JP2008515226A - 半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を測定するための方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を測定するために、半導体材料の基材を有するこの半導体ウエハに第1の値の電流を流す。半導体ウエハに対して光パルスを照射すると、この光パルスに応答して半導体ウエハ中に発生する電子正孔対によって前記電流が第2の値へと増大する。光パルスの照射の終了後、前記電流の前記第2の値から前記第1の値へ向かう変化速度を測定する。この変化速度の関数として、前記半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度が測定される。
Description
発明の分野
本発明は、半導体ウエハのテスト、特に、半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の相対密度の測定、に関する。
本発明は、半導体ウエハのテスト、特に、半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の相対密度の測定、に関する。
関連技術の説明
集積回路をその上に形成するための半導体ウエハの処理中、半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度が許容範囲(単数又は複数)内であるか否かを調べるために半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の相対密度を測定することが多くの場合望ましい。この目的のために、集積回路を形成するために利用される処理工程によって半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度に変化が生じつつあるか否か判定することが多くの場合望ましい。
集積回路をその上に形成するための半導体ウエハの処理中、半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度が許容範囲(単数又は複数)内であるか否かを調べるために半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の相対密度を測定することが多くの場合望ましい。この目的のために、集積回路を形成するために利用される処理工程によって半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度に変化が生じつつあるか否か判定することが多くの場合望ましい。
これまで、半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度の測定は、コロナ式および/又はCV式測定を利用していたが、これらは、半導体ウエハの半導体材料上に比較的厚みの大きな誘電層が存在していることを必要とする。この前提条件がある為、これらの道具によって、半導体材料自身の上で測定を行うことや、比較的厚みの小さな誘電層、即ち、約30Å以下の厚みの誘電層を有する半導体ウエハ上で測定を行うことは出来なかった。
従って、必要とされ、かつ、従来技術に開示されていないのは、半導体ウエハの半導体材料上に誘電層を持たない半導体ウエハ、又は、半導体ウエハの半導体材料上に比較的厚みの小さな、即ち、30Å以下の厚みの誘電層を有する半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の相対密度を測定するための方法と装置である。
発明の要旨
本発明は、半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を測定するための方法に関する。この方法は、(a)半導体材料の基材を有する半導体ウエハを提供する工程と、(b)前記半導体ウエハの上表面との電気的コンタクトを形成する工程と、(c)前記電気的コンタクトを介して前記半導体ウエハ中に第1の値の電流を流す工程と、(d)前記半導体ウエハに対して、前記工程(b)において形成された前記電気的コンタクトの下方又は近傍で光を照射し、これによって、第2の値の電流を前記半導体ウエハに流す工程と、(e)前記光の照射を終わらせる工程と、(f)前記電流の前記第2の値から前記第1の値への変化速度を測定する工程と、そして(g)前記工程(f)にて測定された前記変化速度の関数として、前記半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を決定する工程と、を有する。
