JP2008302481A - 平面研削盤、スピンドル装置及び平面研削方法 - Google Patents

Abstract

【課題】スルーフィード研削で生じるピンチアウトを減少し、また砥石の摩耗を削減できる平面研削盤、スピンドル装置及び平面研削方法を提供する。
【解決手段】スピンドル５廻りに回転する砥石７によりワークをスルーフィード研削するに際して、弾性保持手段２４により砥石に対するワークの出入口方向と略直交する方向のピボット２２廻りにスピンドルを傾斜可能に保持しておき、砥石の入口側に研削負荷がかかった場合に、その偏荷重による砥石の軸変位と、砥石の出口変位とが略同じになるように、偏荷重により付勢手段に抗してピボット廻りにスピンドルを傾斜させ、軸変位が小さくなる加工終了直前では弾性保持手段によりピボット廻りに砥石を戻す。
【選択図】図１

Description

本発明は、ワークをスルーフィード研削法により平面研削する平面研削盤及び平面研削方法に関し、スルーフィード研削で生じるピンチアウトを減少し砥石摩耗を削減できるようにしたものである。

ワークをスルーフィード研削法により平面研削する両頭平面研削盤は、既に多くの技術が提案されている（特許文献１、２）。この両頭平面研削盤は、スピンドル廻りに回転する一対の砥石間に、キャリアの円周上のポケットに保持されたワークを送りながら、一対の砥石によりワークの両面をスルーフィード研削法により同時に研削を行うようになっている。

またワークの両面を同時に仕上げ研削する仕上げ装置には、例えば同一軸心上に配置された一対のスピンドルの先端に、相対向する各砥石を全方向にフローティング可能に装着しておき，この一対の砥石によりワークの両面を同時に研削して仕上げを行うようにしたものがある（特許文献３）。
特開平５−８１６１号公報 特開２００５−３２９５２２号公報 実開昭６３−１２４４６１号公報

両頭平面研削盤では、従来からワークの研削時の研削負荷に十分に抗し得るように、スピンドルを含むスピンドルユニット、本体フレーム等の剛性を確保する様々な対策が講じられている。しかし、研削負荷による砥石の逃げ方向の軸変位を完全に防止することはできない。

このためスルーフィード研削中の状態を分析すると、ワークの連続加工中は研削負荷が大きいため、その研削負荷により砥石の逃げ方向に一定の軸変位が生じ、また研削負荷が急激に小さくなる連続加工の終了直前は、その軸変位がなくなる。そのため、この軸変位の有無によってワークの出口側の一対の砥石間の間隔が微妙に変化して、最後に加工されたワークの厚さが薄くなる傾向にある。

また特許文献３の技術では砥石が全方向に傾斜するが、砥石はワークの被研削面に追従するだけである。このため特許文献３の技術を両頭平面研削盤に適用しても、スピンドルの先端で砥石がワークに追従してフローティングするだけであって、スルーフィード研削で生じるワークのピンチアウトの減少、又はワークの加工精度の向上の問題は解消できない。

本発明は、従来のこのような課題に鑑み、スルーフィード研削で生じるピンチアウトを減少し、また砥石の摩耗を削減できる平面研削盤、スピンドル装置及び平面研削方法を提供することを目的とする。

本発明に係る平面研削盤は、スピンドル廻りに回転する砥石によりワークをスルーフィード研削する平面研削盤において、前記砥石に対する前記ワークの出入口方向と交差する方向のピボット廻りに前記砥石を傾斜可能に保持する弾性保持手段を備え、前記ピボットは前記砥石の入口側に研削負荷がかかった場合の偏荷重により前記砥石が前記弾性保持手段に抗して傾斜して前記砥石に逃げ方向の入口変位及び逆方向の出口変位が生じたときに、その偏荷重による前記砥石の軸変位と前記出口変位とが略同じとなる位置に設定されていることを特徴とするものである。

