JP2002148122A - レーザ光の波長モニタ用光学装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 波長計測に必要な光量を極力小さくするとと
もに、受光面でのエネルギーの集中を防止することがで
きる波長モニタ用光学装置を提供すること。 【解決手段】 ビームスプリッタ１を介して入射する光
はクロスドシリンドリカルレンズアレイ２ａで発散さ
れ、エタロン３に入射し、エタロン３により形成される
フリンジの像が、投影光学系４によりリニアアレイセン
サ５上に結像する。エタロン３に入射する光を発散させ
るディフューザとして、表裏の焦点距離またはレンズピ
ッチをかえたクロスドシリンドリカルレンズアレイ２ａ
を用いることにより、リニアアレイセンサ５面上の照射
領域を、リニアアレイセンサ５とほぼ等しい大きさにす
ることができる。また、縦横軸で光を発散させるので受
光面でのエネルギーの集中も起こらず、センサの寿命を
延ばすことができる。なお、クロスドシリンドリカルレ
ンズアレイに替え長方形のマイクロレンズアレイを用い
てよい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】半導体集積回路の微細化につ
れ、露光用光源の短波長化がなされ、次世代の半導体露
光用光源として波長１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレーザ
装置が有力視されいる。露光用光源の短波長化が進むこ
とによって、露光装置に使用できる硝材が限られてくる
ため、色収差の問題を解決するためにレーザ光のスペク
トル幅を１ｐｍ以下に狭帯域化することが必要となり、
また中心波長の変動を０．１ｐｍ以下に押さえることが
必須の要件となる。上記のような波長安定化を実現する
ために、露光中に狭帯域化されたレーザの波長およびス
ペクトル線幅を計測する波長モニターが必要となる。本
発明は上記した狭帯域化されたレーザの波長およびスペ
クトル線幅を計測する波長モニタ用光学装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図６に狭帯域エキシマレーザ装置の構成
例を示す。エキシマレーザ装置は、レーザチェンバ１０
１内に、例えば、フッ素（Ｆ₂ ）やアルゴン（Ａｒ）お
よび、ネオン（Ｎｅ）等のバッファーガスからなるレー
ザガスが封入され、レーザチェンバ１０１内部にはレー
ザ光軸方向に延び、所定間隔だけ離間して対向した一対
の主放電電極が設けられている。この主放電用電極間に
立上りの早い高電圧パルスを印加して放電を発生させる
ことにより、レーザ媒質であるレーザガスが励起され
る。レーザチェンバ１０１の前後には、出力鏡１０２
と、レーザ光のスペクトル幅を狭帯域化し、中心波長の
波長安定化を実現するための狭帯域化ユニット１０３と
が各々配置され、出力鏡１０２と狭帯域化ユニット１０
３はレーザ共振器を構成する。チェンバ１０１から放出
される光は、上記レーザ共振器により増幅され、レーザ
光としてレーザ共振器の出力鏡１０２より取出される。
出力鏡１０２により取り出されたレーザ光は、ビームス
プリッタ（導光光学系）１０４に入射し、一部のレーザ
光が分割され波長モニタ１０５に入射する。波長モニタ
１０５は、レーザ光の波長と波長線幅を検出しコントロ
ーラ１０６に出力する。コントローラ１０６は狭帯域ユ
ニット１０３によりレーザ光の波長と波長線幅が所望の
値になるように制御する。

