JPH01319727A - 光学装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光学装置に関し、特に、均一強度の光照射を
行う場合に適用して好適なものである。

〔発明の概要〕

本発明の光学装置は、部分透過ミラーと、平行光の強度
分布を上記平行光の平行度を維持しつつ上記平行光に対
して垂直な所定の直線に関して反転または互いに逆方向
に移動させるための反転または移動手段とを有し、不均
一強度分布を有する入射平行光を上記部分透過ミラーに
より上記部分透過ミラーで反射される平行光と上記部分
透過ミラーを透過する平行光とに分割し、上記部分透過
ミラーを透過した上記平行光の強度分布を上記反転また
は移動手段により上記所定の直線に関して反転または互
いに逆方向に移動させ、上記強度分布が反転または互い
に逆方向に移動された上記平行光と上記部分透過ミラー
で反射された上記平行光とを重ね合わせることにより均
一強度分布の平行光を得るようにしている。これによっ
て、不均−強度分布を有する平行光を均一強度分布を有
する平行光に変換することができる。

〔従来の技術〕

縮小投影露光装置やレーザーアニール装置のようにラン
プやレーザーを光源として用いて光照射を行う装置にお
いては、照射場所による光量のばらつきを少なくするた
めに照射光量の均一化を行う必要がある。この照射光量
の均一化を行うためのビームホモジナイザーとして、第
１１図に示すように、小さなレンズを蜂の巣状に多数配
列したフライアイ（ｆｌｙ−ｅｙｅ）レンズＬｙを用い
たものが知られている。この従来のビームホモジナイザ
ーによれば、フライアイレンズＬｒに平行ビームＡを入
射させ、このフライアイレンズＬＦを構成する各レンズ
によって拡散された光を重ね合わせることにより、照射
面上での照射光量の均一化を行［発明が解決しようとす
る課題］ 上述の従来のビームホモジナイザーにおいては、フライ
アイレンズＬ、によって光が拡散されることから、入射
光として平行ビームＡを用いても出射光は平行ビームと
はならず、発散してしまう。

この結果、照射面上での単位面積当たりの光強度は低く
、従ってレーザーアニール等の高エネルギー密度の光照
射を行うことが必要な用途には上述の従来のビームホモ
ジナイザーは不向きであった。

従って本発明の目的は、不均一強度分布を有する平行光
を均一強度分布を有する平行光に変換することができる
光学装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本発明の光学装置は、部分透
過ミラー（Ｍ）と、平行光の強度分布を平行光の平行度
を維持しつつ平行光に対して垂直な所定の直線に関して
反転または互いに逆方向に移動させるための反転または
移動手段（Ｌｃ、Ｌｃ′、Ｐ３、Ｐ３　”）とを有し、
不均一強度分布を有する入射平行光（Ａ）を部分透過ミ
ラー（Ｍ）により部分透過ミラー（Ｍ）で反射される平
行光と部分透過ミラー（Ｍ）を透過する平行光とに分割
し、部分透過ミラー（Ｍ）を透過した平行光の強度分布
を反転または移動手段（ＬＣ，Ｌｅ　’、Ｐ３、Ｐ：＋
　　′）により所定の直線に関して反転または互いに逆
方向に移動させ、強度分布が反転または互いに逆方向に
移動された平行光と部分透過ミラー（Ｍ）で反射された
平行光とを重ね合わせることにより均一強度分布の平行
光（Ｂ）を得るようにしている。

〔作用〕

第り図に示すビームホモジナイザーを例にとって本発明
の詳細な説明する。第１図に示すように、このビームホ
モジナイザーは、例えば誘電体多層膜から成る部分透過
ミラーＭと、直角プリズムＰ６、Ｐ２と、互いに対向し
、かつ同軸に設けられた一対のシリンドリカルレンズ（
円柱レンズ）ＬＣｌＬＣ′とから成る。これらのシリン
ドリカルレンズＬｃ　、Ｌｃ　　’は、平行光の強度分
布をその平行度を維持しつつこの平行光の中心軸に対し
て垂直でかつこの中心軸を通る直線に関して反転させる
ことができるように構成されている。

