JP4983366B2 - シート物理量測定装置 - Google Patents
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Description
すなわち、X線源1からX線2が出射される角度より大きなX線検出器4が必要となり、シート状物体3の測定面積が大きくなってしまう。
放射線源からシート状物体に出射された放射線の透過量を放射線検出器で検出し、前記シート状物体の物理量を測定するシート物理量測定装置において、
前記放射線の照射範囲を検出する複数のアレイ素子が配列した放射線アレイ検出部と、
該放射線アレイ検出部から出力される信号に基づいて、前記放射線検出器と前記放射線源の出射軸との間の位置関係のずれによって生じる測定誤差を補正する補正手段と、
を備え、
前記放射線アレイ検出部は、前記放射線の照射範囲の外端がかかる位置に配置され、
前記補正手段は、各前記アレイ素子から出力される検出信号の有無に基づいて判定される前記外端の位置に応じた補正を行うことを特徴とする。
請求項1記載のシート物理量測定装置において、
前記放射線アレイ検出部は、前記放射線検出器の両側に配置される1対の1次元アレイ素子から構成される
ことを特徴とする。
請求項1記載のシート物理量測定装置において、
前記放射線アレイ検出部は、前記放射線検出器の両側に互いに直角方向に配置される2対の1次元アレイ素子から構成される
ことを特徴とする。
請求項1記載のシート物理量測定装置において、
前記放射線アレイ検出部は、前記放射線検出器の上方に配置される2次元アレイ素子から構成される
ことを特徴とする。
請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のシート物理量測定装置において、
前記放射線としてX線を用い、前記物理量を厚さとする
ことを特徴とする。
請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のシート物理量測定装置において、
前記放射線としてβ線を用い、前記物理量を厚さとする
ことを特徴とする。
請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のシート物理量測定装置において、
前記放射線を赤外線で置き換え、前記物理量を厚さとする
ことを特徴とする。
請求項2乃至請求項7のいずれかに記載のシート物理量測定装置において、
前記放射線検出器から出力される信号に対応して前記物理量を出力する第1の変換手段と、
前記放射線アレイ検出部から出力される信号に対応して前記放射線検出器と前記放射線源とのアラインメント位置に対応する信号を出力する第2の変換手段と、
該第2の変換手段から出力される信号に対応して前記物理量の補正値を出力する第3の変換手段とを備え、
前記補正手段は、前記第3の変換手段から出力される信号に基づいて前記第1の変換手段から出力される物理量信号を補正する
ことを特徴とする。
X線アレイ検出部6の複数の素子から出力された信号は、第2の変換手段7により測定ギャップLg3に対応する信号に変換される。第2の変換手段7から出力される測定ギャップ信号は、第3の変換手段8により厚さの補正値に変換される。
2 放射線
3 シート状物体
6,61〜65 放射線アレイ検出部
7 第2の変換手段
8 第3の変換手段
9 第1の変換手段
10 補正手段
14 放射線検出器
Claims (8)
- 放射線源からシート状物体に出射された放射線の透過量を放射線検出器で検出し、前記シート状物体の物理量を測定するシート物理量測定装置において、
前記放射線の照射範囲を検出する複数のアレイ素子が配列した放射線アレイ検出部と、
該放射線アレイ検出部から出力される信号に基づいて、前記放射線検出器と前記放射線源の出射軸との間の位置関係のずれによって生じる測定誤差を補正する補正手段と、
を備え、
前記放射線アレイ検出部は、前記放射線の照射範囲の外端がかかる位置に配置され、
前記補正手段は、各前記アレイ素子から出力される検出信号の有無に基づいて判定される前記外端の位置に応じた補正を行うことを特徴とするシート物理量測定装置。 - 前記放射線アレイ検出部は、前記放射線検出器の両側に配置される1対の1次元アレイ素子から構成される
ことを特徴とする請求項1記載のシート物理量測定装置。 - 前記放射線アレイ検出部は、前記放射線検出器の両側に互いに直角方向に配置される2対の1次元アレイ素子から構成される
ことを特徴とする請求項1記載のシート物理量測定装置。 - 前記放射線アレイ検出部は、前記放射線検出器の上方に配置される2次元アレイ素子から構成される
ことを特徴とする請求項1記載のシート物理量測定装置。 - 前記放射線としてX線を用い、前記物理量を厚さとする
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のシート物理量測定装置。 - 前記放射線としてβ線を用い、前記物理量を厚さとする
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のシート物理量測定装置。 - 前記放射線を赤外線で置き換え、前記物理量を厚さとする
ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のシート物理量測定装置。 - 前記放射線検出器から出力される信号に対応して前記物理量を出力する第1の変換手段と、
前記放射線アレイ検出部から出力される信号に対応して前記放射線検出器と前記放射線源とのアラインメント位置に対応する信号を出力する第2の変換手段と、
該第2の変換手段から出力される信号に対応して前記物理量の補正値を出力する第3の変換手段とを備え、
前記補正手段は、前記第3の変換手段から出力される信号に基づいて前記第1の変換手段から出力される物理量信号を補正する
ことを特徴とする請求項2乃至請求項7のいずれかに記載のシート物理量測定装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2008267861A JP2008267861A (ja) | 2008-11-06 |
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ID=40047577
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007108177A Active JP4983366B2 (ja) | 2007-04-17 | 2007-04-17 | シート物理量測定装置 |
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2007
- 2007-04-17 JP JP2007108177A patent/JP4983366B2/ja active Active
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