JP2008294380A - 部品内蔵モジュール及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】無機フィラ及び熱硬化性樹脂を含む混合物によって形成され、半導体素子12及びチップ部品13が内蔵された内蔵層11と、内蔵層11の少なくとも一方の面に設けられた回路基板15とを備え、内蔵層11は導電性樹脂161を有するインナービア16を有し、内蔵層11の25℃における熱膨張係数は、回路基板15の25℃における熱膨張係数以下である、部品内蔵モジュールである。
【選択図】図1
Description
無機フィラ及び熱硬化性樹脂を含む混合物によって形成され、少なくとも一つ以上の電子部品が内蔵された内蔵層と、
前記内蔵層の少なくとも一方の面に設けられた基板とを備え、
前記内蔵層の熱膨張係数は、前記基板の熱膨張係数以下である、部品内蔵モジュールである。
前記内蔵層の一方の面と他方の面の間に形成された貫通孔に、導電性樹脂が充填されて形成されたインナービアを備え、
前記内蔵層の熱膨張係数は、前記導電性樹脂の熱膨張係数以下である、第1の本発明の部品内蔵モジュールである。
前記電子部品は、前記基板に実装されている半導体素子であり、
前記半導体素子と前記基板の間には、封止樹脂が設けられており、
前記内蔵層の熱膨張係数は、前記封止樹脂の熱膨張係数以下である、第1の本発明の部品内蔵モジュールである。
前記電子部品は、前記基板に実装されている半導体素子であり、
前記半導体素子と前記基板の間には、封止樹脂が設けられており、
前記封止樹脂の熱膨張係数は、前記基板の熱膨張係数以上である、第1の本発明の部品内蔵モジュールである。
前記内蔵層のガラス転移温度が、前記基板のガラス転移温度以上である、第1の本発明の部品内蔵モジュールである。
第1の基板の配線パターンに電子部品を実装する実装工程と、
無機フィラ及び未硬化状態の熱硬化性樹脂を含む混合物によって形成され、硬化後の熱膨張係数が前記第1の基板の熱膨張係数以下となる内蔵層に貫通孔を形成し、前記貫通孔に導電性樹脂を充填し、インナービアを形成するインナービア形成工程と、
前記内蔵層の一方の面に、前記電子部品を実装した面が対向するように前記第1の基板を配置し、前記内蔵層の他方の面に、前記内蔵層の前記硬化後の熱膨張係数以上の熱膨張係数を有する第2の基板を配置し、前記第1の基板、前記内蔵層及び前記第2の基板を加熱及び加圧する加熱・加圧工程とを備えた、部品内蔵モジュールの製造方法である。
基板及び離型キャリアの少なくとも一方の配線パターンに電子部品を実装する実装工程と、
無機フィラ及び未硬化状態の熱硬化性樹脂を含む混合物によって形成され、硬化後の熱膨張係数が前記基板の熱膨張係数以下となる内蔵層に貫通孔を形成し、前記貫通孔に導電性樹脂を充填し、インナービアを形成するインナービア形成工程と、
前記基板及び前記離型キャリアのうち一方を、その電子部品が実装された面と、前記内蔵層の一方の面が対向するように配置し、前記内蔵層の他方の面に、前記基板基板及び前記離型キャリアのうちの他方を配置し、前記基板、前記内蔵層及び前記離型キャリアを加熱及び加圧する加熱・加圧工程と、
前記離型キャリアを剥離する剥離工程とを備えた、部品内蔵モジュールの製造方法である。
図1及び図2(a)、(b)を参照しながら、本発明にかかる実施の形態1の部品内蔵モジュール1について説明する。図1は、本実施の形態1の部品内蔵モジュール1の構成を模式的に示す正面断面図である。図2(a)、(b)は、本実施の形態1の部品内蔵モジュール1を説明するための正面断面図である。
内蔵層11の25℃における熱膨張係数 ≦ 回路基板15の25℃における熱膨張係数・・・・(式1)
