JP2008251725A - パターン形成方法、トレンチ型コンデンサの製造方法及び電子素子の製造方法 - Google Patents
パターン形成方法、トレンチ型コンデンサの製造方法及び電子素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008251725A JP2008251725A JP2007089597A JP2007089597A JP2008251725A JP 2008251725 A JP2008251725 A JP 2008251725A JP 2007089597 A JP2007089597 A JP 2007089597A JP 2007089597 A JP2007089597 A JP 2007089597A JP 2008251725 A JP2008251725 A JP 2008251725A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- dry film
- recess
- substrate
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
【課題】 良好なパターニングを行うことが可能なパターン形成方法、及び優れた性能を有するトレンチ型コンデンサや電子素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 ドライフィルムレジストDFで凹部Dに蓋をした後に、液状レジストのパターニングを行うので、凹部D内に液状レジストが入り込まず、レジスト内に気泡が発生せず、且つ、液状レジストを用いるため、この液状レジストから作ったマスクを用いて、微細なパターンを形成することができる。
【選択図】 図2
【解決手段】 ドライフィルムレジストDFで凹部Dに蓋をした後に、液状レジストのパターニングを行うので、凹部D内に液状レジストが入り込まず、レジスト内に気泡が発生せず、且つ、液状レジストを用いるため、この液状レジストから作ったマスクを用いて、微細なパターンを形成することができる。
【選択図】 図2
Description
本発明は、パターン形成方法、トレンチ型コンデンサの製造方法及び電子素子の製造方法に関する。
従来のトレンチ型コンデンサは、例えば下記特許文献1に記載されている。このようなトレンチ型コンデンサは、凹パターンを有しており、凹部の内壁に沿って誘電体層を形成することで、一対の電極間に挟まれた誘電体層からなるコンデンサを形成している。トレンチ型コンデンサは、平板型コンデンサに比べて、同一平面領域内の電極対向面積が大きくなるという利点がある。隣接する凹部の数を増加させると、コンデンサの全体容量は更に大きくなるため、近年では複数の凹部が隣接した構造のトレンチ型コンデンサが製造されている。
特開2000−124427号公報
しかしながら、このようなトレンチパターンやコンタクトホール等の凹部が形成された基板上に、液体レジストを塗布してパターニングしようとすると、液状レジストの塗布後の加熱工程時などに凹部内に残留した空気や水分が気体となり、レジスト内に気泡が混入する。レジストはパターニングの精度を決定するものであるため、このような気泡が内部に混入した場合には、良好なパターニングを行うことができない。もちろん、液状レジストの代わりにドライフィルムレジストを用いれば、このような気泡の混入は防止できるが、ドライフィルムレジストは液状レジストよりも解像度が低いため、微細なパターニングを行うことができない。
パターニング精度が低い場合には、このようなパターン形成方法を用いていては、優れた性能のトレンチ型コンデンサや電子素子を製造することができない。
本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、良好なパターニングを行うことが可能なパターン形成方法、及び優れた性能を有するトレンチ型コンデンサや電子素子の製造方法を提供することを目的とする。
上述の課題を解決するため、本発明に係るパターン形成方法は、基板に形成された凹部に基板の一部が露出するようにドライフィルムレジストで蓋をする第1工程と、基板上に液状レジストを塗布する第2工程と、液状レジストをパターニングしてマスクを形成する第3工程とを備えることを特徴とする。
本発明の方法によれば、ドライフィルムレジストで凹部に蓋をした後に、液状レジストのパターニングを行うので、凹部内に液状レジストが入り込まず、且つ、液状レジストを用いるため、この液状レジストから作ったマスクを用いて、微細なパターンを形成することができる。
また、本発明に係るパターン形成方法は、第1工程と第2工程の間に、ドライフィルムレジスト上及び基板の一部に金属層を形成することが好ましい。この場合、マスクの開口内に金属層が位置することとなるため、この金属層をシード層とすれば、この上にめっき層を形成することができる。また、この金属層自体を電極などに用いることも可能である。上述の理由から、金属層のパターン精度は優れることになる。
また、第1工程は、ドライフィルムレジストを減圧環境下で凹部に貼り付けることを特徴とする。この場合、凹部内に気体が入りにくい状態で、ドライフィルムレジストが貼り付けられるので、その後の工程で気体が膨張してもドライフィルムレジスト及び上部のマスクが平坦に保持される傾向になる。減圧環境は、好ましくは真空である。
