JP2008261679A - 形状検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光の強度が周期的に変化する縞状の光パターンを検査対象物100の表面上に照射する光パターン照射装置2と、光パターンが照射された検査対象物100の画像を撮影する撮影カメラ3と、検査対象物100と光パターンとの相対位置関係を変化させる変位装置4と、検査対象物100の雰囲気温度を制御可能な温度制御装置5と、撮影カメラ3及び温度制御装置5からの情報に基づいて検査対象物100の各部位の高さ情報を算出する形状計測手段21とを備え、形状計測手段21は、温度制御装置5により検査対象物100の雰囲気温度が予め決められた温度となった状態で、撮影カメラ3により検査対象物100の画像を撮影させ、その少なくとも3つの画像上の光の強度分布に基づいて位相シフト法により検査対象物100の各部位の高さ情報を算出する。
【選択図】図1
Description
2 光パターン照射装置(光パターン照射手段)
3 撮影カメラ
4 変位装置(変位手段)
5 温度制御装置(温度制御手段)
6 演算処理装置
7 テーブル
9 カバー
11 熱源
12 ファン
13 温度センサ
14 赤外線カメラ(温度分布撮影カメラ)
15 ハーフプリズム
18 収容ケース
100 検査対象物
Claims (6)
- 光の強度が周期的に変化する縞状の光パターンを検査対象物の表面上に照射する光パターン照射手段と、
前記光パターン照射手段により光パターンが照射された前記検査対象物の画像を可視光で撮影する撮影カメラと、
前記検査対象物と前記光パターンとの相対位置関係を変化させる変位手段と、
前記検査対象物の雰囲気温度を制御可能な温度制御手段と、
前記撮影カメラ及び前記温度制御手段からの情報に基づいて、予め決められた温度における前記検査対象物の各部位の高さ情報を算出する計測手段とを備え、
前記計測手段は、前記温度制御手段により前記検査対象物の雰囲気温度が予め決められた温度となった状態で、前記変位手段により前記相対位置関係を変化させながら前記撮影カメラにより前記検査対象物の画像を少なくとも3つ撮影させ、その少なくとも3つの画像上の光の強度分布に基づいて位相シフト法により前記検査対象物の各部位の高さ情報を算出することを特徴とする形状検査装置。 - 前記温度制御手段により制御される前記検査対象物の雰囲気温度を経時的に変化させるように設定可能な温度変化設定手段と、
前記撮影カメラにより前記検査対象物を撮影するタイミングを設定可能な計測タイミング設定手段とをさらに備えている請求項1に記載の形状検査装置。 - 前記検査対象物が収容される閉鎖空間を形成する収容ケースをさらに備え、
前記収容ケースの少なくとも一部が透明であり、前記撮影カメラは前記透明部分を通して前記検査対象物の表面を撮影するように構成されている請求項1又は2に記載の形状検査装置。 - 前記撮影カメラの撮影方向と同じ方向から前記検査対象物の温度分布画像を撮影する温度分布撮影カメラをさらに備え、
前記計測手段は、前記温度制御手段により前記検査対象物の雰囲気温度が予め決められた温度となった状態で、前記温度分布撮影カメラにより前記検査対象物の温度分布画像を撮影させ、その温度分布画像に基づいて前記検査対象物の温度分布を求める構成である請求項1乃至3のいずれかに記載の形状検査装置。 - 前記温度制御手段により制御される前記検査対象物の雰囲気温度を経時的に変化させるように設定可能な温度変化設定手段と、
前記温度分布撮影カメラにより前記検査対象物の温度分布画像を撮影するタイミングを設定可能な計測タイミング設定手段とをさらに備えている請求項4に記載の形状検査装置。 - 前記検査対象物が収容される閉鎖空間を形成する収容ケースをさらに備え、
前記収容ケースの少なくとも一部が透明であり、前記温度分布撮影カメラは前記透明部分を通して前記検査対象物の表面の温度分布画像を撮影するように構成されている請求項4又は5に記載の形状検査装置。
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