JP2008270182A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008270182A5 JP2008270182A5 JP2008071135A JP2008071135A JP2008270182A5 JP 2008270182 A5 JP2008270182 A5 JP 2008270182A5 JP 2008071135 A JP2008071135 A JP 2008071135A JP 2008071135 A JP2008071135 A JP 2008071135A JP 2008270182 A5 JP2008270182 A5 JP 2008270182A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light emitting
- layer
- electrode
- reflected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 6
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 2
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 claims 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims 2
- XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[V+5].[V+5] XHCLAFWTIXFWPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910000476 molybdenum oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N oxomolybdenum Chemical group [Mo]=O PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- DYIZHKNUQPHNJY-UHFFFAOYSA-N oxorhenium Chemical compound [Re]=O DYIZHKNUQPHNJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910003449 rhenium oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910001935 vanadium oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008071135A JP2008270182A (ja) | 2007-03-22 | 2008-03-19 | 発光装置の作製方法 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007075433 | 2007-03-22 | ||
| JP2008071135A JP2008270182A (ja) | 2007-03-22 | 2008-03-19 | 発光装置の作製方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012121917A Division JP2012197518A (ja) | 2007-03-22 | 2012-05-29 | 成膜装置、及びこれを用いたマスクのクリーニング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2008270182A JP2008270182A (ja) | 2008-11-06 |
| JP2008270182A5 true JP2008270182A5 (enExample) | 2011-03-31 |
Family
ID=39775143
Family Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008071135A Withdrawn JP2008270182A (ja) | 2007-03-22 | 2008-03-19 | 発光装置の作製方法 |
| JP2012121917A Withdrawn JP2012197518A (ja) | 2007-03-22 | 2012-05-29 | 成膜装置、及びこれを用いたマスクのクリーニング方法 |
| JP2014122419A Withdrawn JP2014205919A (ja) | 2007-03-22 | 2014-06-13 | 成膜装置 |
Family Applications After (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012121917A Withdrawn JP2012197518A (ja) | 2007-03-22 | 2012-05-29 | 成膜装置、及びこれを用いたマスクのクリーニング方法 |
| JP2014122419A Withdrawn JP2014205919A (ja) | 2007-03-22 | 2014-06-13 | 成膜装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US20080233669A1 (enExample) |
| JP (3) | JP2008270182A (enExample) |
| CN (1) | CN101271869B (enExample) |
| TW (1) | TWI513075B (enExample) |
Families Citing this family (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101271869B (zh) * | 2007-03-22 | 2015-11-25 | 株式会社半导体能源研究所 | 发光器件的制造方法 |
| JP5418502B2 (ja) * | 2008-12-01 | 2014-02-19 | 住友金属鉱山株式会社 | 透明導電膜の製造方法及び透明導電膜、透明導電基板並びにそれを用いたデバイス |
| JP4846873B2 (ja) * | 2009-06-11 | 2011-12-28 | パナソニック株式会社 | 有機elディスプレイ |
| JP5779581B2 (ja) * | 2009-08-24 | 2015-09-16 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニーE.I.Du Pont De Nemours And Company | 有機発光ダイオード照明器具 |
| EP2471122A4 (en) | 2009-08-24 | 2013-11-06 | Du Pont | OLED LIGHTING |
| WO2011027676A1 (en) * | 2009-09-04 | 2011-03-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
| JP5569396B2 (ja) | 2010-04-20 | 2014-08-13 | トヨタ自動車株式会社 | 触媒の製造方法 |
| JP5877992B2 (ja) * | 2010-10-25 | 2016-03-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
| KR101960759B1 (ko) | 2011-04-08 | 2019-03-21 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 발광 장치, 전자 기기, 및 조명 장치 |
| CN103205685A (zh) * | 2012-01-16 | 2013-07-17 | 昆山允升吉光电科技有限公司 | 电铸掩模板 |
| JP5708523B2 (ja) * | 2012-02-09 | 2015-04-30 | 株式会社デンソー | 有機el用インク組成物およびそれを用いた有機el素子の製造方法 |
| KR101312592B1 (ko) * | 2012-04-10 | 2013-09-30 | 주식회사 유진테크 | 히터 승강형 기판 처리 장치 |
| JP6231770B2 (ja) * | 2012-05-10 | 2017-11-15 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 成膜装置 |