また、パターン形成方法は、第3工程の後、マスクの開口内に金属材料を形成する第4工程と、マスク及びドライフィルムレジストを除去する第5工程とを備えることが好ましい。この場合、マスク及びドライフィルムレジストの除去によって凹部内が外部に開放したトレンチ構造が形成される。したがって、この凹部内に誘電体層及び金属層を形成すれば、トレンチ型コンデンサとなり、凹部がコンタクトホール用に形成されているものであれば、凹部内に金属材料を埋め込むことで下地に接触するコンタクトを形成することができる。
また、本発明に係るトレンチ型コンデンサの製造方法は、端子電極に電気的に接続される上部電極及び下部電極によって挟まれる絶縁層を凹部内に形成してなるトレンチ型コンデンサの製造方法であって、基板に形成された凹部に前記基板の一部が露出するようにドライフィルムレジストで蓋をする第1工程と、基板上に液状レジストを塗布する第2工程と、液状レジストをパターニングしてマスクを形成する第3工程と、第3工程の後、マスクの開口内に端子電極を形成する第4工程と、マスク及びドライフィルムレジストを除去する第5工程とを備えている。この製造方法によれば、パターニング精度が高い金属材料としての端子電極にコンデンサの上部及び下部電極を接続するので、優れた性能のトレンチ型コンデンサを製造することが可能となる。
また、本発明に係る電子素子の製造方法は、上述の第1工程、第2工程、第3工程、第4工程、第5工程、及び凹部内に形成される導体とパターニングされた端子電極とを電気的に接続する第6工程とを備えている。この製造方法によれば、パターニング精度が高い金属材料(配線や電極など)に、電子素子の導体(コンデンサの場合は電極、コンタクトホールの場合には貫通電極)を接続するので、優れた性能の電子素子を製造することが可能となる。
本発明のパターン形成方法によれば、良好なパターニングを行うことができ、優れた性能を有するトレンチ型コンデンサや電子素子を製造することができる。
以下、実施の形態に係るパターン形成方法を用いたトレンチ型コンデンサの製造方法について説明する。トレンチ型コンデンサは電子素子である。なお、同一要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。
まず、トレンチ型コンデンサの構造について説明する。
図1(a)はトレンチ型コンデンサの平面図、図1(b)は図1(a)に示したトレンチ型コンデンサのIb−Ib矢印断面図である。
トレンチ型コンデンサは、基板1の表面上に設定された長方形の設定領域R内に形成されている。なお、この設定領域Rの外縁に沿ってダイシングを行うことも可能である。基板1上には、コンデンサ2を取り囲む周辺領域構成材料3が形成されており、周辺領域構成材料3上にはコンデンサ2の両端に位置する電極パッド(バンプ:端子電極)2e1,2e2が設けられており、これらは下部電極2b及び上部電極2dに電気的に接続されている。
コンデンサ2は、基板表面の材料をエッチングすることによって形成されたトレンチ溝間の領域で規定される凸部2Aを備えている。複数の凸部2Aは、基板1の表面から柱状に立設しており、複数の凸部2Aは電極パッド2e1,2e2間の離隔方向に沿って離隔している。複数の凸部2A間のトレンチ溝は、凹部Dを構成しており、凸部2Aの側壁IW、すなわち凹部Dの内側面上に下部電極2b、誘電体層2c、上部電極2dが順次形成されており、それぞれの層が凹部Dの開口端面上にまで延びている。
図面左側の周辺領域構成材料3上には、下部電極2b、誘電体層2cが積層されており、誘電体層2cの中央に設けられた開口Pを介して、電極パッド2e1が下部電極2bに接触している。図面右側の周辺領域構成材料3上には、下部電極2b、誘電体層2c及び上部電極2dが順次積層され、上部電極2dの露出表面上に電極パッド2e2が接触している。なお、トレンチ型コンデンサは、露出表面を被覆する保護膜を更に備えていても良い。保護膜の材料としてはアルミナ(Al2O3)を用いることができる。
コンデンサ2は、上下の電極2b,2dによって挟まれる誘電体層2cを凹部D内に形成してなるトレンチ型コンデンサである。本実施形態のトレンチ型コンデンサの材料の一例は以下の通りである。
基板1:アルミナ
凸部2A:アルミナ
下部電極2b:Cu(厚さ0.1μm)
誘電体層2c:アルミナ(厚さ0.1μm)
上部電極2d:Cu(厚さ0.1μm)
電極パッド2e1:Au
電極パッド2e2:Au
周辺領域構成材料3:アルミナ(25μm)
基板1:アルミナ
凸部2A:アルミナ
下部電極2b:Cu(厚さ0.1μm)
誘電体層2c:アルミナ(厚さ0.1μm)
上部電極2d:Cu(厚さ0.1μm)
電極パッド2e1:Au
電極パッド2e2:Au
周辺領域構成材料3:アルミナ(25μm)
本形態では、基板1の表面から凸部2Aの頂面(凹部Dの開口端面)までの距離Z1は、基板1の表面から周辺領域構成材料3の露出表面までの距離Z2に実質的に等しい。「実質的に」とは±10%の誤差を含むことを意味することとする。
以下、トレンチ型コンデンサの製造方法について詳説する。この製造に先立って、基板1を用意する。基板1は、直径6インチ、厚さ2mmのSi基板の表面にアルミナを20μmスパッタして得られるアルミナウェハである。次に、以下の工程(1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)、(7)を順次実行する。