【０００３】上記狭帯域エキシマレーザの波長線幅を計
測したり、波長を検出したりする波長モニタ１０５に
は、エアギャップエタロンが用いられている。図７にエ
アギャップエタロンを用いた波長モニタの構成例を示
す。基準光源であるＨｅ−Ｎｅレーザ６からの基準光
は、反射鏡７、シャッタ８を介してビームスプリッタ
（導光光学系）１に入射し、ビームスプリッタ１で反射
されディフューザ２に入射する。この光はディフューザ
２において角度を付けられたのち、エアギャップエタロ
ン（以下単にエタロンという）３に入射する。エタロン
３は入射光の中心波長に対応した間隔の干渉縞（フリン
ジ）を形成し、この干渉縞は結像光学系４の焦点面に結
像する。結像光学系４の焦点面にはリニアアレイセンサ
（ＣＣＤ）５が配置されており、基準光の中心波長は予
めわかっているので、各フリンジのリニアアレイセンサ
５上での位置データから、エタロン３の空気の屈折率の
変動や、ミラー間隔の変動を補正する。ついで、シャッ
タ８を閉じ、シャッタ９を開き、エキシマレーザからの
被波長測定レーザ光を導光し、該サンプル光をシャッタ
９、ビームスプリッタ（導光光学系）１、ディフューザ
２を介してエタロン３に入射する。エタロン３により形
成されるフリンジは結像光学系４によりリニアアレイセ
ンサ５上に結像し、サンプル光の波長、波長線幅は、上
記リニアアレイセンサ５上に形成されるフリンジの位置
データにより測定される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】図８に上記波長モニタ
におけるビームスプリッタ（導光光学系）１、ディフュ
ーザ２、エタロン３、結像光学系４、リニアアレイセン
サ５からなる光学系を示す。図８において、上記したよ
うにエタロン３は入射するサンプル光の中心波長に対応
した間隔のフリンジを形成し、このフリンジが、結像光
学系４によりリニアアレイセンサ５上に結像される。上
記エタロン３の透過波長λは次のように表せる。ｍλ＝
２ｎｄ ｃｏｓθここで、ｍは整数、ｄはエタロンのギ
ャップ間隔、ｎはギャップ間の屈折率、θはエタロンの
法線と入射光の光軸とのなす角度である。上記式から明
らかなように、エタロン３により波長を連続的に測定す
るには、エタロン３に入射する光の角度θが広がってい
る必要がある。通常、レーザから出射される光の発散角
は波長を連続的に測定するために十分な角度でないた
め、何らかの手段でエタロン３に入射する光の角度を広
げる必要がある。最も簡単に光の角度を広げる方法は、
エタロンの直前にディフューザ２としてスリガラスを挿
入することである。

【０００５】図８において、結像光学系４の焦点距離ｆ
ｃとフリンジのリニアアレイセンサ５面上での結像位置
ｘｆ（ｘｆは、リニアアレイセンサ５の受光面上の光軸
中心の位置と、フリンジの結像位置との距離に相当）
は、結像光学系への光の入射角θとの間に［ｔａｎθ＝
ｘｆ／ｆｃ］の関係がある。ディフューザ２としてスリ
ガラスを用いた場合、リニアアレイセンサ５の受光面上
に結像するフリンジは、円形状となる。すなわちフリン
ジ半径が上記ｘｆとなる。フリンジ半径を正確に測定す
るために、リニアアレイセンサ５の受光面の中心位置
と、光軸のリニアアレイセンサ５の受光面上での位置と
を、光軸と略一致させる。このように設定することによ
り、リニアアレイセンサ５の受光面上に結像するフリン
ジは、リニアアレイセンサ５の受光面の中心位置に対し
て、略対称に結像する。入射角θが大きくなり、結像し
たフリンジの直径が、リニアアレイセンサ長（例えば、
長手方向において、図８ではリニアアレイセンサ長は２
×ｌとなる）を超えた場合、リニアアレイセンサ５の両
端から光がはみ出し、光は有効に利用されない。また、
リニアアレイセンサ５から外れた光は光学系の効率を落
とすだけでなく、迷光の原因となり、測定の精度を落と
す可能性がある。図９（ａ）にディフューザとしてスリ
ガラスを用いた場合のリニアアレイセンサ５面上の位置
に結像するフリンジの像を示す。同図に示すようにディ
フューザとしてスリガラスを用いた場合、発散はどの方
向にも等方向であるため結像面上のフリンジの像は円形
となる。また、スリガラスでは発散角を制御することが
できないため、フリンジの像はリニアアレイセンサ５か
ら外れた位置に結像する。

