JP2008277966A - 半導体装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 従来の半導体装置では、半導体装置に対してテストモードなどのモード設定を行う信号を入力しようとすると、チップサイズが大きくなってしまう場合があった。
【解決手段】 半導体装置は、入力端子に差動信号を受ける差動回路と、前記入力端子に所定の信号が供給されたときに検出信号を出力する検出回路とを有する。また、差動信号は、一組の電気的入力規格の範囲で動作し、前記検出回路は、前記差動信号が前記規格を外れたことを検出して検出信号を出力する。
【選択図】 図2

Description

本発明は、半導体装置に関し、特に低振幅差動信号を入出力する半導体装置に関する。
従来から、集積回路(以後、ICと称す)では、その信頼性及び品質の向上のためにテストが行われている。ICをテストする場合には、外部よりICを通常動作からテストモードに切り替える信号を入力する。
このように通常動作からテストモードに切り替える方法として、特許文献1に記載の技術では、通常の入出力端子に電源電圧よりも高い電圧を入力する。電源電圧よりも高い電圧を検出した場合にICはテストモードに移行する。また特許文献2に記載の技術ではテストモード設定用の端子が設けられている。特許文献2では、外部から、この端子に所定電圧の信号を入力することでICはテストモードに移行する。
しかしながら、特許文献1に記載の技術では、入力される信号が電源電圧よりも高い電圧であるため、素子耐圧よりも大きな電圧が入力される可能性がある。そのため、素子耐圧にマージンを持たせるため、チップサイズが大きくなってしまう場合があった。また、特許文献2に記載の技術では、テストモード用の端子を設けるため通常動作には不要な端子を形成し、結果としてチップサイズが大きくなる場合があった。
特開2000−338145号公報 特開2002−123501号公報
上述したように、半導体装置に対して、テストモードなどのモード設定を行う信号を入力しようとすると、チップサイズが大きくなってしまう場合があった。
本発明の1態様による半導体装置は、入力端子に差動信号を受ける差動回路と、前記入力端子に所定の信号が供給されたときに検出信号を出力する検出回路とを有する。
本発明により、電圧範囲に基づいて内部回路の動作状態を設定できるため、必要に応じて様々な種類のテストモードを設定することが可能となる。よって、テストモード設定用のピンを設ける必要がなく、通常の回路でテストモードの設定が可能となる。
電源電圧以上の電圧を使用せず、また、外部端子を新たに設けずに信号を入力することができるためチップサイズを最小に抑えることができる。
実施の形態1
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は、本発明の実施の形態1にかかる半導体装置10及び差動信号出力回路20を示す図である。図1において差動信号出力回路20は、例えばテスタなどに内蔵される回路であり、半導体装置に対して差動信号を出力している。
図1において半導体装置10は、差動信号が入力されて動作する集積回路である。この半導体装置10は、差動レベル検出回路11、内部回路12を有している。差動レベル検出回路11は、半導体装置に入力される差動信号のレベルに応じて、内部回路などに通常の入力信号及び通常動作モード、テストモードなど動作モードを設定する信号などを出力する回路である。内部回路12は、半導体装置に入力される信号に基づいて、処理を行う回路である。
図2を参照して、実施の形態1の差動レベル検出回路11についてより詳細に説明する。図2に示すように、実施の形態1の差動レベル検出回路11は、入力バッファ1、電圧検出回路2、抵抗3、4を有している。入力バッファ1は、入力端子IN1、IN2に入力される差動信号をシングルエンド信号などに変換して出力するためのバッファである。抵抗3、4は、例えば終端抵抗であり、差動信号入力端子IN1、IN2の間に直列に接続されている。電圧検出回路2は、抵抗3と4の間のノードの電圧を検出する回路である。電圧検出回路2は、この抵抗3と4の間のノードの電圧に応じて所定の論理値を出力する。本実施の形態では、抵抗3と4の抵抗値を同一とし、電圧検出回路2は、入力端子IN1とIN2に入力される差動信号の所定電圧を検出するものとする。なお、本実施の形態における所定電圧は抵抗3と4の間の中点電位であるため、以下コモン電圧と称す。本実施の形態では、この電圧検出回路2の出力がテストモードなどに設定するための信号に相当する。