図2及び図3は、スパッタ法を用いた製造方法を説明するための図である。
左列の(a−1)〜(a−6)は断面図を示し、右列の(b−1)〜(b−6)は平面図を示している。
工程(1)
まず、基板1に形成された凹部Dの周辺領域30(基板の一部)が露出するように、ドライフィルムレジストDFで凹部Dに蓋をする。
(凹部形成:図2(a−1)、(b−1)参照)
この凹部Dの形成にあたっては、基板1上に絶縁層としての材料3を堆積し、続いて、この絶縁層上にNiからなるメタルマスクを形成し、メタルマスクの開口内の絶縁層表面をエッチングする。このエッチングにあたっては、RIE(反応性イオンエッチング)法を用いる。エッチングガスとしては、BCl3+Cl2を用いることができる。メタルマスクの開口寸法は、幅5μm、長さ100μm、深さ20μmであり、幅方向に沿って、開口は3つ設けられている。このメタルマスクを用いて絶縁層内に形成されるトレンチ溝の深さは20μmである。凹部の形成された領域R1の外側に周辺領域30が存在している。
(ドライフィルムレジスト貼付:図2(a−2)、(b−2)参照)
凹部Dの開口端面上にドライフィルムレジストDFを貼り付け、若干の圧力をドライフィルムレジストDFにかける。使用するドライフィルムレジストDFは、旭化成エレクロニクス社製の「SUNFORT」(登録商標)を用いた。ドライフィルムレジストDFの膜厚は10μmである。このドライフィルムレジストDFを、(株)MCK製の真空ラミネーターを用いて貼り付けた。基板加熱温度T1=50℃、ロール温度T2=105℃、ロール圧力P1=0.3MPa、ラミネート速度V=2.0m/min、真空度=50Paである。
長方形の凹部形成領域R1が現像時に残留するように、ドライフィルムレジストDFに露光を行った。露光装置としては、キャノン社製の「PLA」(登録商標)を用い、露光量は100mJ/cm2とし、現像にはスプレー現像(スプレー圧力:0.25Pa)を用い、現像液は1%−無水炭酸水素ナトリウム(Na2CO3)水溶液(30℃)、現像時間は30秒とした。得られた被覆レジストパターンの寸法は45μm×120μmであるが、これよりも多少小さなパターンとすることもできる。
工程(2)
次に、基板1のドライフィルムレジストDF及び材料3上に液状レジストからなるレジストPRを塗布する(図2(a−3)、(b−3)参照)。液状レジストは、信越化学工業(株)製のSIPR−9600シリーズ(レジストパターン底部に括れが入るもの)であり、膜厚は5μmである。液状レジストの塗布後、100℃×60秒のプリベークを行った。なお、ドライフィルムレジストDFを貼り付けずに液状レジストを塗布してプリベークを行ったところ、その後のプロセスが困難なほどに、トレンチ部分でレジストが発泡した。
工程(3)
次に、液状レジストを固化したレジストPRをパターニングしてマスクを形成する(図2(a−4)、(b−4)参照)。
液状レジストの露光に用いた露光装置は、ニコン(株)製のNSR−i12TFH(波長λ=365nm、開口数NA=0.3、部分コヒーレント比σ=0.3)を用いた。露光量は500mJ/cm2、ポストイクスポージャベークは110℃で360秒である。露光後の現像には、2.38%のTMAH(テトラメチルアンモニウムハイドロキシド)水溶液を用いた。60秒の現像を5回実行した。これにより、10×100μmの開口を有するレジストパターンが形成される。このようにレジストPRのパターンが形成された。なお、この開口の凹部形成領域R1からの距離は100μmである。
工程(4)
工程(3)の後、レジストPRからなるマスクの開口内に金属材料Eを形成する(図3(a−5)、(b−5)参照)。金属材料Eの形成方法には種々の方法が考えられるが、ここでは、スパッタ法を用いる。スパッタ法のターゲット材料はAuであり、膜厚は0.5μmである。金属材料Eをスパッタ法にて基板全面に堆積すると、開口内にも金属材料Eが堆積される。なお、金属材料Eの堆積には蒸着法を用いてもよい。
工程(5)
次に、レジストPRからなるマスク及びドライフィルムレジストDFを除去する(図3(a−6)、(b−6)参照)。このマスク及びドライフィルムレジストDFを有機溶剤で溶解することにより、マスク及びドライフィルムレジストDFを除去し、凹部形成領域R1の周囲の開口内のみに金属材料Eを残留させることができる(リフトオフ)。有機溶剤としてはN−メチル−2ピロリドン(イソプロピルアルコール)などを用い、基板を揺動させながら溶剤中に浸す。凹部形成領域R1から開口内に位置していた金属材料E(2e1,2e2)までの距離は、それぞれ100μmであり、金属材料E(2e1,2e2)の厚みは0.5μmである。
なお、上記工程において液状レジストを用いずにパターニングを行ったところ、ドライフィルムレジストDFの表面をAuが全て覆い、リフトオフができなかった。
以上のようにして、凹部D内からの気泡がレジスト内に入ることなく、トレンチ型コンデンサ中間体が製造された。すなわち、この段階のトレンチ型コンデンサ中間体は、凹パターンを有しており、その凹部形状は維持されている。
工程(6)
この中間体からトレンチ型コンデンサを製造するには、一方の電極パッドに電気的に接続される下部電極を凹部内にパターニングし、下部電極上に誘電体層を形成し、誘電体層上に他方の電極パッドに電気的に接続される上部電極をパターニングすればよい。
