JP2008279398A - 撥水撥油防汚性表面を有する部材とその撥水撥油防汚性表面の製造方法。 - Google Patents

撥水撥油防汚性表面を有する部材とその撥水撥油防汚性表面の製造方法。 Download PDF

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Abstract

【課題】重力作用のない宇宙ステーション内で、マランゴニ対流実験を行うために開発された治具に関する物であり、シリコーンオイルでの液滴接触角が１１０度程度以上の極撥水撥油防汚性表面を実現する。
【解決手段】少なくとも表面をブラスト加工あるいはディンプル加工する工程と、化学エッチングあるいは電解エッチングする工程と、撥水撥油防汚性薄膜を形成する工程により、表面が大きな凸凹と小さな凸凹に複合加工されており、それぞれの表面が撥水撥油防汚性薄膜で被われている超撥水撥油表面を有する部材とその製造方法。
【選択図】図４

Description

本発明は、表面が、シリコーンオイルをはじくほどの極低表面エネルギーな部材に関するものである。また、超撥水撥油防汚性表面の製造方法に関するものである。さらに詳しくは、宇宙ステーション内で行われるマランゴニ対流実験に用いる治具に関するものである。
一般に、表面に１０ミクロン程度の凸凹があり、さらにその凸凹表面が脂肪酸の被膜で被われた表面は、蓮の葉で見られるように水滴撥水角度が１４０度程度の超撥水であることが知られている。
一方、現在、重力作用のない宇宙ステーション内で、基礎理学実験として、マランゴニ対流実験が企画されている。しかしながら、ステーション内では、湿度がきわめて低いため、水滴は短時間で蒸発してしまうので、マランゴニ対流実験用の流体として水を用いることができない。そこで、代わりに、表面エネルギーが２０ｍＮ／ｍ以下と小さいが、蒸気圧がきわめて低いシリコーンオイルが実験用の流体として使用予定されている。
ところが、シリコーンオイルの表面エネルギーは、水の表面エネルギーの１／４程度であるため、通常、水滴接触角が１５０度程度（シリコーンオイルの液滴では、接触角が９０度程度）の超撥水表面では流れてしまい、マランゴニ対流実験を行えないのが現状である。
そこで、多少の振動があってもシリコーンオイルの液滴が流れ出さない条件、すなわちシリコーンオイルでの液滴接触角が１００度以上、好ましくは１２０度程度の表面を実現することが必要であるが、今のところ、そのような表面は実現されていないという課題があった。
本発明は、重力作用のない宇宙ステーション内で、マランゴニ対流実験を行うために開発された治具に関する物であり、シリコーンオイルでの液滴接触角が１１０度以上の極撥水撥油防汚性表面を実現することを目的とする。
なお、このような物性値を実現できれば、防汚や着氷防止等、用途は無限にある。
前記課題を解決するための手段として提供される第１の発明は、表面が大きな凸凹と小さな凸凹に複合加工されており、それぞれの凸凹の表面が撥水撥油防汚性薄膜で被われていることを特徴とする部材である。
第２の発明は、第１の発明において、大きな凸凹が５００〜１０ミクロンの大きさであり、小さな凸凹が１０ミクロン未満から１０ナノメート以上の大きさであることを特徴とする部材である。
第３の発明は、第１の発明において、大きな凸凹の凸部面積が凹部面積より小さく、且つ小さな凸凹の凸部間隔が凹部深さより小さなことを特徴とする部材である。
第４の発明は、第１〜３の発明において、撥水撥油防汚性薄膜が両凸凹表面に共有結合していることを特徴とする部材である。
第５の発明は、第４の発明において、撥水撥油防汚性薄膜が−ＣＦ３基を含むことを特徴とする部材である。
第６の発明は、第１〜５の発明において、撥水撥油防汚性薄膜が単分子膜であることを特徴とする部材である。