今、第２図Ａに示すような不均一強度分布を有する平行
ビームＡを部分透過ミラーＭに対し４５゜の角をなす方
向から入射させると、この入射平行ビームＡはこの部分
透過ミラーＭで反射される平行ビームと、この部分透過
ミラーＭを透過して直進する平行ビームとに分割される
。入射平行ビームへの強度を１とすると、この部分透過
ミラーＭの反射率がＲである場合、この部分透過ミラー
Ｍで反射された平行ビームの強度はＲであり、この部分
透過ミラーＭを透過した平行ビームの強度は１−Ｒであ
る。この部分透過ミラーＭを透過した平行ビームは、直
角プリズムＰ、により１８０゜曲げられた後、シリンド
リカルレンズＬｃ、Ｌｃ′に入射する。このシリンドリ
カルレンズし６、Ｌｅ　　’に入射した平行ビームは、
その平行度を維持しつつこの平行ビームの中心軸に対し
て垂直でかつこの中心軸を通る直線に関してその強度分
布が反転される。すなわち、このシリンドリカルレンズ
Ｌｃ、Ｌｃ”を通った後の平行ビームの強度分布は第２
図Ｂに示すようになる。次に、このシリンドリカルレン
ズＬｃ、Ｌｃ”を通った平行ビームは直角プリズムＰｇ
により９０°曲げられた後、部分透過ミラーＭに入射し
、この部分透過ミラーＭで反射される平行ビームと、こ
の部分透過ミラーＭを透過する平行ビームとに分割され
る。

この場合、この部分透過ミラーＭで反射された平行ビー
ムの強度はＲ（１−Ｒ）であり、この部分透過ミラーＭ
を透過した平行ビームの強度は（１−Ｒ）２である。こ
の部分透過ミラーＭで反射された平行ビームは再び直角
プリズムＰ＋を通ってシリンドリカルレンズＬｃ　、Ｌ
ｃ　　”に入射し、このシリンドリカルレンズＬ６、Ｌ
ｃ　′によって強度分布が再び反転されて第２図Ａに示
すと同様な強度分布になった後、直角プリズムＰ２を通
って部分透過ミラーＭに再び入射する。そして、この部
分透過ミラーＭに入射する平行ビームは再び、この部分
透過ミラーＭで反射される平行ビームと、この部分透過
ミラーＭを透過する平行ビームとに分割され、以後これ
と同様なことが繰り返される。

以上のことかられかるように、第１図に示すビームホモ
ジナイザーにより得られる出射平行ビームＢは、入射平
行ビームＡの部分透過ミラーＭによる反射平行ビームと
、部分透過ミラーＭから直角プリズムＰ（、シリンドリ
カルレンズＬｃ、、Ｌ、′及び直角プリズムＰ２を通っ
て部分透過ミラーＭに至る経路をそれぞれ１周、２周、
３周、・−・−シた後にこの部分透過ミラーＭを透過す
る平行ビームとが重ね合わされたものとなる。この場合
、上記経路を通った後に部分透過ミラーＭを透過する各
平行ビームは、上記シリンドリカルレンズしＣ％ＬＣ′
を通った回数が奇数の場合には第２図已に示すと同様な
強度分布を有し、一方、上記シリンドリカルレンズＬｃ
、Ｌｃ’を通った回数が偶数の場合には第２図Ａに示す
と同様な強度分布を有する。従って、出射平行ビームＢ
の強度分布は、強度分布が互いに対称の関係にあるこれ
らの平行ビームが重ね合わされる結果、均一化される。

二の場合、強度分布の均一化を効率良く行うためには、
出射平行ビームＢを構成する各平行ビームのうち第２図
Ａに示すと同様な強度分布を有するものと、第２図Ｂに
示すと同様な強度分布を有するものとが同じ強度になる
ように部分透過ミラーの反射率Ｒを決める必要がある。