| JP6099420B2 (ja) | 2013-02-08 | 2017-03-22 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光装置 |
| CN103943650B (zh) * | 2013-02-28 | 2016-11-23 | 上海天马微电子有限公司 | 一种有机电致发光显示器件及其掩膜板 |
| JP2015040330A (ja) | 2013-08-22 | 2015-03-02 | 株式会社ブイ・テクノロジー | スパッタリング成膜装置及びスパッタリング成膜方法 |
| CN105493631B (zh) * | 2013-08-30 | 2017-11-24 | 株式会社半导体能源研究所 | 叠层体的加工装置及加工方法 |
| JP6232660B2 (ja) * | 2014-04-30 | 2017-11-22 | 株式会社Joled | 有機発光デバイスの機能層の形成方法及び有機発光デバイスの製造方法 |
| US9874775B2 (en) | 2014-05-28 | 2018-01-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Liquid crystal display device and electronic device |
| RU2631015C1 (ru) * | 2016-04-29 | 2017-09-15 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" | Высоковольтное органическое люминесцентное устройство |
| US10804407B2 (en) | 2016-05-12 | 2020-10-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laser processing apparatus and stack processing apparatus |
| CN106443858A (zh) * | 2016-10-08 | 2017-02-22 | 武汉华星光电技术有限公司 | 圆偏光片、 液晶显示器和电子装置 |
| US11985881B2 (en) * | 2018-06-29 | 2024-05-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display panel, display device, input/output device, data processing device |
| KR20220006541A (ko) | 2019-05-10 | 2022-01-17 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치 및 전자 기기 |
| CN113037387B (zh) * | 2019-12-25 | 2024-10-22 | 中兴通讯股份有限公司 | 一种光通信装置 |
| JP7522837B2 (ja) | 2020-01-22 | 2024-07-25 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | Oled層の厚さ及びドーパント濃度のインライン監視 |
| KR20220129598A (ko) * | 2020-01-22 | 2022-09-23 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | Oled 층 두께 및 도펀트 농도의 인-라인 모니터링 |
| US11588470B2 (en) * | 2020-02-18 | 2023-02-21 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Semiconductor package structure and method of manufacturing the same |
| CN111534232A (zh) * | 2020-04-07 | 2020-08-14 | 海门市森达装饰材料有限公司 | 一种研磨抛光浆料及镜面板制备方法 |
| IL300972A (en) * | 2020-08-28 | 2023-04-01 | Plasma Surgical Invest Ltd | Systems, methods and devices for producing radially expanded plasma flow |
| CN112420795A (zh) * | 2020-11-18 | 2021-02-26 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | Oled显示面板及其制备方法 |
| JP7770106B2 (ja) * | 2021-03-31 | 2025-11-14 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 成膜装置 |
| US11976369B2 (en) * | 2021-07-06 | 2024-05-07 | Destination 2D Inc. | Low-temperature/BEOL-compatible highly scalable graphene synthesis tool |
| CN115635765B (zh) * | 2022-12-26 | 2023-03-07 | 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) | 陶瓷封装管壳孔壁金属化模具及丝网印刷设备 |
Family Cites Families (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0471183A (ja) * | 1990-07-12 | 1992-03-05 | Canon Inc | パネルヒーターの製造方法 |
| JPH04154121A (ja) * | 1990-10-18 | 1992-05-27 | Nec Yamagata Ltd | スパッタリング装置 |
| JP2846571B2 (ja) * | 1994-02-25 | 1999-01-13 | 出光興産株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
| JP2839003B2 (ja) * | 1996-04-05 | 1998-12-16 | 日本電気株式会社 | 真空蒸着装置 |
| US5937272A (en) * | 1997-06-06 | 1999-08-10 | Eastman Kodak Company | Patterned organic layers in a full-color organic electroluminescent display array on a thin film transistor array substrate |
| JPH1140502A (ja) * | 1997-07-15 | 1999-02-12 | Hitachi Ltd | 半導体製造装置のドライクリーニング方法 |
| JP2000328229A (ja) * | 1999-05-19 | 2000-11-28 | Canon Inc | 真空蒸着装置 |
| KR100740793B1 (ko) * | 1999-11-22 | 2007-07-20 | 소니 가부시끼 가이샤 | 표시 소자 |
| US6692845B2 (en) * | 2000-05-12 | 2004-02-17 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light-emitting device |
| TW518909B (en) * | 2001-01-17 | 2003-01-21 | Semiconductor Energy Lab | Luminescent device and method of manufacturing same |
| JP4294305B2 (ja) * | 2001-12-12 | 2009-07-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 成膜装置および成膜方法 |
| SG114589A1 (en) * | 2001-12-12 | 2005-09-28 | Semiconductor Energy Lab | Film formation apparatus and film formation method and cleaning method |