第７の発明は、第１〜６の発明において、表面の臨界表面エネルギーが２ｍＮ／ｍ以下であるあることを特徴とする部材である。
第８の発明は、少なくとも表面をブラスト加工あるいはディンプル加工する工程と、化学エッチングあるいは電解エッチングする工程と、撥水撥油防汚性薄膜を形成する工程を含むことを特徴とする撥水撥油防汚性表面の製造方法である。
第９の発明は、第８の発明の撥水撥油防汚性薄膜を形成する工程において、フッ化炭素基とアルコキシシリルキを含むアルコキシシラン系化合物とシラノール縮合触媒と非水系の有機溶媒を混合して作成した反応液、あるいはフッ化炭素基とトリクロロシリル基を含むクロロシラン系化合物と非水系の有機溶媒を混合して作成した反応液か、フッ化炭素基とイソシアネート基を含むイソシアネート系化合物と非水系の有機溶媒を混合して作成した反応液を用いて撥水撥油防汚性被膜を形成する工程を含むことを特徴とする撥水撥油防汚性表面の製造方法である。
第１０の発明は、第８および９の発明の撥水撥油防汚性薄膜を形成する工程において、接触後、余分な反応液を洗浄除去する工程を含むことを特徴とする撥水撥油防汚性表面の製造方法である。
第１１の発明は、第９〜１０の発明において、シラノール縮合触媒に助触媒としてケチミン化合部材、又は有機酸、金属酸化部材、アルジミン化合部材、エナミン化合部材、オキサゾリジン化合部材、アミノアルキルアルコキシシラン化合部材から選ばれる少なくとも１つを混合して用いることを特徴とする撥水撥油防汚性表面の製造方法である。
さらに詳しくは、本発明は、少なくとも表面をブラスト加工あるいはディンプル加工する工程と、化学エッチングあるいは電解エッチングする工程と、撥水撥油防汚性薄膜を形成する工程により、 表面が大きな凸凹と小さな凸凹に複合加工されており、それぞれの表面が撥水撥油防汚性薄膜で被われていることを特徴とする部材を提供するものである。
ここで、好ましくは、大きな凸凹が５００〜１０ミクロンの大きさであり、小さな凸凹が１０ミクロン未満から１０ナノメート以上の大きさであると、臨界表面エネルギーを２ｍＮ／ｍ以下にできて都合がよい。
また、大きな凸凹の凸部面積が凹部面積より小さく、且つ小さな凸凹の凸部間隔が凹部深さより小さいと、臨界表面エネルギーを２ｍＮ／ｍ以下にできて都合がよい。
また、撥水撥油防汚性薄膜が両凸凹表面に共有結合していると、撥水撥油防汚性能の耐久性を向上する上で都合がよい。
さらに、撥水撥油防汚性薄膜が−ＣＦ３基を含むと臨界表面エネルギーを２ｍＮ／ｍ以下にできて都合がよい。
また、撥水撥油防汚性薄膜が単分子膜であると、臨界表面エネルギーを２ｍＮ／ｍ以下にできて都合がよい。
また、このとき、撥水撥油防汚性薄膜を形成する工程において、フッ化炭素基とアルコキシシリルキを含むアルコキシシラン系化合物とシラノール縮合触媒と非水系の有機溶媒を混合して作成した反応液、あるいはフッ化炭素基とトリクロロシリル基を含むクロロシラン系化合物と非水系の有機溶媒を混合して作成した反応液か、フッ化炭素基とイソシアネート基を含むイソシアネート系化合物と非水系の有機溶媒を混合して作成した反応液を用いて撥水撥油防汚性被膜を形成する工程を含むと、撥水撥油防汚性表面の製造時間を短縮できて都合がよい。
また、撥水撥油防汚性薄膜を形成する工程において、接触後、余分な反応液を洗浄除去する工程を含むと、下地凸凹を全く損なうことがないので好都合である。
さらに、シラノール縮合触媒に助触媒としてケチミン化合部材、又は有機酸、金属酸化部材、アルジミン化合部材、エナミン化合部材、オキサゾリジン化合部材、アミノアルキルアルコキシシラン化合部材から選ばれる少なくとも１つを混合して用いると、撥水撥油防汚性表面の製造時間を短縮できて都合がよい。