図3は、図2における入力端子IN1、IN2への入力信号と、電圧検出回路2の出力信号を示した図である。以下、図2、図3を参照して、実施の形態1の動作について説明する。
一般的に半導体装置10には、通常動作時に入力する差動信号の規格値が定められている。仮に、その規格値の低電圧側の最小値をVL、高電圧側の最大値をVHとする。本実施の形態では、入力される差動信号は低振幅差動信号であり、このVHとVLの差は数十mV〜数百mVとされている。
図3に示すように、通常動作時、差動信号出力回路20は、上記したVLとVHの電圧の範囲内の差動信号を出力している。差動信号出力回路20が出力する電圧がこの規格値の範囲内であれば電圧検出回路2が検出するコモン電圧もコモン電圧の規格値の範囲内の値となる(図3、破線参照)。電圧検出回路2は、検出したコモン電圧がこのコモン電圧の規格値の範囲内であれば第1の論理値(例えばL)を出力する。
電圧検出回路が出力する信号が第1の論理値であれば内部回路などにテストモードは設定されず、半導体装置10は、通常動作を行う。通常動作を行っているときは、入力バッファ1によって入力された差動信号に基づいたシングルエンド信号Sig1などが生成され、内部回路に供給される。
半導体装置10にテストモードを設定する場合、差動信号出力回路20は、上記したVH、VLとは異なる電圧の差動信号を出力する。ここで、テストモードに設定するときの差動信号の電圧の最大値をVHT、最小値をVLTとする。このようにテストモードに設定するために差動信号の最大値、最小値をVHからVHT、VLからVLTへと変化させた場合、差動レベル検出回路の入力端子IN1、IN2へと入力される電圧も変化する。電圧検出回路2は、このIN1、IN2の中間電圧を検出しているため、入力端子に入力される電圧の最大値、最小値が変化すれば検出するコモン電圧も変化する。本実施の形態では、差動入力の電圧の範囲の最大値、最小値を上昇させて、規格値の範囲内の差動信号が入力されている場合には検出することが無いようなコモン電圧を検出することでテストモードを設定している。
図3に示す例では、入力する差動信号の電圧の範囲(最大値、最小値)を上昇させることにより、規格値の範囲内の差動信号が入力されている場合のコモン電圧よりも高いコモン電圧が検出される。電圧検出回路2は、このように、コモン電圧が規格値の範囲内の差動入力ではない電圧として検出されると、第2の論理値(例えばH)を出力する。電圧検出回路2が第2の論理値を出力すると、テストモードが設定され、内部回路などはテストモードへと移行する。
なお、テストモードに設定するための差動信号の最大値VHT、最小値VLTの差、つまり差動信号の振幅は通常動作時と同様の数十mVから数百mVでよい。本実施の形態の半導体装置では、入力される差動信号の中間電圧(コモン電位)が変化したことによってテストモードを検出し、入力する差動信号の振幅自体を大きくするわけではないため、半導体装置を構成する回路素子の耐圧等を大きくする必要は無く、またテストモード設定用のピンを設ける必要もなく通常の回路でテストモードの設定が可能である。
図4は、図2に示した回路の変形例を示す図である。図4に示す回路では、所定電圧抽出回路5が設けられ、所定電圧抽出回路5が入力端子IN1、IN2に入力される差動信号の最大値、最小値を測定している点が図2に示した回路と異なっている。終端抵抗3、4の中間電圧を電圧検出回路2によって測定することによってコモン電圧を検出していたのに対し、図4に示す回路では所定電圧抽出回路が、入力端子に印加される信号からコモン電圧を抽出する点が異なるのみであり、コモン電圧の変化に応じてテストモードを設定する動作は、同一なため、その説明を省略する。
実施の形態2
図5は、本発明の実施の形態2に関わる差動レベル検出回路11の構成を示している。図5において図2と共通する構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。実施の形態1ではコモン電圧(所定電圧)を検出することによってテストモードなどのモード設定信号を出力していたが、本実施の形態では、入力される差動信号の最大電圧、最小電圧などに基づいてテストモードなどのモード設定信号を出力する点が異なっている。そのため、本実施の形態では図2における電圧検出回路2に代えて振幅電圧抽出回路6、電圧差検出回路7を設ける点が、実施の形態1と異なっている。