【０００６】波長モニタに取り込んだ光を最大限に利用
するためには最大の入射角θｍａｘをθｍａｘ＝ｔａｎ
^-1（ｌ／ｆｃ）程度に制限する必要がある。そこで、エ
タロン３に入射する光の最大入射角を制限するために、
ディフューザ２として、スリガラスではなく、単レン
ズ、シリンドリカルレンズ、あるいは、シリンドリカル
レンズアレイを用いる方法が従来行われた。図９
（ｂ）、図１０（ａ）にそれぞれ単レンズ、シリンドリ
カルレンズを用いた場合のリニアアレイセンサ５面上の
位置に結像するフリンジの像を示す。なお、シリンドリ
カルレンズは、第１の方向に対しては曲率を持ち、第１
の方向に直交する方向に対しては曲率を持たないレンズ
であり、入射する光を上記第１の方向にのみ発散させ
る。図１０（ａ）においては、シリンドリカルレンズ
は、縦方向（紙面の上下方向）に曲率を持つように配置
され、入射する光を縦方向にのみ発散させる。ディフュ
ーザ２として単レンズを用いた場合、発散角を制御する
ことができるが、発散はどの方向にも等方的であり、図
９（ｂ）に示すように結像面上で光は円形に照射され
る。したがって、長方形をしたリニアアレイセンサ５上
に入る光の量は少なくなる。また、図９（ｂ）に示すよ
うにディフューザ２に入射する光に空間的な強度分布が
あると、入射する光の空間的な強度分布が発散光の角度
分布に反映されるため、リニアアレイセンサ５面上のフ
リンジの像に強度分布が生じ、フリンジを正確に測定す
ることが難しくなる。

【０００７】また、ディフューザ２としてシリンドリカ
ルレンズを用いた場合、ディフューザ２に入射した光は
１軸のみ発散される。発散されていない軸方向の光は結
像光学系により１点に集光されることとなるため、フリ
ンジの像は図１０（ａ）に示すように線状の領域に結像
されることとなる。リニアアレイセンサ５の出力は受光
面内に入射した光量に比例するため、線状に光が入射す
る場合、その部分にエネルギーが集中することになる。
これはリニアアレイセンサ５の部分的な劣化を引き起こ
す可能性がある。また、図１０（ａ）に示すようにディ
フューザ２に入射する光に空間的な強度分布があると、
単レンズを用いた場合と同様、リニアアレイセンサ５面
上のフリンジの像に強度分布が生じ、フリンジを正確に
測定することが難しくなる。

【０００８】また、ディフューザ２として、シリンドリ
カルレンズアレイを用いた場合は、シリンドリカルレン
ズと同様、フリンジの像は図１０（ｂ）に示すように線
状の領域に結像されることとなる。なお、シリンドリカ
ルレンズアレイは、前記シリンドリカルレンズを、曲率
を持つ方向に隣り合うように列状に並べたものであり、
図１０（ｂ）においては、シリンドリカルレンズアレイ
は縦方向（紙面の上下方向）に曲率を持つように配置さ
れ、入射する光を縦方向にのみ発散させる。このため、
シリンドリカルレンズを用いた場合と同様、発散されて
いない軸方向の光は結像光学系により１点に集光されそ
の部分にエネルギーが集中することになり、リニアアレ
イセンサ５の部分的な劣化を引き起こす可能性がある。
なお、シリンドリカルレンズアレイを用いる場合には、
ディフューザ２に入射する光に空間的な強度分布があっ
ても、図１０（ｂ）に示すようにリニアアレイセンサ５
面上のフリンジの像に強度分布が生じることはない。