以上説明したとおり、本発明によれば、表面エネルギーが極めて小さなシリコーンオイルのような液体でも、はじくことができるような表面を有する部材を提供できる効果がある。
本発明は、少なくとも表面をブラスト加工あるいはディンプル加工する工程と、化学エッチングあるいは電解エッチングする工程と、撥水撥油防汚性薄膜を形成する工程により、表面が大きな凸凹と小さな凸凹に複合加工されており、それぞれの表面が撥水撥油防汚性薄膜で被われていることを特徴とする部材を提供するものである。
したがって、本発明には、表面エネルギーが２０ｍＮ／ｍ程度のシリコーンオイルの液滴でも、多少の振動で流れ出さない条件、すなわちシリコーンオイルでの液滴接触角が１２０度程度の表面を実現できる作用がある。
以下、本願発明の詳細を実施例を用いて説明するが、本願発明は、これら実施例によって何ら制限されるものではない。用途は、防汚や着氷着雪防止など、用途は、無限にある。
なお、本発明に関する部材には、電解エッチング可能な金属基板ならどのようなものでも利用可能であるが、代表例として、以下、実際にマランゴニ対流実験に使用が予定されているアルミニウム板を取り上げて説明する。
あらかじめ、一端にフッ化炭素基（−ＣＦ３）を含み他端にアルコキシシリル基を含む薬剤、例えば、ＣＦ３（ＣＦ2）7（ＣＨ2）2Ｓｉ(ＯＣＨ３)3で示す薬剤を９９重量％、シラノール縮合触媒として、例えば、ジブチル錫ジアセチルアセトナートを１重量％となるようそれぞれ秤量し、シリコーン溶媒、例えば、ヘキサメチルジシロキサン溶媒に１重量％程度の濃度（好ましい化学吸着剤の濃度は、０．５〜３％程度）に溶かして反応液を作成した。
一方、厚みが２ｍｍ程度のアルミニウム板１を準備して、良く洗浄した後、３０＃の金剛砂を用いブラスト加工を行い、１００〜２００ミクロン粗さの大きな凸凹２を形成した。（図１）
さらに、リン酸エッチング液で表面をエッチングして２〜０．５ミクロン粗さの小さな凸凹３を形成した。（図２）
その後、前記加工を施した、表面が大きな凸凹と小さな凸凹に複合加工されたアルミニウム板１’を前記反応液に浸漬し、空気中（相対湿度４５％）で撹拌しながら１時間程度反応させた。このとき、前記アルミニウム板１’の表面には水酸基４が多数含まれているの（図３（ａ））で、前記化学吸着剤の−Ｓｉ（ＯＣＨ３）基と前記水酸基２がシラノール縮合触媒の存在下で脱アルコール（この場合は、脱ＣＨ３ＯＨ）反応し、アルミニウム板１’の表面全面に亘り下記式（化１）で示されるフッ化炭素基を含む化学吸着単分子膜５が表面と化学結合した状態で約１ナノメートル程度の膜厚で形成される。（図３（ｂ））
そこで、クロロホルム等の塩素系溶媒で余分な未反応の吸着液を洗浄除去すると、表面が大きな凸凹と小さな凸凹に複合加工されており、それぞれの表面が撥水撥油防汚性単分子膜５で被われている撥水撥油性に優れたアルミニウム板１”を製造できた（図４）。
なお、ここで、性能はやや劣り、単分子膜は得られなかったが、余分な未反応の吸着液を洗浄除去する工程を省き、そのまま液中から取り出したままで蒸発させても、実用レベルでは問題がない撥水撥油性に優れたアルミニウム板を製造できた。
なお、ここで、粗面化条件を変えてみて、同様の実験を繰り返すことにより、大きな凸凹が５００〜１０ミクロンの大きさであり、小さな凸凹が１０ミクロン未満から１０ナノメート以上の大きさであると、臨界表面エネルギーを２ｍＮ／ｍ以下にできることが判明した。
また、このときの表面粗さを調べてみると、大きな凸凹の凸部面積が凹部面積より小さく、且つ小さな凸凹の凸部間隔が凹部深さより小さなことが判明した。
さらにまた、化学エッチングの代わりに電解エッチングを行うと、さらに性能を向上でき、１ｍＮ／ｍ以下を容易に実現できた。