また別の本発明に係るスピンドル装置は、砥石が固定されたスピンドルを回転自在に保持するインナーケースと、該インナーケースが所定の隙間を置いて内嵌するスピンドルケースとを備え、前記砥石に対するワークの出入口方向と交差する方向のピボット廻りに前記砥石を傾斜可能に保持する弾性保持手段を、前記スピンドルケースと前記インナーケースとの間に設け、前記ピボットは前記砥石の入口側に研削負荷がかかった場合の偏荷重により前記砥石が前記弾性保持手段に抗して傾斜し、前記砥石に逃げ方向の入口変位及び逆方向の出口変位が生じたときに、その偏荷重による前記砥石の軸変位と前記出口変位とが略同じとなる位置に設定されていることを特徴とするものである。

更に別の本発明に係る平面研削方法は、スピンドル廻りに回転する砥石によりワークをスルーフィード研削する平面研削方法において、弾性保持手段により前記砥石に対する前記ワークの出入口方向と略直交する方向のピボット廻りに前記スピンドルを傾斜可能に保持しておき、前記砥石の入口側に研削負荷がかかった場合に、その偏荷重による前記砥石の軸変位と、前記砥石の出口変位とが略同じになるように、前記偏荷重により前記弾性保持手段に抗して前記ピボット廻りに前記スピンドルを傾斜させ、前記軸変位が小さくなる加工終了直前で前記弾性保持手段により前記ピボット廻りに前記砥石を戻すことを特徴とするものである。

本発明では、連続研削中及び研削終了直前の何れにおいても砥石の出口変位が一定するためスルーフィード研削で生じるワークのピンチアウトを減少でき、しかも砥石の逃げ方向の入口変位により砥石摩耗を削減できる利点がある。

以下、本発明の各実施例を図面に基づいて詳述する。図１〜図１０は本発明を縦型両頭平面研削盤に具現化した第１の実施例を例示する。この縦型両頭平面研削盤は、図７に示すように基台１と、基台１上に固定された本体フレーム２と、本体フレーム２の前に配置された上下一対のスピンドルユニット３，４とを備え、各スピンドルユニット３，４にはスピンドル５，６廻りに回転する砥石７，８が上下に相対向して装着されている。

上側のスピンドルユニット３は剛性可変式であって、本体フレーム２に対して昇降可能に設けられている。各スピンドル５，６はプーリ９，１０、ベルト等の巻き掛け伝動手段を介して本体フレーム２側の駆動源により駆動される。なお、下側のスピンドルユニット４も本体フレーム２に対して昇降可能である。

上下の砥石７，８間には、キャリア１１が配置されている。キャリア１１は図８に示すように、略同一円周上に略等間隔をおいて配置された複数のポケット１２を有し、スルーフィード研削時に、各ポケット１２により保持されたワーク１３を砥石７，８に対して入口１４側から出口１５側へと送るようになっている。

上側のスピンドルユニット３は図１〜図３に示すように、本体フレーム２に適宜手段を介して上下動自在に支持されたスピンドルケース１７と、下端に砥石７が着脱自在に装着されたスピンドル５と、上下方向に複数のベアリング１８〜２０を介してスピンドル５を回転自在に保持し且つスピンドルケース１７に周方向の全周に所定の隙間をおいて内嵌されたインナーケース２１と、砥石７の上側近傍に配置され且つ入口１４側と出口１５側間とを結ぶ出入口方向（例えば左右方向）と略直交する方向（例えば前後方向）のピボット２２廻りにインナーケース２１を傾斜可能に保持する弾性保持手段２４と、スピンドルケース１７とインナーケース２１との間の出入口方向の両側に設けられ且つ弾性保持手段２４の剛性を調整する剛性調整手段２５と、インナーケース２１をスピンドルケース１７に対してピボット２２の軸心方向（前後方向）の略中心に弾性的に保持する中心保持手段２６と、スピンドル５とその上端のプーリ９との間に介装された撓みカップリング２７とを備えている。

