JP2008523458A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 少なくとも１つのメトロロジーツールに対するメトロロジー作業フローを制御するように構成されたメトロロジー制御ユニットを提供するステップを有し、
   メトロロジーキューにある複数のウェハロットを識別するステップを有し、前記ウェハロットは、前記少なくとも１つのメトロロジーツールにおいて処理される予定のものであり、
   前記メトロロジー制御ユニットは、前記少なくとも１つのメトロロジーツールにおいてメトロロジー処理を行うために少なくとも１つの前記ウェハロットを選択するとともに、前記少なくとも１つのメトロロジーツールのうちの前記選択された少なくとも１つのウェハロットのメトロロジー処理に基づいて、前記複数のウェハロットのうち前記メトロロジーキューから除外されるべき少なくとも１つの他のロットを選択する、方法。
2. 前記少なくとも１つのメトロロジーツールは、少なくとも１つのメトロロジーオペレーションを実行するように構成されている、請求項１に記載の方法。
3. 前記複数のウェハロットの各々は、関連付けられた固有のロット識別番号と、前記ロットに対して前の処理オペレーションが実行された日時を示すタイムマークと、少なくとも１つのメトロロジールールと、を有し、各ルールは、前記ロットに対して実行されたメトロロジーオペレーションのタイプ、および、前記ロットに対して実行された前の処理オペレーションの処理エンティティを示す、請求項１に記載の方法。
4. 前記少なくとも１つのメトロロジーツールにおいてメトロロジー処理を行うために前記少なくとも１つのウェハロットを選択するステップは、前記メトロロジーキューにおけるロットが、どれだけ最近に前の処理オペレーションにさらされたかということに基づく、請求項１に記載の方法。
5. 前記少なくとも１つのメトロロジーツールにおいてメトロロジー処理を行うために、前記少なくとも１つのウェハロットの選択ステップは、前記ロットに関連付けられたメトロロジールールに基づく、請求項１に記載の方法。
6. 前記少なくとも１つのメトロロジーツールにおいてメトロロジー処理を行うために前記少なくとも１つのウェハロットの選択ステップは、前記メトロロジーキューにおけるロットが、どれ程最近に前の処理オペレーションおよび前記ロットに関連付けられたメトロロジールールにさらされたかに基づく、請求項１に記載の方法。
7. メトロロジー処理のために前記選択されたウェハロットが前の処理オペレーションにさらされ、前記メトロロジーキューから除外される前記複数のロットのうち少なくとも１つを選択する前記ステップは、前記選択されたウェハロットの前に前記処理オペレーションにさらされた少なくとも１つのウェハロットを識別するステップを含む、請求項１に記載の方法。
8. 前記メトロロジーキューから除外するために選択された前記少なくとも１つのウェハロットを除外するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
9. 前記メトロロジーキューから除外することのできるウェハロット数を制限するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
10. 複数の付加的ウェハロットに対してメトロロジーオペレーションを実行するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
11. 前記メトロロジー制御ユニットは、複数のメトロロジーツールを制御するように構成されている、請求項１に記載の方法。
12. 前記少なくとも１つのメトロロジーツールは、限界寸法の測定、層厚の測定、表面の平坦性の測定、電気的特徴の測定、膜の抵抗率の測定、膜の光学特性の測定、欠陥の測定、オーバーレイアライメントの測定、のうち少なくとも１つのメトロロジーオペレーションを実行するように構成されている、請求項１に記載の方法。
13. 前記メトロロジーキューから除外され得ない前記複数のロットのうち少なくとも１つを識別するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
14. 少なくとも１つのメトロロジーツールに対するメトロロジー作業フローを制御するように構成されたメトロロジー制御ユニットを提供するステップを有し、
    メトロロジーキューにある複数のウェハロットを識別するステップを有し、前記ウェハロットは前記少なくとも１つのメトロロジーツールで処理される予定のものであり、かつ、
    前記メトロロジー制御ユニットは、
    （ａ）前記少なくとも１つのメトロロジーツールにおいてメトロロジー処理を行うために前記ウェハロットの少なくとも１つを選択し、メトロロジー処理を行うために選択された前記少なくとも１つのロットは、前の処理オペレーションにさらされ、
    （ｂ）前記少なくとも１つのメトロロジーツールのうちの前記選択された少なくとも１つのウェハロットのメトロロジー処理に基づいて、前記選択された少なくとも１つのウェハロットが前記メトロロジーキューから除外される前に、前記処理オペレーションにさらされる前記複数のウェハロットのうちの少なくとも１つの他のロットを選択する、方法。