JP2008300535A - レーザ装置および冷却液の電気抵抗の測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ装置は、レーザ媒質32と、当該レーザ媒質32を励起してレーザ光Lを発生させる励起光源31と、レーザ媒質32および励起光源31を収容するとともに、冷却液Wが充填された励起チャンバ35と、を備えている。励起チャンバ35には、励起チャンバ35から排出された冷却液Wを再び励起チャンバ35に戻す循環ライン1が連結され、この循環ライン1には、冷却液Wの電気抵抗を測定する測定プローブ10が設置されている。レーザ装置は、測定プローブ10を洗浄するプローブ洗浄手段61,21,11も備えている。
【選択図】図1
Description
当該レーザ媒質を励起してレーザ光を発生させる励起光源と、
レーザ媒質および励起光源を収容するとともに、冷却液が充填された励起チャンバと、
励起チャンバに連結され、励起チャンバから排出された冷却液を再び励起チャンバに戻す循環ラインと、
循環ラインに設置され、冷却液の電気抵抗を測定する測定プローブと、
測定プローブを洗浄するプローブ洗浄手段と、
を備えたことを特徴とするレーザ装置である。
当該流量調整装置によって、循環ライン内を流れる冷却液の流速を一定周期で増減させることを特徴とするレーザ装置である。
測定プローブで測定された電気抵抗の値に基づいて流量調整装置を制御する流量制御部、をさらに備え、
流量制御部は、測定プローブで測定された電気抵抗の値が異常値である場合に、流量調整装置によって循環ライン内を流れる冷却液の流量を増加または増減させることを特徴とするレーザ装置である。
測定プローブが、前記流入口または前記流出口の正面に配置されていることを特徴とするレーザ装置である。
流量制御部は、循環ライン内を流れる冷却液の流量を所定時間の間増加させた状態で維持させた後、または、冷却液の流量を所定時間の間増減させた後、測定プローブによって冷却液の電気抵抗を測定させ、当該電気抵抗の値が正常値に戻った場合には、測定プローブが汚れていたと判断し、その旨を判定出力部に出力させ、前記電気抵抗の値が正常値に戻らなかった場合において、測定プローブで測定される電気抵抗の値の変化が閾値以下の場合には、測定プローブは汚れておらず冷却液が汚れていると判断するとともに、その旨を判定出力部に出力させ、測定プローブで測定される電気抵抗の値の変化が閾値より大きい場合には、冷却液が汚れている、または測定プローブが汚れている若しくは測定プローブが故障していると判断するとともに、その旨を判定出力部に出力させることを特徴とするレーザ装置である。
エネルギー制御部が、測定プローブで測定された電気抵抗の値が異常値である場合に、エネルギー付与手段によって測定プローブにエネルギーを付与させることを特徴とするレーザ装置である。
エネルギー制御部は、所定時間の間、エネルギー付与手段によって測定プローブにエネルギーを付与させた後、測定プローブによって冷却液の電気抵抗を測定させ、当該電気抵抗の値が正常値に戻った場合には、測定プローブが汚れていたと判断し、その旨を判定出力部に出力させ、前記電気抵抗の値が正常値に戻らなかった場合において、測定プローブで測定される電気抵抗の値の変化が閾値以下の場合には、測定プローブは汚れておらず冷却液が汚れていると判断するとともに、その旨を判定出力部に出力させ、測定プローブで測定される電気抵抗の値の変化が閾値より大きい場合には、冷却液が汚れている、または測定プローブが汚れている若しくは測定プローブが故障していると判断するとともに、その旨を判定出力部に出力させることを特徴とするレーザ装置である。
測定プローブで測定された電気抵抗の値が異常値である場合に、流量調整装置によって循環ライン内を流れる冷却液の流量を増加または増減させるか、または、エネルギー付与手段によって測定プローブにエネルギーを付与させる洗浄工程を、備えたことを特徴とする冷却液の電気抵抗の測定方法である。
測定プローブで測定された電気抵抗の値が異常値である場合に、流量調整装置によって循環ライン内を流れる冷却液の流量を増加させるか、または、エネルギー付与手段によって測定プローブにエネルギーを付与させる洗浄工程と、
所定時間の間、循環ライン内を流れる冷却液の流量を増加させた状態で維持、または、エネルギー付与手段によって測定プローブにエネルギーを付与した後、測定プローブによって冷却液の電気抵抗の値を測定する測定工程と、
測定プローブにより測定された冷却液の電気抵抗の値が正常値に戻った場合には、流量制御部またはエネルギー制御部によって測定プローブが汚れていたと判断し、前記電気抵抗の値が正常値に戻らなかった場合において、測定プローブで測定される電気抵抗の値の変化が閾値以下の場合には、流量制御部またはエネルギー制御部によって、測定プローブは汚れておらず冷却液が汚れていると判断し、測定プローブで測定される電気抵抗の値の変化が閾値より大きい場合には、冷却液が汚れている、または測定プローブが汚れている若しくは測定プローブが故障していると判断する判断工程と、
