JP2008522837A5 - - Google Patents
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- 研磨剤粒子(8)が、非多孔質で、非発泡性の熱硬化性のバインダ(6)から成るマトリックス(4)に埋め込まれている研磨剤であり、前記研磨剤における前記研磨剤粒子(8)に覆われた接触面(10)が製造中の加工品の研磨のために形成され、下記(a)乃至(e)の特徴を組み合わせたことを特徴とする研磨剤。
a)前記マトリックス(4)は、前記接触面を覆う前記研磨剤粒子(8)が、研磨中に前記マトリックス(4)に押さえられるまでに弾性的に適合し、
b)前記研磨剤粒子(8)によって覆われている前記接触面(10)に垂直な前記マトリックス(4)の消耗が、前記研磨剤粒子(8)に覆われている接触面(10)をさらに自由にするように、前記研磨剤粒子(8)が前記マトリックス(4)内に分散され、
c)前記研磨剤粒子(8)が前記研磨剤の対応する前記接触面(10)に垂直に或いは平行に作用する前記マトリックス(4)の復元力に従うように、前記研磨剤粒子(8)が前記マトリックス(4)中に分散され、
d)前記マトリックス(4)は柔軟性のある背面(2)に接着され、
e)前記柔軟性のある背面(2)への前記マトリックス(4)の接着は、マトリックス(4)に含まれたバインダ(6)を通して直接達成されること。 - 前記マトリックス(4)内の前記バインダ(6)の密度が前記バインダ(6)の比重である70%より低くない場合に、前記バインダ(6)は非多孔質であることを特徴とする請求項1に記載の研磨剤。
- 前記マトリックス(4)内の前記バインダ(6)の密度が85%より低くなく、前記マトリックス(4)の比重である90%より低くない場合に、前記バインダ(6)は非多孔質であることを特徴とする請求項1又は2に記載の研磨剤。
- 前記マトリックス(4)の弾性率が35〜40%である場合に、前記バインダ(6)が弾性的であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記マトリックス(4)の弾性率が50%以下である場合に、前記バインダ(6)が弾性的であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記マトリックス(4)の硬さが40〜45ショアAである場合に、前記バインダ(6)が弾性的であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記マトリックス(4)の硬さが70ショアA以下である場合に、前記バインダ(6)が弾性的であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記マトリックス(4)の伸張度の最大値が170%以上である場合に、前記バインダ(6)が弾性的であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の研磨剤。
- 測定幅15mm、測定間隔20mm、回転角度15°の前記背面(2)の曲げ剛性が5000mNより高くない場合に、前記背面(2)が弾性的であることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記背面(2)に垂直な前記マトリックスの厚さが200μm以上であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記背面(2)に垂直な前記マトリックスの厚さが1500μm以下であることを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記マトリックス(4)中の前記バインダ(6)の体積に対する前記研磨剤粒子(8)の体積比率の百分率が60%以下であることを特徴とする請求項1乃至11のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記マトリックス(4)中の前記バインダ(6)の体積に対する前記研磨剤粒子(8)の体積比率の百分率が40%以上であることを特徴とする請求項1乃至12のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記研磨剤粒子(8)の大きさが2μm〜2000μmであり、前記研磨剤粒子の大きさがFEPA標準についてP36、P60、P120及びP240であることを特徴とする請求項1乃至13のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記研磨剤のショア硬さが60°ショアAと90°ショアAの間であることを特徴とする請求項1乃至14のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記バインダ(6)はポリウレタンから成ることを特徴とする請求項1乃至15のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記バインダ(6)はゴムから成ることを特徴とする請求項1乃至16のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記バインダ(6)はポリシロキサンから成ることを特徴とする請求項1乃至17のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記バインダ(6)はポリスルフィドから成ることを特徴とする請求項1乃至18のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記バインダ(6)はアクリル酸エステルから成ることを特徴とする請求項1乃至19のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記バインダ(6)が充満していることを特徴とする請求項1乃至20のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記マトリックス(4)が、前記バインダ(6)に加えて少なくとも1種類の充填物、少なくとも1種類の染料又は少なくとも1種類の他の添加物の内、少なくともいずれか1つを含むことを特徴とする請求項1乃至21のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記充填物としてカオリンが使用されることを特徴とする請求項21又は22に記載の研磨剤。
