JP2008270182A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101271869B (zh) * 2007-03-22 2015-11-25 株式会社半导体能源研究所 发光器件的制造方法
JP5418502B2 (ja) * 2008-12-01 2014-02-19 住友金属鉱山株式会社 透明導電膜の製造方法及び透明導電膜、透明導電基板並びにそれを用いたデバイス
JP4846873B2 (ja) * 2009-06-11 2011-12-28 パナソニック株式会社 有機elディスプレイ
JP5779581B2 (ja) * 2009-08-24 2015-09-16 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニーE.I.Du Pont De Nemours And Company 有機発光ダイオード照明器具
EP2471122A4 (en) 2009-08-24 2013-11-06 Du Pont OLED LIGHTING
WO2011027676A1 (en) * 2009-09-04 2011-03-10 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and manufacturing method thereof
JP5569396B2 (ja) 2010-04-20 2014-08-13 トヨタ自動車株式会社 触媒の製造方法
JP5877992B2 (ja) * 2010-10-25 2016-03-08 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置
KR101960759B1 (ko) 2011-04-08 2019-03-21 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 발광 장치, 전자 기기, 및 조명 장치
CN103205685A (zh) * 2012-01-16 2013-07-17 昆山允升吉光电科技有限公司 电铸掩模板
JP5708523B2 (ja) * 2012-02-09 2015-04-30 株式会社デンソー 有機el用インク組成物およびそれを用いた有機el素子の製造方法
KR101312592B1 (ko) * 2012-04-10 2013-09-30 주식회사 유진테크 히터 승강형 기판 처리 장치
JP6231770B2 (ja) * 2012-05-10 2017-11-15 株式会社半導体エネルギー研究所 成膜装置
JP6099420B2 (ja) 2013-02-08 2017-03-22 株式会社半導体エネルギー研究所 発光装置
CN103943650B (zh) * 2013-02-28 2016-11-23 上海天马微电子有限公司 一种有机电致发光显示器件及其掩膜板
JP2015040330A (ja) 2013-08-22 2015-03-02 株式会社ブイ・テクノロジー スパッタリング成膜装置及びスパッタリング成膜方法
CN105493631B (zh) * 2013-08-30 2017-11-24 株式会社半导体能源研究所 叠层体的加工装置及加工方法
JP6232660B2 (ja) * 2014-04-30 2017-11-22 株式会社Joled 有機発光デバイスの機能層の形成方法及び有機発光デバイスの製造方法
US9874775B2 (en) 2014-05-28 2018-01-23 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Liquid crystal display device and electronic device
RU2631015C1 (ru) * 2016-04-29 2017-09-15 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники" Высоковольтное органическое люминесцентное устройство
US10804407B2 (en) 2016-05-12 2020-10-13 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Laser processing apparatus and stack processing apparatus
CN106443858A (zh) * 2016-10-08 2017-02-22 武汉华星光电技术有限公司 圆偏光片、 液晶显示器和电子装置
US11985881B2 (en) * 2018-06-29 2024-05-14 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Display panel, display device, input/output device, data processing device
KR20220006541A (ko) 2019-05-10 2022-01-17 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 표시 장치 및 전자 기기
CN113037387B (zh) * 2019-12-25 2024-10-22 中兴通讯股份有限公司 一种光通信装置
JP7522837B2 (ja) 2020-01-22 2024-07-25 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド Oled層の厚さ及びドーパント濃度のインライン監視
KR20220129598A (ko) * 2020-01-22 2022-09-23 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 Oled 층 두께 및 도펀트 농도의 인-라인 모니터링
US11588470B2 (en) * 2020-02-18 2023-02-21 Advanced Semiconductor Engineering, Inc. Semiconductor package structure and method of manufacturing the same
CN111534232A (zh) * 2020-04-07 2020-08-14 海门市森达装饰材料有限公司 一种研磨抛光浆料及镜面板制备方法
IL300972A (en) * 2020-08-28 2023-04-01 Plasma Surgical Invest Ltd Systems, methods and devices for producing radially expanded plasma flow
CN112420795A (zh) * 2020-11-18 2021-02-26 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 Oled显示面板及其制备方法
JP7770106B2 (ja) * 2021-03-31 2025-11-14 芝浦メカトロニクス株式会社 成膜装置
