JP2008501224A - 多重rf周波数に応答する電極を有するプラズマプロセッサ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (44)
- ワークピースを加工するための真空プラズマプロセッサであって、
電極を含み、リアクタンスに関連付けられ、電極およびリアクタンスがプラズマ励起場を室内のガスに結合するように構成され、ワークピースを所持するように構成される真空プラズマ加工室と、
Nを少なくとも3の値を有する整数としそれぞれが異なる無線周波数を導出するように構成される無線周波数電力のNの源と、
Nの周波数における電力を無線周波数電力のNの源から電極およびリアクタンスに供給するための回路とを備え、
Nの周波数、Nの周波数のそれぞれにおける電力、電極、リアクタンス、および回路が(a)プラズマがNの周波数のそれぞれに励起され(b)特定の源の無線周波数に関連付けられた周波数以外の周波数においてNの源のそれぞれに電力を実質的に結合するのを防止するように構成され、
特定の源の無線周波数に関連付けられた周波数以外の周波数においてNの源のそれぞれに電力を実質的に結合するのを防止するために、少なくとも26DBの電力減衰が回路によって挿入されるようにNの周波数および回路が構成される。 - 請求項1の真空プラズマプロセッサにおいて、
回路がNの周波数の少なくとも3つを電極に供給するように構成される。 - 請求項2の真空プラズマプロセッサにおいて、
回路がNのインピーダンス整合ネットワークを含み、
各インピーダンス整合ネットワークが源の1つに関連付けられ、各インピーダンス整合ネットワークが(a)関連付けられる源の周波数におけるプラズマ励起電力を電極に結合し(b)他の源の周波数における電力が整合ネットワークに関連付けられた源に実質的に結合するのを防止するために他の源の周波数における電力を十分に減衰するように構成される。 - 請求項3の真空プラズマプロセッサにおいて、
N=3であり、周波数がF1、F2、およびF3であり、F1が最低周波数、F3が最高周波数で、F2がF1とF3との間にあり、第1、第2、および第3周波数がF1、F2、およびF3の隣接対間に少なくとも1オクターブの差があるようなものである。 - 請求項4の真空プラズマプロセッサにおいて、
F2が、F1より少なくとも10高い。 - 請求項1の真空プラズマプロセッサにおいて、
回路がNのインピーダンス整合ネットワークを含み、
各インピーダンス整合ネットワークが源の1つに関連付けられ、各インピーダンス整合ネットワークが(a)関連付けられる源の周波数におけるプラズマ励起電力を電極に結合し(b)他の源の周波数における電力が整合ネットワークに関連付けられた源に実質的に結合するのを防止するために他の源の周波数における電力を十分に減衰させるように構成される。 - 請求項6の真空プラズマプロセッサにおいて、
インピーダンス整合ネットワークのそれぞれがキャパシタンス構成、および整合ネットワークの特定の1つに関連付けられた源の周波数にほぼ同調されたインダクタンスを含む。 - 請求項7の真空プラズマプロセッサにおいて、
無線周波数電力の源が周波数の隣接対の周波数間に少なくとも1オクターブの差が存在するようにある範囲内に可変周波数を有し、さらに、
源の周波数のコントローラを含み、
コントローラが源の周波数において源のそれぞれの出力インピーダンスと源によって駆動されたインピーダンスとの間のインピーダンス整合の程度を源の周波数において決定するためのセンサを含み、
コントローラが周波数のそれぞれにおいて決定されたインピーダンス整合の程度に応答して源の周波数を制御するように構成される。 - 請求項8の真空プラズマプロセッサにおいて、
インピーダンス整合ネットワークのそれぞれが固定直列キャパシタ、可変シャントキャパシタ、およびインダクタンスを含み、
コントローラが周波数のそれぞれにおいて決定されたインピーダンス整合の程度に応答して可変シャントキャパシタの値を制御するように構成される。 - 請求項9の真空プラズマプロセッサにおいて、
N=3であり、周波数が約2MHz、27MHz、および60MHzであり、
2MHzおよび27MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークがそれぞれの源および電極と直列に接続されたインダクタを含み、
60MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークが分散インダクタンスを備え、
2MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークのインダクタが27MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークのインダクタよりかなり大きいインダクタンスを有し、
27MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークのインダクタが60MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークの分散インダクタンスよりかなり大きいインダクタンスを有する。 - 請求項10の真空プラズマプロセッサにおいて、
電力を供給するための回路が27MHzおよび60MHzの源にそれぞれ関連付けられた第1フィルタおよび第2フィルタを含み、
第1フィルタおよび第2フィルタがそれぞれ27MHzの源および60MHzの源からの電力が大きく減衰されて電極に結合されるのを可能にし、一方、2MHzの源からの電力を大きく減衰させ2MHzの源からの電力が27MHzの源および60MHzの源に結合されるのを防止するように構成される。 - 請求項7の真空プラズマプロセッサにおいて、
無線周波数電力の源が固定周波数を有し、インピーダンス整合ネットワークのそれぞれが可変直列キャパシタ、可変シャントキャパシタ、およびインダクタンスを含み、さらに、
可変キャパシタのコントローラをさらに含み、
コントローラが源の周波数において源のそれぞれの出力インピーダンスと源によって駆動されるインピーダンスとの間のインピーダンス整合の程度を源の周波数において決定するためのセンサを含み、
コントローラが周波数のそれぞれにおいて決定されたインピーダンス整合の程度に応答して可変キャパシタを制御するように構成される。 - 請求項12の真空プラズマプロセッサにおいて、
N=3であり、周波数が約2MHz、27MHz、および60MHzであり、
2MHzおよび27MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークがそれぞれの源および電極と直列に接続されたインダクタを含み、
60MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークが分散インダクタンスを含み、
2MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークのインダクタが27MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークのインダクタよりかなり大きいインダクタンスを有し、
27MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークのインダクタが60MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークの分散インダクタンスよりかなり大きいインダクタンスを有する。 - 請求項13の真空プラズマプロセッサにおいて、
電力を供給するための回路が27MHzおよび60MHzの源にそれぞれ関連付けられた第1フィルタおよび第2フィルタを含み、
第1フィルタおよび第2フィルタがそれぞれ27MHzの源および60MHzの源からの電力が大きく減衰されて電極に結合されるのを可能にし、一方、2MHzの源からの電力を大きく減衰させ2MHzからの電力が27MHzの源および60MHzの源に結合されるのを防止するように構成される。 - 請求項7の真空プラズマプロセッサにおいて、
N=3であり、周波数が約2MHz、27MHz、および60MHzであり、
2MHzおよび27MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークがそれぞれの源および電極と直列に接続されたインダクタを含み、
60MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークが分散インダクタンスを含み、
2MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークのインダクタが27MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークのインダクタよりかなり大きいインダクタンスを有し、
27MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークのインダクタが60MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークの分散インダクタンスよりかなり大きいインダクタンスを有する。 - 請求項15の真空プラズマプロセッサにおいて、
電力を供給するための回路が27MHzおよび60MHzの源にそれぞれ関連付けられた第1フィルタおよび第2フィルタを含み、
