹面鏡間の距離を調整することを特徴とする多重反射
セルの調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15027095A JPH095232A (ja) | 1995-06-16 | 1995-06-16 | 多重反射セル及びその調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15027095A JPH095232A (ja) | 1995-06-16 | 1995-06-16 | 多重反射セル及びその調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH095232A true JPH095232A (ja) | 1997-01-10 |
Family
ID=15493284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15027095A Withdrawn JPH095232A (ja) | 1995-06-16 | 1995-06-16 | 多重反射セル及びその調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH095232A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003507703A (ja) * | 1999-08-13 | 2003-02-25 | リージェンツ・オブ・ザ・ユニバーシティ・オブ・ミネソタ | 同位体比率を測定するための赤外分光計 |
| JP2007514160A (ja) * | 2003-12-12 | 2007-05-31 | イーエルティー インコーポレイテッド | ガスセンサ |
| EP1860425A1 (en) * | 2006-05-23 | 2007-11-28 | ETH Zürich | High-Temperature multipass cell for absorbtion spectroscopy of gases and vapors at eleveated temperatures |
| JP2010217031A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Shimadzu Corp | 光学式ガス分析システム及びガスフローセル |
| JP2010286289A (ja) * | 2009-06-10 | 2010-12-24 | General Packer Co Ltd | マルチパスセル |
| EP2375237A1 (en) * | 2010-03-30 | 2011-10-12 | Scienza Industria Tecnologia S.r.l. | Herriott multipass cell with spherical mirrors and method for making it |
| CN103884677A (zh) * | 2012-12-19 | 2014-06-25 | 北京大方科技有限责任公司 | 一种便于光路调整的气体分析仪样气室装置 |
| JP2017146106A (ja) * | 2016-02-15 | 2017-08-24 | 大陽日酸株式会社 | 多重反射セル |
| CN109407310A (zh) * | 2018-12-09 | 2019-03-01 | 山西大学 | 一种多通池的设计方法 |
| WO2023095326A1 (ja) * | 2021-11-29 | 2023-06-01 | 富士電機株式会社 | ガス分析計および多重反射セル |
-
1995
- 1995-06-16 JP JP15027095A patent/JPH095232A/ja not_active Withdrawn
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003507703A (ja) * | 1999-08-13 | 2003-02-25 | リージェンツ・オブ・ザ・ユニバーシティ・オブ・ミネソタ | 同位体比率を測定するための赤外分光計 |
| JP4729215B2 (ja) * | 1999-08-13 | 2011-07-20 | リージェンツ オブ ザ ユニバーシティ オブ ミネソタ | 同位体比率を測定するための赤外分光計 |
| JP2007514160A (ja) * | 2003-12-12 | 2007-05-31 | イーエルティー インコーポレイテッド | ガスセンサ |
| EP1860425A1 (en) * | 2006-05-23 | 2007-11-28 | ETH Zürich | High-Temperature multipass cell for absorbtion spectroscopy of gases and vapors at eleveated temperatures |
| WO2007134763A1 (en) * | 2006-05-23 | 2007-11-29 | Eth Zurich | High-temperature multipass cell for absorbtion spectroscopy of cases and vapors at elevated temperatures |
| JP2010217031A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Shimadzu Corp | 光学式ガス分析システム及びガスフローセル |
| JP2010286289A (ja) * | 2009-06-10 | 2010-12-24 | General Packer Co Ltd | マルチパスセル |
| EP2375237A1 (en) * | 2010-03-30 | 2011-10-12 | Scienza Industria Tecnologia S.r.l. | Herriott multipass cell with spherical mirrors and method for making it |
| CN103884677A (zh) * | 2012-12-19 | 2014-06-25 | 北京大方科技有限责任公司 | 一种便于光路调整的气体分析仪样气室装置 |
| JP2017146106A (ja) * | 2016-02-15 | 2017-08-24 | 大陽日酸株式会社 | 多重反射セル |
| CN109407310A (zh) * | 2018-12-09 | 2019-03-01 | 山西大学 | 一种多通池的设计方法 |
| WO2023095326A1 (ja) * | 2021-11-29 | 2023-06-01 | 富士電機株式会社 | ガス分析計および多重反射セル |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10168269B1 (en) | Aerosol real time monitor | |
| US7230701B2 (en) | Compact spectroscopic ellipsometer | |
| JP4290181B2 (ja) | 蛍光検知器構造 | |
| JP2002031510A (ja) | 楕円偏光計を備えた光学的測定装置 | |
| CN103162831B (zh) | 宽带偏振光谱仪及光学测量系统 | |
| JPH095232A (ja) | 多重反射セル及びその調整方法 | |
| RU2751089C1 (ru) | Оптическая многоходовая кювета | |
| JP3146858B2 (ja) | 流通試料用光学的検出器 | |
| KR20010110748A (ko) | 분석 장치 | |
| JP2001509596A (ja) | 分光センサーのキャリブレーションのための方法 | |
| US4487477A (en) | Optical beam splitter | |
| KR950008824B1 (ko) | 방사선 분석용 홀로그래픽 분광계 및 이의 분석 방법 | |
| JP2004053405A (ja) | インラインガス分析計 | |
| KR20210053226A (ko) | 통합 반사계 또는 엘립소미터 | |
| US7782463B2 (en) | Particle density measuring probe and particle density measuring equipment | |
| CN210604361U (zh) | 气体组分浓度的检测装置及检测设备 | |
| US5153674A (en) | Semiconductor production control and/or measuring unit | |
| JP2000266605A (ja) | 紫外レーザの波長測定装置 | |
| JP2002148182A (ja) | フローセル | |
| JPH07120379A (ja) | 高感度反射測定装置用の光学系 | |
| JPH10142177A (ja) | 光熱変換分光分析装置 | |
| JP2002022656A (ja) | 分光光度計 | |
| JPS60231140A (ja) | 光学的ガス濃度計 | |
| US20240110874A1 (en) | Intensity calibration of multipass raman systems using standard reference materials | |
| JPH07218427A (ja) | ガス濃度測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020903 |