特に、表面粗さが表１の場合、見かけ上の臨界表面エネルギーは、１以下となり、表面エネルギーが１９．７ｍＮ／ｍのシリコーンオイルでも、液滴接触角を１１７．６度に制御できた。この条件での、基板表面のＳＥＭ観察写真を図５に示す。また、シリコーンオイル（表面エネルギーは１９．７ｍＮ／ｍ）液滴の撥油状態の断面写真を図６に示す。
なお、上記実施例１では、撥油性の単分子膜形成用の薬剤として、フッ化炭素系化学吸着剤であるCF3（CF２）７（CH２）２Ｓｉ（ＯＣＨ３）３を用いたが、上記のもの以外にも、下記（１）〜（１２）に示した部材質が利用できた。
(１) ＣＦ3ＣＨ2Ｏ(ＣＨ2)15Ｓｉ(ＯＣＨ３)3
(２) ＣＦ3(ＣＨ2)３Ｓｉ(ＣＨ3)2(ＣＨ2)15Ｓｉ(ＯＣＨ３)3
(３) ＣＦ3(ＣＦ2)５(ＣＨ2)2Ｓｉ(ＣＨ3)2(ＣＨ2)9Ｓｉ(ＯＣＨ３)3
(４) ＣＦ3(ＣＦ2)７(ＣＨ2)2Ｓｉ(ＣＨ3)2(ＣＨ2)9Ｓｉ(ＯＣＨ３)3
(５) ＣＦ3ＣＯＯ(ＣＨ2)1 5Ｓｉ(ＯＣＨ３)3
(６) ＣＦ3(ＣＦ2)5(ＣＨ2)2Ｓｉ(ＯＣＨ３)3
(７) ＣＦ3ＣＨ2Ｏ(ＣＨ2)15Ｓｉ(ＯＣ２Ｈ５)3
(８) ＣＦ3(ＣＨ2)３Ｓｉ(ＣＨ3)2(ＣＨ2)15Ｓｉ(ＯＣ２Ｈ５)3
(９) ＣＦ3(ＣＦ2)５(ＣＨ2)2Ｓｉ(ＣＨ3)2(ＣＨ2)9Ｓｉ(ＯＣ２Ｈ５)3
(１０) ＣＦ3(ＣＦ2)７(ＣＨ2)2Ｓｉ(ＣＨ3)2(ＣＨ2)9Ｓｉ(ＯＣ２Ｈ５)3
(１１) ＣＦ3ＣＯＯ(ＣＨ2)15Ｓｉ(ＯＣ２Ｈ５)3
(１２) ＣＦ3(ＣＦ2)5(ＣＨ2)2Ｓｉ(ＯＣ２Ｈ５)3
なお、ここで、基材が銅、ニッケル、鉛、ステンレスの場合には、トリアジンチオール系の薬剤が、金の場合には、チオール系の薬剤、例えばＣＦ３（ＣＦ2）7（ＣＨ2）2ＳＨを使用できた。この場合は、ＳＨ基が金と結合して同様の撥水撥油膜を製造できた。
また、実施例１および２に置いて、シラノール縮合触媒には、カルボン酸金属塩、カルボン酸エステル金属塩、カルボン酸金属塩ポリマー、カルボン酸金属塩キレート、チタン酸エステル及びチタン酸エステルキレート類が利用可能である。さらに具体的には、酢酸第１錫、ジブチル錫ジラウレート、ジブチル錫ジオクテート、ジブチル錫ジアセテート、ジオクチル錫ジラウレート、ジオクチル錫ジオクテート、ジオクチル錫ジアセテート、ジオクタン酸第１錫、ナフテン酸鉛、ナフテン酸コバルト、２−エチルヘキセン酸鉄、ジオクチル錫ビスオクチリチオグリコール酸エステル塩、ジオクチル錫マレイン酸エステル塩、ジブチル錫マレイン酸塩ポリマー、ジメチル錫メルカプトプロピオン酸塩ポリマー、ジブチル錫ビスアセチルアセテート、ジオクチル錫ビスアセチルラウレート、テトラブチルチタネート、テトラノニルチタネート及びビス（アセチルアセトニル）ジープロピルチタネートを用いることが可能であった。
なお、実施例１に於いて、シラノール縮合触媒を用いない場合には、下記（４１）〜（５２）に示した部材質が利用できた。
(４１) ＣＦ3ＣＨ2Ｏ(ＣＨ2)15ＳｉＣｌ3
(４２) ＣＦ3(ＣＨ2)３Ｓｉ(ＣＨ3)2(ＣＨ2)15ＳｉＣｌ3
(４３) ＣＦ3(ＣＦ2)５(ＣＨ2)2Ｓｉ(ＣＨ3)2(ＣＨ2)9ＳｉＣｌ3
(４４) ＣＦ3(ＣＦ2)７(ＣＨ2)2Ｓｉ(ＣＨ3)2(ＣＨ2)9ＳｉＣｌ3
(４５) ＣＦ3ＣＯＯ(ＣＨ2)15ＳｉＣｌ3
(４６) ＣＦ3(ＣＦ2)5(ＣＨ2)2Ｓｉ（ＮＣＯ）3
(４７) ＣＦ3ＣＨ2Ｏ(ＣＨ2)15Ｓｉ（ＮＣＯ）3
(４８) ＣＦ3(ＣＨ2)３Ｓｉ(ＣＨ3)2(ＣＨ2)15Ｓｉ（ＮＣＯ）3
(４９) ＣＦ3(ＣＦ2)５(ＣＨ2)2Ｓｉ(ＣＨ3)2(ＣＨ2)9Ｓｉ（ＮＣＯ）3
(５０) ＣＦ3(ＣＦ2)７(ＣＨ2)2Ｓｉ(ＣＨ3)2(ＣＨ2)9Ｓｉ（ＮＣＯ）3
(５１) ＣＦ3ＣＯＯ(ＣＨ2)15Ｓｉ（ＮＣＯ）3
