JP2008251881A - 受光素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 暗電流を低減化することができる受光素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 受光素子(100)は、半導体基板(1)と、半導体基板上に設けられた第1導電型の第1半導体層(2,3,4,5,6)と、第1半導体層上に設けられた第2導電型の第2半導体層(7)と、第1半導体層および第2半導体層の側面に設けられ一部に層厚の小さい薄層領域を備える第3半導体層(13)とを備え、薄層領域(13a)の最薄部は、第1半導体層と第2半導体層との界面のビルトイン空乏層(A)よりも半導体基板側に位置する。
【選択図】 図1
【解決手段】 受光素子(100)は、半導体基板(1)と、半導体基板上に設けられた第1導電型の第1半導体層(2,3,4,5,6)と、第1半導体層上に設けられた第2導電型の第2半導体層(7)と、第1半導体層および第2半導体層の側面に設けられ一部に層厚の小さい薄層領域を備える第3半導体層(13)とを備え、薄層領域(13a)の最薄部は、第1半導体層と第2半導体層との界面のビルトイン空乏層(A)よりも半導体基板側に位置する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、受光素子およびその製造方法に関する。
従来のメサ構造を有する受光素子(フォトダイオード)には、暗電流(リーク電流)の低減化が求められている。これまで、メサ部の側面に保護膜を設けることによって、暗電流の低減化が図られてきた。この保護膜としては、InP等の半導体層が用いられている。
なお、n型半導体層およびp型半導体層が露出するメサ部の側面に絶縁膜を保護膜として設ける場合には、絶縁膜の界面準位に起因して暗電流がメサ部の側面を流れることが知られている。したがって、メサ部の側面にInPからなる半導体層を設け、この半導体層上に絶縁膜を設けることによって暗電流の低減化を図っていた(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1の技術では、APD(アバランシェフォトダイオード)をはじめPIN型フォトダイオードにおいても暗電流が十分に低減化されない。本発明は、暗電流を低減化することができる受光素子およびその製造方法を提供することを目的とする。
本発明に係る受光素子は、半導体基板と、半導体基板上に設けられた第1導電型の第1半導体層と、第1半導体層上に設けられた第2導電型の第2半導体層と、第1半導体層および第2半導体層の側面に設けられ一部に層厚の小さい薄層領域を備える第3半導体層とを備え、薄層領域の最薄部は、第1半導体層と第2半導体層との界面のビルトイン空乏層よりも前記半導体基板側に位置することを特徴とするものである。
本発明に係る受光素子においては、薄層領域の最薄部が第1半導体層と第2半導体層との界面におけるビルトイン空乏層に相当する領域よりも半導体基板側に位置するように設けられていることから、ビルトイン空乏層に相当する領域における第3半導体層の層厚が比較的大きくなる。それにより、受光素子に逆バイアスを印加した場合、ビルトイン空乏層に相当する領域に最も高い電界がかかるが、ビルトイン空乏層に相当する領域が十分にパッシベーションされる。その結果、暗電流の発生を抑制することができる。
受光素子はアバランシェフォトダイオードであり、第1半導体層は電界降下層を含み、薄層領域の最薄部は電界降下層よりも半導体基板側に位置していてもよい。この場合、ビルトイン空乏層に相当する領域における第3半導体層の層厚が比較的大きくなるとともに、電界降下層の界面に形成されるヘテロ界面に相当する領域における第3半導体層の層厚が比較的大きくなる。それにより、アバランシェフォトダイオードに逆バイアスを印加した場合、ビルトイン空乏層に相当する領域に最も高い電界がかかり、電界降下層の界面に形成されるヘテロ界面に相当する領域にも高い電界がかかる。しかしながら、ビルトイン空乏層に相当する領域が十分にパッシベーションされるとともに、電界降下層の界面に形成されるヘテロ界面に相当する領域が十分にパッシベーションされる。その結果、さらに暗電流の発生を抑制することができる。