インナーケース２１は下端部にフランジ部２８を有し、このフランジ部２８の上面とスピンドルケース１７の下端面との間に弾性保持手段２４がスピンドル５の軸心方向に介装されている。弾性保持手段２４はスピンドルケース１７、インナーケース２１に対して略同心状に配置された周方向の弾性スペーサ２９を備えている。

弾性スペーサ２９は図４、図５にも示すように、スピンドルケース１７とインナーケース２１との間に外周側から着脱できるように周方向に２個（複数個）に分割されており、その２個の円弧状の弾性スペーサ２９がインナーケース２１を取り囲むように全体としてリング状に配置されている。

各弾性スペーサ２９には、ピボット２２に対応するピボット対応部３０を除いて、そのピボット２２に対する入口１４側及び出口１５側の両側に周方向のスリット３１が形成されている。従って、ピボット対応部３０は剛体であり、その両側では上縁部３２と下縁部３３とが上下に弾性変形してスリット３１が拡縮するようになっている。

各弾性スペーサ２９の上縁部３２及び下縁部３３は、図６に示すように、その下側から挿通されたボルト（固定具）３４，３５により、スピンドルケース１７及びインナーケース２１のフランジ部２８に着脱自在に固定されている。

つまり、弾性スペーサ２９の下縁部３３には周方向に略等間隔をおいてねじ孔３６と挿通孔３７とが交互に形成され、また上縁部３２には各挿通孔３７に対応して取り付け孔３８が形成されている。フランジ部２８には下縁部３３のねじ孔３６に対応する取り付け孔３９と、挿通孔３７に対応する挿通孔４７とが周方向に交互に形成されている。

そして、上縁部３２は挿通孔３７，４７から取り付け孔３８に挿通されたボルト３４によりスピンドルケース１７に下側から固定され、また下縁部３３はフランジ部２８の取り付け孔３９から挿通され且つねじ孔３６に螺合するボルト３５によりインナーケース２１のフランジ部２８に下側から固定されている。

従って、インナーケース２１のフランジ部２８とスピンドルケース１７との間の間隔をあけて弾性スペーサ２９をスピンドルケース１７に固定し、その後にインナーケース２１をスピンドルケース１７内に挿入して弾性スペーサ２９をインナーケース２１に固定することにより、弾性スペーサ２９が２個に分割されていることと相俟って、弾性スペーサ２９を容易に着脱できる。

剛性調整手段２５はスピンドルケース１７の上端部に出入口方向に対向して一対配置されている。この各剛性調整手段２５は、図３に示すように、スピンドルケース１７のねじ孔４０に出入口方向に進退自在に螺合されたバネケース４１と、このバネケース４１に出入口方向に挿通され且つ当接片４２を介してインナーケース２１に当接する押しボルト４３と、バネケース４１内に設けられ且つ押しボルト４３をインナーケース２１側に付勢する剛性調整バネ４４とを備えている。

そして、この各剛性調整手段２５は、バネケース４１を出入り口方向に進退させることによってスピンドル５を略中央に配置可能であり、また剛性調整バネ４４をバネ定数の異なるものに交換することによって、弾性スペーサ２９の弾性（剛性）を補助的に調整可能である。

なお、剛性調整バネ４４は、バネ受け片４５、ダブルナット４６を介して押しボルト４３を付勢するようになっており、ダブルナット４６を廻すことによりそのバネ圧を調整可能である。また剛性調整バネ４４はコイルバネ、皿バネの何れでもよい。剛性調整手段２５はバネケース４１を外側から着脱可能であり、スピンドルユニット３の外部においてその剛性調整バネ４４を交換可能である。

中心保持手段２６は、剛性調整手段２５の下側近傍で上側のベアリング２０に略対応してインナーケース２１とスピンドルケース１７のブラケット５０との間に前後方向に設けられている。そして、この中心保持手段２６は、図３に示すように、ブラケット５０に前後方向に位置調整自在に固定されたバネケース５１と、このバネケース５１に挿通され且つスピンドルケース１７の孔５２を貫通してインナーケース２１に螺合された押し引きボルト５３と、中間壁の両側でバネケース５１内に設けられ且つ押し引きボルト５３を介してインナーケース２１を前後方向に付勢する一対の保持バネ５４，５５とを備えている。なお、中心保持手段２６の取り付け位置は、剛性調整手段２５の高さ近傍であればよく、ベアリング２０の対応位置に限定されるものではない。

