JP2008294207A - メモリ素子、メモリセル、及びメモリセルアレイ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板12の主面を被覆する絶縁膜14上には、第1電極16及び第2電極18と相変化により情報を記録するメモリ部20とが形成されている。メモリ部20は、複数の薄膜が積層された多層構造を有している。メモリ部20の最下層には、第1の相変化材料で形成された第1の相変化層22が配置されている。第1の相変化層22は、絶縁膜14に接触すると共に、第1電極16及び第2電極18の各々と接触するように、第1電極16と第2電極18との間に設けられている。第1の相変化層22上には、第1の抵抗体で形成された第1の抵抗体層24、第2の相変化材料で形成された第2の相変化層26、及び第2の抵抗体で形成された第2の抵抗体層28がこの順で積層されている。
【選択図】図1
Description
<メモリ素子の構造>
図1は本発明の第1の実施の形態に係るメモリ素子の構造を示す図である。図1(A)はメモリ素子の平面図、図1(B)は図1(A)のA−A線断面図である。本発明の第1の実施の形態に係るメモリ素子10は、シリコン(Si)等からなる平板状の半導体基板12を備えている。半導体基板12は、平面視が矩形状である。半導体基板12の主面は、酸化シリコン(SiO2)或いは硫化亜鉛(ZnS)等からなる絶縁膜14で被覆されている。絶縁膜14上には、窒化チタン(TiN)、ポリシリコン(Poly−Si)、アルミニウム(Al)、金(Au)等の薄膜からなる第1電極16と第2電極18とが形成されている。第1電極16と第2電極18とは所定間隔を隔てて配置されている。
図1に示すメモリ素子10を製造する製造方法について説明する。メモリ素子10の製造工程は、主に、電極部を作製する工程と、相変化層と抵抗体層とが積層されたメモリ部を作製する工程と、から構成されている。
図2を参照して、図1に示すメモリ素子10における多値記録方法を説明する。
メモリ部20の第1の相変化層22及び第2の相変化層26は、例えばGe-Sb-Te(GST)で形成することができる。また、メモリ部20の第1の抵抗体層24及び第2の抵抗体層28は、例えば窒化チタン(TiN)で形成することができる。
図4(A)〜(C)はメモリ素子の初期化状態(a)、第1の記録状態(c)、及び第2の記録状態(e)の各々における複合抵抗を示す図である。上述した通り、第1の相変化層22がアモルファス相である場合の抵抗値は「r1 a」であり、結晶相である場合の抵抗値は「r1 c」である。第2の相変化層26がアモルファス相である場合の抵抗値は「r2 a」であり、結晶相である場合の抵抗値は「r2 c」である。第1の抵抗体層24の抵抗値は「R1」であり、第2の抵抗体層28の抵抗値は「R2」である。なお、図4(A)〜(C)では、抵抗値がRである層又は部分を「抵抗R」として説明する。
図5は図1に示すメモリ素子10を電源に接続した状態を表した回路図である。電源30には、スイッチ抵抗素子SW1と抵抗素子R1とが直列に接続されている。また、スイッチ素子SW2と抵抗素子R2とが直列に接続され、直列に接続されたスイッチ素子SW2と抵抗素子R2とが、抵抗素子R1と並列に接続されている。
図7(A)〜(C)は図1に示すメモリ素子10における情報消去方法を説明するための図である。図7(A)はメモリ素子に消去電圧Ve以上の電圧が印加された状態(f)を表す。一般に、GST等の相変化材料は、アモルファス相に相転移させる際に、融点(通常は600℃前後)以上に加熱する。このため、消去電圧Veを印加して、相変化材料を加熱する。
図8は本発明の第2の実施の形態に係るメモリ素子の構造を示す図である。図8(A)はメモリ素子の平面図、図8(B)は(A)のB−B線断面図である。本発明の第2の実施の形態に係るメモリ素子40は、Si等からなる階段状の半導体基板42を備えている。半導体基板42は、平板状の主基板部42Aと、主基板部42Aより一段高く形成された段差部42Bとで構成されている。段差部42Bの側面は、主基板部42Aの表面と直交している。従って、半導体基板12の形状は、平面視は矩形状であるが、断面視はL字型である。
第1の実施の形態では、第1の相変化層上に、第1の抵抗体層、第2の相変化層、及び第2の抵抗体層がこの順で積層されたメモリ部を形成する例について説明したが、図5に示したように、電源に接続されたときに「可変抵抗として機能する回路」を構成するように、一対の電極、複数のスイッチ抵抗素子、及び複数の抵抗素子が配置されていればよく、本発明のメモリ素子は図1に示す構造には限定されない。
