JP2008277382A - 基板温度制御装置用ステージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この基板温度制御装置用ステージは、基板の温度を制御する基板温度制御装置において基板を載置するために用いられるステージであって、基板と対向する第1の面に所定の厚さで表面処理が施されたプレートと、プレートの第1の面と反対側の第2の面において、表面処理が施されていない領域に接着された面状のヒータとを具備する。
【選択図】図3
Description
図1は、本発明の一実施形態に係る基板温度制御装置用ステージを示す平面図であり、図2は、図1に示す一点鎖線II−IIにおける断面図である。基板温度制御装置は、半導体ウエハや液晶パネル等の基板の処理工程において基板の温度を制御する装置であり、基板を載置するために用いられるステージ1を有している。以下においては、直径300mmの半導体ウエハがステージ1上に載置される場合について説明する。
プレート10は、薄いアルミニウム材(A5052)で作製されており、長い直径が340mmで短い直径が330mmの円錐台の形状を有している。熱変形を防止するために、ヒータ20が接着される部分を除いてプレート10に表面処理(本実施形態においては、アルマイト処理)を施すことにより、アルマイト層10aが形成されている。本実施形態においては、6mmの厚さを有するプレート10に対して、15μm〜30μm、望ましくは20μmの厚さを有するアルマイト層10aが形成される。
この例においては、プレート10の全面にアルマイト処理を施すことによりアルマイト層10a及び10bが形成されるが、プレート10の下面に形成されるアルマイト層10bの厚さが、プレート10の上面に形成されるアルマイト層10aの厚さよりも小さくなっている。即ち、プレート10の上面のアルマイト層10aが、プレート10の下面のアルマイト層10bよりも厚く形成される。この例においても、プレート10の厚さは6mmであるが、プレート10の上面のアルマイト層10aの厚さを、プレート10の下面のアルマイト層10bの厚さよりも、15μm〜30μm、望ましくは20μmだけ大きくすることにより、プレート10の上側の膨張が抑えられる。
図5は、プレートの温度変化による変形量の測定結果を示す図である。図5において、横軸(x軸)は、プレートの温度(℃)を表しており、縦軸(y軸)は、プレート中心の相対位置変化(μm)を表している。プレート中心の相対位置変化が正の値となる場合には、図3又は図4に示すプレート10の図中上側が凸となるように変形が生じ、プレート中心の相対位置変化が負の値となる場合には、プレート10の図中上側が凹となるように変形が生じることになる。
Claims (6)
- 基板の温度を制御する基板温度制御装置において基板を載置するために用いられるステージであって、
基板と対向する第1の面に所定の厚さで表面処理が施されたプレートと、
前記プレートの第1の面と反対側の第2の面において、表面処理が施されていない領域に接着された面状のヒータと、
を具備する基板温度制御装置用ステージ。 - 基板の温度を制御する基板温度制御装置において基板を載置するために用いられるステージであって、
基板と対向する第1の面に第1の厚さで表面処理が施され、第1の面と反対側の第2の面において、所定の領域に第1の厚さよりも小さい第2の厚さで表面処理が施されたプレートと、
前記プレートの前記所定の領域に接着された面状のヒータと、
を具備する基板温度制御装置用ステージ。 - 前記プレートが、アルミニウム製であり、前記表面処理が、アルマイト処理である、請求項1又は2記載の基板温度制御装置用ステージ。
- 前記ヒータが、ポリイミドの第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜上にパターン形成されたステンレス薄膜の電熱線と、前記電熱線を被覆するポリイミドの第2の絶縁膜とを含む、請求項3記載の基板温度制御装置用ステージ。
- 前記所定の厚さ、又は、前記第1の厚さと前記第2の厚さとの差が、15μm〜30μmである、請求項3又は4記載の基板温度制御装置用ステージ。
- 前記所定の厚さ、又は、前記第1の厚さと前記第2の厚さとの差が、前記プレートの厚さの0.25%〜0.75%である、請求項3又は4記載の基板温度制御装置用ステージ。
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