第1フィルタおよび第2フィルタがそれぞれ27MHzの源および60MHzの源からの電力が大きく減衰されずに電極に結合されるのを可能にし、一方、2MHzの源からの電力を大きく減衰させ2MHzからの電力を27MHzの源および60MHzの源に実質的に結合するのを防止するように構成される。 - 請求項16の真空プラズマプロセッサにおいて、
電力を供給するための回路が2MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークと電極との間に分路して接続された直列共振回路を含み、
直列共振回路が、27MHzおよび60MHzにおいて電極に結合された電力に対して大きな影響を有さず、一方、2MHzの源のインピーダンスを電極に関連付けられた寄生インピーダンスに整合させるのを補助するように、2MHzと27MHzとの間に共振周波数を有する。 - 請求項16の真空プラズマプロセッサにおいて、
電力を供給するための回路が2MHzの源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークと電極との間に分路して接続された直列共振回路を含み、
直列共振回路が約5MHzの共振周波数を有する。 - 請求項7の真空プラズマプロセッサにおいて、
N=3であり、第1、第2、および第3源がそれぞれ第1、第2、および第3周波数を導出するように構成され、
第3周波数が第2周波数より大きく、第2周波数が第1周波数より大きく、
第1、第2、および第3源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークが第1、第2、および第3源および電極にそれぞれ直列結合された第1、第2、および第3インダクタンスを含み、
第1源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークのインダクタンスが第2源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークのインダクタンスよりかなり大きいインダクタンスを有し、
第2源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークのインダクタンスが第3源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークのインダクタンスよりかなり大きいインダクタンスを有する。 - 請求項19の真空プラズマプロセッサにおいて、
電力を供給するための回路がそれぞれ第2源および第3源に関連付けられた第1フィルタおよび第2フィルタを含み、
第1フィルタおよび第2フィルタがそれぞれ第2源および第3源からの電力が大きく減衰されずに電極に結合されるのを可能にし、一方、第1源からの電力を大きく減衰させ第1源からの電力が第2源および第3源に結合されるのを防止するように構成される。 - 請求項20の真空プラズマプロセッサにおいて、
電力を供給するための回路が電極と第1周波数に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークとの間に分路して接続された直列共振回路を含み、
直列共振回路が、第2周波数および第3周波数において電極に結合された電力に対して大きな影響を有さず、一方、第1周波数のインピーダンスを電極に関連付けられた寄生インピーダンスに整合させるのを補助するように、第1周波数と第2周波数との間に共振周波数を有する。 - 請求項19の真空プラズマプロセッサにおいて、
電力を供給するための回路が第1周波数に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークと電極との間に分路して接続された直列共振回路を含み、
直列共振回路が、第2周波数および第3周波数において電極に結合された電力に対して大きな影響を有さず、一方、第1周波数のインピーダンスを電極に関連付けられた寄生インピーダンスに整合させるのを補助するように、第1周波数と第2周波数との間に共振周波数を有する。 - 請求項1の真空プラズマプロセッサにおいて、
N=3であり、第1、第2、および第3源がそれぞれ第1、第2、および第3周波数を導出するように構成され、
第3周波数が第2周波数より大きく、第2周波数が第1周波数より大きく、
電力を供給するための回路が第2源および第3源にそれぞれ関連付けられた第1フィルタおよび第2フィルタを含み、
第1フィルタおよび第2フィルタがそれぞれ第2源および第3源からの電力が大きく減衰されずに電極に結合されるのを可能にし、一方、第1源からの電力を大きく減衰させ第1源からの電力を第2源および第3源に実質的に結合するのを防止するように構成される。 - 請求項23の真空プラズマプロセッサにおいて、