振幅電圧抽出回路6は、入力端子IN1、IN2に入力される差動信号の最大値、最小値を抽出する回路である。電圧差検出回路7は、振幅電圧抽出回路6の抽出した最大値あるいは最小値の電位差を検出し、その検出結果を出力する回路である。また図6は、本実施の形態の入力信号及びテストモード設定信号などの波形を示す図である。以下図5、図6を参照して、本実施の形態の動作について説明する。
通常動作時、差動信号出力回路は、その差動信号の最大値VmaxがVH1<Vmax<VH2、最小値VminがVL1<Vmin<VL2となるような差動信号を出力している。振幅電圧抽出回路6は入力される差動信号のVmax、Vminを抽出し電圧差検出回路7に出力している。電圧差検出回路7は、振幅電圧検出回路6の出力する差動信号の最大値Vmax、最小値Vminが上記のVH1<Vmax<VH2、VL1<Vmin<VL2の範囲内であれば第1の論理値(例えばL)を出力する。電圧差検出回路の出力がLレベルであれば、半導体装置10は、テストモードに設定されず、通常動作を行う。
半導体装置10をテストモードに設定する場合、差動信号出力回路20は、上記したVH1<Vmax<VH2、VL1<Vmin<VL2とは異なるような差動信号を出力する。ここで、テストモードに設定するときの差動信号の最大値をVmax1、最小値をVmin1とする。このようにテストモードに設定するために差動信号の最大値、最小値をVmaxからVmax1、VminからVmin1へと変化させた場合、差動レベル検出回路の入力端子IN1、IN2へと入力される電圧も変化する。電圧差検出回路7は、振幅電圧抽出回路6の抽出した最大値あるいは最小値の電圧差を検出しているため、入力端子に入力される電圧の最大値、最小値の電圧差が大きくなれば検出する電圧の最大値、最小値の電圧差も大きくなる。また、入力端子に入力される電圧の最大値、最小値の電圧差が小さくなれば検出する電圧の最大値、最小値の電圧差も小さくなる。本実施の形態では、入力する差動信号の電圧の範囲の最大値、最小値の電圧差を変化させ、所定の範囲内の差動信号が入力されている場合には検出することが無いような差動信号電圧の最大値、最小値の電圧差を検出することでテストモードを設定している。
図6に示す例では、入力する差動信号の最大電圧が上昇し、最小電圧が下降するか、または、最大電圧を下降し、最小電圧を上昇させる。つまり、VH2<Vmax1、Vmin1<VL1の場合、あるいはVmax2<VH1、VL2<Vmin2(図6参照)のとき、電圧差検出回路7は第2の論理値(例えばH)を出力する。電圧差検出回路7が第2の論理値を出力すると、テストモードが設定され、内部回路などはテストモードへと移行する。
本実施の形態の半導体装置では、テストモード設定用のピンを設ける必要もなく、通常の回路でテストモードの設定が可能である。
実施の形態3
図7は、本実施の形態3に関わる差動レベル検出回路11の構成を示している。図7において図2と共通する構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。実施の形態1ではコモン電圧(所定電圧)を検出することによってテストモードなどのモード設定信号を出力していたが、本実施の形態では、図2と同様の回路を2組設け、それぞれの抵抗3と4の間のノードの電圧を1つの電圧検出回路によって検出する点が実施の形態1と異なっている。以下、図7、図8を参照して実施の形態3の動作について説明する。
図8に示すように、通常動作時、コモン電圧1、コモン電圧2は共にコモン電圧の規格値の範囲内の値となっている。このとき差動信号出力回路20は第1の論理値(例えばL)を出力する。電圧検出回路が出力する信号が第1の論理値であれば内部回路などにテストモードは設定されず、半導体装置10は、通常動作を行う。
半導体装置10にテストモードを設定する場合、差動信号出力回路20は、異なる電圧の差動信号を出力する。図8に示す例では、コモン電圧1については、入力する差動信号の最大値、最小値を上昇させることにより、規格値の範囲内の差動信号が入力されている場合のコモン電圧よりも高いコモン電圧が検出される。一方コモン電圧2については、入力する差動信号の最大値、最小値を下降させることにより、規格値の範囲内の差動信号が入力されている場合のコモン電圧よりも低いコモン電圧が検出される。電圧検出回路2は、このように、コモン電圧1、コモン電圧2が規格値の範囲内の差動入力ではない電圧として検出されると、第2の論理値(例えばH)を出力する。電圧検出回路2が第2の論理値を出力すると、テストモードが設定され、内部回路などはテストモードへと移行する。上記の説明では、差動入力の電圧の範囲(最大値及び最小値)を上昇させてコモン電圧1を高電圧とし、差動入力の電圧の範囲を下降させることでコモン電圧2を低電圧とすることで電圧検出回路がHレベルを出力している。そして、このHレベルの出力に基づいてテストモードが設定される。しかしながら、本実施の形態では電圧検出回路が複数のモードに対応する複数ビットの信号を出力するように構成することも可能である。
