JP2008274269A - 感光性接着剤組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の感光性接着剤組成物は、(A)側鎖にカルボキシル基を有するポリイミド樹脂、(B)光硬化性樹脂、(C)光重合開始剤、及び、(D)多官能エポキシ化合物を含む。そして、(D)多官能エポキシ化合物として、(D1)室温で液状の多官能エポキシ化合物と、(D2)室温で固体状であって、単量体又は二量体構造を有する多官能エポキシ化合物と、を含有するか、所定の構造を有するトリスフェノール型エポキシ化合物を含有するものである。
【選択図】 図1
Description
[式中、R11、R12、R13、R14、R15、R16及びR17は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜10のアルキル基を示し、n、m、a及びbは、それぞれ独立に、1〜4の整数である。R11、R12、R13又はR14が複数である場合、それらはそれぞれ同一でも異なっていてもよい。]
(実施例1〜3、比較例1〜3)
下記の表1及び2に示す各成分をそれぞれ配合して、実施例1〜3及び比較例1〜3の各感光性接着剤組成物を含むワニスを調製した。なお、表1、2に示す各成分は、以下の通りである。また、表中、各成分名に付した数字は、当該成分の配合量(重量部)を示している。
・ポリイミド樹脂A:テトラカルボン酸二無水物として4,4´−オキシジフタル酸無水物を用い、ジアミンとして3,3−ジカルボキシ−4,4´−ジアミノジフェニルメタン、1,1,3,3−テトラメチル−1,3−ビス(4−アミノフェニル)ジシロキサン及びポリオキシプロピレンジアミンを用い、上述した方法に従って合成したもの。
・ポリイミド樹脂B:テトラカルボン酸二無水物として、4,4´−オキシジフタル酸無水物、ジアミンとして、3,5−ジアミノ安息香酸、1,1,3,3−テトラメチル−1,3−ビス(4−アミノフェニル)ジシロキサン及びポリオキシプロピレンジアミンを用い、上述した方法にしたがって合成したもの。
・BPE−100:新中村化学工業社製、2,2−ビス[4−(メタクリロキシエトキシ)フェニル]プロパン
・U−2PPA:新中村化学工業社製、ウレタンアクリレート
・イルガキュア819:チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製、フェニルビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−ホスフィンオキシド
・BEO−60E:新日本理化社製、ビスA型エポキシ樹脂
・YDCN−702S:東都化成社製、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂
・VG−3101L:プリンテック社製、多官能エポキシ樹脂
・Tris−PPA:本州化学社製、トリスフェノール
・R−972:日本アエロジル社製、シリカ
実施例1〜3、比較例1〜3の感光性接着剤組成物を含む各ワニスを、それぞれ50μmの基材(ポリプロピレンフィルム)上に塗布し、80℃で10分、続いて110℃で30分の加熱を行い、さらに、感光性接着剤組成物の層上にカバーフィルム(ポリエチレンフィルム)をラミネートして、各実施例又は比較例の感光性接着剤組成物をそれぞれ用いた感光性接着剤組成物付き基材を得た。これらにおける感光性接着剤組成物の層(接着剤層)は、いずれも、室温(23℃)で粘着性を有するフィルムであった。
上述した各実施例又は比較例に対応する感光性接着剤組成物付き基材をそれぞれ用いて以下の試験を行い、各感光性接着剤組成物を用いた場合の250℃におけるせん断強度、及び、現像性についてそれぞれ評価した。得られた結果を表3にまとめて示す。
各感光性接着剤組成物付き基材からカバーフィルムをはがし、基材を付けたまま感光性接着剤組成物の層をウェハ鏡面に50℃でラミネートした。次に、感光性接着剤組成物の層に、基材側から、高精度平行露光機(オーク製EXM−1172−B−∞)を用いて露光(500mJ/cm2)を行った。続いて、基材を剥離し、80℃の熱盤上で30秒間保持した。その後、この感光性接着剤組成物付きウェハを5×5mmの大きさに切断した。これに、Siチップを感光性接着剤組成物の層を介するようにガラス圧着した。この条件は、温度120℃、圧力2000g及び時間10秒とした。その後、乾燥機を用いて180℃の温度で1時間の硬化を行った。そして、得られた張り合わせ体の接着部分(感光性接着剤組成物を用いた層)の、250℃におけるせん断強度をそれぞれ測定した。
各感光性接着剤組成物付き基材からカバーフィルムをはがし、この感光性接着剤組成物付き基材における感光性接着剤組成物の層(接着剤層)を、ウェハ(Siベア)の鏡面側にラミネータを用いて50℃で貼り付けた。貼付け後の感光性接着剤組成物付き基材における基材上に、図2に示す形状を有するマスクを固定した。図示のように、ここで用いたマスクMは、後述する露光時に用いる光線を透過しない非透過部2と、開口部1とを有している。
・露光機:オーク製EXM−1172−B−∞、高精度平行露光機
・現像機:ヤコー製日立化成工業(株)カスタム機、コンベア現像機
・露光条件:500mJ/cm2
・現像条件:現像液;TMAH 2.38%(多摩化学製)、
・現像液温度:28±3℃、現像速度:0.2m/分(コンベア)、スプレー圧:1.3kgf/cm2
・現像後の水洗:0.2m/分(コンベア)及び2分間の水浸漬
Claims (4)
- (A)側鎖にカルボキシル基を有するポリイミド樹脂、(B)光硬化性樹脂、(C)光重合開始剤、及び、(D)多官能エポキシ化合物を含み、
前記多官能エポキシ化合物として、(D1)室温で液状の多官能エポキシ化合物と、(D2)室温で固体状であって、単量体又は二量体構造を有する多官能エポキシ化合物と、を含有する、感光性接着剤組成物。 - 前記(D2)の多官能エポキシ化合物が、トリスフェノール型エポキシ化合物である、請求項1記載の感光性接着剤組成物。
- (A)側鎖にカルボキシル基を有するポリイミド樹脂、(B)光硬化性樹脂、(C)光重合開始剤、及び、(D)多官能エポキシ化合物を含み、
前記多官能エポキシ化合物として、下記一般式(1)で表される化合物を含有する、感光性接着剤組成物。
[式中、R11、R12、R13、R14、R15、R16及びR17は、それぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜10のアルキル基を示し、n、m、a及びbは、それぞれ独立に、1〜4の整数である。R11、R12、R13又はR14が複数である場合、それらはそれぞれ同一でも異なっていてもよい。] - フィラーを更に含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の感光性接着剤組成物。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011001942A1 (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-06 | 日立化成工業株式会社 | 感光性接着剤、並びにそれを用いたフィルム状接着剤、接着シート、接着剤パターン、接着剤層付半導体ウェハ及び半導体装置 |