図11(A)は図1に示すメモリ素子10を備えたメモリセルの構造を示す断面図である。このようなメモリセルを同一基板上に複数形成することで、メモリセルアレイを構成することができる。
図12は本発明の第5の実施の形態に係るメモリ素子の構造を示す図である。図12は第5の実施の形態に係るメモリ素子の断面図である。このメモリ素子10Bは、メモリ部20Bの最下層に、抵抗体で形成されたヒータ用の抵抗体層96を配置し、抵抗体層96上に第1の相変化層22を積層した以外は、第1の実施の形態に係るメモリ素子(図1参照)と同じ構造である。このため、同じ構成部分には同じ符号を付して説明を省略する。
なお、上記の実施の形態では、印加電圧を変化させてメモリ素子の抵抗値を変化させる例について説明したが、相変化材料に与える熱エネルギー(電力量)を変化させることができればよく、印加電流の大きさを変化させてメモリ素子の抵抗値を変化させることもできる。また、パルス電圧又はパルス電流を印加すると共に、パルス電圧又はパルス電流の「パルス幅」や「大きさ」を変化させてメモリ素子の抵抗値を変化させることもできる。「パルス幅」及び「大きさ」の両方を変化させてもよい。
10A メモリ素子
12 半導体基板
14 絶縁膜
16 第1電極
18 第2電極
20 メモリ部
20A メモリ部
20k メモリ部
22 第1の相変化層
22C1 結晶相部分
22C2 結晶相部分
24 第1の抵抗体層
26 第2の相変化層
26C1 結晶相部分
26C2 結晶相部分
28 第2の抵抗体層
30 電源
40 メモリ素子
42 半導体基板
42A 主基板部
42B 段差部
44 絶縁膜
46 第1電極
48 第2電極
50 メモリ部
52 第1の相変化層
54 第1の抵抗体層
56 第2の相変化層
58 第2の抵抗体層
60 メモリセル
62 シリコン半導体基板
64 拡散領域
66 拡散領域
68 チャネル領域
70 ソース
72 ドレイン
74 ゲート絶縁膜
76 ゲート
78 絶縁膜
82 ホール
84 コンタクト部
86 ホール
88 コンタクト部
90 ホール
92 コンタクト部
94 電源電圧端子
96 抵抗体層
R0 抵抗素子
R1 抵抗素子
R2 抵抗素子
Rk 抵抗素子
SW1 スイッチ素子
SW2 スイッチ素子
SWk スイッチ素子
SWR1 スイッチ抵抗素子
SWR2 スイッチ抵抗素子
SWRk スイッチ抵抗素子
Claims (18)
- 所定間隔を隔てて配置された一対の電極と、
通電時の発熱によりオン状態となる第1のスイッチ抵抗素子、及び第1の抵抗体で形成された第1の抵抗素子を含んで構成され、一端が前記一対の電極の一方に接続されると共に他端が前記一対の電極の他方に接続されて前記第1のスイッチ抵抗素子及び前記第1の抵抗素子を直列に通過する電流通路が形成される第1のメモリ部と、
通電時に発熱した前記第1の抵抗素子により加熱されてオン状態となる第2のスイッチ抵抗素子、及び第2の抵抗体で形成された第2の抵抗素子を含んで構成され、前記第1の抵抗素子と並列に接続されて前記第2のスイッチ抵抗素子及び前記第2の抵抗素子を直列に通過する電流通路が形成される第2のメモリ部と、
を含むことを特徴とするメモリ素子。 - 前記第1のスイッチ抵抗素子と前記第2のスイッチ抵抗素子とが、温度変化に応じてアモルファス相及び結晶相の一方の相から他方の相に相変化する相変化材料で形成されたことを特徴とする請求項1に記載のメモリ素子。
- 前記第1のスイッチ抵抗素子が、通電時の発熱により、前記相変化材料がアモルファス相から結晶相に相転移して抵抗値が低下し、オン状態となると共に、
前記第2のスイッチ抵抗素子が、通電時に発熱した前記第1の抵抗素子により加熱されて、前記相変化材料がアモルファス相から結晶相に相転移して抵抗値が低下し、オン状態となることを特徴とする請求項2に記載のメモリ素子。 - 通電時に発熱した前記第2の抵抗素子により加熱されてオン状態となる第3のスイッチ抵抗素子、及び第3の抵抗体で形成された第3の抵抗素子を含んで構成され、前記第2の抵抗素子と並列に接続されて前記第3のスイッチ抵抗素子及び前記第3の抵抗素子を直列に通過する電流通路が形成される第3のメモリ部を、更に含むことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のメモリ素子。
- 第3〜第n(nは4以上の整数)のメモリ部を更に含み、
