JP2008505495A - ガス放電レーザの出力光の干渉性を低減させる方法及び装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 29
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 80
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 33
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 29
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 28
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 claims abstract description 23
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 19
- 239000005337 ground glass Substances 0.000 claims abstract description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 49
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 46
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 17
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 12
- 238000000265 homogenisation Methods 0.000 description 11
- 238000013461 design Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 6
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 6
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 4
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 4
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 3
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 3
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 3
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 238000013101 initial test Methods 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 2
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 2
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- LDDQLRUQCUTJBB-UHFFFAOYSA-N ammonium fluoride Chemical compound [NH4+].[F-] LDDQLRUQCUTJBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Substances [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 argon ion Chemical class 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 1
- 238000009532 heart rate measurement Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000009533 lab test Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- 230000014616 translation Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
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- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
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- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/027—Control of working procedures of a spectrometer; Failure detection; Bandwidth calculation
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0291—Housings; Spectrometer accessories; Spatial arrangement of elements, e.g. folded path arrangements
-
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0297—Constructional arrangements for removing other types of optical noise or for performing calibration
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
- G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/48—Laser speckle optics
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/04—Prisms
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- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
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- G02B5/284—Interference filters of etalon type comprising a resonant cavity other than a thin solid film, e.g. gas, air, solid plates
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
- G03F7/70025—Production of exposure light, i.e. light sources by lasers
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
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- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
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Abstract
【解決手段】ビーム経路とビーム経路におけるビームホモジナイザーとを含むことができる利用ツールに対する光源として送出するための出力レーザ光パルスを含む出力レーザビームをガス放電レーザで生成する方法及び装置。ビームホモジナイザーは、空間的干渉セル位置移動機器を含むことができる少なくとも1つのビーム像インバータ又は空間回転子を含むことができる。ホモジナイザーは、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いが、それとほぼ同じ遅延である遅延経路を含むことができる。ホモジナイザーは、部分反射コーティングを各々の相互接合面に有する一対の相互接合ダブプリズム、ソースビームに面する斜辺面と全反射する隣接する側面とを含む直角三角形プリズム、又はソースビームに面する面と全反射する隣接する側面とを有する二等辺三角形プリズム、又はこれらの組合せを含むことができ、これらは、ソースビーム多重交替反転像作成機構として機能することができる。ビーム経路は、数十フェムトメートル以内の精度で500フェムトメートル未満の範囲の出力レーザ光を含む出力レーザビームの帯域幅を測定する帯域幅の一部とすることができる。ホモジナイザーは、エッチングされてもよいグランドグラス拡散器とすることができる回転拡散器を含むことができる。波長計はまた、拡散光を平行化するビーム経路内のコリメータと、エタロンに入射する平行光に基づいて出力を作成する共焦点エタロンと、共焦点エタロンの出力を検出する検出器とを含むことができ、また、共焦点エタロンにわたって平行光を走査するか又は平行光にわたってエタロンを走査することができる、共焦点エタロンに入射する平行光の入射角を走査する走査機構を含むこともでき、かつ音響光学スキャナを含むことができる。共焦点エタロンは、測定されているビームのE59幅にほぼ等しい自由スペクトル領域を有することができる。検出器は、共焦点エタロンの出力の強度パターンを検出する光電子増倍管を含むことができる。