このような構成とした場合、差動信号出力回路の出力する差動信号において、コモン電圧1及びコモン電圧2を共に上昇させる、コモン電圧1及びコモン電圧2を共に下降させる、あるいはどちらか一方のコモン電圧のみを変化させることなどで複数のモードに対応した信号とすることが可能である。例えば2つの差動信号の、上昇、下降などを組み合わせた場合は、8種類のモードを設定することが可能である。
さらに、2組のコモン電圧だけでなく、2組以上のコモン電圧の差を検出してテストモード設定に切り替えることも可能である。また、上記では2組の回路を用いることで8種類のテストモードの設定が可能であるが、さらに複数個の差動信号を用いることで、様々なパターンのテストモード設定信号を出力することが可能となる。
本実施の形態の半導体装置では、実施の形態1と同様に、入力される差動信号の中間電圧(コモン電位)が変化したことによってテストモードを検出し、入力する差動信号の振幅自体を大きくするわけではないため、半導体装置を構成する回路素子の耐圧等を大きくする必要は無く、またテストモード設定用のピンを設ける必要もなく通常の回路でテストモードの設定が可能である。
図9は、図7に示した回路の変形例を示す図である。この変形例においては上記した図2から図4への変形と同様である。つまり、図9に示す回路では所定電圧抽出回路5が、入力端子に印加される信号からコモン電圧を抽出する点が異なるのみであり、コモン電圧の変化に応じてテストモードを設定する動作は同一なため、その説明を省略する。
実施の形態4
図10は、本発明の実施の形態4に関わる差動レベル検出回路11の構成を示している。図10において図2と共通する構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。実施の形態2では、入力される差動信号の最大電圧、最小電圧などに基づいてテストモードなどのモード設定信号を出力していたが、本実施の形態では、実施の形態3と同様に、同様の回路を2組設け、電圧差検出回路によってそれぞれの回路の入力端子に印加される信号の最大値、最小値の電圧差を検出する。以下、図10、図11を参照して実施形態4の動作について説明する。なお、動作の詳細については図5と同様であるため省略する。
図10に示すように、通常動作時において、入力端子IN1、IN3に入力される最大値、最小値、振幅位相が等しい(図11の破線の振幅図参照)差動信号が電圧差検出回路に入力される。このとき差動信号出力回路20は第1の論理値(例えばL)を出力する。電圧差検出回路が出力する信号が第1の論理値であれば内部回路などにテストモードは設定されず、半導体装置10は、通常動作を行う。
半導体装置10にテストモードを設定する場合、差動信号出力回路20は、異なる電圧の差動信号を出力する。図10に示す例では、入力端子IN1に印加する差動信号電圧を上昇させ、入力端子IN3に印加する差動信号電圧を下降させる。このときの電圧差が所定の値以上になったとき、電圧差検出回路は第2の論理値(例えばH)を出力する。電圧差検出回路が第2の論理値を出力すると、テストモードが設定され、内部回路などはテストモードへと移行する。
本実施の形態の半導体装置では、テストモード設定用のピンを設ける必要もなく、通常の回路でテストモードの設定が可能である。本実施の形態では、差動信号入力1と差動信号入力3、差動信号入力2と差動信号入力4との差を検出しテストモード設定の切り替えに使用したが、IN1、IN2、IN3、IN4のそれぞれの組み合わせの差を検出することも可能である。
図12は、図10示した回路の変形例を示す図である。図10に示す回路では入力端子IN1に印加する差動信号電圧と入力端子IN3に印加する差動信号電圧の電圧差を電圧差検出回路によって検出していたのに対し、図12に示す回路では入力端子IN2に印加する差動信号電圧と入力端子IN4に印加する差動信号電圧の電圧差を電圧差検出回路7により検出する点が異なるのみであり、電圧差に応じてテストモードを設定する動作は同一なため、その説明を省略する。
実施の形態5
図13は、本実施の形態5に関わる差動レベル検出回路11の構成を示している。図13において図2と共通する構成要素については同一の符号を付し、その説明を省略する。また、実施の形態3では2組の回路においてそれぞれのコモン電圧(所定電圧)を検出することによってテストモードなどのモード設定信号を出力していたが、本実施の形態では、入力される差動信号の最大電圧、最小電圧の電圧差に基づいてテストモード設定信号を出力する点が異なっている。以下、図13、図14を参照して実施の形態5の動作について説明する。