また、図1の構造のトレンチ型コンデンサを製造する場合には、工程(1)において凹部を形成した後、図1に示した各層を順次スパッタ法にて形成してパターニングし、上部電極2dに接触する開口を左端に形成した後、工程(2)以降の方法を実行すれば、最後の工程において、凹部D内に形成される導体(上部電極、下部電極)とパターニングされた金属材料Eとを電気的に接続することができ、電極パッド2e1,2e2を備えたトレンチ型コンデンサ(電子素子)を製造することができる。本例の電極パッドの形成方法は、スパッタ法であるが、これはフレームめっき法などにより形成することで、トレンチ型コンデンサを製造することも可能である。
図4及び図5は、フレームめっき法を用いたトレンチ型コンデンサの製造方法を説明するための図である。左列の(a−1)〜(a−8)は断面図を示し、右列の(b−1)〜(b−8)は平面図を示している。この製造方法は、上述のようにウェハを用意した後、以下の工程(1)、(A)、(2)〜(6)を順次実行する。なお、以下の工程(5)は、工程(5−1)、工程(B)及び工程(5−2)からなる。
工程(1)
まず、基板1に形成された凹部Dの周辺領域が露出するように、ドライフィルムレジストDFで凹部Dに蓋をする。
(凹部形成:図4(a−1)、(b−1)参照)
この凹部Dの形成にあたっては、基板1上に絶縁層としての材料3を堆積し、続いて、この絶縁層上にNiからなるメタルマスクを形成し、メタルマスクの開口内の絶縁層表面をエッチングする。このエッチングにあたっては、RIE(反応性イオンエッチング)法を用いる。エッチングガスとしては、BCl3+Cl2を用いることができる。メタルマスクの開口寸法は、幅5μm、長さ100μm、深さ20μmであり、幅方向に沿って、開口は3つ設けられている。このメタルマスクを用いて絶縁層内に形成されるトレンチ溝の深さは20μmである。凹部の形成された領域R1の外側に周辺領域30が存在している。
(ドライフィルムレジスト貼付:図4(a−2)、(b−2)参照)
凹部Dの開口端面上にドライフィルムレジストDFを貼り付け、若干の圧力をドライフィルムレジストDFにかける。使用するドライフィルムレジストDFは、旭化成エレクロニクス社製の「SUNFORT」(登録商標)を用いた。ドライフィルムレジストDFの膜厚は10μmである。このドライフィルムレジストDFを、(株)MCK製の真空ラミネーターを用いて貼り付けた。基板加熱温度T1=50℃、ロール温度T2=105℃、ロール圧力P1=0.3MPa、ラミネート速度V=2.0m/min、真空度=50Paである。
長方形の凹部形成領域R1が現像時に残留するように、ドライフィルムレジストDFに露光を行った。露光装置としては、キャノン社製の「PLA」(登録商標)を用い、露光量は100mJ/cm2とし、現像にはスプレー現像(スプレー圧力:0.25Pa)を用い、現像液は1%−無水炭酸水素ナトリウム(Na2CO3)水溶液(30℃)、現像時間は30secとした。得られた被覆レジストパターンの寸法は45μm×120μmであるが、これよりも多少小さなパターンとすることもできる。
工程(A)
次に、露出した基板表面に金属層MFを堆積する(図4(a−2)、(b−2)参照)。この堆積にはスパッタ法を用いるが、蒸着法などを用いることも可能である。金属層MFの厚みは50nmである。すなわち、このパターン形成方法では、工程(1)と工程(2)の間に、ドライフィルムレジストDF上及び基板の一部に金属層MFを形成している。この場合、工程(4)において、マスクの開口内に金属層が位置することとなるため、この金属層MFをシード層とすれば、この上にめっき層を形成することができる。また、この金属層MF自体を電極などに用いることも可能である。この方法では、レジスト中に凹部Dからの気泡が入らないため、金属層MFのパターン精度が優れることになる。
工程(2)
次に、基板上に液状レジストからなるレジストPRを塗布する(図4(a−3)、(b−3)参照)。液状レジストは、信越化学工業(株)製のSIPR−9200シリーズ(厚膜高解像度レジスト)であり、膜厚は5μmである。液状レジストの塗布後、100℃×60秒のプリベークを行った。なお、ドライフィルムレジストDFを貼り付けずに液状レジストを塗布してプリベークを行ったところ、その後のプロセスが困難なほどに、トレンチ部分でレジストが発泡した。
工程(3)
次に、液状レジストが固化してなるレジストPRをパターニングしてマスクを形成する(図4(a−4)、(b−4)参照)。
液状レジストの露光には、ニコン(株)製の露光装置(NSR−i12TFH(波長λ=365nm、開口数NA=0.3、部分コヒーレント比σ=0.3))を用いた。露光量は3500mJ/cm2、ポストイクスポージャベークは110℃で60秒である。露光後の現像には、2.38%のTMAH(テトラメチルアンモニウムハイドロキシド)水溶液を用いた。60秒の現像を5回実行した。これにより、1×100μmの開口を有するレジストパターンが形成される。なお、この開口の凹部形成領域R1からの距離は100μmである。
工程(4)
工程(3)の後、レジストPRからなるマスクの開口内に金属材料MF2を形成する(図4(a−5)、(b−5)参照)。金属材料MF2の形成方法には種々の方法が考えられるが、ここでは、めっき法を用いる。亜硫酸金溶液中でめっきを行い、シード層としての金属層MF上に、膜厚3μmのAuめっきからなる金属層MF2を成長させた。