受光素子はアバランシェフォトダイオードであり、第1半導体層は光吸収層を含み、薄層領域の最薄部は光吸収層よりも半導体基板側に位置していてもよい。この場合、ビルトイン空乏層に相当する領域における第3半導体層の層厚が比較的大きくなり電界降下層の界面に形成されるヘテロ界面における第3半導体層の層厚が比較的大きくなるとともに、光吸収層の界面に形成されるヘテロ界面における第3半導体層の層厚が比較的大きくなる。それにより、アバランシェフォトダイオードに逆バイアスを印加した場合、ビルトイン空乏層に相当する領域に最も高い電界がかかり、電界降下層の界面および光吸収層の界面に形成されるヘテロ界面に相当する領域に高い電界がかかる。しかしながら、ビルトイン空乏層に相当する領域が十分にパッシベーションされ電界降下層の界面に形成されるヘテロ界面に相当する領域が十分にパッシベーションされるとともに、光吸収層の界面に形成されるヘテロ界面に相当する領域が十分にパッシベーションされる。その結果、暗電流の発生を抑制することができる。
少なくとも第1半導体層および第2半導体層がメサ構造を有し、第3半導体層はメサ構造の側面に設けられていてもよい。第1半導体層はn型であり、第2半導体層はp型であってもよい。また、第3半導体層は、InPからなるものであってもよい。また、薄層領域の最薄部の層厚は、0.2μm以下であってもよい。
また、受光素子はPIN型フォトダイオードであり、第1半導体層はi型であり、薄層領域の最薄部は第1半導体層よりも半導体基板側に位置していてもよい。この場合、第1半導体層の界面に形成されるヘテロ界面における第3半導体層の層厚が比較的大きくなる。それにより、PIN型フォトダイオードに逆バイアスを印加した場合、ビルトイン空乏層に相当する領域に最も高い電界がかかり、第1半導体層の界面に形成されるヘテロ界面に相当する領域にも高い電界がかかる。しかしながら、第1半導体層の界面に形成されるヘテロ界面に相当する領域が十分にパッシベーションされる。その結果、さらに暗電流の発生を抑制することができる。
本発明に係る受光素子の製造方法は、半導体基板上に第1導電型の第1半導体層と第2導電型の第2半導体層とが順に設けられた半導体層において第1半導体層および第2半導体層の側面を露出させる工程と、露出した第1半導体層および第2半導体層の側面に一部に層厚の小さい薄層領域を備える第3半導体層を気相成長法により形成する工程と、を含み、薄層領域の最薄部は、第1半導体層と第2半導体層との界面のビルトイン空乏層に相当する領域よりも半導体基板側に位置することを特徴とするものである。
本発明に係る受光素子の製造方法においては、第3半導体層の薄層領域の最薄部が第1半導体層と第2半導体層との界面におけるビルトイン空乏層に相当する領域よりも半導体基板側に位置するように設けられる。この場合、ビルトイン空乏層に相当する領域に接する第3半導体層の層厚は比較的大きくなる。それにより、ビルトイン空乏層に相当する領域が十分にパッシベーションされる。その結果、暗電流の発生を抑制することができる。
第1半導体層および第2半導体層の側面を露出させる工程は、ウェットエッチング処理を含んでいてもよい。この場合、露出部に面方位が形成されやすくなる。その結果、第3半導体層に薄層領域が形成されやすくなる。また、気相成長法は、MOCVD法であってもよい。この場合、ガス流の影響を受けて、第3半導体層に薄層領域が形成されやすくなる。
光素子はアバランシェフォトダイオードであり、第1半導体層は電界降下層を含み、薄層領域の最薄部は電界降下層よりも半導体基板側に位置していてもよい。また、受光素子はアバランシェフォトダイオードであり、第1半導体層は光吸収層を含み、薄層領域の最薄部は光吸収層よりも半導体基板側に位置していてもよい。また、第1半導体層はn型であり、第2半導体層はp型であってもよい。
受光素子はPIN型フォトダイオードであり、第1半導体層はi型であり、薄層領域の最薄部は第1半導体層よりも半導体基板側に位置していてもよい。また、第3半導体層は、InPからなるものであってもよい。また、薄層領域の最薄部の層厚は、0.2μm以下であってもよい。また、気相成長法により第3半導体層を形成する工程は、半導体基板上から第1半導体層および第2半導体層の側面にかけて第3半導体層を形成する工程であり、気相成長法により第3半導体層を形成する工程において、薄層領域の最薄部の位置は、半導体基板上における第3半導体層の層厚に基づいて決定されてもよい。
本発明によれば、暗電流を低減化することができる受光素子およびその製造方法を提供することができる。