通常動作時、差動信号出力回路は、2組の回路において、その差動信号の最大値VmaxがVH1<Vmax<VH2、最小値VminがVL1<Vmin<VL2となるような差動信号を出力している。それぞれの振幅電圧抽出回路6は、それぞれの回路から入力される差動信号のVmax、Vminを検出し電圧差検出回路7に出力している。電圧差検出回路7は、振幅電圧抽出回路6の出力する差動信号の最大値Vmax、最小値Vminが上記のVH1<Vmax<VH2、VL1<Vmin<VL2の範囲内であれば第1の論理値(例えばL)を出力する。電圧差検出回路7の出力がLレベルであれば、半導体装置10は、テストモードに設定されず、通常動作を行う。
半導体装置10をテストモードに設定する場合、差動信号出力回路20は、上記したVH1<Vmax<VH2、VL1<Vmin<VL2の範囲とは異なる電圧差の差動信号を出力する。ここで、それぞれの回路において、テストモードに設定するときの差動信号の最大値をVmax1、最小値をVmin1とする。このようにテストモードに設定するために差動信号の最大値、最小値をVmaxからVmax1、VminからVmin1へと変化させた場合、差動レベル検出回路の入力端子IN1、IN2へと入力される電圧差も変化する。電圧差検出回路7は、振幅電圧抽出回路6の抽出した最大値あるいは最小値を検出しているため、入力端子に入力される電圧の範囲における最大値、最小値の電圧差が変化すれば検出する電圧の最大値、最小値の電圧差も変化する。本実施の形態では、入力する差動信号の電圧の範囲における最大値、最小値を変化させ、所定の範囲内の差動信号が入力されている場合には検出することが無いような差動信号電圧の最大値、最小値を検出することでテストモードを設定している。詳細については実施の形態2、実施の形態3と同様であるため、ここでは省略する。
本実施の形態では、入力端子IN1、IN2に入力される差動信号1とIN3、IN4に入力される差動信号2の両方において、規格範囲外の電圧差レベルになりテストモードを設定したが、どちらか一方のみ規格範囲外の電圧レベルに変化したときにおいてもテストモードの設定は可能である。また、実施形態3と同様に8種類のテストモードの設定が可能となる。また、上記では2組の回路を用いることで8種類のテストモードの設定が可能であるが、さらに複数個の差動信号を用いることで、様々なパターンのテストモード設定信号を出力することが可能となる。
以上、本発明の実施の形態について詳細に説明したが、本発明の趣旨を逸脱しない限り、種々の変形が可能である。実施例では、テストモードの設定について説明したが、他の用途にも使用可能である。例えば複数のテストモードの切り替えや、内蔵EEPROM(Electrically Erasable Programmable ROM)のデータ設定にも使用可能である。そのEEPROMデータは、個別設定値、工場設定値等に使用可能である。また、差動入力信号が通常動作時において、規格範囲外になった場合も、検出回路で発見しアラームを出すことが可能である。
また、上記した差動レベル検出回路では、検出回路の定数と、規格外信号の規格を適当に設定することでより、規格外信号を入力した場合にも差動入力信号の結果を内部回路に伝えることが可能である。
全体の概略図を示す図である。 実施の形態1にかかるテスト回路の構成を示す構成図である。 実施の形態1にかかる入力差動信号と出力信号の波形を示す図である。 実施の形態1にかかるテスト回路の構成を示す構成図である。 実施の形態2にかかるテスト回路の構成を示す構成図である。 実施の形態2にかかる入力差動信号と出力信号の波形を示す図である。 実施の形態3にかかるテスト回路の構成を示す構成図である。 実施の形態3にかかる入力差動信号と出力信号の波形を示す図である。 実施の形態3にかかるテスト回路の構成を示す構成図である。 実施の形態4にかかるテスト回路の構成を示す構成図である。 実施の形態4にかかる入力差動信号と出力信号の波形を示す図である。 実施の形態4にかかるテスト回路の構成を示す構成図である。 実施の形態5にかかるテスト回路の構成を示す構成図である。 実施の形態3にかかる入力差動信号と出力信号の波形を示す図である。 従来のテスト回路の構成を示す構成図である。 従来のテスト回路の構成を示す構成図である。
符号の説明
10 半導体装置