【選択図】図4
Description
関連のケース
本出願は、2004年6月29日出願の「ガス放電レーザ出力光干渉性低減の方法及び装置」という名称の米国特許出願出願番号第10/881,533号に対する優先権を請求するものであり、また、代理人整理番号第2002−0092−01号である2003年9月30日出願の「ガス放電MOPAレーザスペクトル解析モジュール」という名称の現在特許出願中の米国特許出願出願番号第10/676,175号と、代理人整理番号第2003−0002−01号である2003年9月30日出願の「レーザ光のための光学帯域幅計」という名称の米国特許出願出願番号第10/615,321号と、代理人整理番号第2003−0004−01号である2003年7月7日出願の「超狭帯域レーザ放出光のための光学帯域幅計」という名称の米国特許出願出願番号第10/615,321号と、代理人整理番号第2003−0056−01号である2003年6月26日出願の「レーザの光出力の帯域幅を測定する方法及び装置」という名称の米国特許出願出願番号第10/609,223号と、代理人整理番号第2003−0082−01号である2003年12月17日出願の「ガス放電レーザソースビーム送出ユニット」という名称の米国特許出願出願番号第10/739,961号と、代理人整理番号第2003−0088−01号である2003年9月30日出願の「ガス放電MOPAレーザスペクトル解析モジュールのための光学的装着」という名称の米国特許出願出願番号第10/676,224号と、代理人整理番号第2003−0107−01号である2004年2月27日出願の「帯域幅推定の改善」という名称の米国特許出願出願番号第10/789,328号と、代理人整理番号第2003−0109−01号である2003年11月13日出願の「長時間遅延及び高TISのパルスストレッチャ」という名称の米国特許出願出願番号第10/712,545号と、代理人整理番号第2003−0121−01号である2003年11月13日出願の「レーザ出力光パルスストレッチャ」という名称の米国特許出願出願番号第10/712,545号にも関連しており、これらの各々は、本出願の出願人に譲渡され、これらの各々の開示内容は、本明細書において引用により組み込まれている。
本出願はまた、2002年11月12日出願の米国特許出願第10/293,906号に基づく、2003年8月28日公開の発明者Lokaiによる「リソグラフィ用途に使用されるエキシマレーザの絶対スペクトルパラメータ検出のための高分解能共焦点ファブリーペロー干渉計」という名称の米国公開特許出願第20030161374号A1と、2002年6月14日出願の米国特許出願出願番号第10/173,190号に基づく、2003年1月23日公開の発明者Sandstrom他による「強化照明によるガス放電紫外線波長計」という名称の米国公開特許出願第20030016363号A1と、2002年5月7日出願の米国特許出願出願番号第10/141,201号に基づく、2002年11月14日公開の発明者Pan他による「追加酸化剤を備えた封入ビーム経路を有するガス放電紫外線レーザ」という名称の米国公開特許出願第20020167986号A1に関連しており、これらの全ては、本出願と同一出願人に譲渡され、その開示内容は、本明細書において引用により組み込まれている。
入力光40のE95を測定する本発明の実施形態の態様によれば、少なくともFSR全体を通じて音響光学変調器によってエタロン130を走査することができる。エタロンを走査した後、検出信号から計算された上述の変調値を生成することができる。この変調値は、光源のE95のマグニチュードに相関すべきである。次に、実際のE95測定値を上述のように生成することができる。
本発明の実施形態の態様によれば、例えば、帯域幅測定及び同様の測定で使用されるビーム中の空間的干渉性の破壊があり、この技術は、より正確でより大型のより高価な回折格子分光計による帯域幅測定にも等しく適用可能である。その経費及び大型であるという理由から、このような回折格子分光計(図示せず)は、上述の形式の搭載型波長計に十分に適合するものではないので、研究所及び製造において、例えば品質管理上の測定及び較正に関する作業向けに使用される程度であることが多い。しかし、本発明の実施形態の態様による上述のようなレーザ波長計のための搭載型の波長計による分光分析に対する改良点は、他の分光分析測定ツール、例えば回折格子分光計から取得可能な測定値の改善にも等しく適用可能である。
181D 第1ステージ回折拡散器
184 エタロン
Claims (161)
- 利用ツールに対する光源として送出するための出力レーザ光パルスを含む出力レーザビームを生成するガス放電レーザであって、
ビーム経路と、
前記ビーム経路における透過性ビームホモジナイザーと、
を含むことを特徴とするレーザ。 - 前記ビームホモジナイザーは、
少なくとも1つのビーム像インバータ、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
少なくとも1つのビーム空間回転子、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
少なくとも1つのビーム空間回転子、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
少なくとも1つの空間的干渉セル位置移動機器、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
少なくとも1つの空間的干渉セル位置移動機器、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
少なくとも1つの空間的干渉セル位置移動機器、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項3に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
少なくとも1つの空間的干渉セル位置移動機器、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項4に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いがそれとほぼ同じ遅延である遅延経路を包含している、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いがそれとほぼ同じ遅延である遅延経路を包含している、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いがそれとほぼ同じ遅延である遅延経路を包含している、
ことを更に含むことを特徴とする請求項3に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いがそれとほぼ同じ遅延である遅延経路を包含している、
ことを更に含むことを特徴とする請求項4に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いがそれとほぼ同じ遅延である遅延経路を包含している、
ことを更に含むことを特徴とする請求項5に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いがそれとほぼ同じ遅延である遅延経路を包含している、
ことを更に含むことを特徴とする請求項6に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いがそれとほぼ同じ遅延である遅延経路を包含している、
ことを更に含むことを特徴とする請求項7に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いがそれとほぼ同じ遅延である遅延経路を包含している、
ことを更に含むことを特徴とする請求項8に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
部分反射コーティングを各々の相互接合面に有する一対の相互接合ダブプリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
部分反射コーティングを各々の相互接合面に有する一対の相互接合ダブプリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
部分反射コーティングを各々の相互接合面に有する一対の相互接合ダブプリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項3に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
部分反射コーティングを各々の相互接合面に有する一対の相互接合ダブプリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項4に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
部分反射コーティングを各々の相互接合面に有する一対の相互接合ダブプリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項5に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
部分反射コーティングを各々の相互接合面に有する一対の相互接合ダブプリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項6に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
部分反射コーティングを各々の相互接合面に有する一対の相互接合ダブプリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項7に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