そこで、この反射率Ｒの決定方法について説明する。今
、実際には直角プリズムＰ、　、Ｐ！、シリンドリカル
レンズＬｃ、Ｌｃ’等を通る過程での光損失があること
を考慮して、部分透過ミラーＭから直角プリズムＰｌ、
シリンドリカルレンズＬｃ、Ｌｃ”及び直角プリズムＰ
２を通って部分透過ミラーＭに至る経路を１周したとき
の光強度の減衰率をαとすると、出射平行ビームＢを構
成する各平行ビームのうち第２図Ａに示すと同様な強度
分布を有するもの（以下、正転平行ビームという）及び
第２図Ｂに示すと同様な強度分布を有するもの（以下、
反転平行ビームという）の強度は次式で表すことができ
る。

正転平行ビームの強度 −Ｒ＋Ｒ（１−Ｒ）”　　（１−α）”　　（１＋Ｒ２
（１−α）”＋Ｒ’（１−α）　４　　＋、−−−−−
−−・）−−−−・−−−−・−（１） 反転平行ビームの強度 ＝（１−Ｒ）”　　（１−α）（１＋Ｒ”　　（１−α
）２＋Ｒ’　　（１−α）４＋−・−・−）−・−−−
−−・・−（２） ここで、正転平行ビームの強度−反転平行ビームの強度
とおくと次式が得られる。

（１−α）”　Ｒ３−２（１−α）（２−α）Ｒ２＋（
２−α）”Ｒ−（１−α）−〇 −−−−−＝−・−・（３） この（３）式より、部分透過ミラーの反射率Ｒを求める
ことができる。そこで、この（３）式により、種々の減
衰率αの値に対する反射率Ｒの値を計算すると、この減
衰率αと反射率Ｒとの関係は次表のようになる。

以上より、上表に基づいて部分透過ミラーＭの反射率Ｒ
を決めることにより、第２図Ａに示すような不均一強度
分布を有する入射平行ビームＡを第２図Ｃに示すような
均一強度分布を有する出射平行ビームＢに変換すること
ができる。

次に、第１図に示すビームホモジナイザーにおいては、
シリンドリカルレンズＬ、、Ｌｃ　’は平行ビームの中
心軸を通りかつこの中心軸に対して垂直な直線に関して
強度分布を反転させるため、入射平行ビームＡが例えば
第３図Ａに示すガウス分布のように軸対称な強度分布を
有する場合には、上述のように強度分布を反転させても
第３図Ｂに示すように強度分布は変化しない。従って、
これらの第３図Ａ及び第３図Ｂに示す強度分布の重ね合
わせにより得られる強度分布も第３図Ｃに示すようにな
り、結局、第３図Ａに示すような軸対称な強度分布は第
１図に示すビームホモジナイザーを用いても均一化する
ことはできない。

この問題は、上述のシリンドリカルレンズし。

、Ｌｃ　　’の代わりに、第４図に示すような一対のプ
リズムＰ３、Ｐ３　　′を用いることにより解決するこ
とができる。この場合には、このプリズムＰ３　、Ｐ　
：ｌ　　′に入射する平行ビームはまずこのプリズムＰ
、によりその中心軸に対して垂直でかつこの中心軸を通
る直線に関して２分割された後、これらの２分割された
平行ビームのそれぞれは上述のプリズムＰｚ、Ｐｉ　　
′により、上記直線に関してその幅（プリズムＰ３、Ｐ
ｉ’に入射する平行ビームの幅の１／２）と等しい距離
だけ互いに逆方向に移動される。この結果、入射平行ビ
ームＡが第５図Ａに示すような強度分布を有する場合、
このプリズムＰ３、Ｐ３’を通った後の平行ビームの強
度分布は第５図Ｂに示すようになる。従って、既に述べ
たと同様に、第５図Ａに示す強度分布を有する平行ビー
ムと第５図Ｂに示す強度分布を有する平行ビームとの重
ね合わせにより、第５図Ｃに示すような均一な強度分布
を有する出射平行ビームＢを得ることができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。