工程(5−1)
次に、レジストPRからなるマスクを除去する(図5(a−6)、(b−6)参照)。このマスクを有機溶剤で溶解することにより、マスクを除去し、凹部形成領域R1の周囲の開口内のみに金属材料MF1,MF2を残留させる(リフトオフ)。有機溶剤としてはN−メチル−2ピロリドン(イソプロピルアルコール)などを用い、基板を揺動させながら溶剤中に浸す。凹部形成領域R1から開口内に位置していた金属材料MF1,MF2(2e1,2e2)までの距離は、それぞれ100μmであり、金属材料MF1,MF2(2e1,2e2)の厚みは3μmである。
工程(B)
次に、ミリングにより、金属層MF1を、金属層MF2をマスクとしてエッチングする(図5(a−7)、(b−7)参照)。
工程(5−1)
次に、ドライフィルムレジストDFを除去する(図5(a−8)、(b−8)参照)。このドライフィルムレジストDFを有機溶剤で溶解することにより、ドライフィルムレジストDFを除去し、凹部形成領域R1の周囲の開口内のみに金属材料MF1,MF2を残留させることができる(リフトオフ)。有機溶剤としては、上記と同じものを用い、基板を揺動させながら溶剤中に浸す。凹部形成領域R1から開口内に位置していた金属材料MF1,MF2(2e1,2e2)までの距離は、それぞれ100μmであり、金属材料MF1,MF2(2e1,2e2)の厚みは3μmである。
なお、ドライフィルムレジストDFで凹部Dに蓋をする前に、金属層MFを堆積すると、金属層MFが凹部D内から除去できなくなる。また、ドライフィルムレジストDFの解像度は液状レジストよりも低いため、ドライフィルムレジストDFで(a−4)と同じ精度のパターンを形成することはできなかった。
以上のようにして、凹部D内からの気泡がレジスト内に入ることなく、トレンチ型コンデンサ中間体が製造された。すなわち、この段階のトレンチ型コンデンサ中間体は、凹パターンを有しており、その凹部形状は維持されている。
工程(6)
この中間体からトレンチ型コンデンサを製造するには、一方の電極パッドに電気的に接続される下部電極を凹部内にパターニングし、下部電極上に誘電体層を形成し、誘電体層上に他方の電極パッドに電気的に接続される上部電極をパターニングすればよい。
また、図1の構造のトレンチ型コンデンサを製造する場合には、工程(1)において凹部を形成した後、図1に示した各層を順次スパッタ法にて形成してパターニングし、上部電極2dに接触する開口を左端に形成した後、図3の工程(2)以降の方法を実行すれば、最後の工程において、凹部D内に形成される導体(上部電極、下部電極)とパターニングされた金属材料MF,MF2とを電気的に接続することができ、電極パッド2e1,2e2を備えたトレンチ型コンデンサ(電子素子)を製造することができる。本例の電極パッドの形成方法は、フレームめっき法であるが、これはスパッタ法とミリングなどにより形成することで、トレンチ型コンデンサを製造することも可能である。
次に、スパッタ法とミリングを用いたトレンチ型コンデンサの製造方法について説明する。
図6は、トレンチ型コンデンサの製造方法を説明するための図である。左列の(a−1)〜(a−5)は断面図を示し、右列の(b−1)〜(b−5)は平面図を示している。この製造方法は、上述のようにウェハを用意した後、以下の工程(1)、(A)、(2)〜(6)を順次実行する。
工程(1)
まず、基板1に形成された凹部Dの周辺領域30が露出するように、ドライフィルムレジストDFで凹部Dに蓋をする。
(凹部形成:図6(a−1)、(b−1)参照)
この凹部Dの形成にあたっては、基板1上に絶縁層としての材料3を堆積し、続いて、この絶縁層上にNiからなるメタルマスクを形成し、メタルマスクの開口内の絶縁層表面をエッチングする。このエッチングにあたっては、RIE(反応性イオンエッチング)法を用いる。エッチングガスとしては、BCl3+Cl2を用いることができる。メタルマスクの開口寸法は、幅5μm、長さ100μm、深さ20μmであり、幅方向に沿って、開口は3つ設けられている。このメタルマスクを用いて絶縁層内に形成されるトレンチ溝の深さは20μmである。凹部の形成された領域R1の外側に周辺領域30が存在している。
(ドライフィルムレジスト貼付:図6(a−2)、(b−2)参照)
凹部Dの開口端面上にドライフィルムレジストDFを貼り付け、若干の圧力をドライフィルムレジストDFにかける。使用するドライフィルムレジストDFは、旭化成エレクロニクス社製の「SUNFORT」(登録商標)を用いた。ドライフィルムレジストDFの膜厚は10μmである。このドライフィルムレジストDFを、(株)MCK製の真空ラミネーターを用いて貼り付けた。基板加熱温度T1=50℃、ロール温度T2=105℃、ロール圧力P1=0.3MPa、ラミネート速度V=2.0m/min、真空度=50Paである。
長方形の凹部形成領域R1が現像時に残留するように、ドライフィルムレジストDFに露光を行った。露光装置としては、キャノン社製の「PLA」(登録商標)を用い、露光量は100mJ/cm2とし、現像にはスプレー現像(スプレー圧力:0.25Pa)を用い、現像液は1%−無水炭酸水素ナトリウム(Na2CO3)水溶液(30℃)、現像時間は30secとした。得られた被覆レジストパターンの寸法は45μm×120μmであるが、これよりも多少小さなパターンとすることもできる。