回路が第1、第2、および第3源にそれぞれ関連付けられる第1、第2、および第3インピーダンス整合ネットワークを含み、回路が(a)関連付けられる源の周波数におけるプラズマ励起電力を電極に結合し(b)他の源の周波数における電力が整合ネットワークに関連付けられた源に結合されるのを防止するために他の源の周波数における電力を十分に減衰させるように構成され、
第1フィルタが第2源と第2インピーダンス整合ネットワークとの間に分路して接続された第1インダクタを含み、
第2フィルタが第3源と第3インピーダンス整合ネットワークとの間に分路して接続された第2インダクタを含む。 - 請求項24の真空プラズマプロセッサにおいて、
電力を供給するための回路が第1周波数源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークと電極との間に分路して接続された直列共振回路を含み、
直列共振回路が、第2周波数および第3周波数においてプラズマに結合された電力に対して大きな影響を有さず、一方、第1周波数のインピーダンスを電極に関連付けられた寄生インピーダンスに整合させるのを補助するように、第1周波数と第2周波数との間に共振周波数を有する。 - 請求項1の真空プラズマプロセッサにおいて、
回路がNのインピーダンス整合ネットワークを含み、
各インピーダンス整合ネットワークが源の1つに関連付けられ、各インピーダンス整合ネットワークが(a)関連付けられる源の周波数におけるプラズマ励起電力を電極またはリアクタンスに結合し(b)他の源の周波数における電力が整合ネットワークに関連付けられた源に実質的に結合するのを防止するために他の源の周波数における電力を十分に減衰させるように構成される。 - 請求項26の真空プラズマプロセッサにおいて、
電力を供給するための回路が最低周波数源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークと電極との間に分路して接続された直列共振回路を含み、
直列共振回路が、最低周波数より大きい周波数のいずれかにおいてプラズマに結合された電極に対して大きな影響を有さず、一方、最低周波数のインピーダンスを電極に関連付けられた寄生インピーダンスに整合させるのを補助するように、最低周波数と次の最低周波数との間に共振周波数を有する。 - 請求項27の真空プラズマプロセッサにおいて、
iを1からNの連続する各整数とする源iが無線周波数Fiを導出するように構成され、
各インピーダンス整合ネットワークが直列インダクタンスを含み、
源iに関連付けられたインピーダンス整合ネットワークの直列インダクタンスがインピーダンス整合ネットワーク1から(i−1)のそれぞれの直列インダクタンスより小さい。 - 請求項26の真空プラズマプロセッサにおいて、
iを1からNの連続する各整数とする源iが無線周波数Fiを導出するように構成され、
各インピーダンス整合ネットワークが直列インダクタンスを含み、
源iに関連付けられたインピーダンス整合ネットワークの直列インダクタンスがインピーダンス整合ネットワーク1から(i−1)のそれぞれの直列インダクタンスより小さい。 - 請求項1の真空プラズマプロセッサにおいて、
リアクタンスが第1という名称の電極から間隔をおいて位置する第2電極を備え、
回路が源の少なくとも1つから第1という名称の電極または第2電極に電力を選択的に供給するための切替え構成を含む。 - ワークピースを加工するための真空プラズマプロセッサであって、
電極を含み、リアクタンスに関連付けられ、電極およびリアクタンスがプラズマ励起場を室内のガスに結合するように構成され、ワークピースを所持するように構成される真空プラズマ加工室と、
Nを少なくとも3の値を有する整数としそれぞれが異なる無線周波数を導出するように構成され、iを1からNの連続する各整数とする源iが無線周波数Fiを導出するように構成され、周波数F1が最低周波数、周波数FNが最高周波数であり、周波数がF1からFNまで順番に増加する無線周波数電力のNの源と、
Nの周波数の電力を無線周波数電力のNの源から電極およびリアクタンスに供給するための回路とを備え、
Nの周波数、Nの周波数のそれぞれにおける電力、電極、リアクタンス、および回路が(a)プラズマがNの周波数のそれぞれに励起され(b)特定の源に関連付けられた周波数以外の周波数においてNの源のそれぞれに電力を実質的に結合するのを防止するように構成され、
回路がNのインピーダンス整合ネットワークを含み、各インピーダンス整合ネットワークが源の1つに関連付けられ、各インピーダンス整合ネットワークが(a)関連付けられる源の周波数におけるプラズマ励起電力を電極に結合し(b)他の源の周波数における電力が整合ネットワークに関連付けられた源に実質的に結合するのを防止するために他の源の周波数における電力を十分に減衰させるように構成され、各インピーダンス整合ネットワークが直列インダクタンスを含み、源iに関連付けられたインピーダンス整合ネットワークの直列インダクタンスがインピーダンス整合ネットワーク1から(i−1)のそれぞれの直列インダクタンスより小さい。 - 請求項31の真空プラズマプロセッサにおいて、