| JP2004006311A (ja) * | 2002-04-15 | 2004-01-08 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置の作製方法および製造装置 |
| JP4252317B2 (ja) * | 2003-01-10 | 2009-04-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 蒸着装置および蒸着方法 |
| US20040140758A1 (en) * | 2003-01-17 | 2004-07-22 | Eastman Kodak Company | Organic light emitting device (OLED) display with improved light emission using a metallic anode |
| US20040140757A1 (en) * | 2003-01-17 | 2004-07-22 | Eastman Kodak Company | Microcavity OLED devices |
| US20040155576A1 (en) * | 2003-01-17 | 2004-08-12 | Eastman Kodak Company | Microcavity OLED device |
| US6861800B2 (en) * | 2003-02-18 | 2005-03-01 | Eastman Kodak Company | Tuned microcavity color OLED display |
| JP2004349540A (ja) * | 2003-05-23 | 2004-12-09 | Seiko Epson Corp | 薄膜装置の製造方法、電気光学装置、及び電子機器 |
| KR100543000B1 (ko) * | 2003-08-18 | 2006-01-20 | 삼성에스디아이 주식회사 | 풀칼라 유기 전계 발광 소자용 도너 필름, 도너 필름의제조 방법 및 이 도너 필름을 사용한 풀칼라 유기 전계발광 소자 |
| EP3447816A1 (en) * | 2003-09-19 | 2019-02-27 | Sony Corporation | Display unit, method of manufacturing same, organic light emitting unit, and method of manufacturing same |
| JP4476594B2 (ja) * | 2003-10-17 | 2010-06-09 | 淳二 城戸 | 有機エレクトロルミネッセント素子 |
| US20050145326A1 (en) * | 2004-01-05 | 2005-07-07 | Eastman Kodak Company | Method of making an OLED device |
| KR100793355B1 (ko) * | 2004-10-05 | 2008-01-11 | 삼성에스디아이 주식회사 | 도너 기판의 제조방법 및 유기전계발광표시장치의 제조방법 |
| JP4963172B2 (ja) * | 2004-10-22 | 2012-06-27 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 複合材料及び発光素子 |
| JP2006154169A (ja) * | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Seiko Epson Corp | 電気光学素子の製造方法、電気光学装置 |
| JP2006190995A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-07-20 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 有機化合物と無機化合物とを含む複合材料、前記複合材料を用いた発光素子および発光装置、並びに前記発光素子の作製方法 |
| KR101267040B1 (ko) * | 2004-12-06 | 2013-05-23 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 복합재료를 사용한 발광소자 및 발광장치, 및 발광소자의 제조방법 |
| US7645478B2 (en) * | 2005-03-31 | 2010-01-12 | 3M Innovative Properties Company | Methods of making displays |
| CN101271869B (zh) * | 2007-03-22 | 2015-11-25 | 株式会社半导体能源研究所 | 发光器件的制造方法 |
-
2008
- 2008-03-17 CN CN200810086861.0A patent/CN101271869B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-03-18 US US12/050,319 patent/US20080233669A1/en not_active Abandoned
- 2008-03-19 TW TW097109642A patent/TWI513075B/zh not_active IP Right Cessation
- 2008-03-19 JP JP2008071135A patent/JP2008270182A/ja not_active Withdrawn
-
2012
- 2012-05-29 JP JP2012121917A patent/JP2012197518A/ja not_active Withdrawn
-
2013
- 2013-03-01 US US13/782,554 patent/US20130178004A1/en not_active Abandoned
-
2014
- 2014-06-13 JP JP2014122419A patent/JP2014205919A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2008270182A5 (enExample) | ||
| TWI546267B (zh) | 一種具有多層結構的螢光玻璃片及其製作方法及發光裝置 | |
| TWI538259B (zh) | 發光二極體組件 | |
| JP5335909B2 (ja) | エレクトロルミネセント・ディスプレイ装置、照明装置または表示装置、並びに、その製造プロセス | |
| CN105161633B (zh) | 一种有机发光器件 | |
| JP2006228712A5 (enExample) | ||
| JP2016192295A5 (enExample) | ||
| JP2008270782A5 (enExample) | ||
| CN107431111A (zh) | 波长转换构件及其制造方法 | |
| JP2016054138A5 (enExample) | ||
| JP2008270187A5 (ja) | 発光装置の作製方法 | |
| JP2016157691A5 (enExample) | ||
| JP2012049112A5 (ja) | 発光装置および照明装置 | |
| JP2018142535A5 (ja) | 表示装置 | |
| JP2010040523A5 (enExample) | ||
| JP2010505246A5 (enExample) | ||
| JP2012234825A5 (enExample) | ||
| TWI506836B (zh) | 透明導電膜及包含其之有機發光裝置 | |
| JP2007043104A5 (enExample) | ||
| JP2015118107A (ja) | プロジェクター用蛍光ホイール及びプロジェクター用発光デバイス | |
| JP2008124153A5 (enExample) | ||
| US20160005996A1 (en) | Display apparatus and the sealing method thereof | |
| JP5630525B2 (ja) | 光学積層体 | |
| TWI666804B (zh) | 透明擴散性oled基材及製造此種基材之方法 | |
| JP6047038B2 (ja) | 有機el装置 |