工程(A)
次に、露出した基板表面に金属層MFを堆積する(図6(a−2)、(b−2)参照)。この堆積にはスパッタ法を用いるが、蒸着法などを用いることも可能である。金属層MFの厚みは0.5μmである。すなわち、このパターン形成方法は、工程(1)と工程(2)の間に、ドライフィルムレジストDF上に金属層MFを形成している。この場合、工程(4)において、電極としての金属層MFが残ることとなる。レジスト中に凹部Dからの気泡が入らないため、金属層MFのパターン精度は優れることになる。
工程(2)
次に、基板上に液状レジストを塗布する(図6(a−3)、(b−3)参照)。液状レジストは、信越化学工業(株)製のSIPR−9600シリーズ(レジストパターン底部に括れが入るもの)であり、膜厚は5μmである。液状レジストの塗布後、100℃×60秒のプリベークを行った。なお、ドライフィルムレジストDFを貼り付けずに液状レジストを塗布してプリベークを行ったところ、その後のプロセスが困難なほどに、トレンチ部分でレジストが発泡した。
工程(3)
次に、液状レジストをパターニングしてマスクを形成する(図6(a−3)、(b−3)参照)。液状レジストの露光に用いた露光装置は、ニコン(株)製のNSR−i12TFH(波長λ=365nm、開口数NA=0.3、部分コヒーレント比σ=0.3)を用いた。露光量は500mJ/cm2、ポストイクスポージャベークは110℃で360秒である。露光後の現像には、2.38%のTMAH(テトラメチルアンモニウムハイドロキシド)水溶液を用いた。60秒の現像を5回実行した。これにより、10×100μmの開口を有するフォトレジストパターンが形成される。このようにフォトレジストPRのパターンが形成された。なお、この開口の凹部形成領域R1からの距離は100μmである。
工程(4)
工程(3)の後、レジストPRからなるマスクの開口(ドライフィルムレジストDF上の領域を含む)内の金属層MFをミリングにより除去する。すなわち、このミリングによって、マスクによって遮蔽されている金属層MFのみが基板上に残留する(図6(a−4)、(b−4)参照)。
工程(5)
次に、レジストPRからなるマスク及びドライフィルムレジストDFを除去する(図6(a−6)、(b−6)参照)。このマスク及びドライフィルムレジストDFを有機溶剤で溶解することにより、マスク及びドライフィルムレジストDFを除去し、凹部形成領域R1の周囲の開口内の金属層MFを露出させる。有機溶剤としてはN−メチル−2ピロリドン、イソプロピルアルコール、アセトンなどを用い、基板を揺動させながら溶剤中に浸す。凹部形成領域R1から開口内に位置していた金属層MF(2e1,2e2)までの距離は、それぞれ100μmであり、金属層MF(2e1,2e2)からなるAuパターンの厚みは0.5μmである。
なお、上記工程において液状レジストを用いずにパターニングを行ったところ、ドライフィルムレジストDFの表面をAuが全て覆い、Auの除去が困難となった。また、上述の方法において、液状レジストを用いることなく、ドライフィルムレジストDFを液状レジストと同様にパターニングし、この上に金属層MFを堆積した場合には、ミリング後に、ドライフィルムレジストDFの側壁にAuが再付着し、有機溶剤によるドライフィルムレジストDFの溶解時にドライフィルムレジストDFの周囲にバリが発生し、Auの良好なパターニングができなかった。
以上のようにして、凹部D内からの気泡がレジスト内に入ることなく、トレンチ型コンデンサ中間体が製造された。すなわち、この段階のトレンチ型コンデンサ中間体は、凹パターンを有しており、その凹部形状は維持されている。
工程(6)
この中間体からトレンチ型コンデンサを製造するには、一方の電極パッドに電気的に接続される下部電極を凹部内にパターニングし、下部電極上に誘電体層を形成し、誘電体層上に他方の電極パッドに電気的に接続される上部電極をパターニングすればよい。
また、図1の構造のトレンチ型コンデンサを製造する場合には、工程(1)において凹部を形成した後、図1に示した各層を順次スパッタ法にて形成してパターニングし、上部電極2dに接触する開口を左端に形成した後、工程(2)以降の方法を実行すれば、最後の工程において、凹部D内に形成される導体(上部電極、下部電極)とパターニングされた金属材料(金属層MF(2e1,2e2))とを電気的に接続することができ、電極パッド2e1,2e2を備えたトレンチ型コンデンサ(電子素子)を製造することができる。
また、図7は幾つかの補足説明を行うための図であり、左列の(a)、(b)は中間体の断面図、右列の(c)は、これらの中間体の平面図を示している。
上記では、ドライフィルムレジストDFは凹部Dの表面に載っているのみであったが、これは図2(a−2)、図4(a−2)図6(a−2)に対応する工程において、図7(a)に示すように、ドライフィルムレジストDFが凹部D内の表層部分に埋め込まれることとしてもよく、また、図7(b)に示すように、ドライフィルムレジストDFが凹部D内の深部、或いは底面にまで到達するように埋め込まれることとしてもよい。なお、図7(a)、(b)は、金属層MFをドライフィルムレジストDF上に形成した状態を示しているが、ドライフィルムレジストDFの埋まり方の変形例としては、図2(a−2)に示すように、金属層が形成されていない状態にも適用できる。