内蔵層11の熱膨張係数は、例えば内蔵層11に含まれる無機フィラの種類、大きさ、形状、添加量を変えることで調整することができる。又、無機フィラの種類としては、Al2O3、MgO、BN、AlN、SiO2等を挙げることができる。この中でも、SiO2は、熱膨張係数を下げる効果が大きいため、より好ましい。無機フィラの大きさとしては平均粒径が0.1μm〜40μmである方が好ましく、形状は球形、針状、異形等を用いることが出来る。無機フィラの添加量は、内蔵層11に対し70〜95重量%が好ましい。尚、無機フィラの添加量が多いほうが熱膨張係数を下げる効果が大きくなる。
実施の形態1における部品内蔵モジュール1の回路基板15の熱膨張係数を16(ppm/℃)と調整し、内蔵層11の熱膨張係数を12(ppm/℃)と調整し、インナービア16内の導電性樹脂161の熱膨張係数を50(ppm/℃)と調整し、封止樹脂18の熱膨張係数を30(ppm/℃)と調整した実施例の部品内蔵モジュールが、n=30サンプル用意された。これらの部品内蔵モジュールを20〜125℃の熱履歴にさらして耐久性試験が行われた。熱履歴にさらす方法としては、液槽冷熱衝撃試験機を用いて、部品内蔵モジュール1を20℃と125℃の液に5分間浸漬させる方法が用いられた。また、1日に1回熱履歴にさらされると仮定し、10年間の動作保証に安全率を考慮し、8000サイクルの試験が行われた。
一方、上記実施例の部品内蔵モジュールと比較して、内蔵層11の熱膨張係数が24(ppm/℃)と異なる値に調整された部品内蔵モジュールが、n=30サンプル作成され、上記と同様の熱履歴にさらして試験が行われた。比較例の部品内蔵モジュールでは、回路基板15の熱膨張係数が16(ppm/℃)であるため、内蔵層11の熱膨張係数が回路基板15の熱膨張係数よりも大きいことになる。
本発明にかかる実施の形態2における部品内蔵モジュールは、実施の形態1の部品内蔵モジュール1と基本的な構成は同じであるが、実施の形態1と異なり、内蔵層11とインナービア16内の導電性樹脂161の熱膨張係数の関係を更に規定したものである。
内蔵層11の25℃における熱膨張係数 ≦ インナービア16内の導電性樹脂161の25℃における熱膨張係数・・・(式2)
次に、内蔵層11の熱膨張係数がインナービア16内の導電性樹脂161の熱膨張係数よりも小さい場合について説明を行い、続いて内蔵層11と導電性樹脂161の熱膨張係数が等しい場合について説明を行う。
本発明にかかる実施の形態3における部品内蔵モジュールは、実施の形態1の部品内蔵モジュール1と基本的な構成は同じであるが、実施の形態1と異なり、内蔵層11と封止樹脂18の熱膨張係数の関係を更に規定したものである。
内蔵層11の25℃における熱膨張係数 ≦ 封止樹脂18の25℃における熱膨張係数・・・・(式3)
次に、内蔵層11の熱膨張係数が封止樹脂18の熱膨張係数よりも小さい場合について説明を行い、続いて内蔵層11と封止樹脂18の熱膨張係数が等しい場合について説明を行う。
(実施の形態4)
本発明にかかる実施の形態4における部品内蔵モジュールは、実施の形態1の部品内蔵モジュールと基本的な構成は同じであるが、実施の形態1と異なり、封止樹脂18と回路基板15の熱膨張係数の関係を更に規定したものである。
封止樹脂18の25℃における熱膨張係数 ≦ 回路基板15の25℃における熱膨張係数・・・(式4)
次に、封止樹脂18の熱膨張係数が回路基板15の熱膨張係数よりも小さい場合について説明を行い、続いて封止樹脂18と回路基板15の熱膨張係数が等しい場合について説明を行う。
内蔵層11の25℃における熱膨張係数 ≦ 封止樹脂18の25℃における熱膨張係数 ≦ 回路基板15の25℃における熱膨張係数・・・(式5)
(実施の形態5)
