JP2008522406A - マイクロチャネル冷却を備えた、パワーデバイスのためのヒートシンク(関連出願への相互参照)本出願は、本出願と同時に出願したGEドケット番号第155941号に対応するStevanovic他の「パワーモジュール、位相レッグ及び三相インバータ」という名称の本出願と同一出願人の係属中の米国特許出願と関連しており、この特許出願はその全体を参考文献として本明細書に組み入れている。 - Google Patents
マイクロチャネル冷却を備えた、パワーデバイスのためのヒートシンク(関連出願への相互参照)本出願は、本出願と同時に出願したGEドケット番号第155941号に対応するStevanovic他の「パワーモジュール、位相レッグ及び三相インバータ」という名称の本出願と同一出願人の係属中の米国特許出願と関連しており、この特許出願はその全体を参考文献として本明細書に組み入れている。 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本装置は、幾つかの入口及び出口マニホルドを形成したベースプレートを含む。入口マニホルドは冷却媒体を受入れるように構成され、出口マニホルドは冷却媒体を排出する。入口及び出口マニホルドは交互配置される。本装置は内側及び外側表面を有する1以上の基板を含む。内側表面はベースプレートに結合され、入口マニホルドから冷却媒体を受入れかつ該冷却媒体を出口マニホルドに送出する幾つかのマイクロチャネルを形成する。マイクロチャネルは入口及び出口マニホルドに対しほぼ垂直に配向される。外側表面は加熱表面と熱接触状態になっている。本装置は入口マニホルドに冷却媒体を供給する入口プレナムと出口マニホルドから冷却媒体を排出する出口プレナムとを含む。入口プレナム及び出口プレナムはベースプレートの平面内に配向される。
【選択図】 図3
Description
12 ベースプレート
16 入口マニホルド
18 出口マニホルド
20 冷却媒体
22 基板
24 内側表面
26 マイクロチャネル
28 入口プレナム
30 入口プレナムの幅広端部
32 入口プレナムの幅狭端部
34 出口プレナムの幅広端部
36 出口プレナムの幅狭端部
38 ディンプル
40 出口プレナム
50 加熱表面
52 外側表面
58 ギャップ
62 最上層
64 絶縁層
66 内側層
68 ハンダ
74 絶縁マイクロチャネル層
76 下層
80 パワーデバイス
Claims (50)
- 少なくとも1つの加熱表面を冷却するための装置であって、
冷却媒体を受入れるように構成された複数の入口マニホルド及び該冷却媒体を排出するように構成された複数の出口マニホルドを形成しかつ前記入口及び出口マニホルドが交互配置された、ベースプレートと、
前記ベースプレートに結合された内側表面及び前記加熱表面と熱接触状態になった外側表面を有し、前記内側表面が前記入口マニホルドから冷却媒体を受入れかつ該冷却媒体を前記出口マニホルドに送出するように構成された複数のマイクロチャネルを形成し、前記マイクロチャネルが前記入口及び出口マニホルドに対してほぼ垂直に配向された、少なくとも1つの基板と、
前記入口マニホルドに冷却媒体を供給するように構成された入口プレナムと、
前記出口マニホルドから冷却媒体を排出するように構成された出口プレナムと、を含み、
前記入口プレナム及び出口プレナムが、前記ベースプレートの平面内に配向されている、
装置。 - 前記マイクロチャネルが、幅が200μmよりも小さく、200μmよりも小さい複数のギャップによって分離される、請求項1記載の装置。
- 前記マイクロチャネルが、幅がほぼ100μmであり、前記ギャップがほぼ100μmである、請求項2記載の装置。
- 前記マイクロチャネルが、直線幾何学形状を有する、請求項1記載の装置。
- 前記マイクロチャネルが、曲線幾何学形状を有する、請求項1記載の装置。
- 前記マイクロチャネルが、粗面壁を含む、請求項1記載の装置。
- 前記マイクロチャネルが、連続している、請求項1記載の装置。