１旌炎上 第６図は本発明の実施例■によるビームホモジナイザー
を示す。この実施例Ｉは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の光強
度分布の均一化を行う場合に本発明を適用した実施例で
ある。

第６図に示すように、この実施例Ｉによるビームホモジ
ナイザーは、部分透過ミラーＭＸ％直角プリズムＰ　Ｉ
Ｘ　　％　Ｐ　！Ｋ　　及び１対のシリンドリカルレン
ズＬＣＸ％　ＬＣＸ′から成るＸ軸方向ホモジナイザー
と、部分透過ミラーＭＹ、直角プリズムＰ＋ｖ−，Ｐｚ
ｙ及びシリンドリカルレンズＬＣｖ％　ＬＣＹ′から成
るＹ軸方向ホモジナイザーとにより構成されている。こ
こで、上記シリンドリカルレンズし。、ＬＣＸ′の中心
軸と上記シリンドリカルレンズＬ　ＣＹ％　Ｌ　ＣＹ′
の中心軸とは互いに直交している。

この実施例■においては、上記部分透過ミラーＭｘに対
して４５°の角をなす方向から例えば第２図Ａに示すよ
うな不均一強度分布を有する平行ビームＡを入射させる
場合、この入射平行ビームへの強度分布はまずＸ軸方向
ホモジナイザーにより既に述べた原理に基づいてＸ軸方
向に均一化され、Ｘ軸方向の強度分布は第２図已に示す
ようになる。次に、このようにしてＸ軸方向の強度分布
が均一化された平行ビームは部分透過ミラーＭｖに入射
した後、Ｙ軸方向ホモジナイザーによりＹ軸方向の強度
分布も均一化され、Ｙ軸方向の強度分布も第２図Ｃに示
すようになる。このようにして、Ｘ軸方向及びＹ軸方向
に強度分布が均一化された平行ビームＢがＹ軸方向ホモ
ジナイザーから出射される。

以上のように、この実施例Ｉによれば、不均一強度分布
を存する入射平行ビームＡをＸ軸方向及びＹ軸方向に均
一強度分布を有する出射平行ビームＢに変換することが
できる。従って、この均一強度分布を有する出射平行ビ
ームＢを用いて、均一強度の光照射を行うことができる
。また、入射平行ビームＡはその平行度を維持しつつ出
射平行ビーム已に変換されるので、既に述べた従来技術
のようにビームの拡散による単位面積当たりの光強度の
低下が生じることがなく、従ってレーザーアニール等の
高エネルギー密度の光照射を行う場合にも適している。

実施皿ｌ 第７図は本発明の実施例■によるビームホモジナイザー
を示す。

第７図に示すように、この実施例■によるビームホモジ
ナイザーは、部分透過ミラーＭ５、直角プリズムＰ＋、
Ｐｚ及び４組のシリンドリカルレンズ対（Ｌａｎ、　Ｌ
ａｎ　”　）、ＣＬｃｚ、　Ｌｃｚ　’　）　。

（ＬＣ３、ＬＣ３”）、（ＬＣ４、ＬＣ４′）から成る
１段目のホモジナイザーと、部分透過ミラーＭ！、直角
プリズムＰ＝、Ｐｓ及び２組のシリンドリカルレンズ対
（ＬＣ５，ＬＣ！１　’　）、ＣＬｃｂ、Ｌ、１）から
成る２段目のホモジナイザーとにより構成されている。

この実施例■においては、上記部分透過ミラーＭ、に対
して４５°の角をなす方向から例えば第８図Ａに示すよ
うな不均一強度分布を有する平行ビームＡを入射させる
場合、この入射平行ビームＡの強度分布はまず１段目の
ホモジナイザーにより次のようにして均一化される。す
なわち、部分透過ミラーＭ＋を透過した後、直角プリズ
ムＰ。