【０００９】以上のように、デフューザとしてスリガラ
スや単レンズを用いた場合、フリンジの像はリニアアレ
イセンサ５から外れた位置に結像し、結像した光が有効
に利用されないばかりでなく、迷光の原因となり、測定
の精度を落とす可能性がある。また、ディフューザ２に
入射する光に空間的な強度分布があると、リニアアレイ
センサ５面上のフリンジの像に強度分布が生じる。ま
た、ディフューザとしてシリンドリカルレンズやシリン
ドリカルレンズアレイを用いた場合には、フリンジの像
が線状の領域に結像され、リニアアレイセンサ５の部分
的な劣化を引き起こす可能性がある。特に、シリンドリ
カルレンズを用いた場合には、ディフューザ２に入射す
る光に空間的な強度分布があると、リニアアレイセンサ
５面上のフリンジの像に強度分布が生じる。本発明は上
記した事情に鑑みなされたものであって、本発明の目的
は、エタロンに入射した光の大部分が受光素子であるリ
ニアアレイセンサ上に入るようにして、エネルギーの利
用効率を向上させ、波長計測に必要な光量を極力小さく
するとともに、受光面でのエネルギーの集中がおこら
ず、リニアアレイセンサの寿命を延ばすことができる波
長モニタ用光学装置を提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記した波長モニタにお
いて、エタロンに入射する光を発散させるディフューザ
として、表裏の焦点距離を変えたクロスドシリンドリカ
ルレンズアレイ、表裏のレンズピッチをかえたクロスド
シリンドリカルレンズアレイ、もしくは、長方形のマイ
クロレンズアレイを用いる。クロスドシリンドリカルレ
ンズアレイは、第１の方向に対しては曲率を持ち、第１
の方向に直交する方向に対しては曲率を持たないシリン
ドリカルレンズを、曲率を持つ方向に隣り合うように列
状に並べたシリンドリカルレンズアレイからなる。すな
わち、クロスドシリンドリカルレンズアレイは、紫外光
に対して、充分な透過率を持つ基板の表裏に、シリンド
リカルレンズアレイを曲率を持つ方向が直交するように
形成したものであり、クロスドシリンドリカルレンズア
レイを用いれば、前記したように、入射する光に空間的
な強度分布があっても、照射面上のフリンジの像に強度
分布が生じることを防止することが出来る。クロスドシ
リンドリカルレンズアレイを用いて、エタロンにより形
成されるフリンジ像が、リニアアレイセンサにほぼ等し
い照射領域内に入るようにするには、上記照射範囲の縦
軸、横軸の長さをｙ、ｘ、縦方向に曲率を持つシリンド
リカルレンズの縦方向（ｙ方向）の幅（ピッチ）をｐ
ｖ、焦点距離をｆｈ、横方向に曲率を持つシリンドリカ
ルレンズの縦方向（ｘ方向）の幅（ピッチ）をｐｈ、焦
点距離をｆｖとすると、ｐｖ／ｆｖ：ｐｈ／ｆｈ＝ｙ：
ｘとすればよい。同様に、照射範囲の縦横方向の長さを
ｙ、ｘとした時、縦横方向の大きさｄｖ、ｄｈがｄｖ：
ｄｈ＝ｙ：ｘを満たすマイクロレンズを複数個、紫外光
に対して充分な透過率を持つ基板上に形成したマイクロ
レンズアレイを用いてもよい。マイクロレンズアレイを
用いれば、クロスドシリンドリカルレンズアレイを用い
る場合と同様、照射面上のフリンジの像に強度分布が生
じることを防止することが出来る。上記のように、縦横
の軸で焦点距離あるいはレンズピッチの異なるクロスド
シリンドリカルレンズアレイ、縦横の軸で大きさの異な
るマイクロレンズアレイを用いて光の照射範囲を長方形
にすることにより、リニアアレイセンサ面にだけ光を当
てることができ、エネルギーの利用効率を向上させるこ
とが出来る。また、１軸のみに光を発散するのではない
ため、受光面でのエネルギーの集中も起こらず、リニア
アレイセンサの寿命を延ばすことが出来る。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１に本発明の第１の実施例の構
成を示す。同図は前記図８において、ディフューザとし
てクロスドシリンドリカルレンズアレイ２ａを用いた場
合を示している。クロスドシリンドリカルレンズアレイ
２ａは、例えば図１（ｂ）に示すように、合成石英やＣ
ａＦ₂ といった紫外光に対して十分な透過率を持った基
板上の第１の面（Ａ面）に、前記したシリンドリカルレ
ンズアレイを作成し、他方の面（Ｂ面）に、曲率を持つ
方向がＡ面のシリンドリカルレンズアレイと直交するよ
うに形成したシリンドリカルレンズアレイを作成したも
のであり、Ａ面のシリンドリカルレンズアレイにより同
図のＸ方向に光を発散させ、Ｂ面のシリンドリカルレン
ズアレイにより同図のＹ方向に光を発散させる。

【００１２】ここで、シリンドリカルレンズで発散され
る光の発散角θは焦点距離ｆとしンズピッチｐより［ｔ
ａｎθ＝ｐ／ｆ］で決まる。リニアアレイセンサのチャ
ンネル方向（縦方向）に対応するシリンドリカルレンズ
アレイのピッチをｐｖ、焦点距離をｆｖ、リニアアレイ
センサの幅方向に対応するシリンドリカルレンズのピッ
チをｐｈ、焦点距離をｆｈとする。シリンドリカルレン
ズによる最大の発散角はリニアアレイセンサの位置での
照射範囲の長軸方向の長さｙと結像光学系の焦点距離ｆ
ｃから、ｐｖ／ｆｖ＝ｙ／（２×ｆｃ）と決定される。
したがって、縦と横で発散角を変えるためには、クロス
ドシリンドリカルレンズアレイの縦方向と横方向のｐ／
ｆの比を変えればよい。