- 前記マイクロチャネルが、離散配列を形成する、請求項1記載の装置。
- 前記マイクロチャネルが、長さがほぼ1mmであり、0.5mmよりも小さいギャップによって分離される、請求項8記載の装置。
- 前記入口マニホルドの各々が、幅広端部及び幅狭端部を含み、前記幅広端部の各々が、前記幅狭端部のそれぞれの1つよりも大きい、請求項1記載の装置。
- 前記入口マニホルドの各々が、前記幅広端部及び幅狭端部のそれぞれの1つ間でテーパになっている、請求項10記載の装置。
- 前記入口マニホルドの各々が、前記入口プレナムから延びかつ該入口プレナムに対してほぼ垂直に配向される、請求項11記載の装置。
- 前記入口マニホルドの各々が、0.5mm〜2mmの範囲の幅を有する、請求項12記載の装置。
- 前記入口マニホルドの各々が、幅がほぼ1ミリメートル(1mm)である、請求項3記載の装置。
- 前記出口マニホルドの各々が、幅広端部及び幅狭端部を含み、前記幅広端部の各々が、前記幅狭端部のそれぞれの1つよりも大きい、請求項1記載の装置。
- 前記出口マニホルドの各々が、前記幅広端部及び幅狭端部のそれぞれの1つ間でテーパになっている、請求項15記載の装置。
- 前記出口マニホルドの各々が、前記出口プレナムから延びかつ該出口プレナムに対してほぼ垂直に配向される、請求項16記載の装置。
- 前記出口マニホルドの各々が、0.5mm〜2mmの範囲の幅を有する、請求項17記載の装置。
- 前記出口マニホルドの各々が、幅がほぼ1ミリメートル(1mm)である、請求項18記載の装置。
- N個の入口マニホルド及びN+1個の出口マニホルドがある、請求項15記載の装置。
- 前記入口プレナム及び出口プレナムが、断面がほぼ均一である、請求項1記載の装置。
- 前記入口プレナム及び出口プレナムが、テーパになっている、請求項1記載の装置。
- 前記冷却媒体が、水、エチレングリコール、油、航空機燃料及びその組合せから成る群から選択される、請求項1記載の装置。
- 前記冷却媒体が、単相液体である、請求項1記載の装置。
- 前記ベースプレートが、熱伝導材料を含む、請求項1記載の装置。
- 前記基板が、少なくとも1つの熱伝導材料を含む、請求項25記載の装置。
- 前記基板が、少なくとも1つの電気的分離材料を含む、請求項26記載の装置。
- 前記基板が、ダイレクトボンド銅構造体を含む、請求項26記載の装置。
- 前記基板が、最上層、絶縁層及び内側層を含み、前記マイクロチャネルが、前記内側層内に形成され、前記絶縁層が、前記最上層と前記内側層との間に配置され、前記内側層が、前記ベースプレートに取付けられ、前記最上層が、前記加熱表面に結合される、請求項1記載の装置。
- 前記マイクロチャネルが、前記内側層を貫通して延びる、請求項29記載の装置。
- 前記最上層及び内側層が、銅(Cu)を含み、前記絶縁層が、AlN、Al2O3、Si3Ni4、BeO又はその組合せから成る群から選択されたセラミックを含む、請求項29記載の装置。
- 前記基板が、最上層及び絶縁マイクロチャネル層を含み、前記マイクロチャネルが、前記絶縁マイクロチャネル層内に形成され、前記絶縁マイクロチャネル層が、前記最上層と前記ベースプレートとの間に配置され、前記最上層が、前記加熱表面に結合される、請求項1記載の装置。
- 前記基板が、前記絶縁マイクロチャネル層と前記ベースプレートとの間に配置されかつそれらに取付けられた下層をさらに含む、請求項32記載の装置。
- 前記基板が、内側層を含み、前記マイクロチャネルが、前記内側層内に形成されかつ該内側層を部分的に貫通して延びる、請求項1記載の装置。
- 該装置が、複数の基板をさらに含みかつ複数の加熱表面を冷却するようになっており、前記基板の各々が、内側表面及び外側表面を有し、前記内側表面の各々が、前記ベースプレートのそれぞれの部分に結合されかつ複数の前記マイクロチャネルを形成し、前記外側表面の各々が、前記加熱表面のそれぞれの1つと熱的接触状態になっている、請求項1記載の装置。