本発明は、半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を測定するための方法に関する。この方法は、(a)半導体材料の基材を有する半導体ウエハを提供する工程と、(b)前記半導体ウエハの上表面との電気的コンタクトを形成する工程と、(c)前記電気的コンタクトを介して前記半導体ウエハ中に第1の値の電流を流す工程と、(d)前記半導体ウエハに対して、前記工程(b)において形成された前記電気的コンタクトの下方又は近傍で光を照射し、これによって、第2の値の電流を前記半導体ウエハに流す工程と、(e)前記光の照射を終わらせる工程と、(f)前記電流の前記第2の値から前記第1の値への変化速度を測定する工程と、そして(g)前記工程(f)にて測定された前記変化速度の関数として、前記半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を決定する工程と、を有する。
前記半導体ウエハの前記上表面は、前記半導体ウエハの半導体材料の上表面、又は、前記半導体ウエハの半導体材料の前記上表面上に位置する誘電層の上表面とすることができる。好ましくは、前記誘電層は30Å以下の厚みを有する。
工程(g)は、工程(f)での変化速度が、基準変化速度より大きい、より小さい、それに等しい、または、それの所望範囲内かを決定する工程を含むことができる。
前記電気的コンタクトは、それが前記半導体ウエハの上表面に接触したときに、その弾性限界内において変形するが、前記半導体ウエハの前記上表面を損傷することのない、弾性変形可能な導電性チップを備えるプローブ、又は、半導体ウエハの上表面上に置かれた液体水銀の小滴、として構成することができる。
前記方法は、更に、(h)前記半導体ウエハ上において少なくとも1つの集積回路処理工程を実行する工程と、(i)前記半導体ウエハの前記上表面上に別の電気的コンタクトを形成する工程と、(j)前記別の電気的コンタクトを介して前記半導体ウエハに第3の値の電流を流す工程と、(k)前記半導体ウエハに対して、前記工程(i)において形成された前記別の電気的コンタクトの下方又は近傍で光を照射し、これによって、第4の値の電流を前記半導体ウエハに流す工程と、(l)前記光の照射を終わらせる工程と、(m)前記電流の前記第4の値から前記第3の値への変化速度を測定する工程と、(n)前記工程(m)にて測定された前記変化速度の関数として、前記半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を決定する工程と、そして(o)前記工程(n)で決定された密度と前記工程(g)で決定された密度との間の変化が許容範囲(単数又は複数)内にあるか否かを決定する工程、とを有することができる。
好ましくは、前記半導体ウエハは、前記工程(d)と工程(k)とにおいて同じ強度の光を照射される。前記電流の第1の値と第3の値との間の差は、前記電流の第2の値と第4の値との間の差に等しいものとすることができる。
本発明は、更に、半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を測定する方法であって、(a)半導体材料の基材を有するこの半導体ウエハに第1の値の電流を流す工程と、(b)前記半導体ウエハに対して光パルスを照射し、この光パルスに応答して半導体ウエハ中に発生する電子正孔対によって前記電流が第2の値へと増大する工程と、(c)光パルスの照射の終了後、前記電流の前記第2の値から前記第1の値への変化速度を測定する工程と、そして(d)この変化速度の関数として、半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を決定する工程、とを有する方法にも関する。
工程(d)は、工程(c)での変化速度が、基準変化速度より大きい、より小さい、それに等しい、または、それの所望範囲内かを決定する工程を含むことができる。
前記方法は、更に、(e)その上に集積回路を形成するべく前記半導体ウエハ上において少なくとも1つの処理工程を実行する工程と、(f)半導体材料の基材を有する半導体ウエハに第3の値の電流を流す工程と、(g)前記半導体ウエハに対して別の光パルスを照射し、この光パルスに応答して半導体ウエハ中に発生する電子正孔対によって前記電流を第4の値へと増大させる工程と、(h)前記別の光パルスの照射の終了後、前記電流の前記第4の値から前記第3の値への変化速度を測定する工程と、(i)工程(h)での変化速度の関数として前記半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物密度を決定する工程と、そして(j)前記工程(d)で決定された密度と前記工程(i)で決定された密度との間の変化が許容範囲(単数又は複数)内にあるか否かを決定する工程、とを有することができる。