(５２) ＣＦ3(ＣＦ2)5(ＣＨ2)2Ｓｉ（ＮＣＯ）3
また、膜形成用反応液の溶媒としては、化学吸着剤がアルコキシシラン系、クロロシラン系何れの場合も、水を含まない有機塩素系溶媒、炭化水素系溶媒、あるいはフッ化炭素系溶媒やシリコーン系溶媒、あるいはそれら混合部材を用いることが可能であった。なお、洗浄を行わず、溶媒を蒸発させて粒子濃度を上げようとする場合には、溶媒の沸点は５０〜２５０℃程度がよかった。
具体的に使用可能な溶媒は、クロロシラン系の場合は、非水系の石油ナフサ、ソルベントナフサ、石油エーテル、石油ベンジン、イソパラフィン、ノルマルパラフィン、デカリン、工業ガソリン、ノナン、デカン、灯油、ジメチルシリコーン、フェニルシリコーン、アルキル変性シリコーン、ポリエーテルシリコーン、ジメチルホルムアミド等を挙げることができる。
さらに、吸着剤がアルコキシシラン系の場合で且つ溶媒を蒸発させて有機被膜を形成する場合には、前記溶媒に加え、メタノール、エタノール、プロパノール等のアルコール系溶媒、あるいはそれら混合部材が使用できた。
また、フッ化炭素系溶媒には、フロン系溶媒や、フロリナート（３Ｍ社製品）、アフルード（旭ガラス社製品）等がある。なお、これらは１種単独で用いても良いし、良く混ざるものなら２種以上を組み合わせてもよい。さらに、クロロホルム等有機塩素系の溶媒を添加しても良い。
一方、上述のシラノール縮合触媒の代わりに、ケチミン化合部材又は有機酸、ＴｉＯ２等の金属酸化部材、アルジミン化合部材、エナミン化合部材、オキサゾリジン化合部材、アミノアルキルアルコキシシラン化合部材を用いた場合、同じ濃度でも処理時間を半分〜２／３程度まで短縮できた。
さらに、シラノール縮合触媒とケチミン化合部材、又は有機酸、ＴｉＯ２等の金属酸化部材、アルジミン化合部材、エナミン化合部材、オキサゾリジン化合部材、アミノアルキルアルコキシシラン化合部材を混合（１：９〜９：１範囲で使用可能だが、通常１：１前後が好ましい。）して用いると、処理時間をさらに数倍早くでき、製膜時間を数分の一まで短縮できた。
例えば、シラノール触媒であるジブチル錫オキサイドをケチミン化合部材であるジャパンエポキシレジン社のＨ３に置き換え、その他の条件は同一にしてみたが、反応時間を１時間程度にまで短縮できた他は、ほぼ同様の結果が得られた。
さらに、シラノール触媒を、ケチミン化合部材であるジャパンエポキシレジン社のＨ３と、シラノール触媒であるジブチル錫ビスアセチルアセトネートの混合部材（混合比は１：１）に置き換え、その他の条件は同一にしてみたが、反応時間を２０分程度に短縮できた他は、ほぼ同様の結果が得られた。
したがって、以上の結果から、ケチミン化合部材や有機酸、アルジミン化合部材、エナミン化合部材、オキサゾリジン化合部材、アミノアルキルアルコキシシラン化合部材がシラノール縮合触媒より活性が高いことが明らかとなった。
さらにまた、ケチミン化合部材や有機酸、アルジミン化合部材、エナミン化合部材、オキサゾリジン化合部材、アミノアルキルアルコキシシラン化合部材の内の１つとシラノール縮合触媒を混合して用いると、さらに活性が高くなることが確認された。
なお、ここで、利用できるケチミン化合部材は特に限定されるものではないが、例えば、２，５，８−トリアザ−１，８−ノナジエン、３，１１−ジメチル−４，７，１０−トリアザ−３，１０−トリデカジエン、２，１０−ジメチル−３，６，９−トリアザ−２，９−ウンデカジエン、２，４，１２，１４−テトラメチル−５，８，１１−トリアザ−４，１１−ペンタデカジエン、２，４，１５，１７−テトラメチル−５，８，１１，１４−テトラアザ−４，１４−オクタデカジエン、２，４，２０，２２−テトラメチル−５，１２，１９−トリアザ−４，１９−トリエイコサジエン等がある。