US11976369B2 (en) * 2021-07-06 2024-05-07 Destination 2D Inc. Low-temperature/BEOL-compatible highly scalable graphene synthesis tool
CN115635765B (zh) * 2022-12-26 2023-03-07 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) 陶瓷封装管壳孔壁金属化模具及丝网印刷设备

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0471183A (ja) * 1990-07-12 1992-03-05 Canon Inc パネルヒーターの製造方法
JPH04154121A (ja) * 1990-10-18 1992-05-27 Nec Yamagata Ltd スパッタリング装置
JP2846571B2 (ja) * 1994-02-25 1999-01-13 出光興産株式会社 有機エレクトロルミネッセンス素子
JP2839003B2 (ja) * 1996-04-05 1998-12-16 日本電気株式会社 真空蒸着装置
US5937272A (en) * 1997-06-06 1999-08-10 Eastman Kodak Company Patterned organic layers in a full-color organic electroluminescent display array on a thin film transistor array substrate
JPH1140502A (ja) * 1997-07-15 1999-02-12 Hitachi Ltd 半導体製造装置のドライクリーニング方法
JP2000328229A (ja) * 1999-05-19 2000-11-28 Canon Inc 真空蒸着装置
KR100740793B1 (ko) * 1999-11-22 2007-07-20 소니 가부시끼 가이샤 표시 소자
US6692845B2 (en) * 2000-05-12 2004-02-17 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Light-emitting device
TW518909B (en) * 2001-01-17 2003-01-21 Semiconductor Energy Lab Luminescent device and method of manufacturing same
JP4294305B2 (ja) * 2001-12-12 2009-07-08 株式会社半導体エネルギー研究所 成膜装置および成膜方法
SG114589A1 (en) * 2001-12-12 2005-09-28 Semiconductor Energy Lab Film formation apparatus and film formation method and cleaning method
JP2004006311A (ja) * 2002-04-15 2004-01-08 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置の作製方法および製造装置
JP4252317B2 (ja) * 2003-01-10 2009-04-08 株式会社半導体エネルギー研究所 蒸着装置および蒸着方法
US20040140758A1 (en) * 2003-01-17 2004-07-22 Eastman Kodak Company Organic light emitting device (OLED) display with improved light emission using a metallic anode
US20040140757A1 (en) * 2003-01-17 2004-07-22 Eastman Kodak Company Microcavity OLED devices
US20040155576A1 (en) * 2003-01-17 2004-08-12 Eastman Kodak Company Microcavity OLED device
US6861800B2 (en) * 2003-02-18 2005-03-01 Eastman Kodak Company Tuned microcavity color OLED display
JP2004349540A (ja) * 2003-05-23 2004-12-09 Seiko Epson Corp 薄膜装置の製造方法、電気光学装置、及び電子機器
KR100543000B1 (ko) * 2003-08-18 2006-01-20 삼성에스디아이 주식회사 풀칼라 유기 전계 발광 소자용 도너 필름, 도너 필름의제조 방법 및 이 도너 필름을 사용한 풀칼라 유기 전계발광 소자
EP3447816A1 (en) * 2003-09-19 2019-02-27 Sony Corporation Display unit, method of manufacturing same, organic light emitting unit, and method of manufacturing same
JP4476594B2 (ja) * 2003-10-17 2010-06-09 淳二 城戸 有機エレクトロルミネッセント素子
US20050145326A1 (en) * 2004-01-05 2005-07-07 Eastman Kodak Company Method of making an OLED device
KR100793355B1 (ko) * 2004-10-05 2008-01-11 삼성에스디아이 주식회사 도너 기판의 제조방법 및 유기전계발광표시장치의 제조방법
JP4963172B2 (ja) * 2004-10-22 2012-06-27 株式会社半導体エネルギー研究所 複合材料及び発光素子
JP2006154169A (ja) * 2004-11-29 2006-06-15 Seiko Epson Corp 電気光学素子の製造方法、電気光学装置
JP2006190995A (ja) * 2004-12-06 2006-07-20 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 有機化合物と無機化合物とを含む複合材料、前記複合材料を用いた発光素子および発光装置、並びに前記発光素子の作製方法
KR101267040B1 (ko) * 2004-12-06 2013-05-23 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 복합재료를 사용한 발광소자 및 발광장치, 및 발광소자의 제조방법
US7645478B2 (en) * 2005-03-31 2010-01-12 3M Innovative Properties Company Methods of making displays
CN101271869B (zh) * 2007-03-22 2015-11-25 株式会社半导体能源研究所 发光器件的制造方法

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