により１８０°曲げられた平行ビームはシリンドリカル
レンズＬＣＩ、ＬＣ２、ＬＣ３、Ｌａｎに入射し、これ
らのシリンドリカルレンズＬＣ１％　ＬＣ！、ＬＣ３、
ＬＣ４により４分割される。この４分割された平行ビー
ムのそれぞれは各シリンドリカルレンズ対（Ｌａｎ、　
Ｌａｎ　′）、（Ｌ、２、Ｌｃｚ”）、（Ｌｃｓ、Ｌｅ
３’）、（Ｌ、４、ＬＣ４’）により、既に述べた原理
に基づいて強度分布が反転される。すなわち、例えばシ
リンドリカルレンズ対（Ｌ、１、ＬＣ，’）に入射する
平行ビームは、その中心軸に垂直でかつ二の中心軸を通
る直線（第８図Ｂの１番左側の破線）に関して強度分布
が反転される。その他のシリンドリカルレンズ対（Ｌ、
２、ｔ、ｃｚ′）、（しわ１、Ｌｃ３′）、（Ｌｃａ、
ＬＣ４”）に入射する平行ビームも同様にして強度分布
が反転される。この結果、この４組のシリンドリカルレ
ンズ対（ＬＣ，、Ｌａｎ”）、（Ｌ、２、Ｌｃｚ′）、
（Ｌｃｉ、Ｌｃｓ”）、（ＬＣ４、しわ、′）を通った
後の平゛行ビームの強度分布は第８図Ｂに示すようにな
る。従って、この１段目のホモジナイザーから出射され
る平行ビームの強度分布は、第８図Ａに示す強度分布と
第８図Ｂに示す強度分布との重ね合わせにより得られる
第８図Ｃに示すような強度分布となる。

次に、この第８図Ｃに示す強度分布を有する平行ビーム
は、２段目のホモジナイザーにより再び強度分布が均一
化される。この場合、部分透過ミラーＭ２を透過した後
、直角プリズムＰ４により１８０’曲げられた平行ビー
ムはシリンドリカルレンズＬＣ５、ＬＣｈに入射し、こ
れらのシリンドリカルレンズＬＣ５、ＬＣ６により２分
割される。この２分割された平行ビームのそれぞれは各
シリンドリカルレンズ対（Ｌｃｓ、　Ｌｃｓ　’　）、
（ＬＣｈ、ＬＣ＆′）により上述と同様にして強度分布
が反転される。この結果、この２組のシリンドリカルレ
ンズ対（Ｌ０３、Ｌｃｓ′）、（ＬＣｈ、ＬＣｈ”）を
通った後の平行ビームの強度分布は第８図りに示すよう
になる。従って、この２段目のホモジナイザーから出射
される平行ビームの強度分布は、第８図Ｃに示す強度分
布と第８図りに示す強度分布との重ね合わせにより得ら
れる第８図已に示すような極めて均一な強度分布となる
。

このように、この実施例■によれば、２段のホモジナイ
ザーにより、不均一でかつ軸対称な強度分布を有する入
射平行ビームＡを極めて均一な強度分布を有する出射平
行ビームＢに変換することができる。

裏旌五ｌ 第９図は本発明の実施例■によるビームホモジナイザー
を示す。

第９図に示゛すように、この実施例■によるビームホモ
ジナイザーは、第７図に示す実施例■によるビームホモ
ジナイザーのシリンドリカルレンズ対（Ｌｃ、、Ｌｃ＋
′）、（Ｌｃｚ、Ｌｃｚ′）、（Ｌｃ３、Ｌ、′）、（
Ｌｃ４、ＬＣ４’）の代わりに２組のプリズム対（Ｐ、
　、Ｐ、　　′）、（Ｐ？、Ｐ７’）を用い、シリンド
リカルレンズ対（Ｌｃｓ、　Ｌｃｓ　”　）、（Ｌｃｂ
、Ｌｃ６Ｎの代わりにプリズム対（Ｐａｌ、Ｐ８　′）
を用いていることを除いて、実施例■によるビームホモ
ジナイザーと同様な構成を有する。