電力を供給するための回路が周波数F1を有する源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークと電極との間に分路して接続された直列共振回路を含み、
直列共振回路が、F1より大きい周波数のいずれかにおいてプラズマに結合された電力に対して大きな影響を有さず、一方、F1のインピーダンスを電極に関連付けられた寄生インピーダンスに整合させるのを補助するように、F1とF2との間の周波数を有する。 - 請求項32の真空プラズマプロセッサにおいて、
インピーダンス整合ネットワークのそれぞれが直列キャパシタおよびシャントキャパシタを含む。 - 請求項33の真空プラズマプロセッサにおいて、
電力を供給するための回路が源2からNにそれぞれ関連付けられた(N−1)のフィルタを含み、
(N−1)のフィルタがそれぞれ源2からNの電力が大きく減衰されずに電極またはリアクタンスに結合されるのを可能にし、一方、源1からの電力を大きく減衰させ、源1からの電力が源2からNに結合されるのを防止するように構成される。 - 請求項31の真空プラズマプロセッサにおいて、
電力を供給するための回路が源2からNにそれぞれ関連付けられた(N−1)のフィルタを含み、
(N−1)のフィルタがそれぞれ源2からNの電力が大きく減衰されずに電極またはリアクタンスに結合されるのを可能にし、一方、源1からの電力を大きく減衰させ、源1からの電力が源2からNに結合されるのを防止するように構成される。 - 請求項35の真空プラズマプロセッサにおいて、
フィルタのそれぞれがフィルタに関連付けられた源と源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークとの間に分路して接続されたインダクタを含む。 - 請求項31の真空プラズマプロセッサにおいて、
リアクタンスが第1という名称の電極から間隔をおいて位置する第2電極を備え、
回路が源の少なくとも1つから第1という名称の電極または第2電極に電力を選択的に供給するための切替え構成を含む。 - ワークピースを加工するための真空プラズマプロセッサであって、
電極を含み、リアクタンスに関連付けられ、電極およびリアクタンスがプラズマ励起場を室内のガスに結合するように構成され、ワークピースを所持するように構成される真空プラズマ加工室と、
Nを少なくとも3の値を有する整数としそれぞれが異なる無線周波数を導出するように構成され、iを1からNの連続する各整数とする源iが無線周波数Fiを導出するように構成され、周波数F1が最低周波数、周波数FNが最高周波数であり、周波数がF1からFNまで順番に増加する、無線周波数電力のNの源と、
Nの周波数の電力を無線周波数電力のNの源から電極およびリアクタンスに供給するための回路とを備え、
Nの周波数、Nの周波数のそれぞれにおける電力、電極、リアクタンス、および回路が(a)プラズマがNの周波数のそれぞれに励起され(b)特定の源に関連付けられた周波数以外の周波数においてNの源のそれぞれに電力を実質的に結合するのを防止するように構成され、
回路がNのインピーダンス整合ネットワークを含み、各インピーダンス整合ネットワークが源の1つに関連付けられ、各インピーダンス整合ネットワークが(a)関連付けられる源の周波数におけるプラズマ励起電力を電極に結合し(b)他の源の周波数における電力が整合ネットワークに関連付けられた源に実質的に結合するのを防止するために他の源の周波数における電力を十分に減衰させるように構成され、
電力を供給するための回路が電極と周波数F1を有する源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークとの間に分路して接続された直列共振回路を含み、直列共振回路が、F1より大きい周波数のいずれかにおいてプラズマに結合された電力に対して大きな影響を有さず、一方、周波数F1を有する源のインピーダンスを電極に関連付けられた寄生インピーダンスに整合させるのを補助するように、F1とF2との間の周波数を有する。 - 請求項38の真空プラズマプロセッサにおいて、
電力を供給するための回路が源2からNにそれぞれ関連付けられた(N−1)のフィルタを含み、
(N−1)のフィルタがそれぞれ源2からNの電力が大きく減衰されずに電極またはリアクタンスに結合されるのを可能にし、一方、源1からの電力を大きく減衰させ、源1からの電力が源2からNに結合されるのを防止するようにそれぞれ構成される。 - 請求項38の真空プラズマプロセッサにおいて、
