JP2008267861A - シート物理量測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 放射線源1から出射された放射線2の、シート状物体3を通過した透過量を放射線検出器14で検出し、透過量に基づいてシート状物体3の物理量を測定するシート物理量測定装置において、放射線2の照射範囲を検出する放射線アレイ検出部61,62と、放射線アレイ検出部61,62から出力される信号に基づいて、放射線検出器14と放射線源1とのアラインメントずれによって放射線検出器61,62の出力に生じる誤差を補正する補正手段10とを備えたことを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
すなわち、X線源1からX線2が出射される角度より大きなX線検出器4が必要となり、シート状物体3の測定面積が大きくなってしまう。
放射線源から出射された放射線の、シート状物体を通過した透過量を放射線検出器で検出し、前記透過量に基づいて前記シート状物体の物理量を測定するシート物理量測定装置において、
前記放射線の照射範囲を検出する放射線アレイ検出部と、
該放射線アレイ検出部から出力される信号に基づいて、前記放射線検出器と前記放射線源とのアラインメントずれによって前記放射線検出器の出力に生じる誤差を補正する補正手段と
を備えたことを特徴とする。
請求項1記載のシート物理量測定装置において、
前記放射線アレイ検出部は、前記放射線検出器の両側に配置される1対の1次元アレイ素子から構成される
ことを特徴とする。
請求項1記載のシート物理量測定装置において、
前記放射線アレイ検出部は、前記放射線検出器の両側に互いに直角方向に配置される2対の1次元アレイ素子から構成される
ことを特徴とする。
請求項1記載のシート物理量測定装置において、
前記放射線アレイ検出部は、前記放射線検出器の上方に配置される2次元アレイ素子から構成される
ことを特徴とする。
請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のシート物理量測定装置において、
前記放射線としてX線を用い、前記物理量を厚さとする
ことを特徴とする。
請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のシート物理量測定装置において、
前記放射線としてβ線を用い、前記物理量を厚さとする
ことを特徴とする。
請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のシート物理量測定装置において、
前記放射線を赤外線で置き換え、前記物理量を厚さとする
ことを特徴とする。
請求項2乃至請求項7のいずれかに記載のシート物理量測定装置において、
前記放射線検出器から出力される信号に対応して前記物理量を出力する第1の変換手段と、
前記放射線アレイ検出部から出力される信号に対応して前記放射線検出器と前記放射線源とのアラインメント位置に対応する信号を出力する第2の変換手段と、
該第2の変換手段から出力される信号に対応して前記物理量の補正値を出力する第3の変換手段とを備え、
前記補正手段は、前記第3の変換手段から出力される信号に基づいて前記第1の変換手段から出力される物理量信号を補正する
ことを特徴とする。
X線アレイ検出部6の複数の素子から出力された信号は、第2の変換手段7により測定ギャップLg3に対応する信号に変換される。第2の変換手段7から出力される測定ギャップ信号は、第3の変換手段8により厚さの補正値に変換される。
2 放射線
3 シート状物体
6,61〜65 放射線アレイ検出部
7 第2の変換手段
8 第3の変換手段
9 第1の変換手段
10 補正手段
14 放射線検出器
Claims (8)
- 放射線源からシート状物体に出射された放射線の透過量を放射線検出器で検出し、前記シート状物体の物理量を測定するシート物理量測定装置において、
前記放射線の照射範囲を検出する放射線アレイ検出部と、
該放射線アレイ検出部から出力される信号に基づいて、前記放射線検出器と前記放射線源とのアラインメントずれによって生じる測定誤差を補正する補正手段と
を備えたことを特徴とするシート物理量測定装置。 - 前記放射線アレイ検出部は、前記放射線検出器の両側に配置される1対の1次元アレイ素子から構成される
ことを特徴とする請求項1記載のシート物理量測定装置。 - 前記放射線アレイ検出部は、前記放射線検出器の両側に互いに直角方向に配置される2対の1次元アレイ素子から構成される
ことを特徴とする請求項1記載のシート物理量測定装置。 - 前記放射線アレイ検出部は、前記放射線検出器の上方に配置される2次元アレイ素子から構成される
ことを特徴とする請求項1記載のシート物理量測定装置。 - 前記放射線としてX線を用い、前記物理量を厚さとする
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のシート物理量測定装置。 - 前記放射線としてβ線を用い、前記物理量を厚さとする
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のシート物理量測定装置。 - 前記放射線を赤外線で置き換え、前記物理量を厚さとする
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のシート物理量測定装置。 - 前記放射線検出器から出力される信号に対応して前記物理量を出力する第1の変換手段と、
前記放射線アレイ検出部から出力される信号に対応して前記放射線検出器と前記放射線源とのアラインメント位置に対応する信号を出力する第2の変換手段と、
該第2の変換手段から出力される信号に対応して前記物理量の補正値を出力する第3の変換手段とを備え、
前記補正手段は、前記第3の変換手段から出力される信号に基づいて前記第1の変換手段から出力される物理量信号を補正する
ことを特徴とする請求項2乃至請求項7のいずれかに記載のシート物理量測定装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102022987A (zh) * | 2009-09-11 | 2011-04-20 | 株式会社东芝 | 放射线厚度计 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0219753A (ja) * | 1988-07-07 | 1990-01-23 | Yokogawa Electric Corp | 放射線応用測定装置 |
JPH04353707A (ja) * | 1991-05-31 | 1992-12-08 | Yokogawa Electric Corp | 放射線応用測定装置 |
JPH05149775A (ja) * | 1991-11-27 | 1993-06-15 | Yokogawa Electric Corp | 放射線応用測定装置 |
JPH0626917A (ja) * | 1992-07-09 | 1994-02-04 | Yokogawa Electric Corp | 坪量測定装置 |
JP2000258146A (ja) * | 1999-03-05 | 2000-09-22 | Toshiba Corp | 放射線厚さ測定装置 |
JP2000515625A (ja) * | 1996-03-25 | 2000-11-21 | ハニーウェル―メジャレックス コーポレーション | X―y平面における測定ヘッドの光学的アライメントのための方法および装置 |
JP2001201336A (ja) * | 2000-01-19 | 2001-07-27 | Yokogawa Electric Corp | 厚さ測定装置 |
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2007
- 2007-04-17 JP JP2007108177A patent/JP4983366B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0219753A (ja) * | 1988-07-07 | 1990-01-23 | Yokogawa Electric Corp | 放射線応用測定装置 |
JPH04353707A (ja) * | 1991-05-31 | 1992-12-08 | Yokogawa Electric Corp | 放射線応用測定装置 |
JPH05149775A (ja) * | 1991-11-27 | 1993-06-15 | Yokogawa Electric Corp | 放射線応用測定装置 |
JPH0626917A (ja) * | 1992-07-09 | 1994-02-04 | Yokogawa Electric Corp | 坪量測定装置 |
JP2000515625A (ja) * | 1996-03-25 | 2000-11-21 | ハニーウェル―メジャレックス コーポレーション | X―y平面における測定ヘッドの光学的アライメントのための方法および装置 |
JP2000258146A (ja) * | 1999-03-05 | 2000-09-22 | Toshiba Corp | 放射線厚さ測定装置 |
JP2001201336A (ja) * | 2000-01-19 | 2001-07-27 | Yokogawa Electric Corp | 厚さ測定装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102022987A (zh) * | 2009-09-11 | 2011-04-20 | 株式会社东芝 | 放射线厚度计 |
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