部分反射コーティングを各々の相互接合面に有する一対の相互接合ダブプリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項8に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
前記ソースビームに面する斜辺面と全反射する隣接する側面とを含む直角三角形プリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
前記ソースビームに面する斜辺面と全反射する隣接する側面とを含む直角三角形プリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
前記ソースビームに面する斜辺面と全反射する隣接する側面とを含む直角三角形プリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項3に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
前記ソースビームに面する斜辺面と全反射する隣接する側面とを含む直角三角形プリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項4に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
前記ソースビームに面する斜辺面と全反射する隣接する側面とを含む直角三角形プリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項5に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
前記ソースビームに面する斜辺面と全反射する隣接する側面とを含む直角三角形プリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項6に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
前記ソースビームに面する斜辺面と全反射する隣接する側面とを含む直角三角形プリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項7に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
前記ソースビームに面する斜辺面と全反射する隣接する側面とを含む直角三角形プリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項8に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、前記ソースビームに面する面と全反射する隣接する側面とを有する二等辺三角形プリズムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、前記ソースビームに面する面と全反射する隣接する側面とを有する二等辺三角形プリズムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、前記ソースビームに面する面と全反射する隣接する側面とを有する二等辺三角形プリズムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項3に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、前記ソースビームに面する面と全反射する隣接する側面とを有する二等辺三角形プリズムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項4に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、前記ソースビームに面する面と全反射する隣接する側面とを有する二等辺三角形プリズムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項5に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、前記ソースビームに面する面と全反射する隣接する側面とを有する二等辺三角形プリズムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項6に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、前記ソースビームに面する面と全反射する隣接する側面とを有する二等辺三角形プリズムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項7に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、前記ソースビームに面する面と全反射する隣接する側面とを有する二等辺三角形プリズムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項8に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
ソースビーム多重交替反転像作成機構、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
ソースビーム多重交替反転像作成機構、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
ソースビーム多重交替反転像作成機構、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項3に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
ソースビーム多重交替反転像作成機構、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項4に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
ソースビーム多重交替反転像作成機構、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項5に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
ソースビーム多重交替反転像作成機構、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項6に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
ソースビーム多重交替反転像作成機構、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項7に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
ソースビーム多重交替反転像作成機構、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項8に記載の装置。 - 出力レーザビームの帯域幅を測定する帯域幅検出器であって、
光学分光計に至るビーム経路と、
前記ビーム経路におけるビームホモジナイザーと、
を含むことを特徴とする検出器。 - 前記ビームホモジナイザーは、
少なくとも1つのビーム像インバータ、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項49に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
少なくとも1つのビーム空間回転子、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項49に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
少なくとも1つのビーム空間回転子、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項50に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
少なくとも1つの空間的干渉セル位置移動機器、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項49に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
少なくとも1つの空間的干渉セル位置移動機器、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項50に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
少なくとも1つの空間的干渉セル位置移動機器、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項51に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
少なくとも1つの空間的干渉セル位置移動機器、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項52に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いがそれとほぼ同じ遅延である遅延経路を包含している、
ことを更に含むことを特徴とする請求項53に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いがそれとほぼ同じ遅延である遅延経路を包含している、