バネケース５１はブラケット５０の両側で外周に螺合されたナット５６，５７により前後に位置調整可能である。また保持バネ５４，５５はバネ受け片５８，５９、ダブルナット６０，６１を介して押し引きボルト５３を前後方向に付勢するようになっており、ダブルナット６０，６１を回動操作することにより、保持バネ５４，５５のバネ圧を調整可能である。押し引きボルト５３には、スピンドルケース１７の孔５２内で緩み止めナット６２が螺合されている。保持バネ５４，５５はコイルバネ、皿バネの何れでもよい。

スピンドルケース１７の上端には円筒の固定シャフト６５が設けられ、この固定シャフト６５の外周にベアリング６６を介してプーリ９が固定されている。スピンドル５の上端部には、固定シャフト６５の内側で伝動フランジ６７が固定されている。伝動フランジ６７はプーリ９の上側に対応するフランジ部６８を有し、このフランジ部６８が周方向に複数個の撓みカップリング２７を介してプーリ９に連結されている。

撓みカップリング２７は、フランジ部６８に嵌合された弾性体６９と、この弾性体６９を貫通してプーリ９に固定されたボルト７０とを有する。このため研削負荷によりスピンドル５がピボット２２廻りに傾斜しても、プーリ９から撓みカップリング２７、伝動フランジ６７を介してスピンドル５へと動力を伝達可能である。

上記構成の両頭平面研削盤によりワーク１３をスルーフィード研削するに際しては、キャリア１１に保持されたワーク１３を上下一対の砥石７，８間に通して連続的に送りながら、スピンドル５，６廻りに回転する一対の砥石７，８によりワーク１３の両面を研削する。

この場合、ワーク１３の連続加工中等により研削負荷が砥石７の入口１４側にかかると、図９（Ａ）に示すように、その偏荷重Ｆにより上側のスピンドルユニット３が上昇して砥石７の逃げ方向に軸変位ｃが生じる一方、インナーケース２１、スピンドル５が弾性保持手段２４、剛性調整手段２５に抗してピボット２２廻りに傾斜して、砥石７に逃げ方向の入口変位ａ及び逆方向の出口変位ｂが生じる。そして、連続加工の終了直前になると、研削負荷が急激に小さくなって略零に近づくため、図９（Ｂ）に示すように、インナーケース２１、スピンドル５が弾性保持手段２４、剛性調整手段２５の付勢によりピボット２２廻りに戻る。

ここでピボット２２は、次の手法により砥石７の軸変位ｃと、砥石７の出口１５側の出口変位ｂとが略同じになる位置を算出してその位置に設定しているため、ワーク１３の連続加工中、連続加工終了直前を問わず、砥石７，８の出口１５の変位を常に零に保つことができ、ワーク１３のピンチアウトを減少できる。

即ち、上側のスピンドルユニット３は、インナーケース２１が弾性保持手段２４、剛性調整手段２５に抗してスピンドルケース１７内で傾斜可能な剛性可変式であり、ワーク１３の研削負荷を砥石７の入口１４側にかけた場合、その偏荷重Ｆにより入口１４側の上昇方向（逃げ方向）の変位である入口変位ａ、出口１５側の加工方向の変位である出口変位ｂ、及びスピンドルユニット３，４等の全体の上昇方向の軸変位ｃが夫々生じる（図９（Ａ）参照）。

軸変位ｃは計算又は実測により求めるが、本体フレーム２その他の剛性によって決まる研削盤の機械固有の値である。また入口変位ａは研削性能、砥石７に与えるダメージを考慮して、最適な変位を経験データから求めて決定する。そして、図１０に示すように軸変位ｃと出口変位ｂとが略一致するピボット２２の位置を決定し、それに合わせて弾性保持手段２４の弾性スペーサ２９の形状、構造を決定する。