流量制御部またはエネルギー制御部によって判断された結果を、判定出力部に出力する出力工程と、を備えたことを特徴とする冷却液の電気抵抗の測定方法である。
以下、本発明に係レーザ装置の第1の実施の形態について、図面を参照して説明する。ここで、図1および図2は本発明の第1の実施の形態を示す図である。
次に、図3により、本発明の第1の実施の形態の変形例について説明する。図3に示す第1の実施の形態の変形例においては、流量制御部51に判定表示部(判定出力部)55aが接続されている。また、流量制御部51が、循環ライン1内を流れる冷却液Wの流速を一定周期で増減させる代わりに、測定プローブ10で測定された電気抵抗の値が異常値である場合に、調整弁61によって循環ライン1内を流れる冷却液Wの流量を増加または増減させる。
次に、図4により、本発明の第2の実施の形態について説明する。図4に示す第2の実施の形態は、測定プローブ10の先端が、プローブ収容部17の流入口17aの正面に配置されているものである。その他の構成は、図1および図2に示す第1の実施の形態と略同一である。
次に、図5により、本発明の第3の実施の形態について説明する。図5に示す第3の実施の形態は、プローブ洗浄手段として、循環ライン内を流れる冷却液の流量を調整する流量調整装置を用いる代わりに、測定プローブに対してエネルギーを付与して測定プローブ10から雑菌類を除去するエネルギー付与手段を用いたものである。その他の構成は、図1および図2に示す第1の実施の形態と略同一である。
次に、図6により、本発明の第3の実施の形態の変形例について説明する。図6に示す第3の実施の形態の変形例は、測定プローブ10およびエネルギー付与手段11に接続され、測定プローブ10で測定された電気抵抗の値に基づいてエネルギー付与手段11を制御し、測定プローブ10で測定された電気抵抗の値が異常値である場合に、エネルギー付与手段11によって測定プローブ10にエネルギーを付与させるエネルギー制御部52と、エネルギー制御部52に接続された判定表示部(判定出力部)55bとをさらに備えたものである。
10 測定プローブ
11 エネルギー付与手段
17 プローブ収容部
17a 流入口
17b 流出口
21 循環ポンプ
22 フィルタ・イオン交換樹脂ユニット
25 熱交換器
31 励起光源
32 レーザ媒質
35 励起チャンバ
41 全反射鏡
42 出力鏡
51 流量制御部
52 エネルギー制御部
55a,55b 判定表示部(判定出力部)
61 流量調整装置
L レーザ光
V 雑菌類
W 冷却液
Claims (13)
- レーザ媒質と、
当該レーザ媒質を励起してレーザ光を発生させる励起光源と、
レーザ媒質および励起光源を収容するとともに、冷却液が充填された励起チャンバと、
励起チャンバに連結され、励起チャンバから排出された冷却液を再び励起チャンバに戻す循環ラインと、
循環ラインに設置され、冷却液の電気抵抗を測定する測定プローブと、
測定プローブを洗浄するプローブ洗浄手段と、
を備えたことを特徴とするレーザ装置。 - プローブ洗浄手段は、循環ラインに設けられ、循環ライン内を流れる冷却液の流量を調整する流量調整装置からなり、
当該流量調整装置によって、循環ライン内を流れる冷却液の流速を一定周期で増減させることを特徴とする請求項1に記載のレーザ装置。 - プローブ洗浄手段は、循環ラインに設けられ、循環ライン内を流れる冷却液の流量を調整する流量調整装置からなり、
測定プローブで測定された電気抵抗の値に基づいて流量調整装置を制御する流量制御部、をさらに備え、
流量制御部は、測定プローブで測定された電気抵抗の値が異常値である場合に、流量調整装置によって循環ライン内を流れる冷却液の流量を増加または増減させることを特徴とする請求項1に記載のレーザ装置。 - 測定プローブを収容し、冷却液の流入する流入口と冷却液の流出する流出口とを有するプローブ収容部、をさらに備え、
測定プローブは、前記流入口または前記流出口の正面に配置されていることを特徴とする請求項2または3のいずれかに記載のレーザ装置。 - 流量制御部に接続された判定出力部をさらに備え、
流量制御部は、循環ライン内を流れる冷却液の流量を所定時間の間増加させた状態で維持させた後、または、冷却液の流量を所定時間の間増減させた後、測定プローブによって冷却液の電気抵抗を測定させ、当該電気抵抗の値が正常値に戻った場合には、測定プローブが汚れていたと判断し、その旨を判定出力部に出力させ、前記電気抵抗の値が正常値に戻らなかった場合において、測定プローブで測定される電気抵抗の値の変化が閾値以下の場合には、測定プローブは汚れておらず冷却液が汚れていると判断するとともに、その旨を判定出力部に出力させ、測定プローブで測定される電気抵抗の値の変化が閾値より大きい場合には、冷却液が汚れている、または測定プローブが汚れている若しくは測定プローブが故障していると判断するとともに、その旨を判定出力部に出力させることを特徴とする請求項3に記載のレーザ装置。 - 前記電気抵抗の値が正常値に戻らなかった場合において、測定プローブで測定される電気抵抗の値の変化が閾値より大きい場合には、流量制御部は、循環ライン内を流れる冷却液の流量を所定時間の間増加させた状態で維持させた後、または、冷却液の流量を所定時間の間増減させた後、測定プローブによって冷却液の電気抵抗を測定させ、冷却液の電気抵抗の値の先に測定した電気抵抗の値に対する変化が閾値以下の場合には、冷却液が汚れていると判断するとともに、その旨を判定出力部に出力させ、他方、冷却液の電気抵抗の値の先に測定した電気抵抗の値に対する変化が閾値よりも大きい場合には、測定プローブが汚れているまたは測定プローブが故障していると判断するとともに、その旨を判定出力部に出力させることを特徴とする請求項5に記載のレーザ装置。
- プローブ洗浄手段は、測定プローブに対してエネルギーを付与するエネルギー付与手段からなることを特徴とする請求項1に記載のレーザ装置。
- エネルギー付与手段は、一定周期で測定プローブに対してエネルギーを付与することを特徴とする請求項7に記載のレーザ装置。
- 測定プローブで測定された電気抵抗の値に基づいてエネルギー付与手段を制御するエネルギー制御部、をさらに備え、
エネルギー制御部は、測定プローブで測定された電気抵抗の値が異常値である場合に、エネルギー付与手段によって測定プローブにエネルギーを付与させることを特徴とする請求項7に記載のレーザ装置。 - エネルギー制御部に接続された判定出力部をさらに備え、
エネルギー制御部は、所定時間の間、エネルギー付与手段によって測定プローブにエネルギーを付与させた後、測定プローブによって冷却液の電気抵抗を測定させ、当該電気抵抗の値が正常値に戻った場合には、測定プローブが汚れていたと判断し、その旨を判定出力部に出力させ、前記電気抵抗の値が正常値に戻らなかった場合において、測定プローブで測定される電気抵抗の値の変化が閾値以下の場合には、測定プローブは汚れておらず冷却液が汚れていると判断するとともに、その旨を判定出力部に出力させ、測定プローブで測定される電気抵抗の値の変化が閾値より大きい場合には、冷却液が汚れている、または測定プローブが汚れている若しくは測定プローブが故障していると判断するとともに、その旨を判定出力部に出力させることを特徴とする請求項9に記載のレーザ装置。 - 前記電気抵抗の値が正常値に戻らなかった場合において、測定プローブで測定される電気抵抗の値の変化が閾値より大きい場合には、エネルギー制御部は、エネルギー付与手段によって測定プローブにエネルギーを付与させた後、測定プローブによって冷却液の電気抵抗を測定させ、冷却液の電気抵抗の値の先に測定した電気抵抗の値に対する変化が閾値以下の場合には、冷却液が汚れていると判断するとともに、その旨を判定出力部に出力させ、他方、冷却液の電気抵抗の値の先に測定した電気抵抗の値に対する変化が閾値よりも大きい場合には、測定プローブが汚れているまたは測定プローブが故障していると判断するとともに、その旨を判定出力部に出力させることを特徴とする請求項10に記載のレーザ装置。
- 請求項3または9に記載のレーザ装置の測定プローブが測定する冷却液の電気抵抗の測定方法において、
測定プローブで測定された電気抵抗の値が異常値である場合に、流量調整装置によって循環ライン内を流れる冷却液の流量を増加または増減させるか、または、エネルギー付与手段によって測定プローブにエネルギーを付与させる洗浄工程を、備えたことを特徴とする測定プローブ洗浄方法。 - 請求項3または9に記載のレーザ装置の測定プローブが測定する冷却液の電気抵抗の測定方法において、
測定プローブで測定された電気抵抗の値が異常値である場合に、流量調整装置によって循環ライン内を流れる冷却液の流量を増加させるか、または、エネルギー付与手段によって測定プローブにエネルギーを付与させる洗浄工程と、
所定時間の間、循環ライン内を流れる冷却液の流量を増加させた状態で維持、または、エネルギー付与手段によって測定プローブにエネルギーを付与した後、測定プローブによって冷却液の電気抵抗の値を測定する測定工程と、
測定プローブにより測定された冷却液の電気抵抗の値が正常値に戻った場合には、流量制御部またはエネルギー制御部によって測定プローブが汚れていたと判断し、前記電気抵抗の値が正常値に戻らなかった場合において、測定プローブで測定される電気抵抗の値の変化が閾値以下の場合には、流量制御部またはエネルギー制御部によって、測定プローブは汚れておらず冷却液が汚れていると判断し、測定プローブで測定される電気抵抗の値の変化が閾値より大きい場合には、冷却液が汚れている、または測定プローブが汚れている若しくは測定プローブが故障していると判断する判断工程と、
流量制御部またはエネルギー制御部によって判断された結果を、判定出力部に出力する出力工程と、を備えたことを特徴とする冷却液の電気抵抗の測定方法。
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