20 差動信号出力回路
11 差動レベル検出回路
12 内部回路
1 入力バッファ
2 電圧検出回路
3,4 抵抗R
5 所定電圧抽出回路
6 振幅電圧抽出回路
7 電圧差検出回路

Claims (17)

  1. 入力端子に差動信号を受ける差動回路と、
    前記入力端子に所定の信号が供給されたときに検出信号を出力する検出回路とを有する半導体装置。
  2. 前記差動信号は、一組の電気的入力規格の範囲で動作し、
    前記検出回路は、前記差動信号が前記規格を外れたことを検出して検出信号を出力することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
  3. 前記検出信号を内部回路の動作状態を設定する信号とすることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
  4. 前記入力規格を外れた入力信号を受けた時にも、前記外れた規格以外の入力規格に応じて信号入力を行なうことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
  5. 前記検出回路が検出する前記入力規格として、差動信号の中間電圧を検出することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
  6. 前記検出回路は、前記一対の差動入力端子間に接続された2つの抵抗と、
    前記2つの抵抗間のノードの電圧値を検出して前記検出信号を出力することを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
  7. 前記検出回路が検出する前記入力規格として、差動信号の最大振幅電圧を検出することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
  8. 前記検出回路を差動信号の終端抵抗の両端に接続することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。
  9. 前記検出回路が検出する前記入力規格として、2対の差動入力の中間電圧の差を検出することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
  10. 前記検出回路が検出する基準となる規格電圧として、規格内の信号を受信している他の端子の中間電圧を使用することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
  11. 差動信号が入力される第1、第2の入力端子対と、
    前記第1の入力端子対に直列に接続された2つの抵抗のノードの電圧と、
    前記第2の入力端子対に直列に接続された2つの抵抗のノードの電圧とを検出回路の入力とすることを特徴とする請求項9および10に記載の半導体装置。
  12. 前記検出回路が検出する前記入力規格として、2対の差動入力のそれぞれ片側の振幅差を検出することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
  13. 前記検出回路が検出する基準となる規格電圧として、
    規格内の信号を受信している他の端子の片側の振幅を使用することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
  14. 差動信号が入力される第1、第2の入力端子対と、
    前記第1の入力端子対の片側の振幅電圧と、
    前記第2の入力端子対の片側の振幅電圧とを検出回路の入力とすることを特徴とする請求項12および請求項13に記載の半導体装置。
  15. 前記検出回路が検出する前記入力規格として、
    2対の差動入力の振幅差を検出することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
  16. 前記検出回路が検出する基準となる規格電圧として、
    規格内の信号を受信している他の端子の振幅を使用することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
  17. 差動信号が入力される第1、第2の入力端子対と、
    前記第1の入力端子対の振幅電圧と、
    前記第2の入力端子対の振幅電圧とを検出回路の入力とすることを特徴とする請求項15および16に記載の半導体装置。
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