以上、説明したように、上述の実施形態の方法によれば、ドライフィルムレジストDFで凹部Dに蓋をした後に、液状レジストのパターニングを行うので、凹部D内に液状レジストPRが入り込まず、且つ、液状レジストを用いるため、この液状レジストから作ったマスクを用いて、微細なパターン(電極E,金属層MF)を形成することができる。
また、工程(1)は、ドライフィルムレジストDFを減圧環境下で凹部Dに貼り付けている。この場合、凹部D内に気体が入りにくい状態で、ドライフィルムレジストDFが貼り付けられるので、その後の工程で気体が膨張してもドライフィルムレジストDF及び上部のマスクが平坦に保持される傾向になる。減圧環境とは、1気圧未満の気圧環境のことであり、好ましくは真空である。
また、上述の製造方法において、最後にドライフィルムレジストDFを除去すると、マスクの除去によって凹部内が外部に開放したトレンチ構造が形成される。したがって、この凹部D内に誘電体層及び金属層を形成すれば、トレンチ型コンデンサとなり、凹部Dがコンタクトホール用に形成されているものであれば、凹部D内に金属材料を埋め込むことで下地に接触するコンタクトを形成することができる。
また、上述のトレンチ型コンデンサの製造方法は、金属材料(電極E,MF,MF2)に電気的に接続される電極(2b、2d)によって挟まれる誘電体層2cを、凹部D内に形成してなるトレンチ型コンデンサの製造方法であって、上述の工程(1)、工程(2)、工程(3)、工程(4)、工程(5)及び工程(6)を少なくとも備えている。この製造方法によれば、パターニング精度が高い金属材料E,MFにコンデンサの電極2b、2dを接続するので、優れた性能のトレンチ型コンデンサを製造することが可能となる。
また、上述のコンデンサやコンタクトホールなどの電子素子の製造方法は、上述の工程(1)、工程(2)、工程(3)、工程(4)、工程(5)、工程(6)及び凹部D内に形成される導体(電極2b、2d)とパターニングされた金属材料E,MFとを電気的に接続する工程(7)とを備えている。この製造方法によれば、パターニング精度が高い金属材料(配線や電極など)に、電子素子の導体(コンデンサの場合は電極、コンタクトホールの場合には貫通電極)を接続するので、優れた性能の電子素子を製造することが可能となる。
1・・・基板、2・・・コンデンサ、2b・・・下部電極、2d・・・上部電極、2e1,2e2・・・電極パッド、2A・・・凸部、2c・・・誘電体層、3・・・周辺領域構成材料、30・・・周辺領域、D・・・凹部、DF・・・ドライフィルムレジスト、E・・・金属材料、IW・・・側壁、P・・・開口、PR・・・レジスト、R1・・・凹部形成領域。
Claims (6)
- 基板に形成された凹部に前記基板の一部が露出するようにドライフィルムレジストで蓋をする第1工程と、
前記基板上に液状レジストを塗布する第2工程と、
前記液状レジストをパターニングしてマスクを形成する第3工程と、
を備えることを特徴とするパターン形成方法。 - 前記第1工程と前記第2工程の間に、前記ドライフィルムレジスト上及び前記基板の一部に金属層を形成することを特徴とする請求項1に記載のパターン形成方法。
- 前記第1工程は、前記ドライフィルムレジストを減圧環境下で前記凹部に貼り付けることを特徴とする請求項1又は2に記載のパターン形成方法。
- 前記第3工程の後、前記マスクの開口内に金属材料を形成する第4工程と、
前記マスク及びドライフィルムレジストを除去する第5工程と、
を備える請求項1乃至3のいずれか1項に記載のパターン形成方法。 - 端子電極に電気的に接続される上部電極及び下部電極によって挟まれる絶縁層を凹部内に形成してなるトレンチ型コンデンサの製造方法であって、
基板に形成された凹部に前記基板の一部が露出するようにドライフィルムレジストで蓋をする第1工程と、
前記基板上に液状レジストを塗布する第2工程と、
前記液状レジストをパターニングしてマスクを形成する第3工程と、
前記第3工程の後、前記マスクの開口内に前記端子電極を形成する第4工程と、
前記マスク及びドライフィルムレジストを除去する第5工程と、
を備えるトレンチ型コンデンサの製造方法。 - 電子素子の製造方法であって、
基板に形成された凹部に前記基板の一部が露出するようにドライフィルムレジストで蓋をする第1工程と、
前記基板上に液状レジストを塗布する第2工程と、
前記液状レジストをパターニングしてマスクを形成する第3工程と、
前記第3工程の後、前記マスクの開口内に端子電極を形成する第4工程と、
前記マスク及びドライフィルムレジストを除去する第5工程と、
前記凹部内に形成される導体と前記端子電極とを電気的に接続する第6工程と、
を備えることを特徴とする電子素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007089597A JP2008251725A (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | パターン形成方法、トレンチ型コンデンサの製造方法及び電子素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007089597A JP2008251725A (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | パターン形成方法、トレンチ型コンデンサの製造方法及び電子素子の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008251725A true JP2008251725A (ja) | 2008-10-16 |