ことを更に含むことを特徴とする請求項50に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いがそれとほぼ同じ遅延である遅延経路を包含している、
ことを更に含むことを特徴とする請求項51に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いがそれとほぼ同じ遅延である遅延経路を包含している、
ことを更に含むことを特徴とする請求項52に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いがそれとほぼ同じ遅延である遅延経路を包含している、
ことを更に含むことを特徴とする請求項53に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いがそれとほぼ同じ遅延である遅延経路を包含している、
ことを更に含むことを特徴とする請求項54に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いがそれとほぼ同じ遅延である遅延経路を包含している、
ことを更に含むことを特徴とする請求項55に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いがそれとほぼ同じ遅延である遅延経路を包含している、
ことを更に含むことを特徴とする請求項56に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
部分反射コーティングを各々の相互接合面に有する一対の相互接合ダブプリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項49に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
部分反射コーティングを各々の相互接合面に有する一対の相互接合ダブプリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項50に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
部分反射コーティングを各々の相互接合面に有する一対の相互接合ダブプリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項51に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
部分反射コーティングを各々の相互接合面に有する一対の相互接合ダブプリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項52に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
部分反射コーティングを各々の相互接合面に有する一対の相互接合ダブプリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項53に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
部分反射コーティングを各々の相互接合面に有する一対の相互接合ダブプリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項54に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
部分反射コーティングを各々の相互接合面に有する一対の相互接合ダブプリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項55に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
部分反射コーティングを各々の相互接合面に有する一対の相互接合ダブプリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項56に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
前記ソースビームに面する斜辺面と全反射する隣接する側面とを含む直角三角形プリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項49に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
前記ソースビームに面する斜辺面と全反射する隣接する側面とを含む直角三角形プリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項50に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
前記ソースビームに面する斜辺面と全反射する隣接する側面とを含む直角三角形プリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項51に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
前記ソースビームに面する斜辺面と全反射する隣接する側面とを含む直角三角形プリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項52に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
前記ソースビームに面する斜辺面と全反射する隣接する側面とを含む直角三角形プリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項53に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
前記ソースビームに面する斜辺面と全反射する隣接する側面とを含む直角三角形プリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項54に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
前記ソースビームに面する斜辺面と全反射する隣接する側面とを含む直角三角形プリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項55に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
前記ソースビームに面する斜辺面と全反射する隣接する側面とを含む直角三角形プリズム、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項56に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、前記ソースビームに面する面と全反射する隣接する側面とを有する二等辺三角形プリズムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項49に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、前記ソースビームに面する面と全反射する隣接する側面とを有する二等辺三角形プリズムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項50に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、前記ソースビームに面する面と全反射する隣接する側面とを有する二等辺三角形プリズムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項51に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、前記ソースビームに面する面と全反射する隣接する側面とを有する二等辺三角形プリズムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項52に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、前記ソースビームに面する面と全反射する隣接する側面とを有する二等辺三角形プリズムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項53に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、前記ソースビームに面する面と全反射する隣接する側面とを有する二等辺三角形プリズムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項54に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、前記ソースビームに面する面と全反射する隣接する側面とを有する二等辺三角形プリズムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項55に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、前記ソースビームに面する面と全反射する隣接する側面とを有する二等辺三角形プリズムを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項56に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
ソースビーム多重交替反転像作成機構、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項49に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