このようにすれば、入口変位ａ、出口変位ｂ、軸変位ｃは研削負荷の大小に比例するため、研削負荷が変動しても、出口変位ｂを零のままに維持することが可能である。例えば、ワーク１３の連続加工中は軸変位ｃ＞０、出口変位ｂ＜０となる。しかし、出口変位ｂ＝軸変位ｃとなるようにピボット２２を設定しているので、砥石７の入口１４はａ＋ｃ＞０となるが、砥石７の出口１５はｂ＋ｃ＝０となる（図９（Ａ）参照）。

またワーク１３の連続加工終了の直前では研削負荷が零に近づくため、砥石７の軸変位ｃ＝０となると共に、インナーケース２１、スピンドル５，６が弾性保持手段２４、剛性調整手段２５によりピボット２２廻りに戻されて出口変位ｂ＝０となり、砥石７の出口１５はｂ＋ｃ＝０となる（図９（Ｂ）参照）。

従って、図９（Ａ）（Ｂ）に示すように、連続加工中と連続加工終了直前とで砥石７の出口１５側に差がないことから、ワーク１３のピンチアウトを大幅に減少することができる。

またワーク１３のスルーフィード研削中は、連続加工終了直前を除いて砥石７の入口１４側に入口変位ａが生じるため（図９（Ａ）参照）、砥石７の入口１４側が上へ逃げることにより砥石７，８のダメージが少なくなり、砥石７の摩耗の減少を達成することができる。

しかも構造的には、スリット３１間にピボット対応部３０を有する弾性スペーサ２９を介してインナーケース２１の下端部をスピンドルケース１７の下端部に支持しており、その弾性スペーサ２９の形状、構造によりピボット２２の位置を設定しているので、インナーケース２１、即ちスピンドル５，６の下端部を安定的に支持できると共に、ピボット２２の位置が略一定で安定したものとなり、しかも構造的に簡単にできる。

また弾性スペーサ２９は二つ割り構造であり、スリット３１の上下の上縁部３２及び下縁部３３を下側からボルトによりスピンドルケース１７及びインナーケース２１に着脱自在に固定しているので、リング状の弾性スペーサ２９を使用する場合のようにスピンドルユニット３の全体を分解する必要がなく、一部分を分解することによって容易に弾性スペーサ２９を着脱することができる。

更に弾性保持手段２４の弾性スペーサ２９とは別に、上部側に出入口方向に対向して一対の剛性調整手段２５を設けているため、この剛性調整手段２５により各種の調整が可能である。例えば弾性スペーサ２９の剛性（弾性）は一定であるが、剛性調整手段２５のにより、ピボット２２廻りに傾斜するときの剛性を強くし又は弱くする等、適宜調整することができる。

また弾性スペーサ２９の剛性（弾性）はコンピュータによるＦＥＭ解析で計算して求めるが、計算値と実測値とが異なるような場合でも、剛性調整手段２５の剛性調整によって、計算値と実測値との差を補正することができる。また入口変位ａの値はワーク１３の種類、使用する砥石７，８により変化するが、この場合にも剛性調整手段２５により剛性調整を行うことにより最適な研削が可能である。

剛性調整手段２５のバネ剛性（バネ定数）を調整することはできない。しかし、剛性調整手段２５にバネ定数の異なるバネを使用することによってその調整を行うことができる。この場合にも剛性調整手段２５が外部から分解組み立てが可能であるため、そのバネの交換も外部から容易に行うことができる。

インナーケース２１の上部側は出入口方向の一対の剛性調整手段２５を介してスピンドルケース１７に対して支持しているが、スピンドルケース１７とインナーケース２１との間に中心保持手段２６があり、この中心保持手段２６により両者の前後方向の中心を略一致させているため、インナーケース２１がスピンドルケース１７内でピボット２２廻りに傾斜するにも拘わらず、インナーケース２１の前後の振れ等を容易に防止できる。