以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係る受光素子100を説明するための模式図である。受光素子100は、アバランシェフォトダイオードである。図1に示すように、受光素子100は、InPからなる半導体基板1上に、n型InPからなるバッファ層2およびメサ構造体20が順に設けられた構造を有する。メサ構造体20は、バッファ層2上に、n型またはi型InGaAsからなる光吸収層3、n型InGaAsPからなる衝撃吸収層4、n型InPからなる電界降下層5、n型またはi型InPからなる増倍層6、およびp型InPからなるウィンドウ層7が順に設けられた構造を有する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る受光素子100を説明するための模式図である。受光素子100は、アバランシェフォトダイオードである。図1に示すように、受光素子100は、InPからなる半導体基板1上に、n型InPからなるバッファ層2およびメサ構造体20が順に設けられた構造を有する。メサ構造体20は、バッファ層2上に、n型またはi型InGaAsからなる光吸収層3、n型InGaAsPからなる衝撃吸収層4、n型InPからなる電界降下層5、n型またはi型InPからなる増倍層6、およびp型InPからなるウィンドウ層7が順に設けられた構造を有する。
ウィンドウ層7上には、p型InGaAsからなりリング状に形成されたコンタクト層8が設けられている。また、コンタクト層8上にはTi/Pt/Au等からなるp側電極15が設けられている。メサ構造体20以外のバッファ層2上には、AuGe/Au等からなるn側電極16が設けられている。メサ構造体20の側面には、i型またはn型InPからなるパッシベーション層13が設けられている。パッシベーション層13上およびウィンドウ層7上には、SiO2等の絶縁体からなる絶縁層14が設けられている。
パッシベーション層13は、メサ構造体20の上下方向において他の領域に比較して層厚が小さい薄層領域13aを備える。本実施形態においては、パッシベーション層13は、薄層領域13aの最薄部がウィンドウ層7と増倍層6との界面におけるビルトイン空乏層Aよりも半導体基板1側に位置するように設けられている。
なお、上記ビルトイン空乏層Aの半導体基板1側の下端は、下記式(1)で表される。式(1)において、xは、ウィンドウ層7と増倍層6との界面から半導体基板1側の距離を示す。また、εSは増倍層6の比誘電率を示し、ε0は真空の誘電率を示し、Vはビルトインポテンシャルを示し、eは電気素量を示し、NAはウィンドウ層7におけるアクセプタ密度を示し、NDは増倍層6におけるドナー密度を示す。また、ビルトインポテンシャルVは、下記式(2)で表される。式(2)においては、kBはボルツマン定数を示し、Tは絶対温度を示し、qは素電荷を示し、niは真性キャリア密度を示す。
本実施形態においては薄層領域13aの最薄部がウィンドウ層7と増倍層6との界面におけるビルトイン空乏層Aよりも半導体基板1側に位置するように設けられていることから、ビルトイン空乏層Aに接するパッシベーション層13の層厚が比較的大きくなる。それにより、ビルトイン空乏層Aが十分にパッシベーションされる。その結果、絶縁層14を介した暗電流の発生を抑制することができる。したがって、暗電流の低減化を図ることができる。なお、薄層領域13aの最薄部の層厚が0.2μm以下である場合に、暗電流が発生しやすい傾向にある。
ここで、パッシベーション層13の側壁における層厚を全体的に増加させることによって暗電流の低減化を図ることが考えられる。しかしながら、パッシベーション層13の層厚を増加させると、ウィンドウ層7の上にもパッシベーション層13が覆いかぶさるようになり、後述するp側電極15が設けられるコンタクトホールの形成精度が低下する。したがって、パッシベーション層13の層厚は、所定値以下に制御する必要がある。以上のことから、本実施形態においては、コンタクトホールの形成精度を低下させることなく、暗電流の低減化を図ることができる。
なお、薄層領域13aの最薄部は、電界降下層5よりも半導体基板1側に位置していることが好ましい。この場合、ビルトイン空乏層Aに接するパッシベーション層13の層厚が比較的大きくなるとともに、電界降下層5と衝撃緩和層4とのヘテロ界面に接するパッシベーション層13の層厚が比較的高くなる。それにより、ビルトイン空乏層Aが十分にパッシベーションされるとともに、電界降下層5と衝撃緩和層4とのヘテロ界面が十分にパッシベーションされる。その結果、暗電流の低減化を図ることができる。