- 少なくとも1種類の泡抑制剤が添加物として使用されることを特徴とする請求項22又は23に記載の研磨剤。
- 前記研磨剤粒子(8)が、少なくとも1種類のシリコン炭化物又は少なくとも1種類のシリコン酸化物の内、少なくともいずれか一方から構成されることを特徴とする請求項1乃至24のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記研磨剤粒子(8)が、少なくとも1種類のアルミニウム酸化物又は少なくとも1種類のアルミニウム酸化物が混合された結晶の内、少なくともいずれか一方から構成されることを特徴とする請求項1乃至25のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記研磨剤粒子(8)の少なくとも一部が硬質の金属から成ることを特徴とする請求項1乃至26のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記背面(2)に最も近接した列にある前記研磨剤粒子(8)は、前記背面(2)上に載っていることを特徴とする請求項1乃至27のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記研磨剤粒子(8)は前記マトリックス(4)中に均一に分散されることを特徴とする請求項1乃至28のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記研磨剤粒子(8)は、前記背面(2)上の前記マトリックス(4)中の幾つかの層に配列されることを特徴とする請求項1乃至29のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記研磨剤粒子(8)を含む前記マトリックス(4)は、前記背面(2)上を互いにある間隔で分散されるマトリックス体(4a)に分割され、前記マトリックス体(4a)は、前記接触面(10)又は前記背面(2)に垂直な方向に、同一の断面を有することを特徴とする請求項1乃至30のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記マトリックス体(4a)は前記背面(2)に平行に多角形の断面を有し、研磨方向(16)に互い違いに配列されることを特徴とする請求項31に記載の研磨剤。
- 前記多角形の断面が6角形であり、2つの角が前記研磨方向(16)を向いているか、或いは前記研磨方向(16)と反対の方向を向いていることを特徴とする請求項32に記載の研磨剤。
- 前記マトリックス体(4a)は前記背面(2)に平行に円形の断面を有し、研磨方向(16)に互い違いに配列されることを特徴とする請求項31に記載の研磨剤。
- 前記背面(2)が織物、編んだ織物、細糸の網、繊維の層又は1つ以上の紙、繊維又は非織物から成る非規則的な層の少なくとも1つ以上の層から構成されることを特徴とする請求項1乃至34のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記背面(2)は、天然の繊維、人工の繊維又はそれらの混合物の内、少なくとも1つ以上から構成されることを特徴とする請求項35に記載の研磨剤。
- 前記背面(2)は弾性的であることを特徴とする請求項1乃至36のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記背面(2)は仕上がりであることを特徴とする請求項1乃至37のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記研磨剤の形状が無限ベルトであることを特徴とする請求項1乃至38のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記研磨剤の形状が、振動駆動のために平らな物質であり、細長い小片になっていることを特徴とする請求項1乃至39のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記研磨剤の形状が、平円盤或いは弓状であることを特徴とする請求項1乃至38のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記研磨剤の形状が、回転駆動のために平円盤、分割された研磨平円板、薄板状の研磨点又は車輪状であることを特徴とする請求項1乃至38のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記接触面(10)のパターンが形成されている請求項1乃至42のいずれかに記載の研磨剤。
- 前記研磨剤粒子(8)が、前記背面(2)に塗布される前に、先ず低粘性のままの前記バインダ(6)を含んだ前記マトリックス(4)に混合されることを特徴とする請求項1乃至43のいずれかに記載される研磨剤を製造することを特徴とする研磨剤製造方法。
- 先ず低粘性の状態で前記バインダ(6)が、前記背面(2)上の前記マトリックス(4)に混合され、その後に前記研磨剤粒子(8)は、前記バインダ(6)が、前記研磨剤粒子(8)が前記背面(2)に沈むように前記背面(2)上の前記マトリックス(4)に混合されることを特徴とする請求項1乃至43のいずれかに記載される研磨剤を製造することを特徴とする研磨剤製造方法。
- 前記研磨剤粒子(8)は、前記バインダ(6)が、前記マトリックス(4)上に分散されることを特徴とする請求項45に記載の研磨剤製造方法。
- 前記研磨剤粒子(8)は、前記バインダ(6)が、いくつかの経路で前記背面(2)に塗布される前に、前記マトリックス(4)に混合されることを特徴とする請求項45に記載の研磨剤製造方法。
- 前記バインダ(6)を含む前記マトリックス(4)と前記研磨剤粒子(8)が多層被覆過程で前記背面(2)に一緒に或いは分離して載置されることを特徴とする請求項44乃至47のいずれかに記載の研磨剤製造方法。
- 前記マトリックス体(4a)を前記背面(2)上に互いにある間隔を保って配置させる際に、マスキング技術が使用されることを特徴とする請求項31乃至34のいずれかに記載の研磨剤を製造することを特徴とする研磨剤製造方法。
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