図１１は本発明の第２の実施例を例示する。弾性スペーサ２９は、図１１（Ａ）に示すようにリング状に構成したものでもよいし、図１１（Ｂ）に示すように軸心方向に複数個のスリット３１を設けたものでもよい。

なお、弾性スペーサ２９は、スリット３１に代えて、ピボット対応部３０以外の部分に多数の内外方向に貫通する丸孔、長孔等を形成したもの、周方向に位置を代えて上下両側に多数の凹部を形成したものでもよい。

従って、弾性スペーサ２９は、インナーケース２１がピボット２２廻りに傾斜する方向にピボット対応部３０の両側が弾性変形可能な構成であれば十分であり、第１の実施例に例示の構造、形状に限定されるものではない。また弾性スペーサ２９のピボット２２の位置、弾性（剛性）等は、ワーク１３の研削条件等に応じて適宜変更すればよい。

図１２は本発明の第３の実施例を例示する。ピボット対応部３０を有する弾性スペーサ２９は、図１２（Ａ）（Ｂ）に示すように、その内外方向の中間に周方向のスリット３１を形成し、これをスピンドルケース１７とインナーケース２１との間に直径方向に介装してもよい。

図１３は本発明の第４の実施例を例示する。インナーケース２１は下端部で軸によって構成されたピボット２２によりスピンドルケース１７に傾斜可能に枢着されている。そして、スピンドルケース１７の上部側には、インナーケース２１を傾斜可能に保持する弾性保持手段２４が出入口方向の両側に設けられている。なお、この弾性保持手段２４は、バネ圧を調整可能である。

このようにインナーケース２１を固定のピボット２２でスピンドルケース１７に枢着しても、そのピボット２２の位置を第１の実施例と同様に決定することにより、同様に実施可能である。従って、弾性保持手段２４、ピボット２２の関係は、第１の実施例の弾性スペーサ２９によるものの他、種々の変更が可能である。

以上、本発明の各実施例について詳述したが、各実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。例えば、実施例では、縦型両頭平面研削盤を例示しているが、横型両頭平面研削盤でも同様に実施可能である。また実施例の剛性可変式のスピンドルユニット３は、対向二軸型の他、一軸型でも使用可能である。

弾性保持手段２４の弾性スペーサ２９は、通常、上縁部３２の上面と下縁部３３の下面とが自由状態において平行なものを使用する。しかし、スピンドルケース１７とインナーケース２１との間に組み込んだ状態において、ピボット２２の両側で両者を接近又は離間方向に付勢する構造のものでもよい。

更に剛性調整手段２５として剛性調整バネ４４を備えたバネ式のものを例示しているが、他のゴム等の弾性体を使用してもよいし、エアシリンダ等の圧縮性流体圧シリンダ等も使用可能である。弾性保持手段２４も同様である。また弾性保持手段２４として弾性スペーサ２９を使用する場合にも、そのスペーサの本数、長さ、方向を変更することにより、ピボット２２の位置を任意に変更可能である。

第１の実施例では出入口方向の両側に略対称に剛性調整手段２５を設けているが、この剛性調整手段２５は研削負荷によりインナーケース２１が傾斜する側のみでもよい。またインナーケース２１は、スピンドルケース１７又は他の案内手段により、ピボット２２廻りに傾斜するように構成してもよい。その場合には、中心保持手段２６は省略できる。

バネには多種類のものがあるが、剛性調整バネ４４、保持バネ５４，５５には、皿バネ、コイルバネ等の他、どのような種類のバネを使用してもよい。

本発明の第１の実施例を示す上側のスピンドルユニットの一部破断正面図である。 同上側のスピンドルユニットの縦断面図である。 同上側のスピンドルユニットの横断面図である。 同弾性スペーサの底面図である。 同弾性スペーサの底面側の斜視図である。 同上側のスピンドルユニットの要部の拡大断面図である。 同縦型両頭平面研削盤の概略図である。 同研削状態の説明図である。 同研削状態の説明図である。 同ピボット位置の説明図である。 （Ａ）〜（Ｃ）は本発明の第２の実施例を示す斜視図である。 （Ａ）は本発明の第３の実施例を示す横断面図、（Ｂ）は同拡大断面図である。 発明の第４の実施例を示す縦断面図である。