最後に、本発明は、半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を測定するシステムに関する。このシステムは、半導体材料の基材を有するこの半導体ウエハに第1の値の電流を流すための手段と、前記半導体ウエハに対して光パルスを照射し、前記半導体ウエハ中に発生する電子正孔対によって前記電流を第2の値へと増大させる手段と、前記光パルスの照射の終了後、前記電流の前記第2の値から前記第1の値への変化速度を測定するための手段と、そして、前記第2の値の電流から前記第1の値の電流への前記変化速度の関数として、前記半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を決定するための手段、とを有する。
好ましくは、前記密度を測定するための手段は、前記変化速度が、基準変化速度より大きい、より小さい、それと等しい、または、それの所望範囲内かを決定する。
前記システムは、更に、その上に集積回路を形成するために必要な少なくとも1つの処理を前記半導体ウエハ上において実行した後、前記半導体ウエハに第3の値の電流を流すための手段と、前記半導体ウエハに対して別の光パルスを照射し、前記半導体ウエハ中に発生する電子正孔対によって前記電流を第4の値へと増大させる手段と、前記別の光パルスの照射の終了後、前記電流の前記第4の値から前記第3の値への変化速度を測定するための手段と、前記第4の値の電流から前記第3の値の電流への前記変化速度の関数として、前記半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を決定するための手段と、そして、前記第4の値の電流から前記第3の値の電流への前記変化速度から決定された前記密度と、前記第2の値の電流から前記第1の値の電流への前記変化速度から決定された前記密度との間の差が許容範囲(単数又は複数)内にあるか否かを決定するための手段と、を有することができる。
図面の簡単な説明
図1は、半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を測定するための装置の真空チャック上に受けられた半導体ウエハの、ブロック図と側方断面図との組み合わせ、そして、
図2は、光パルスに応答して図1の半導体ウエハ中に流れる電流中の変化を図示する電流−時間のグラフである。
図1は、半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を測定するための装置の真空チャック上に受けられた半導体ウエハの、ブロック図と側方断面図との組み合わせ、そして、
図2は、光パルスに応答して図1の半導体ウエハ中に流れる電流中の変化を図示する電流−時間のグラフである。
発明の詳細な説明
本発明を、貼付の図面を参照して説明するが、これら図面において類似の部材は類似の参照番号によって示されている。
本発明を、貼付の図面を参照して説明するが、これら図面において類似の部材は類似の参照番号によって示されている。
図1を参照すると、半導体ウエハテストシステム2は、導電性真空チャック4とコンタクト6とを備える。尚、図1中においてコンタクト6は長手プローブとして図示されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、このコンタクト6は、半導体ウエハ10のテストに適した任意の形状又は形態のものとすることが可能である。或いは、プローブとして構成する代わりに、このコンタクト6を、液体水銀(Hg)又はその他の導電性液体の小滴から構成することも可能である。本発明の説明の目的で、以下、コンタクト6を図1に図示するプローブの形態のものと見なす。
チャック4は、半導体ウエハ10の裏面8を支持するように構成されている。半導体ウエハ10は、半導体材から成る基材12を備え、これが真空装置(図示せず)によってチャック4と接触状態に保持される。半導体ウエハ10は、基材12の上表面16上に位置する誘電層14を備えることができるが、これは必須ではない。
好ましくは、コンタクト6は、基材12の上面16、又は、それが設けられる場合には前記誘電層14の上面22、と接触するための部分球状導電性表面20を少なくとも備える。なお、このような部分球状導電性表面20が好ましいものであるが、半導体ウエハ10をテストするために適したその他の形状の表面(図示せず)も利用可能である。従って、図1において表面20が部分球状に図示されていることによって本発明は限定されるものではない。
周知の接触形成手段26によって、図中矢印28によって示される方向でのチャック4および/又はコンタクト6の垂直移動を制御して、コンタクト6と半導体ウエハ10を互いに接近移動させ、これにより、コンタクト6の表面20が、基材12の上面16、又は、それが設けられる場合には誘電層14の上面22、に対して押し付けられ接触する。
