JP2008518201A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 圧電基材上で２つの相互デジタル送受波器（２、３）の間に配置されているゲッター材料を含むガス感知材料の少なくとも１つの第一の層（６）が存在する圧電性基材（１）を含むセンサーであって、該第一の層の上に、１種または２種以上の決められたガスが透過可能な材料の第二の層（７）をさらに含み、また該２つの相互デジタル送受波器の間に配置され、該ゲッター材料により吸着された分子が該２つの送受波器（２、３）間で送信される信号周波数を可変できることを特徴とするセンサー。
2. 該透過性の層（７）が、貴金属またはそれらの合金を含む請求項１に記載のセンサー。
3. 該透過性の層（７）が、パラジウムまたはプラチナを含む請求項２に記載のセンサー。
4. 該透過性の層（７）が、５０〜５００ｎｍの間から構成される厚さを有する請求項１に記載のセンサー。
5. 圧電性基材（１）とガス感知層（６）との間に配置される、ゲッター材料のための活性化温度での加熱に好適な抵抗デバイス（８）をさらに含む請求項１に記載のセンサー。
6. 以下の操作ステップを含むガスセンサー製造のための方法：
   圧電性基材のウェハー上（１）へ、複数の対の相互デジタル送受波器（２，３；２’、３’）を適用する工程；
   これらの開口は１対の相互デジタル送受波器（２，３）の間に構成される、該ウェハーの上に複数の較正された開口を備えたマスクを配置する工程；
   該マスク層を通してスパッタリングによって、ゲッター材料を含むガス感知材料をウェハーの上に堆積する工程。
   これらの開口が、１対の相互デジタル送受波器の間に構成されるように、ウェハーの上に、較正された開口を備えたマスクを配置する工程；
   １種または２種以上の決められたガスに透過性である材料の層（７）をスパッタリングすることによって、該マスクを通して、ウェハー上に堆積する工程。