ソースビーム多重交替反転像作成機構、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項50に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
ソースビーム多重交替反転像作成機構、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項51に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
ソースビーム多重交替反転像作成機構、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項52に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
ソースビーム多重交替反転像作成機構、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項53に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
ソースビーム多重交替反転像作成機構、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項54に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
ソースビーム多重交替反転像作成機構、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項55に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
ソースビーム多重交替反転像作成機構、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項56に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
回転拡散器、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項49に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
回転拡散器、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項50に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
回転拡散器、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項51に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
回転拡散器、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項52に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
回転拡散器、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項53に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
回転拡散器、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項54に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
回転拡散器、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項55に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
回転拡散器、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項56に記載の装置。 - 前記回転拡散器は、
グランドグラス拡散器、
を含む、
ことを含むことを特徴とする請求項97に記載の装置。 - 前記回転拡散器は、
グランドグラス拡散器、
を含む、
ことを含むことを特徴とする請求項98に記載の装置。 - 前記回転拡散器は、
グランドグラス拡散器、
を含む、
ことを含むことを特徴とする請求項99に記載の装置。 - 前記回転拡散器は、
グランドグラス拡散器、
を含む、
ことを含むことを特徴とする請求項100に記載の装置。 - 前記回転拡散器は、
グランドグラス拡散器、
を含む、
ことを含むことを特徴とする請求項101に記載の装置。 - 前記回転拡散器は、
グランドグラス拡散器、
を含む、
ことを含むことを特徴とする請求項102に記載の装置。 - 前記回転拡散器は、
グランドグラス拡散器、
を含む、
ことを含むことを特徴とする請求項103に記載の装置。 - 前記回転拡散器は、
グランドグラス拡散器、
を含む、
ことを含むことを特徴とする請求項104に記載の装置。 - 数十フェムトメートル以内の精度で500フェムトメートル未満の範囲の出力レーザ光パルスを含む出力レーザビームの帯域幅を測定する波長計であって、
ビーム経路と、
前記ビーム経路における光を拡散する該ビーム経路における拡散器と、
前記拡散した光を平行化する前記ビーム経路におけるコリメータと、
エタロンに入射する前記平行化した光に基づいて出力を作り出す共焦点エタロンと、
前記共焦点エタロンの前記出力を検出する検出器と、
を含むことを特徴とする波長計。 - 前記共焦点エタロンに入射する前記平行化した光の入射角を走査する走査機構、
を更に含むことを特徴とする請求項113に記載の装置。 - 前記走査機構は、前記共焦点エタロンにわたって前記平行化した光を走査する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項114に記載の装置。 - 前記走査機構は、前記平行化した光にわたって前記エタロンを走査する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項114に記載の装置。 - 前記走査機構は、音響光学スキャナである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項114に記載の装置。 - 前記走査機構は、音響光学スキャナである、
ことを更に含むことを特徴とする請求項115に記載の装置。 - 前記共焦点エタロンは、測定されている前記ビームのE95幅にほぼ等しい自由スペクトル領域を有する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項113に記載の装置。 - 前記共焦点エタロンは、測定されている前記ビームのE95幅にほぼ等しい自由スペクトル領域を有する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項114に記載の装置。 - 前記共焦点エタロンは、測定されている前記ビームのE95幅にほぼ等しい自由スペクトル領域を有する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項115に記載の装置。 - 前記共焦点エタロンは、測定されている前記ビームのE95幅にほぼ等しい自由スペクトル領域を有する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項116に記載の装置。 - 前記共焦点エタロンは、測定されている前記ビームのE95幅にほぼ等しい自由スペクトル領域を有する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項117に記載の装置。 - 前記共焦点エタロンは、測定されている前記ビームのE95幅にほぼ等しい自由スペクトル領域を有する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項118に記載の装置。 - 前記共焦点エタロンは、測定されている前記ビームのE95幅にほぼ等しい自由スペクトル領域を有する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項113に記載の装置。 - 前記検出器は、前記走査機構によって誘発された光の変動する波長に対する強度パターンを検出する光電子増倍管である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項114に記載の装置。 - 前記検出器は、前記走査機構によって誘発された光の変動する波長に対する強度パターンを検出する光電子増倍管である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項115に記載の装置。 - 前記検出器は、前記走査機構によって誘発された光の変動する波長に対する強度パターンを検出する光電子増倍管である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項116に記載の装置。 - 前記検出器は、前記走査機構によって誘発された光の変動する波長に対する強度パターンを検出する光電子増倍管である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項117に記載の装置。 - 前記検出器は、前記走査機構によって誘発された光の変動する波長に対する強度パターンを検出する光電子増倍管である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項118に記載の装置。 - 利用ツールに対する光源として送出するための出力レーザ光パルスを含む出力レーザビームを生成するガス放電レーザであって、
ビーム経路と、