【００１３】例えば、図２に示すリニアアレイセンサ５
の大きさとほぼ同じ大きさの、長軸の長さｙと、短軸方
向の長さｘの長方形領域から光を出ないようにするに
は、ｐｖ／ｆｖ：ｐｈ／ｆｈ＝ｙ：ｘとすればよい。こ
れよりｐｈ／ｆｈも一意に求まる。すなわち、次の
（１）または（２）のようにレンズのピッチｐｖ，ｐ
ｈ、焦点距離ｆｖ，ｆｈを選定すれば、図２に示す長方
形領域から光を出ないようにすることができる。 （１）焦点距離ｆｖとｆｈをｆｖ／ｆｈ＝ｘ／ｙとし、
レンズのピッチｐｖとｐｈを等しくする。 （２）レンズのピッチｐｖとｐｈをｐｖ／ｐｈ＝ｙ／ｘ
とし、焦点距離ｆｖとｆｈを等しくする。 図３（ａ）（ｂ）に上記（１）の場合の、クロスドシリ
ンドリカルレンズアレイのＡ面、Ｂ面におけるレンズピ
ッチと焦点距離を示す。図３（ａ）は前記図１（ｂ）に
おいてＣ方向からＡ面を見た図を示し、図３（ｂ）は図
１（ｂ）において、Ｄ方向からＢ面を見た図を示してい
る。図３に示すように、Ａ面のシリンドリカルレンズア
レイのピッチをｐｈ、焦点距離をｆｈ（発散角θｈはｔ
ａｎθｈ＝ｐｈ／ｆｈ）、Ｂ面のシリンドリカルレンズ
アレイのピッチをｐｖ、焦点距離をｆｖ（発散角θｖ
は、ｔａｎθｖ＝ｐｖ／ｆｖ）とすると、焦点距離ｆ
ｈ，ｆｖをｆｈ／ｆｖ＝ｘ／ｙとし、レンズのピッチを
ｐｖ＝ｐｈとすれば、図２に示す長方形領域から光を出
ないようにすることができる。また、上記（２）のよう
にする場合には、図３において、レンズのピッチｐｖ，
ｐｆをｐｖ／ｐｆ＝ｙ／ｘとし、焦点距離ｆｈ，ｆｖを
ｆｈ＝ｆｖとすればよい。

【００１４】上記のようなクロスドシリンドリカルレン
ズアレイを作成するには、基板上の１面にレンズピッチ
ｐｖ、焦点距離ｆｖのシリンドリカルレンズアレイを作
成し、もう１方の面にレンズピッチｐｈ、焦点距離ｆｈ
のシリンドリカルレンズアレイを、曲率を持つ方向が上
記１面と直交するように作成し、上記レンズピッチｐ
ｖ，ｐｆ、焦点距離ｆｖ，ｆｈが上記（１）（２）を満
たすようにすればよい。この光学素子を前記した波長モ
ニタのディフューザとして利用することにより、結像位
置でリニアアレイセンサの大きさにほぼ等しい長方形に
照射することができる。図４にディフューザとして本実
施例のクロスドシリンドリカルレンズアレイを用いた場
合のリニアイレイセンサ５面上の位置に結像するフリン
ジ像の一例を示す。同図に示すようにクロスドシリンド
リカルレンズアレイを用いることにより、フリンジの像
はリニアアレイセンサ５の大きさにほぼ等しい長方形の
領域に照射され、また、フリンジ像は縞状となる。この
ため、入射した光がリニアアレイセンサ５から外れたと
ころに結像することがなく、エネルギーの利用効率を向
上させることができる。また、受光面でのエネルギーの
集中がおこらず、リニアアレイセンサ５の部分的な劣化
を引き起こすこともない。さらに、クロスドシリンドリ
カルレンズアレイを用いれば、前記したように、ディフ
ューザ２に入射する光に空間的な強度分布があっても、
リニアアレイセンサ５面上のフリンジの像に強度分布が
生じない。