符号の説明

５，６ スピンドル
７，８ 砥石
１３ ワーク
１４ 入口
１５ 出口
１７ スピンドルケース
２１ インナーケース
２２ ピボット
２４ 弾性保持手段
２５ 剛性調整手段
２６ 中心保持手段
２９ 弾性スペーサ
３１ スリット
ａ 入口変位
ｂ 出口変位
ｃ 軸変位

Claims (8)

1. スピンドル廻りに回転する砥石によりワークをスルーフィード研削する平面研削盤において、前記砥石に対する前記ワークの出入口方向と交差する方向のピボット廻りに前記砥石を傾斜可能に保持する弾性保持手段を備え、前記ピボットは前記砥石の入口側に研削負荷がかかった場合の偏荷重により前記砥石が前記弾性保持手段に抗して傾斜し、前記砥石に逃げ方向の入口変位及び逆方向の出口変位が生じたときに、その偏荷重による前記砥石の軸変位と前記出口変位とが略同じとなる位置に設定されていることを特徴とする平面研削盤。
2. 前記砥石が固定された前記スピンドルを回転自在に保持するインナーケースをスピンドルケースに所定の隙間を置いて内嵌し、前記スピンドルケースと前記インナーケースとの間に前記弾性保持手段を設けたことを特徴とする請求項１に記載の平面研削盤。
3. 前記弾性保持手段は前記砥石の近傍で前記スピンドルケースと前記インナーケースとの間に軸心方向に介在された弾性スペーサを略同心状に備え、該弾性スペーサは前記砥石の入口側と出口側に対応して周方向にスリットが形成され、前記両スリット間が前記ピボットとなっていることを特徴とする請求項２に記載の平面研削盤。
4. 前記弾性スペーサは外周側から着脱可能に周方向に複数個に分割されていることを特徴とする請求項３に記載の平面研削盤。
5. 前記スピンドルケースと前記インナーケースとの間の前記出入口方向の両側に、両者間の剛性を調整する剛性調整手段を備えたことを特徴とする請求項２〜４の何れかに記載の平面研削盤。
6. 前記インナーケースを前記スピンドルケースに対して前記ピボットの軸心方向の略中心に弾性的に保持する中心保持手段を備えたことを特徴とする請求項５に記載の平面研削盤。
7. 砥石が固定されたスピンドルを回転自在に保持するインナーケースと、該インナーケースが所定の隙間を置いて内嵌するスピンドルケースとを備え、前記砥石に対するワークの出入口方向と交差する方向のピボット廻りに前記砥石を傾斜可能に保持する弾性保持手段を、前記スピンドルケースと前記インナーケースとの間に設け、前記ピボットは前記砥石の入口側に研削負荷がかかった場合の偏荷重により前記砥石が前記弾性保持手段に抗して傾斜し、前記砥石に逃げ方向の入口変位及び逆方向の出口変位が生じたときに、その偏荷重による前記砥石の軸変位と前記出口変位とが略同じとなる位置に設定されていることを特徴とするスピンドル装置。
8. スピンドル廻りに回転する砥石によりワークをスルーフィード研削する平面研削方法において、弾性保持手段により前記砥石に対する前記ワークの出入口方向と略直交する方向のピボット廻りに前記スピンドルを傾斜可能に保持しておき、前記砥石の入口側に研削負荷がかかった場合に、その偏荷重による前記砥石の軸変位と、前記砥石の出口変位とが略同じになるように、前記偏荷重により前記弾性保持手段に抗して前記ピボット廻りに前記スピンドルを傾斜させ、前記軸変位が小さくなる加工終了直前で前記弾性保持手段により前記ピボット廻りに前記砥石を戻すことを特徴とする平面研削方法。

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