また、薄層領域13aの最薄部は、光吸収層3よりも半導体基板1側に位置していることがより好ましい。この場合、ビルトイン空乏層Aに接するパッシベーション層13の層厚が比較的大きくなり電界降下層5と衝撃緩和層4とのヘテロ界面に接するパッシベーション層13の層厚が比較的高くなるとともに、光吸収層3とバッファ層2とのヘテロ界面に接するパッシベーション層13の層厚が比較的高くなる。それにより、ビルトイン空乏層Aが十分にパッシベーションされ電界降下層5と衝撃緩和層4とのヘテロ界面が十分にパッシベーションされるとともに、光吸収層3とバッファ層2とのヘテロ界面が十分にパッシベーションされる。その結果、暗電流の低減化を図ることができる。
続いて、受光素子100の製造方法について説明する。図2〜図5は、受光素子100の製造方法を説明するためのフロー図である。まず、図2(a)に示すように、半導体基板1上に、バッファ層2、光吸収層3、衝撃緩和層4、電界降下層5、増倍層6、ウィンドウ層7およびコンタクト層8を順に成長させる。
例えば、半導体基板1の厚さは350μmであり、バッファ層2の層厚は1.0μmであり、光吸収層3の層厚は1.0μmであり、衝撃緩和層4の層厚は0.05μmであり、電界降下層5の層厚は0.05μmであり、増倍層6の層厚は0.05μmであり、ウィンドウ層7の層厚は1.0μmであり、コンタクト層8の層厚は0.3μmである。
次に、図2(b)に示すように、コンタクト層8上にSiO2等の絶縁体からなる絶縁層9を成膜し、絶縁層9の中央部上に略円形状のレジスト10を形成する。なお、絶縁層9の層厚は、例えば0.6μm程度である。次いで、図2(c)に示すように、レジスト10が形成されていない領域の絶縁層9およびコンタクト層8をエッチングにより除去する。コンタクト層8のエッチングには、硫酸および過酸化水素を水で希釈したものをエッチング液として用いることができる。
次に、図3(a)に示すように、図2(c)に示す積層体に対して、ウィンドウ層7にドープされているp型不純物を含む雰囲気中で熱処理(アニール処理)を施す。このアニール処理は、例えば500ppm〜2000ppmのp型不純物濃度かつ600℃の雰囲気において30分行う。このアニール処理によって、コンタクト層8が形成されていない領域の下方においては、ウィンドウ層7から増倍層6へp型不純物が拡散する。したがって、コンタクト層8が形成されていない領域の下方において、ウィンドウ層7が増倍層6へ拡大する。なお、p型不純物として、Zn、Cd、Mg等を用いることができる。
次に、図3(b)に示すように、ウィンドウ層7の露出領域上および絶縁層9の外周部上にレジスト11を形成し、コンタクト層8および絶縁層9の外周部以外の領域をエッチングにより除去する。次いで、図3(c)に示すように、レジスト11および絶縁層9を除去する。それにより、略リング状のコンタクト層8が露出する。
次に、図4(a)に示すように、コンタクト層8上およびウィンドウ層7の外周部を除く領域上に、SiO2等の絶縁体からなる絶縁層12を形成する。次いで、図4(b)に示すように、絶縁層12をマスクとして用いて誘導結合型プラズマ(Inductively Coupled Plasma:ICP)ドライエッチング処理を施す。この場合、バッファ層2が露出するまでエッチング処理を施す。それにより、半導体基板1、バッファ層2、光吸収層3、衝撃緩和層4、電界降下層5、増倍層6、ウィンドウ層7およびコンタクト層8を含むメサ構造体20が形成される。
この場合のICPドライエッチングにおいては、例えば、アンテナパワーを200Wに設定し、バイアスパワーを100Wに設定し、エッチングガスとしてSiCl4/Arを用い、雰囲気を0.5Pa〜0.7Paかつ150℃〜250℃に調整する。その後、硫酸系エッチング液またはフッ酸系エッチング液を用いてメサ構造体20の側面に対してエッチング処理を施す。それにより、ICPドライエッチングのダメージを除去することができ、メサ構造体20の側面下部に面方位が現れる。
次に、図4(c)に示すように、バッファ層2の露出部およびメサ構造体20の側面に、InPからなるパッシベーション層13を気相成長法により成長させる。この場合のパッシベーションにおいては、雰囲気をPH3とし、温度を600℃、成長速度を2.0μm/hに設定する。この場合、パッシベーション層13に、上下方向において他の領域に比較して層厚が小さい薄層領域13aが形成される。図4(c)の工程においては、薄層領域13aの最薄部がウィンドウ層7と増倍層6との界面におけるビルトイン空乏層Aよりも半導体基板1側に位置するようにパッシベーション層13を形成する。