半導体ウエハ10がチャック4上に受けられ、コンタクト6の表面20が基材12の上面16又は、それが設けられる場合には誘電層14の上面22、に対して押し付けられ接触する時に、これらコンタクト6と半導体ウエハ10とに対して適当な電気刺激を与えるために電気刺激付与手段30を電気接続することができる。
前記電気刺激付与手段30によって付与された電気的テスト刺激に対する半導体ウエハ10の反応を測定するために測定手段32を電気接続することができる。好ましくは、チャック4は基準接地(reference ground)に接続される。但し、チャック4は、適当なAC又はDC基準バイアスに接続することも可能であるので、これによって本発明は限定されるものではない。
半導体ウエハ10、特に、半導体ウエハ10の、コンタクト6の表面20が基材12の上面16、又は、それが設けられる場合には誘電層14の上面22、に対して押し付けられ接触するポイントの下方の部分、に光36を向けるように、キセノンランプなどの光源34が配置されている。
図2と、図1を引き続き参照すると、適当な時間に、接触形成手段26によって、コンタクト6の表面20が、基材12の上面16、又は、それが設けられる場合には、誘電層14の上面22に、押し付けられ接触する。好ましくは、前記コンタクト6がプローブとして構成される場合は、少なくとも表面20は、基材12の上面16、又は、それが設けられる場合には誘電層14の上面22、に対して押し付けられ接触する時に、その弾性限度内において変形する弾性変形可能な導電性材料から形成される。コンタクト6が液体水銀の小滴(図示せず)である場合は、表面20を形成するこの液体水銀の小滴は、単に、基材12の上面16、又は、それが設けられる場合には誘電層14の上面22、上に配置される。いずれの場合でも、一旦、この電気コンタクトが半導体ウエハ10の上表面と形成されると、電気刺激付与手段30によって、表面20と半導体ウエハ10を介してコンタクト6に第1の値40の電流Iを流す。
この第1の値40の電流Iが半導体ウエハ10を流れている状態で、光源34によって、半導体ウエハ10に対して、前記表面20と、基材12の上面16又は、それが設けられる場合には誘電層14の上面22との間の前記コンタクトの下方又は近傍において光パルス36を照射する。この光パルス36は、半導体ウエハ10の基材12中に、プローブ6を流れる電流Iの値を、時間t1と時間t2との間において第1の値40から第2の値42へと増加させる電子正孔対を発生させる。
前記光パルス36の照射の終了後、前記電子正孔対は再結合を開始し、これにより、プローブ6中を流れる電流Iの値は、第2の値42から前記第1の値40へと戻り変化する。プローブ6中の流れる電流Iの時間t2での第2の値42から時間t3での第1の値への変化中に、測定手段32は、プローブ6中を流れる電流Iを複数回サンプリングする。これらのサンプルを利用して、測定手段32は、時間t2と時間t3との間の電流Iの変化の傾きS又は速度、を測定する。傾きSは、半導体ウエハ10中の欠陥および/又は不純物の密度の正確な指標を提供すると考えられる時間t2とt3との間の任意の適当な間隔中に得られたサンプルについて測定することができる。そして、このようにして測定された傾きSの値を、既知のおよび/又は所望の密度の欠陥および/又は不純物を有する半導体ウエハから得られた基準傾き値と比較して、傾きSが、基準傾きより大きいか、より小さいか、それに等しいか、又は、それの所望範囲内であるかを決定することができる。
誘電層14が存在する場合、それは、前記光パルス36の照射の終了に応答する電流Iの傾きの測定に対して実質的に影響を与えることなく、最大30Åの厚みを有することができる、と考えられる。この測定が可能であるのは、誘電層14があまり厚みの大きなものでない場合に、この誘電層14を通って流れることが可能な所謂トンネル電流による。
その上に集積回路を形成するための半導体ウエハ10の処理中に、この半導体ウエハ10中に欠陥および/又は不純物が取り込まれる可能性がある。処理制御の補助として、どの処理工程がそのような半導体ウエハ10中の欠陥および/又は不純物の導入に寄与しているかを調べることが望ましいであろう。従って、第1の値40の電流Iを、プローブ6を介して半導体ウエハ10に流す工程と、半導体ウエハ10に対して光パルス36を照射する工程と、前記電流Iが第2の値42から第1の値40に向けて変化している時に、時間t2とt3との間の適当な間隔で、電流Iの傾きSを測定する工程と、傾きSの関数として半導体ウエハ10中の欠陥および/又は不純物の密度を測定する工程とを有する上述の処理を、欠陥および/又は不純物の密度が変化しつつあるか否かを判断するために、その上に集積回路を形成するための半導体ウエハ10の処理中に、二回以上繰り返すことができる。例えば、図2中の傾きSのような第1の傾きS1を決定するためのデータの取得を、同様に図2中の傾きSのような第2の傾きS2を決定するためのデータの取得と、単数又は複数の集積回路処理工程によって時間的に分離することができる。そして、傾きS1に関連する欠陥および/又は不純物の密度を、傾きS2に関連する欠陥および/又は不純物の密度と比較して、その欠陥および/又は不純物の密度の変化が許容範囲(単数又は複数)内にあるか否かを決定することができる。