本発明にかかる実施の形態5における部品内蔵モジュールは、実施の形態1の部品内蔵モジュールと基本的な構成は同じであるが、実施の形態1と異なり、回路基板15と内蔵層11のガラス転移温度の関係を更に規定したものである。
内蔵層11のガラス転移温度 ≧ 回路基板15のガラス転移温度・・・(式6)
はじめに、内蔵層11のガラス転移温度が回路基板15のガラス転移温度よりも高い場合について説明を行い、続いて内蔵層11のガラス転移温度が回路基板15のガラス転移温度が等しい場合について説明する。
以下に、主に図4(a)(b)を参照しながら、本発明にかかる実施の形態6における部品内蔵モジュールの製造方法について説明する。本実施の形態6の部品内蔵モジュールの製造方法は、実施の形態1の部品内蔵モジュール1を製造する方法に相当する。図4(a)、(b)は、本発明にかかる実施の形態6における部品内蔵モジュールの製造方法を模式的に示す工程断面図である。
11 内蔵層
12 半導体素子
13 チップ部品
14 配線パターン
15 回路基板
16 インナービア
17a、17b、17c 接続部分
18 封止樹脂
Claims (7)
- 無機フィラ及び熱硬化性樹脂を含む混合物によって形成され、少なくとも一つ以上の電子部品が内蔵された内蔵層と、
前記内蔵層の少なくとも一方の面に設けられた基板とを備え、
前記内蔵層の熱膨張係数は、前記基板の熱膨張係数以下である、部品内蔵モジュール。 - 前記内蔵層の一方の面と他方の面の間に形成された貫通孔に、導電性樹脂が充填されて形成されたインナービアを備え、
前記内蔵層の熱膨張係数は、前記導電性樹脂の熱膨張係数以下である、請求項1記載の部品内蔵モジュール。 - 前記電子部品は、前記基板に実装されている半導体素子であり、
前記半導体素子と前記基板の間には、封止樹脂が設けられており、
前記内蔵層の熱膨張係数は、前記封止樹脂の熱膨張係数以下である、請求項1記載の部品内蔵モジュール。 - 前記電子部品は、前記基板に実装されている半導体素子であり、
前記半導体素子と前記基板の間には、封止樹脂が設けられており、
前記封止樹脂の熱膨張係数は、前記基板の熱膨張係数以下である、請求項1記載の部品内蔵モジュール。 - 前記内蔵層のガラス転移温度が、前記基板のガラス転移温度以上である、請求項1記載の部品内蔵モジュール。
- 第1の基板の配線パターンに電子部品を実装する実装工程と、
無機フィラ及び未硬化状態の熱硬化性樹脂を含む混合物によって形成され、硬化後の熱膨張係数が前記第1の基板の熱膨張係数以下となる内蔵層に貫通孔を形成し、前記貫通孔に導電性樹脂を充填し、インナービアを形成するインナービア形成工程と、
前記内蔵層の一方の面に、前記電子部品を実装した面が対向するように前記第1の基板を配置し、前記内蔵層の他方の面に、前記内蔵層の前記硬化後の熱膨張係数以上の熱膨張係数を有する第2の基板を配置し、前記第1の基板、前記内蔵層及び前記第2の基板を加熱及び加圧する加熱・加圧工程とを備えた、部品内蔵モジュールの製造方法。 - 基板及び離型キャリアの少なくとも一方の配線パターンに電子部品を実装する実装工程と、
無機フィラ及び未硬化状態の熱硬化性樹脂を含む混合物によって形成され、硬化後の熱膨張係数が前記基板の熱膨張係数以下となる内蔵層に貫通孔を形成し、前記貫通孔に導電性樹脂を充填し、インナービアを形成するインナービア形成工程と、
前記基板及び前記離型キャリアのうち一方を、その電子部品が実装された面と、前記内蔵層の一方の面が対向するように配置し、前記内蔵層の他方の面に、前記基板基板及び前記離型キャリアのうちの他方を配置し、前記基板、前記内蔵層及び前記離型キャリアを加熱及び加圧する加熱・加圧工程と、
前記離型キャリアを剥離する剥離工程とを備えた、部品内蔵モジュールの製造方法。
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