ここで、薄層領域13aの最薄部の位置の制御方法について説明する。薄層領域13aの最薄部の位置は、バッファ層2上のパッシベーション層13の層厚と所定の関係を有する。図6(a)は、薄層領域13aの最薄部の位置とバッファ層2上のパッシベーション層13の層厚との関係を示す図である。図6(a)において、横軸はバッファ層2上のパッシベーション層13の層厚を示し、縦軸は薄層領域13aの最薄部の位置を示す。なお、図6(a)に示す薄層領域13aの最薄部の位置は、メサ底からの距離である。また、図6(a)に示す値は、実測値である。
図6(a)に示すように、バッファ層2上のパッシベーション層13の層厚が増加するに伴って、薄層領域13aの最薄部はバッファ層2側からメサ構造体20の高さ方向に移動する。このように、薄層領域13aの最薄部の位置とバッファ層2上のパッシベーション層13の層厚とは所定の関係を有する。したがって、バッファ層2上のパッシベーション層13の層厚を制御することによって、薄層領域13aの最薄部の位置を所望の位置に制御することができる。また、パッシベーション層13の目標層厚が定まっている場合には、メサ構造体20の高さを調整することによって薄層領域13aの最薄部の位置を制御することができる。
なお、パッシベーション層13の層厚が所定値を超えると、絶縁層12上までパッシベーション層13が拡大してしまう。この場合、p側電極15用のコンタクトホールの形成精度が低下する。したがって、パッシベーション層13の層厚は、所定値以下であることが好ましい。
図6(b)は、バッファ層2上のパッシベーション層13の層厚と絶縁層12上に形成されたパッシベーション層13の層厚との関係を示す図である。図6(b)において、横軸はバッファ層2上のパッシベーション層13の層厚を示し、縦軸は絶縁層12上に形成されたパッシベーション層13の層厚を示す。なお、図6(b)に示す値は、実測値である。
図6(b)に示すように、バッファ層2上のパッシベーション層13の層厚が所定値に到達するまでは、絶縁層12上にパッシベーション層13は形成されない。しかしながら、バッファ層2上のパッシベーション層13の層厚が0.5μmを超えると、絶縁層12上にパッシベーション層13が形成される。以上の結果から、バッファ層2上のパッシベーション層13の層厚は、0.5μm以下であることが好ましい。
次いで、図5(a)に示すように、絶縁層12を除去し、パッシベーション層13上、ウィンドウ層7上およびコンタクト層8上にSiN等の絶縁体からなる絶縁層14を形成する。その後、コンタクト層8上、およびバッファ層2上の一部のパッシベーション膜13および絶縁層14を除去する。それにより、コンタクト層8およびバッファ層2の一部が露出する。
次に、図5(b)に示すように、コンタクト層8上にTi/Pt/Au等からなるp側電極15を形成するとともに、バッファ層2の露出領域にAuGe/Au等からなるn側電極16を形成する。以上の工程により、アバランシェフォトダイオード型の受光素子100が完成する。受光素子100は、絶縁層14側から光が入射する表面入射型の受光素子である。
なお、本実施形態においては、バッファ層2、光吸収層3、衝撃緩和層4、電界降下層5および増倍層6が第1半導体層に相当し、ウィンドウ層7が第2半導体層に相当し、パッシベーション層13が第3半導体層に相当する。
また、本実施形態においては第1半導体層はn型であるが、第1半導体層はi型であってもよい。
(第2の実施の形態)
図7は、本発明の第2の実施形態に係る受光素子100aを説明するための模式図である。受光素子100aは、PIN型フォトダイオードである。図7に示すように、受光素子100aは、InPからなる半導体基板101上に、n型InPからなるn型半導体層102およびメサ構造体120が順に設けられた構造を有する。メサ構造体120は、n型半導体層102上に、InGaAsからなるi型もしくはn型半導体層103およびp型InPからなるp型半導体層104が順に設けられた構造を有する。
図7は、本発明の第2の実施形態に係る受光素子100aを説明するための模式図である。受光素子100aは、PIN型フォトダイオードである。図7に示すように、受光素子100aは、InPからなる半導体基板101上に、n型InPからなるn型半導体層102およびメサ構造体120が順に設けられた構造を有する。メサ構造体120は、n型半導体層102上に、InGaAsからなるi型もしくはn型半導体層103およびp型InPからなるp型半導体層104が順に設けられた構造を有する。