【００１５】上記実施例では、裏、表で焦点距離あるい
はレンズピッチの異なるシリンドリカルレンズアレイを
直交して配置したクロスドシリンドリカルレンズアレイ
を用いる場合について説明したが、クロスドシリンドリ
カルレンズアレイに替えて、１面に長方形のマイクロレ
ンズアレイを作成したものを使用してもよい。マイクロ
レンズアレイは、図５（ａ）に示すように単レンズＬか
ら矩形状に切り出した形状のマイクロレンズを図５
（ｂ）に示すように縦横方向に並べて配置したものであ
る。上記マイクロレンズアレイを前記した波長モニタの
ディフューザとして用いる場合には、各マイクロレンズ
の縦方向（ｙ方向）のピッチｐｖと横方向（ｘ方向）の
ピッチｐｈの比ｐｖ／ｐｈを、前記したようにｐｖ／ｐ
ｈ＝ｙ／ｘ（ｘはリニアアレイセンサの横方向の長さ、
ｙはリニアアレイセンサの縦方向の長さ）とする。これ
により、前記図２に示す長方形領域から光を出ないよう
にすることができるとともに、フリンジ像を前記図４に
示したように縞状とすることができる。

【００１６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、エタロンを含む波長モニタのディフューザとして、
表裏の焦点距離を変えたクロスドシリンドリカルレンズ
アレイ、表裏のレンズピッチをかえたクロスドシリンド
リカルレンズアレイ、もしくは、長方形のマイクロレン
ズアレイを用いたので、エタロンに入射する光の入射角
を制御することができ、エタロンに入射した光の大部分
を受光素子であるリニアアレイセンサ上に入るようにす
ることができる。このため、エネルギーを有効利用し、
波長計測に必要な光量を極力小さくする。また、リニア
アレイセンサ上で局所的にエネルギーが集中することが
ないので、受光素子の局所的な劣化を押さえることがで
きる。さらに、入射する光に空間的な強度分布があって
も、照射面上のフリンジの像に強度分布が生じることを
防止することができ、フリンジを正確に測定することが
容易となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の波長モニタ用光学系を示す図
である。

【図２】リニアアレイセンサと照射範囲を示す図であ
る。

【図３】図１に示したクロスドシリンドリカルレンズア
レイのＡ面、Ｂ面におけるレンズピッチと焦点距離を示
す図である。

【図４】クロスドシリンドリカルレンズアレイを用いた
場合のフリンジ像の一例を示す図である。

【図５】本発明の実施例で使用されるマイクロレンズア
レイを示す図である。

【図６】狭帯域エキシマレーザ装置の構成例を示す図で
ある。

【図７】エアギャップエタロンを用いた波長モニタの構
成例を示す図である。

【図８】上記波長モニタにおけるビームスプリッタ、デ
ィフューザ、エタロン３、結像光学系、リニアアレイセ
ンサからなる光学系を示す図である。

【図９】ディフューザとしてスリガラス、単レンズを用
いた場合のフリンジの像の一例を示す図である。

【図１０】ディフューザとしてシリンドリカルレンズ、
シリンドリカルレンズアレイを用いた場合のフリンジの
像の一例を示す図である。

【符号の説明】

１ ビームスプリッタ（導光光学系） ２ ディフューザ ２ａ クロスドシリンドリカルレンズアレイ ３ エタロン ４ 結像光学系 ５ リニアアレイセンサ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 露光用レーザ光源から光を導入する導光
   光学系と、導光光学系から導かれてきた光を発散させる
   ディフューザと、 ディフューザからの光が入射するエタロンと、エタロン
   から出射した光を結像させる結像光学系と、エタロンに
   より生じたフリンジを検出するために結像光学系の焦点
   面に配置されたリニアアレイセンサとを有するレーザ光
   の波長モニタ用光学装置であって、 上記ディフューザとして、表裏の焦点距離を変えたクロ
   スドシリンドリカルレンズアレイ、表裏のレンズピッチ
   をかえたクロスドシリンドリカルレンズアレイ、もしく
   は、長方形のマイクロレンズアレイを用いたことを特徴
   とするレーザ光の波長モニタ用光学装置。