- N+1個の入口マニホルド及びN個の出口マニホルドがある、請求項1記載の装置。
- 前記基板が、活性金属溶ロウ付け(AMB)構造体を含む、請求項26記載の装置。
- 少なくとも1つのパワーデバイスを冷却するためのヒートシンクであって、
冷却媒体を受入れるように構成された複数の入口マニホルド及び該冷却媒体を排出するように構成された複数の出口マニホルドを形成し、前記入口及び出口マニホルドが交互配置され、前記入口マニホルドの各々がテーパになっておりかつ幅広端部及び幅狭端部を含み、前記幅広端部の各々が前記幅狭端部のそれぞれの1つよりも大きく、前記出口マニホルドの各々が、テーパになっておりかつ幅広端部及び幅狭端部を含み、前記幅広端部の各々が前記幅狭端部のそれぞれの1つよりも大きくなった、ベースプレートと、
前記ベースプレートに結合された内側表面及び前記パワーデバイスと熱接触状態になった外側表面を有し、前記内側表面が前記入口マニホルドから冷却媒体を受入れかつ該冷却媒体を前記出口マニホルドに送出するように構成された複数のマイクロチャネルを形成し、前記マイクロチャネルが前記入口及び出口マニホルドに対してほぼ垂直に配向された、少なくとも1つの基板と、
前記入口マニホルドの各々がそれから延びており、該入口マニホルドに冷却媒体を供給するように構成された入口プレナムと、
前記出口マニホルドの各々がそれから延びており、該出口マニホルドから冷却媒体を排出するように構成された出口プレナムと、を含み、
前記入口プレナム及び出口プレナムが、前記ベースプレートの平面内に配向されている、
ヒートシンク。 - 前記入口マニホルドの各々が、前記入口プレナムに対してほぼ垂直に配向され、前記出口マニホルドの各々が、前記出口プレナムに対してほぼ垂直に配向される、
請求項38記載のヒートシンク。 - N個の入口マニホルド及びN+1個の出口マニホルドがある、請求項39記載のヒートシンク。
- N+1個の入口マニホルド及びN個の出口マニホルドがある、請求項39記載のヒートシンク。
- 前記マイクロチャネルが、連続している、請求項38記載のヒートシンク。
- 前記マイクロチャネルが、離散配列を形成し、前記マイクロチャネルが、長さがほぼ1mmであり、0.5mmよりも小さいギャップによって分離される、請求項38記載のヒートシンク。
- 前記基板が、ダイレクトボンド銅構造体を含む、請求項38記載のヒートシンク。
- 前記基板が、活性金属ロウ付け構造体を含む、請求項38記載のヒートシンク。
- 前記基板が、最上層、絶縁層及び内側層を含み、前記マイクロチャネルが、前記内側層内に形成され、前記絶縁層が、前記最上層と前記内側層との間に配置され、前記マイクロチャネル層が、前記ベースプレートに取付けられ、前記最上層が、前記パワーデバイスに結合される、請求項38記載のヒートシンク。
- 前記マイクロチャネルが、前記内側層を貫通して延び、前記マイクロチャネルが、幅が200μmよりも小さく、200μmよりも小さい複数のギャップによって分離される、請求項46記載のヒートシンク。
- 前記基板が、最上層及び絶縁マイクロチャネル層を含み、前記マイクロチャネルが、前記絶縁マイクロチャネル層内に形成され、前記絶縁マイクロチャネル層が、前記最上層と前記ベースプレートとの間に配置され、前記最上層が、前記パワーデバイスに結合される、請求項38記載のヒートシンク。
- 前記基板が、内側層を含み、前記マイクロチャネルが、前記内側層内に形成されかつ該内側層を部分的に貫通して延びる、請求項38記載のヒートシンク。
- 該ヒートシンクが、複数の基板をさらに含みかつ複数のパワーデバイスを冷却するようになっており、前記基板の各々が、内側表面及び外側表面を有し、前記内側表面の各々が、前記ベースプレートのそれぞれの部分に結合されかつ複数の前記マイクロチャネルを形成し、前記パワーデバイスの各々が、前記外側表面の1つ上に取付けられる、請求項38記載のヒートシンク。
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