好ましくは、光源34は、それぞれの回において、同じ強度の光36を出力する。但し、本発明はこれに限定されるものではない。
以上から理解されるように、本発明は、半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の相対密度を実験に基づいて決定するための方法と装置を提供するものである。
以上、本発明をその好適実施例を参照して説明した。しかし、以上の詳細説明を読み理解することによって様々な改造及び改変が想到されるであろう。本発明は、そのような改造及び改変が貼付の特許請求の範囲又はそれらの均等物に含まれる限りにおいて、それらすべてを含むものである。
Claims (19)
- 半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を測定するための方法であって以下の工程を含む、
(a)半導体材料の基材を有する半導体ウエハを提供する工程、
(b)前記半導体ウエハの上表面との電気的コンタクトを形成する工程、
(c)前記電気的コンタクトを介して前記半導体ウエハ中に第1の値の電流を流す工程、
(d)前記半導体ウエハに対して、前記工程(b)において形成された前記電気的コンタクトの下方又は近傍で光を照射し、これによって、第2の値の電流を前記半導体ウエハに流す工程、
(e)前記光の照射を終わらせる工程、
(f)前記電流の前記第2の値から前記第1の値への変化速度を測定する工程、及び、
(g)前記工程(f)にて測定された前記変化速度の関数として、前記半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を決定する工程。 - 請求項1の方法であって、前記半導体ウエハの前記上表面は、前記半導体ウエハの半導体材料の上表面、又は、前記半導体ウエハの半導体材料の前記上表面上に位置する誘電層の上表面である。
- 請求項2の方法であって、前記誘電層は約30Å以下の厚みを有する。
- 請求項1の方法であって、前記工程(g)は、前記工程(f)での変化速度が、基準変化速度より大きい、より小さい、それに等しい、または、それの所望範囲内かを決定する工程を含む。
- 請求項1の方法であって、前記電気的コンタクトは、それが前記半導体ウエハの上表面に接触したときに、その弾性限界内において変形するが、半導体ウエハの上表面を損傷することのない、弾性変形可能な導電性チップを備えるプローブ、及び
前記半導体ウエハの前記上表面上に置かれた液体水銀の小滴、のいずれかで構成されている。 - 請求項1の方法であって、更に以下の工程を有する、
(h)前記半導体ウエハ上において少なくとも1つの集積回路処理工程を実行する工程、
(i)前記半導体ウエハの前記上表面上に別の電気的コンタクトを形成する工程、
(j)前記別の電気的コンタクトを介して前記半導体ウエハに第3の値の電流を流す工程、
(k)前記半導体ウエハに対して、前記工程(i)において形成された前記別の電気的コンタクトの下方又は近傍で光を照射し、これによって、第4の値の電流を前記半導体ウエハに流す工程、
(l)前記光の照射を終わらせる工程、
(m)前記電流の前記第4の値から前記第3の値への変化速度を測定する工程、
(n)前記工程(m)にて測定された前記変化速度の関数として、前記半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を決定する工程、及び、
(o)前記工程(n)で決定された密度と前記工程(g)で決定された密度との間の変化が許容範囲(単数又は複数)内にあるか否かを決定する工程。 - 請求項6の方法であって、前記半導体ウエハは、前記工程(d)と前記工程(k)とにおいて同じ強度の光を照射される、及び、
前記電流の第1の値と第3の値との間の差は、前記電流の第2の値と第4の値との間の差に等しい、の少なくともいずれか1つを特徴とする。 - 半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を測定する方法であって、以下の工程を有する、
(a)半導体材料の基材を有するこの半導体ウエハに第1の値の電流を流す工程、