第k+1(kは3以上の整数、k<n)のメモリ部は、通電時に発熱した第kの抵抗素子による加熱によりオン状態となる第k+1のスイッチ抵抗素子、及び第k+1の抵抗体で形成された第k+1の抵抗素子を含んで構成され、前記第kの抵抗素子と並列に接続されて前記第k+1のスイッチ抵抗素子及び前記第k+1の抵抗素子を直列に通過する電流通路が形成されることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のメモリ素子。 - 所定間隔を隔てて配置された一対の電極と、
前記一対の電極の各々と接触するように前記一対の電極間に設けられると共に温度変化に応じてアモルファス相及び結晶相の一方の相から他方の相に相変化する第1の相変化材料で形成された第1の相変化層と、前記第1の相変化層上に積層されると共に第1の抵抗体で形成された第1の抵抗体層と、を備えた第1のメモリ部と、
前記第1の抵抗体層上に積層されると共に温度変化に応じてアモルファス相及び結晶相の一方の相から他方の相に相変化する第2の相変化材料で形成された第2の相変化層と、前記第2の相変化層上に積層されると共に第2の抵抗体で形成された第2の抵抗体層と、を備えた第2のメモリ部と、
を含むことを特徴とするメモリ素子。 - 前記第1の相変化層、前記第1の抵抗体層、前記第2の相変化層、及び前記第2の抵抗体層が、メモリ素子が載置される面に対し平行な方向に積層されたことを特徴とする請求項6に記載のメモリ素子。
- 前記第1の相変化層、前記第1の抵抗体層、前記第2の相変化層、及び前記第2の抵抗体層が、メモリ素子が載置される面に対し垂直な方向に積層されたことを特徴とする請求項6に記載のメモリ素子。
- 前記第2の抵抗体層上に積層されると共に温度変化に応じてアモルファス相及び結晶相の一方の相から他方の相に相変化する第3の相変化材料で形成された第3の相変化層と、前記第3の相変化層上に積層されると共に第3の抵抗体で形成された第3の抵抗体層と、を備えた第3のメモリ部と、更に含むことを特徴とする請求項6〜8の何れか1項に記載のメモリ素子。
- 第3〜第n(nは4以上の整数)のメモリ部を更に含み、
第k+1(kは3以上の整数、k<n)のメモリ部は、前記第kの抵抗体層上に積層されると共に温度変化に応じてアモルファス相及び結晶相の一方の相から他方の相に相変化する第k+1の相変化材料で形成された第k+1の相変化層と、前記第k+1の相変化層上に積層されると共に第k+1の抵抗体で形成された第k+1の抵抗体層と、を備えたことを特徴とする請求項6〜8の何れか1項に記載のメモリ素子。 - 前記相変化材料が、カルコゲナイド系化合物であることを特徴とする請求項2〜10の何れか1項に記載のメモリ素子。
- 前記メモリ素子の抵抗値が、3値以上に変化することを特徴とする請求項1〜11の何れか1項に記載のメモリ素子。
- 印加電圧又は印加電流の大きさを変化させて、前記メモリ素子の抵抗値を変化させることを特徴とする請求項12に記載のメモリ素子。
- パルス電圧又はパルス電流を印加すると共に、前記パルス電圧又はパルス電流のパルス幅を変化させて、前記メモリ素子の抵抗値を変化させることを特徴とする請求項12又は13に記載のメモリ素子。
- パルス電圧又はパルス電流を印加すると共に、前記パルス電圧又はパルス電流の大きさを変化させて、前記メモリ素子の抵抗値を変化させることを特徴とする請求項12〜14の何れか1項に記載のメモリ素子。
- 所定間隔を隔てて配置された一対の電極と、
前記一対の電極の各々と接触するように前記一対の電極間に設けられると共に第1の抵抗体で形成された第1の抵抗体層と、前記第1の相変化層上に積層されると共に温度変化に応じてアモルファス相及び結晶相の一方の相から他方の相に相変化する第1の相変化材料で形成された第1の相変化層と、前記第1の相変化層上に積層されると共に第2の抵抗体で形成された第2の抵抗体層と、を備えた第1のメモリ部と、
前記第2の抵抗体層上に積層されると共に温度変化に応じてアモルファス相及び結晶相の一方の相から他方の相に相変化する第2の相変化材料で形成された第2の相変化層と、前記第2の相変化層上に積層されると共に第3の抵抗体で形成された第3の抵抗体層と、を備えた第2のメモリ部と、
を含むことを特徴とするメモリ素子。 - 請求項1〜16の何れか1項に記載のメモリ素子と、前記メモリ素子と同一の基板上に形成されたトランジスタと、を含むメモリセル。
- 請求項17に記載のメモリセルを、同一の基板上に複数個配列したメモリセルアレイ。
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