EP2333015A2 (en) | 2009-12-10 | 2011-06-15 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Photo-curable resin composition, pattern forming method and substrate protecting film, and film-shaped adhesive and adhesive sheet using said composition |
JP2012058339A (ja) * | 2010-09-06 | 2012-03-22 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント |
JP2012129302A (ja) * | 2010-12-14 | 2012-07-05 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体装置用部品の製造方法及び半導体装置の製造方法 |
JP2012149264A (ja) * | 2012-03-08 | 2012-08-09 | Hitachi Chemical Co Ltd | 感光性樹脂組成物からなる接着剤及びこれを用いた中空パッケージ構造 |
JP2012177123A (ja) * | 2009-11-13 | 2012-09-13 | Hitachi Chemical Co Ltd | 接着剤組成物、それを用いた半導体装置及びその製造方法 |
JP2013199645A (ja) * | 2012-02-24 | 2013-10-03 | Arakawa Chem Ind Co Ltd | ポリイミド系接着剤組成物、硬化物、接着シート、積層体、フレキシブルプリント基板 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005206737A (ja) * | 2004-01-26 | 2005-08-04 | Mitsui Chemicals Inc | 熱重合性及び放射性重合性接着シート並びにそれを用いた半導体装置 |
WO2007004569A1 (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-11 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | 感光性接着剤組成物、並びにこれを用いて得られる接着フィルム、接着シート、接着剤層付半導体ウェハ、半導体装置及び電子部品 |
-
2008
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005206737A (ja) * | 2004-01-26 | 2005-08-04 | Mitsui Chemicals Inc | 熱重合性及び放射性重合性接着シート並びにそれを用いた半導体装置 |
WO2007004569A1 (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-11 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | 感光性接着剤組成物、並びにこれを用いて得られる接着フィルム、接着シート、接着剤層付半導体ウェハ、半導体装置及び電子部品 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011001942A1 (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-06 | 日立化成工業株式会社 | 感光性接着剤、並びにそれを用いたフィルム状接着剤、接着シート、接着剤パターン、接着剤層付半導体ウェハ及び半導体装置 |
CN102471664A (zh) * | 2009-06-30 | 2012-05-23 | 日立化成工业株式会社 | 感光性粘接剂、以及使用该粘接剂的膜状粘接剂、粘接片、粘接剂图形、带有粘接剂层的半导体晶片和半导体装置 |
JP5549671B2 (ja) * | 2009-06-30 | 2014-07-16 | 日立化成株式会社 | 感光性接着剤、並びにそれを用いたフィルム状接着剤、接着シート、接着剤パターン、接着剤層付半導体ウェハ及び半導体装置 |
JP2012177123A (ja) * | 2009-11-13 | 2012-09-13 | Hitachi Chemical Co Ltd | 接着剤組成物、それを用いた半導体装置及びその製造方法 |
EP2333015A2 (en) | 2009-12-10 | 2011-06-15 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Photo-curable resin composition, pattern forming method and substrate protecting film, and film-shaped adhesive and adhesive sheet using said composition |
US8673537B2 (en) | 2009-12-10 | 2014-03-18 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Photo-curable resin composition, pattern forming method and substrate protecting film, and film-shaped adhesive and adhesive sheet using said composition |
JP2012058339A (ja) * | 2010-09-06 | 2012-03-22 | Hitachi Chem Co Ltd | 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント |
JP2012129302A (ja) * | 2010-12-14 | 2012-07-05 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体装置用部品の製造方法及び半導体装置の製造方法 |
JP2013199645A (ja) * | 2012-02-24 | 2013-10-03 | Arakawa Chem Ind Co Ltd | ポリイミド系接着剤組成物、硬化物、接着シート、積層体、フレキシブルプリント基板 |
JP2012149264A (ja) * | 2012-03-08 | 2012-08-09 | Hitachi Chemical Co Ltd | 感光性樹脂組成物からなる接着剤及びこれを用いた中空パッケージ構造 |
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