フィルタのそれぞれがフィルタに関連付けられた源と源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークとの間に分路して接続されたインダクタを含む。 - ワークピースを加工するための真空プラズマプロセッサであって、
電極を含み、リアクタンスに関連付けられ、電極およびリアクタンスがプラズマ励起場を室内のガスに結合するように構成され、ワークピースを所持するように構成される真空プラズマ加工室と、
Nを少なくとも3の値を有する整数としそれぞれが異なる無線周波数を導出するように構成され、iを1からNの連続する各整数とする源iが無線周波数Fiを導出するように構成され、周波数F1が最低周波数、周波数FNが最高周波数であり、周波数がF1からFNまで順番に増大する無線周波数電力のNの源と、
Nの周波数の電力を無線周波数電力のNの源から電極およびリアクタンスに供給するための回路とを備え、
Nの周波数、Nの周波数のそれぞれにおける電力、電極、リアクタンス、および回路が(a)プラズマがNの周波数のそれぞれに励起され(b)特定の無線周波数電力源に関連付けられた周波数以外の周波数においてNの源のそれぞれに電力を実質的に結合するのを防止するように構成され、
回路がNのインピーダンス整合ネットワークを含み、各インピーダンス整合ネットワークが源の1つに関連付けられ、各インピーダンス整合ネットワークが(a)関連付けられる源の周波数におけるプラズマ励起電力を電極に結合し(b)整合ネットワークに関連付けられた源に結合された他の源の周波数における電力を実質的に結合するのを防止するために他の源の周波数における電力を十分に減衰させるように構成され、
電力を供給するための回路が源2からNにそれぞれ関連付けられた(N−1)のフィルタを含み、(N−1)のフィルタが源2からNの電力が大きく減衰されずに電極またはリアクタンスに結合されるのを可能にし、一方、源1からの電力を大きく減衰させ、源1からの電力が源2からNに結合されるのを防止するように構成される。 - 請求項41の真空プラズマプロセッサにおいて、
フィルタのそれぞれがフィルタに関連付けられた源と源に関連付けられたインピーダンス整合ネットワークとの間に分路して接続されたインダクタを含む。 - ワークピースを加工するための真空プラズマプロセッサであって、
電極を含み、リアクタンスに関連付けられ、電極およびリアクタンスがプラズマ励起場を室内のガスに結合するように構成され、ワークピースを所持するように構成される真空プラズマ加工室と、
Nを少なくとも3の値を有する整数としそれぞれが異なる無線周波数を導出するように構成され、iを1からNの連続する各整数とする源iが無線周波数Fiを導出するように構成され、周波数F1が最低周波数、周波数FNが最高周波数であり、周波数がF1からFNまで順番に増加する無線周波数電力のNの源と、
Nの周波数の電力を無線周波数電力のNの源から電極およびリアクタンスに供給するための回路と、
(a)Nの源からNの整合ネットワークを介して電極に、または、(b)jを1からkの任意の整数およびmを1から(N−k)の任意の整数として(i)kの源のjから整合ネットワークのjを介してリアクタンスに、および(ii)源のmから整合ネットワークのmを介して電極に電力を供給するための切替え構成とを備え、
Nの周波数、Nの周波数のそれぞれにおける電力、電極、リアクタンス、および回路が(a)プラズマがNの周波数のそれぞれに励起され(b)特定の無線周波数電力源に関連付けられた周波数以外の周波数において電力をNの源のそれぞれに実質的に結合するのを防止するように構成され、
回路がkをNより小さい整数とする(N+k)のインピーダンス整合ネットワークを含み、Nのインピーダンス整合ネットワークのそれぞれが源の1つに関連付けられ、Nのインピーダンス整合ネットワークのそれぞれが(a)関連付けられる源の周波数におけるプラズマ励起電力を電極に結合し(b)他の源の周波数における電力を実質的に結合するのを防止するために他の源の周波数における電力を十分に減衰させるように構成され、kのインピーダンス整合ネットワークのそれぞれが源のkの1つに関連付けられ、kのインピーダンス整合ネットワークのそれぞれが(a)関連付けられる周波数のプラズマ励起電力をリアクタンスに結合し(b)他の(k−1)の源の周波数における電力を整合ネットワークに関連付けられた源に実質的に結合するのを防止するために他の(k−1)の源の周波数の電力を十分に減衰させるように構成される。 - 請求項43の真空プラズマプロセッサにおいて、
N=3、j=k=1、m=2である。
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