この実施例■においては、部分透過ミラーＭ１に対して
４５°の角をなす方向から例えば第１０図Ａに示すよう
な不均一強度分布を有する平行ビームＡを入射させる場
合、この入射平行ビームへの強度分布はまず１段目のホ
モジナイザーにより次のようにして均一化される。すな
わち、部分透過ミラーＭ１を透過した後、直角プリズム
Ｐ１により１８０°曲げられた平行ビームはプリズム対
（Ｐ、、Ｐｈ　　′）、（Ｐ、　、Ｐ）　′）に入射し
、これらのプリズム対（Ｐａ、Ｐａ　　′）、（ｐ’ｒ
、Ｐ、′）により既に述べた原理に基づいて強度分布が
移動される。この結果、このプリズム対（Ｐ、、Ｐ、′
）、（ｐｔ、ｐｔ　　′）を通った後の平行ビームの強
度分布は第１０図Ｂに示すようになる。従って、この１
段目のホモジナイザーから出射される平行ビームの強度
分布は、第１０図Ａに示す強度分布と第１０図Ｂに示す
強度分布との重ね合わせにより得られる第１０図Ｃに示
すような強度分布となる。

次に、この第１０図Ｃに示す強度分布を有する平行ビー
ムは、２段目のホモジナイザーにより再び強度分布が均
一化される。この場合、部分透過　　　　′ミラーＭ２
を透過した後、直角プリズムＰ４により１８０°曲げら
れた平行ビームはプリズム対（Ｐｓ　、ｐ、′）に入射
し、このプリズム対（Ｐｓ、Ｐｓ’）により既に述べた
原理に基づいて強度分布が移動される。この結果、この
プリズム対（Ｐ＝、Ｐｉ　　゛）を通った後の平行ビー
ムの強度分布は第１０図りに示すようになる。従って、
こ０２段目のホモジナイザーから出射される平行ビーム
の強度分布は、第１０図Ｃに示す強度分布と第１Ｏ図り
に示す強度分布との重ね合わせにより得られる第１０図
已に示すような均一な強度分布となる。

この実施例■によっても、実施例■と同様な利点がある
。

以上、本発明の実施例につき具体的に説明したが、本発
明は、上述の実施例に限定されるものではなく、本発明
の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。