Family
ID=39976348
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007089597A Withdrawn JP2008251725A (ja) | 2007-03-29 | 2007-03-29 | パターン形成方法、トレンチ型コンデンサの製造方法及び電子素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008251725A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10244217B2 (en) | 2014-07-29 | 2019-03-26 | Sony Corporation | Projection display unit |
US11158456B2 (en) | 2018-06-27 | 2021-10-26 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Trench capacitor |
-
2007
- 2007-03-29 JP JP2007089597A patent/JP2008251725A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10244217B2 (en) | 2014-07-29 | 2019-03-26 | Sony Corporation | Projection display unit |
US11158456B2 (en) | 2018-06-27 | 2021-10-26 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Trench capacitor |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI647172B (zh) | 壓電微機電系統 | |
US7545027B2 (en) | Wafer level package having redistribution interconnection layer and method of forming the same | |
KR100934836B1 (ko) | 반도체소자의 미세패턴 형성방법 | |
KR101585554B1 (ko) | 임베디드 트레이스 기판과 그의 범프 형성 방법 | |
JP5777153B2 (ja) | アレイ基板のマザーボードの製造方法 | |
US20120300419A1 (en) | Intermediate structure, method and substrate for fabricating flexible display device | |
JP5483151B2 (ja) | 薄膜素子およびその製造方法 | |
JP2010021293A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
US20130285164A1 (en) | Mems device and method of manufacturing the same | |
CN108666284A (zh) | 半导体装置的制造方法及半导体装置 | |
JP5309672B2 (ja) | 薄膜素子およびその製造方法 | |
TWI690836B (zh) | 觸控面板及其製造方法 | |
KR20130138526A (ko) | 박막 트랜지스터 기판 및 이의 제조 방법 | |
JP2008251725A (ja) | パターン形成方法、トレンチ型コンデンサの製造方法及び電子素子の製造方法 | |
US8551854B2 (en) | Method of manufacturing a semiconductor device | |
CN112104960B (zh) | Mems麦克风器件及其形成方法 | |
JP2005101144A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP4746832B2 (ja) | パターン形成方法 | |
JP2008085238A (ja) | 貫通電極付き基板の製造方法、及び貫通電極付き基板 | |
JPS59155128A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR100435974B1 (ko) | 마스크 부재의 제조방법 | |
JP2007059926A (ja) | パターン形成方法及び薄膜トランジスタの製造方法 | |
JP2008251724A (ja) | 凹パターン形成方法及びトレンチ型コンデンサの製造方法 | |
TWI787983B (zh) | 印刷電路板結構及其製造方法 | |
CN112420606B (zh) | 阵列基板的制备方法及阵列基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20100601 |