前記ビーム経路における透過性ビーム均質化手段と、
を含むことを特徴とするレーザ。 - 前記ビーム均質化手段は、
少なくとも1つのビーム像反転手段、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項131に記載の装置。 - 前記ビーム均質化手段は、
少なくとも1つのビーム空間回転手段、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項131に記載の装置。 - 前記ビーム均質化手段は、
少なくとも1つのビーム空間回転手段、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項132に記載の装置。 - 前記ビーム均質化手段は、
少なくとも1つの空間的干渉セル位置移動手段、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項131に記載の装置。 - 前記ビーム均質化手段は、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いがそれとほぼ同じ遅延である遅延経路を包含している、
ことを更に含むことを特徴とする請求項131に記載の装置。 - 前記ビーム均質化手段は、
ソースビーム多重交替反転像作成手段、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項131に記載の装置。 - 数十フェムトメートル以内の精度で500フェムトメートル未満の範囲の出力レーザ光パルスを含む出力レーザビームの帯域幅を測定する帯域幅検出器であって、
帯域幅選択的干渉パターン発生手段に至るビーム経路と、
前記ビーム経路におけるビーム均質化手段と、
を含むことを特徴とする検出器。 - 前記ビーム均質化手段は、
少なくとも1つのビーム像反転手段、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項138に記載の装置。 - 前記ビーム均質化手段は、
少なくとも1つのビーム空間回転手段、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項138に記載の装置。 - 前記ビーム均質化手段は、
少なくとも1つのビーム空間回転手段、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項139に記載の装置。 - 前記ビーム均質化手段は、
少なくとも1つの空間的干渉セル位置移動手段、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項131に記載の装置。 - 前記ビーム均質化手段は、ソースビームの時間的干渉長さよりも長いがそれとほぼ同じ遅延である遅延経路を包含している、
ことを更に含むことを特徴とする請求項131に記載の装置。 - 数十フェムトメートル以内の精度で500フェムトメートル未満の範囲の出力レーザ光を含む出力レーザビームの帯域幅を測定する帯域幅検出器であって、
ビーム経路と、
前記ビーム経路における光を拡散するための該ビーム経路における拡散手段と、
前記拡散した光を平行化するための前記ビーム経路における平行化手段と、
エタロンに入射する前記平行化した光に基づいて出力を作り出す共焦点エタロンと、
前記共焦点エタロンの前記出力を検出するための検出手段と、
を含むことを特徴とする検出器。 - 前記共焦点エタロンに入射する前記平行化した光の入射角を走査するための走査手段、
を更に含むことを特徴とする請求項144に記載の装置。 - 前記走査手段は、音響光学走査手段を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項144に記載の装置。 - 前記共焦点エタロンは、測定されている前記ビームのE95幅にほぼ等しい自由スペクトル領域を有する、
ことを更に含むことを特徴とする請求項144に記載の装置。 - 前記検出手段は、前記走査手段によって誘発された光の変動する波長に対する強度パターンを検出する光電子増倍手段である、
ことを更に含むことを特徴とする請求項145に記載の装置。 - 利用ツールに対する光源として送出するための出力レーザ光パルスを含む出力レーザビームをガス放電レーザで生成する方法であって、
ビーム経路を設ける段階と、
前記ビーム経路にビーム均質化手段を設ける段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 数十フェムトメートル以内の精度で500フェムトメートル未満の範囲の出力レーザ光を含む出力レーザビームの帯域幅を測定する方法であって、
帯域幅選択的干渉パターン発生機構に至るビーム経路を設ける段階と、
前記フリンジパターン発生機構に入る前に前記ビーム経路におけるビームを均質化する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 数十フェムトメートル以内の精度で500フェムトメートル未満の範囲の出力レーザ光を含む出力レーザビームの帯域幅を測定する方法であって、
ビーム経路を設ける段階と、
前記ビーム経路における光を拡散させる段階と、
前記拡散した光を平行化する段階と、
共焦点エタロンを用いて該共焦点エタロンに入射する前記平行化した光に基づいて出力を作り出す段階と、
前記共焦点エタロンの前記出力を検出する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記光学分光計は、拡散光学要素を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項49に記載の装置。 - 前記光学分光計は、透過性拡散光学要素を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項152に記載の装置。 - 前記光学分光計は、エタロンを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項49に記載の装置。 - 前記光学分光計は、回折光学要素を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項49に記載の装置。 - 前記光学分光計は、反射に使用される回折格子を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項49に記載の装置。 - 前記光学分光計は、透過に使用される回折格子を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項49に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
時間及び/又は位置依存型波面変調器、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項49に記載の装置。 - 前記検出器上の画像の時間平均を記録する画像記録機構、
を更に含むことを特徴とする請求項49に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
スペックル誘発画像強度変調抑制器、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項49に記載の装置。 - 前記ビームホモジナイザーは、
スペックルによる画像の強度変調を抑制するための手段、
を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項49に記載の装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/881,533 | 2004-06-29 | ||
US10/881,533 US20050286599A1 (en) | 2004-06-29 | 2004-06-29 | Method and apparatus for gas discharge laser output light coherency reduction |
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EP1779481A4 (en) | 2015-08-26 |
EP1779481B1 (en) | 2019-08-21 |
US20120162657A1 (en) | 2012-06-28 |
EP1779481A2 (en) | 2007-05-02 |
JP5739601B2 (ja) | 2015-06-24 |
WO2006012062A3 (en) | 2009-04-09 |
US20050286599A1 (en) | 2005-12-29 |
WO2006012062A2 (en) | 2006-02-02 |
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A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
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|
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|
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|
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A711 | Notification of change in applicant |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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