例えば、強度分布の反転または移動手段を構成するシリ
ンドリカルレンズ対やプリズム対の数は必要に応じて選
定することが可能である。このシリンドリカルレンズ対
やプリズム対の数が多いほど、より均一な強度分布を有
する出射平行ビームＢを得ることができる。また、上述
の実施例Ｉ、■、■においては、ホモジナイザーの段数
が２段であるが、必要に応じてホモジナイザーを３段以
上接続することも可能である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、不均一強度分布を有する入射平行光は
平行度を維持したまま強度分布が均一化されるので、不
均一強度分布を有する平行光を均一強度分布を有する平
行光に変換することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の詳細な説明するための図、第２図Ａは
入射平行ビームの光強度分布の一例を示すグラフ、第２
図Ｂは第２図Ａに示す光強度分布が第１図Ａに示すシリ
ンドリカルレンズ対により反転された後の光強度分布を
示すグラフ、第２図Ｃは第２図Ａに示す光強度分布と第
２図已に示す光強度分布との重ね合わせにより得られる
光強度分布を示すグラフ、第３図Ａは軸対称な光強度分
布の一例を示すグラフ、第３図Ｂは第３図Ａに示す光強
度分布が第１図Ａに示すシリンドリカルレンズ対により
反転された後の光強度分布を示すグラフ、第３図Ｃは第
３図Ａに示す光強度分布と第３図Ｂに示す光強度分布と
の重ね合わせにより得られる光強度分布を示すグラフ、
第４図は第１図に示すビームホモジナイザーのシリンド
リカルレンズ対の代わりにプリズム対を用いたビームホ
モジナイザーを示す図、第５図Ａは入射平行ビームの光
強度分布の一例を示すグラフ、第５図Ｂは第５図Ａに示
す光強度分布が第４図に示すプリズム対により移動され
た後の光強度分布を示すグラフ、第５図Ｃは第５図Ａに
示す光強度分布と第５図Ｂに示す光強度分布との重ね合
わせにより得られる光強度分布を示すグラフ、第６図は
本発明の実施例■によるビームホモジナイザーを示す図
、第７図は本発明の実施例■によるビームホモジナイザ
ーを示す図、第８図Ａは第７図に示すビームホモジナイ
ザーへの入射平行ビームの光強度分布の一例を示すグラ
フ、第８図Ｂは第７図の１段目のホモジナイザーのシリ
ンドリカルレンズ対により反転された後の光強度分布を
示すグラフ１．第８図Ｃは第８図Ａに示す光強度分布と
第８図Ｂに示す光強度分布との重ね合わせにより得られ
る光強度分布を示すグラフ、第８図りは第８図Ｃに示す
光強度分布が第７図の２段目のホモジナイザーのシリン
ドリカルレンズにより反転された後の光強度分布を示す
グラフ、第８図Ｅは第８図Ｃに示す光強度分布と第８図
りに示す光強度分布との重ね合わせにより得られる光強
度分布を示すグラフ、第９図は本発明の実施例■による
ビームホモジナイザーを示す図、第１０図Ａは第９図に
示すビームホモジナイザーへの入射平行ビームの光強度
分布の一例を示すグラフ、第１０図Ｂは第９図の１段目
のホモジナイザーのプリズム対により移動された後の光
強度分布を示すグラフ、第１０図Ｃは第１０図Ａに示す
光強度分布と第１０図Ｂに示す光強度分布との重ね合わ
せられることにより得られる光強度分布を示すグラフ、
第１０図りは第９図の２段目のホモジナイザーのプリズ
ム対により移動された後の光強度分布を示す少ラフ、第
１０図Ｅは第１０図Ｃに示す光強度分布と第１０図りに
示す光強度分布との重ね合わせられることにより得られ
る光強度分布を示すグラフ、第１Ｌ図は従来のビームホ
モジナイザーの一例を示す図である。 図面における主要な符号の説明 Ｍ、ＭＸ　、Ｍｖ　、Ｍ＋　ＳＭｚ　　：部分透過ミラ
ー、Ｌｃ、Ｌｃ　　゛、ＬＣＸ％　Ｌｅｘ’、Ｌｃｖ、
、　Ｌｃｖ’、ＬＣ１〜ＬＣ＆、Ｌｅｔ　′〜Ｌｅｂ　
”　ニジリントリカルレンズ、　　Ｐ　Ｉ　％　Ｐ　２
　、Ｐ　１１％　Ｐ　ＩＹ　：直角プリズム、Ｐ、、Ｐ
、”、Ｐｈ〜Ｐａ、Ｐｂ″〜Ｐ、′ニブリズム、　Ａ：
入射平行ビーム、　Ｂ：出射平行ビーム。 代理人　　　弁理士　杉　浦　正　知 λ 従来例 第１１図 Ｍ酊シか五盪ミラー ノ 続日ノ］σ）１号【土星 第１図 第２図Ａ　　　　　第２図Ｂ ビームホモジナイサー 第４図 第５図Ｃ ａｙ と 実施例■ 第Ｂ図 実方色例■ 第７図 第８図Ｃ第８−図り 第８図Ｅ 実方芭イタリ■ 第９図 第１０図Ｅ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 部分透過ミラーと、平行光の強度分布を上記平行光の平
   行度を維持しつつ上記平行光に対して垂直な所定の直線
   に関して反転または互いに逆方向に移動させるための反
   転または移動手段とを有し、不均一強度分布を有する入
   射平行光を上記部分透過ミラーにより上記部分透過ミラ
   ーで反射される平行光と上記部分透過ミラーを透過する
   平行光とに分割し、上記部分透過ミラーを透過した上記
   平行光の強度分布を上記反転または移動手段により上記
   所定の直線に関して反転または互いに逆方向に移動させ
   、上記強度分布が反転または互いに逆方向に移動された
   上記平行光と上記部分透過ミラーで反射された上記平行
   光とを重ね合わせることにより均一強度分布の平行光を
   得るようにしたことを特徴とする光学装置。