p型半導体層104上には、p型InGaAsからなりリング状に形成されたコンタクト層105が設けられている。また、コンタクト層105上にはTi/Pt/Au等からなるp側電極106が設けられている。メサ構造体120以外のn型半導体層102上には、AuGe/Au等からなるn側電極107が設けられている。メサ構造体120の側面には、i型またはn型InPからなるパッシベーション層108が設けられている。パッシベーション層108上およびp型半導体層104上には、SiN等の絶縁体からなる絶縁層109が設けられている。
パッシベーション層108は、メサ構造体120の上下方向において他の領域に比較して層厚が小さい薄層領域108aを備える。本実施形態においては、パッシベーション層108は、薄層領域108aの最薄部がp型半導体層104と半導体層103との界面におけるビルトイン空乏層Bよりも半導体基板101側に位置するように設けられている。
なお、上記ビルトイン空乏層Bの半導体基板101側の下端は、式(1)および式(2)に基づいて求めることができる。ただし、本実施形態においては、xは、p型半導体層104と半導体層103との界面から半導体基板101側の距離を示す。また、εSは半導体層103の比誘電率を示し、NAはp型半導体層104におけるアクセプタ密度を示し、NDは半導体層103におけるドナー密度を示す。
本実施形態においては薄層領域108aの最薄部がp型半導体層104と半導体層103との界面におけるビルトイン空乏層Bよりも半導体基板101側に位置するように設けられていることから、ビルトイン空乏層Bに接するパッシベーション層108の層厚が比較的大きくなる。それにより、ビルトイン空乏層Bが十分にパッシベーションされる。その結果、絶縁層109を介した暗電流の発生を抑制することができる。なお、薄層領域108aの最薄部の層厚が0.2μm以下である場合に、暗電流が発生しやすい傾向にある。
なお、薄層領域108aの最薄部は、半導体層103よりも半導体基板101側に位置していることが好ましい。この場合、ビルトイン空乏層Bに接するパッシベーション層108の層厚が比較的大きくなるとともに、半導体層103とn型半導体層102との界面に接するパッシベーション層の層厚が比較的大きくなる。それにより、ビルトイン空乏層Bが十分にパッシベーションされるとともに、半導体層103とn型半導体層102との界面が十分にパッシベーションされる。なお、薄層領域108aの最薄部の位置は、第1の実施形態と同様の方法により制御することができる。
なお、本実施形態においては、半導体層103が第1半導体層に相当し、p型半導体層104が第2半導体層に相当し、パッシベーション層108は第3半導体層に相当する。
実施例においては、上記実施形態に係る受光素子を作製し、その特性について調べた。
(実施例1)
実施例1においては、第1の実施形態に係る受光素子100を作製した。実施例1においては、薄層領域13aの最薄部は、増倍層6において増倍層6とウィンドウ層7との界面のビルトイン空乏層Aよりも半導体基板1側に位置する。なお、薄層領域13aの最薄部における層厚は、0.2μmである。
実施例1においては、第1の実施形態に係る受光素子100を作製した。実施例1においては、薄層領域13aの最薄部は、増倍層6において増倍層6とウィンドウ層7との界面のビルトイン空乏層Aよりも半導体基板1側に位置する。なお、薄層領域13aの最薄部における層厚は、0.2μmである。
(実施例2)
実施例2においても、第1の実施形態に係る受光素子100を作製した。実施例2においては、薄層領域13aの最薄部は、光吸収層3に位置している。すなわち、薄層領域13aの最薄部は、電界降下層5と衝撃緩和層4とのヘテロ界面よりも半導体基板1側に位置している。なお、薄層領域13aの最薄部における層厚は、0.2μmである。
実施例2においても、第1の実施形態に係る受光素子100を作製した。実施例2においては、薄層領域13aの最薄部は、光吸収層3に位置している。すなわち、薄層領域13aの最薄部は、電界降下層5と衝撃緩和層4とのヘテロ界面よりも半導体基板1側に位置している。なお、薄層領域13aの最薄部における層厚は、0.2μmである。
(実施例3)
実施例3においても、第1の実施形態に係る受光素子100を作製した。実施例3においては、薄層領域13aの最薄部は、バッファ層2に位置している。すなわち、薄層領域13aの最薄部は、光吸収層3とバッファ層2とのヘテロ界面よりも半導体基板1側に位置している。なお、薄層領域13aの最薄部における層厚は、0.2μmである。