(b)前記半導体ウエハに対して光パルスを照射し、この光パルスに応答して半導体ウエハ中に発生する電子正孔対によって前記電流が第2の値へと増大する工程、
(c)前記光パルスの照射の終了後、前記電流の前記第2の値から前記第1の値への変化速度を測定する工程、及び、
(d)前記変化速度の関数として、前記半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を決定する工程。 - 請求項8の方法であって、前記半導体ウエハの上表面は、前記半導体ウエハの半導体材料の上表面、又は、前記半導体ウエハの半導体材料の前記上表面上に位置する誘電層の上表面である。
- 請求項9の方法であって、前記誘電層は約30Å以下の厚みを有する。
- 請求項8の方法であって、前記工程(d)は、前記工程(c)での変化速度が、基準変化速度より大きい、より小さい、それに等しい、または、それの所望範囲内かを決定する工程を含む。
- 請求項8の方法であって、更に以下の工程を有する、
(e)その上に集積回路を形成するべく前記半導体ウエハ上において少なくとも1つの処理工程を実行する工程、
(f)半導体材料の基材を有する半導体ウエハに第3の値の電流を流す工程、
(g)前記半導体ウエハに対して別の光パルスを照射し、この光パルスに応答して半導体ウエハ中に発生する電子正孔対によって前記電流を第4の値へと増大させる工程、
(h)前記別の光パルスの照射の終了後、前記電流の前記第4の値から前記第3の値への変化速度を測定する工程、
(i)工程(h)での変化速度の関数として前記半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物密度を決定する工程、及び、
(j)前記工程(d)で決定された密度と前記工程(i)で決定された密度との間の変化が許容範囲(単数又は複数)内にあるか否かを決定する工程。 - 請求項12の方法であって、前記半導体ウエハは、前記工程(d)と工程(k)とにおいて同じ強度の光を照射される、及び、
前記電流の第1の値と第3の値との間の差は、前記電流の第2の値と第4の値との間の差に等しい、の少なくともいずれか1つを特徴とする。 - 半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を測定するシステムであって、以下を有する、
半導体材料の基材を有するこの半導体ウエハに第1の値の電流を流すための手段、
前記半導体ウエハに対して光パルスを照射し、前記半導体ウエハ中に発生する電子正孔対によって前記電流を第2の値へと増大させる手段、
前記光パルスの照射の終了後、前記電流の前記第2の値から前記第1の値への変化速度を測定するための手段、及び、
前記第2の値の電流から前記第1の値の電流への前記変化速度の関数として、前記半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を決定するための手段。 - 請求項14のシステムであって、前記半導体ウエハの前記上表面は、前記半導体ウエハの半導体材料の上表面、又は、前記半導体ウエハの半導体材料の前記上表面上に位置する誘電層の上表面である。
- 請求項15のシステムであって、前記誘電層は約30Å以下の厚みを有する。
- 請求項14のシステムであって、前記密度を決定するための手段は、前記変化速度が、基準変化速度より大きい、より小さい、それと等しい、または、それの所望範囲内かを決定する。
- 請求項14のシステムであって、更に以下を有する、
その上に集積回路を形成するために必要な少なくとも1つの処理を前記半導体ウエハ上において実行した後、前記半導体ウエハに第3の値の電流を流すための手段、
前記半導体ウエハに対して別の光パルスを照射し、前記半導体ウエハ中に発生する電子正孔対によって前記電流を第4の値へと増大させる手段、
前記別の光パルスの照射の終了後、前記電流の前記第4の値から前記第3の値への変化速度を測定するための手段、
前記第4の値の電流から前記第3の値の電流への前記変化速度の関数として、前記半導体ウエハ中の欠陥および/又は不純物の密度を決定するための手段、及び、
前記第4の値の電流から前記第3の値の電流への前記変化速度から決定された前記密度と、前記第2の値の電流から前記第1の値の電流への前記変化速度から決定された前記密度との間の差が許容範囲(単数又は複数)内にあるか否かを決定するための手段。 - 請求項18のシステムであって、各光パルスは同じ強度を有する、及び、
前記電流の第1の値と第3の値との間の差は、前記電流の第2の値と第4の値との間の差に等しい、の少なくともいずれか1つを特徴とする。
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