また、利用できる有機酸としても特に限定されるものではないが、例えば、ギ酸、あるいは酢酸、プロピオン酸、ラク酸、マロン酸等があり、ほぼ同様の効果があった。
本発明の実施例１において、アルミニウム基材表面に１００〜２００ミクロン粗さの大きな凸凹２を形成した状態を示す基材断面概念図。 本発明の実施例１において、アルミニウム基材表面に１００〜２００ミクロン粗さの大きな凸凹２を形成した後、さらにリン酸エッチング液で表面をエッチングして２〜０．５ミクロン粗さの小さな凸凹２を複合して形成した状態を示す基材断面概念図。 図２の○Ａ部を分子レベルまで拡大した断面概念図であり、（ａ）は、単分子膜形成前、（ｂ）は、単分子膜形成後の基材表面近傍の断面概念図。 祖面化処理後、表面に撥水撥油防汚性単分子膜を形成した後の断面概念図。 実際に試作した表面が大きな凸凹と小さな凸凹に複合加工されており、且つ表面が撥水撥油防汚性薄膜で被われている部材のＳＥＭ写真。 図５で示された部材表面にシリコーンオイルを滴下した場合の液滴断面写真。
符号の説明
１ アルミニウム板
１’ 表面が大きな凸凹と小さな凸凹に複合加工されアルミニウム板
１” 表面が大きな凸凹と小さな凸凹に複合加工され、さらに撥水撥油防汚性単分子膜が形成されたアルミニウム板
２ 大きな凸凹
３ 小さな凸凹
４ 水酸基
５ 撥水撥油防汚性単分子膜

Claims (11)

  1. 表面が大きな凸凹と小さな凸凹に複合加工されており、それぞれの凸凹の表面が撥水撥油防汚性薄膜で被われていることを特徴とする部材。
  2. 大きな凸凹が５００〜１０ミクロンの大きさであり、小さな凸凹が１０ミクロン未満から１０ナノメート以上の大きさであることを特徴とする請求項１記載の部材。
  3. 大きな凸凹の凸部面積が凹部面積より小さく、且つ小さな凸凹の凸部間隔が凹部深さより小さなことを特徴とする請求項１記載の部材。
  4. 撥水撥油防汚性薄膜が両凸凹表面に共有結合していることを特徴とする請求項１〜３記載の部材。
  5. 撥水撥油防汚性薄膜が−ＣＦ３基を含むことを特徴とする請求項４記載の部材。
  6. 撥水撥油防汚性薄膜が単分子膜であることを特徴とする請求項１〜５記載の部材。
  7. 表面の臨界表面エネルギーが２ｍＮ／ｍ以下であるあることを特徴とする請求項１〜６記載の部材。
  8. 少なくとも表面をブラスト加工あるいはディンプル加工する工程と、化学エッチングあるいは電解エッチングする工程と、撥水撥油防汚性薄膜を形成する工程を含むことを特徴とする撥水撥油防汚性表面の製造方法。
  9. 撥水撥油防汚性薄膜を形成する工程において、フッ化炭素基とアルコキシシリルキを含むアルコキシシラン系化合物とシラノール縮合触媒と非水系の有機溶媒を混合して作成した反応液、あるいはフッ化炭素基とトリクロロシリル基を含むクロロシラン系化合物と非水系の有機溶媒を混合して作成した反応液か、フッ化炭素基とイソシアネート基を含むイソシアネート系化合物と非水系の有機溶媒を混合して作成した反応液を用いて撥水撥油防汚性被膜を形成する工程を含むことを特徴とする請求項８記載の撥水撥油防汚性表面の製造方法。
  10. 撥水撥油防汚性薄膜を形成する工程において、接触後、余分な反応液を洗浄除去する工程を含むことを特徴とする請求項８および９記載の撥水撥油防汚性表面の製造方法。
  11. シラノール縮合触媒に助触媒としてケチミン化合部材、又は有機酸、金属酸化部材、アルジミン化合部材、エナミン化合部材、オキサゾリジン化合部材、アミノアルキルアルコキシシラン化合部材から選ばれる少なくとも１つを混合して用いることを特徴とする請求項９〜１０に記載の撥水撥油防汚性表面の製造方法。
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