実施例3においても、第1の実施形態に係る受光素子100を作製した。実施例3においては、薄層領域13aの最薄部は、バッファ層2に位置している。すなわち、薄層領域13aの最薄部は、光吸収層3とバッファ層2とのヘテロ界面よりも半導体基板1側に位置している。なお、薄層領域13aの最薄部における層厚は、0.2μmである。
(比較例)
比較例においては、パッシベーション層の薄層領域の最薄部がウィンドウ層に位置している他は、実施例1,2と同様の構造を有する受光素子を作製した。
比較例においては、パッシベーション層の薄層領域の最薄部がウィンドウ層に位置している他は、実施例1,2と同様の構造を有する受光素子を作製した。
(分析)
実施例1〜3および比較例に係る受光素子の暗電流を測定した。その結果を図8(a)〜図8(d)に示す。図8(a)〜図8(d)において、横軸は逆バイアスを示し、縦軸は暗電流を示す。なお、図8(a)〜図8(d)のグラフ内に記載されている「ID.9」とは、ブレークダウン電圧の90%のバイアスを印加したときの暗電流を意味する。図8(a)に示すように、比較例に係る受光素子においては、暗電流が比較的大きくなった。これは、逆バイアスを印加した場合にビルトイン空乏層幅に相当する領域に最も高い電界がかかるため、パッシベーションが十分でなければ暗電流が増加するからである。それに比較して、図8(b)に示すように、実施例1に係る受光素子においては暗電流が小さくなった。これは、増倍層6とウィンドウ層7との界面のビルトイン空乏層Aの幅に相当する領域が十分にパッシベーションされたからであると考えられる。
実施例1〜3および比較例に係る受光素子の暗電流を測定した。その結果を図8(a)〜図8(d)に示す。図8(a)〜図8(d)において、横軸は逆バイアスを示し、縦軸は暗電流を示す。なお、図8(a)〜図8(d)のグラフ内に記載されている「ID.9」とは、ブレークダウン電圧の90%のバイアスを印加したときの暗電流を意味する。図8(a)に示すように、比較例に係る受光素子においては、暗電流が比較的大きくなった。これは、逆バイアスを印加した場合にビルトイン空乏層幅に相当する領域に最も高い電界がかかるため、パッシベーションが十分でなければ暗電流が増加するからである。それに比較して、図8(b)に示すように、実施例1に係る受光素子においては暗電流が小さくなった。これは、増倍層6とウィンドウ層7との界面のビルトイン空乏層Aの幅に相当する領域が十分にパッシベーションされたからであると考えられる。
さらに、図8(c)に示すように、実施例2に係る受光素子においては、暗電流がさらに小さくなった。これは、電界降下層5と衝撃緩和層4とのヘテロ界面が十分にパッシベーションされたからであると考えられる。さらに、図8(d)に示すように、実施例3に係る受光素子においては、暗電流がさらに小さくなった。これは、光吸収層3とバッファ層2とのヘテロ界面が十分にパッシベーションされたからであると考えられる。
以上のことから、薄層領域13aの最薄部がウィンドウ層7と増倍層6との界面におけるビルトイン空乏層Aよりも半導体基板1側に位置することによって、暗電流を抑制できることがわかった。
1 半導体基板
2 バッファ層
3 光吸収層
4 衝撃緩和層
5 電界降下層
6 増倍層
7 ウィンドウ層
8 コンタクト層
13 パッシベーション層
13a 薄層領域
14 絶縁層
15 p側電極
16 n側電極
20 メサ構造体
100 受光素子
A,B ビルトイン空乏層
2 バッファ層
3 光吸収層
4 衝撃緩和層
5 電界降下層
6 増倍層
7 ウィンドウ層
8 コンタクト層
13 パッシベーション層
13a 薄層領域
14 絶縁層
15 p側電極
16 n側電極
20 メサ構造体
100 受光素子
A,B ビルトイン空乏層
Claims (18)
- 半導体基板と、
前記半導体基板上に設けられた第1導電型の第1半導体層と、
前記第1半導体層上に設けられた第2導電型の第2半導体層と、
前記第1半導体層および前記第2半導体層の側面に設けられ、一部に層厚の小さい薄層領域を備える第3半導体層とを備え、
前記薄層領域の最薄部は、前記第1半導体層と前記第2半導体層との界面のビルトイン空乏層よりも前記半導体基板側に位置することを特徴とする受光素子。 - 前記受光素子は、アバランシェフォトダイオードであり、
前記第1半導体層は、電界降下層を含み、
前記薄層領域の最薄部は、前記電界降下層よりも前記半導体基板側に位置することを特徴とする請求項1記載の受光素子。 - 前記受光素子は、アバランシェフォトダイオードであり、
前記第1半導体層は、光吸収層を含み、
前記薄層領域の最薄部は、前記光吸収層よりも前記半導体基板側に位置することを特徴とする請求項1記載の受光素子。 - 前記第1半導体層は、n型であり、
前記第2半導体層は、p型であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の受光素子。 - 前記受光素子は、PIN型フォトダイオードであり、
前記第1半導体層は、i型であり、
前記薄層領域の最薄部は、前記第1半導体層よりも前記半導体基板側に位置することを特徴とする請求項1記載の受光素子。 - 少なくとも前記第1半導体層および前記第2半導体層がメサ構造を有し、
前記第3半導体層は、前記メサ構造の側面に設けられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の受光素子。 - 前記第3半導体層は、InPからなることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の受光素子。
- 前記薄層領域の最薄部の層厚は、0.2μm以下であることを特徴とする請求項7記載の受光素子。
- 半導体基板上に第1導電型の第1半導体層と第2導電型の第2半導体層とが順に設けられた半導体層において、前記第1半導体層および前記第2半導体層の側面を露出させる工程と、
露出した前記第1半導体層および前記第2半導体層の側面に、一部に層厚の小さい薄層領域を備える第3半導体層を気相成長法により形成する工程と、を含み、
前記薄層領域の最薄部は、前記第1半導体層と前記第2半導体層との界面のビルトイン空乏層よりも前記半導体基板側に位置することを特徴とする受光素子の製造方法。 - 前記第1半導体層および前記第2半導体層の側面を露出させる工程は、ウェットエッチング処理を含むことを特徴とする請求項8または9記載の受光素子の製造方法。
- 前記気相成長法は、MOCVD法であることを特徴とする請求項8〜10のいずれかに記載の受光素子の製造方法。
- 前記受光素子は、アバランシェフォトダイオードであり、
前記第1半導体層は、電界降下層を含み、
前記薄層領域の最薄部は、前記電界降下層よりも前記半導体基板側に位置することを特徴とする請求項8〜11のいずれかに記載の受光素子の製造方法。 - 前記受光素子は、アバランシェフォトダイオードであり、
前記第1半導体層は、光吸収層を含み、
前記薄層領域の最薄部は、前記光吸収層よりも前記半導体基板側に位置することを特徴とする請求項8〜11のいずれかに記載の受光素子の製造方法。 - 前記第1半導体層は、n型であり、
前記第2半導体層は、p型であることを特徴とする請求項8〜13のいずれかに記載の受光素子の製造方法。 - 前記受光素子は、PIN型フォトダイオードであり、
前記第1半導体層は、i型であり、
前記薄層領域の最薄部は、前記第1半導体層よりも前記半導体基板側に位置することを特徴とする請求項8〜11のいずれかに記載の受光素子の製造方法。 - 前記第3半導体層は、InPからなることを特徴とする請求項8〜15のいずれかに記載の受光素子の製造方法。
- 前記薄層領域の最薄部の層厚は、0.2μm以下であることを特徴とする請求項16記載の受光素子の製造方法。
- 前記気相成長法により前記第3半導体層を形成する工程は、前記半導体基板上から第1半導体層および前記第2半導体層の側面にかけて前記第3半導体層を形成する工程であり、
前記気相成長法により前記第3半導体層を形成する工程において、前記薄層領域の最薄部の位置は、前記半導体基板上における前記第3半導体層の層厚に基づいて決定されることを特徴とする請求項8〜17のいずれかに記載の受光素子の製造方法。
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JP2007092026A JP2008251881A (ja) | 2007-03-30 | 2007-03-30 | 受光素子およびその製造方法 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010035845A1 (ja) | 2008-09-29 | 2010-04-01 | 富士フイルム株式会社 | アゾ顔料、アゾ顔料の製造方法、及びアゾ顔料を含む分散物、着色組成物 |
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-
2007
- 2007-03-30 JP JP2007092026A patent/JP2008251881A/ja active Pending
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