JP2008246785A - ノズル板及び液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズルの流路抵抗を低減化してリフィルの高速化を実現するとともに、リフィル時の気泡の巻き込みを防止するノズル板及び液体吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル５１の内側面５１Ａには、ノズル５１の内側に向かって開いたテーパ形状を有する第１のテーパ部４Ａとノズル５１の内側に向かって絞られた形状を有する第２テーパ部４Ｂが形成される。ノズル開口部５１Ｂから第１のテーパ部４Ａが形成され、該第１のテーパ部４Ａと連続して第２のテーパ部４Ｂが形成され、このようにして、第１のテーパ部４Ａと第２のテーパ部４Ｂが交互に連続して形成される。ノズル５１の内側面５１Ａには、第１のテーパ部４Ａ及び第２のテーパ部４Ｂから成る鋸歯状の段差が少なくとも２つ形成される。
【選択図】 図２

Description

本発明はノズル板及び液体吐出装置に係り、特にリフィル動作を高速化することにより高い吐出周波数で液体の吐出が可能なノズル板及び液体吐出装置に関する。

一般に、汎用の画像形成装置として、インクジェットヘッドに備えられた多数のノズルから記録媒体上にインク液滴を吐出して所望の画像を形成するインクジェット記録装置が広く用いられている。インクジェットヘッドの吐出周期を短縮化してインク吐出を高速化するためには、インク液滴を吐出した後に速やかにインクを充填（リフィル）し、次のインク吐出に備える必要がある。

一方、近年は高画質化のためにノズル開口径が小さくなる傾向にあり、例えば、直径が２０μｍのノズルを備えたインクジェットヘッドが実用化されているが、ノズル開口径が小さくなるとノズルの流路抵抗が増加してしまい、リフィルにかかる時間が長くなり、吐出周期を短縮できないという問題が生じている。

このようなリフィルにかかる時間が長くなるという問題を解決するために、ノズルの開口径を吐出側（ノズル開口部側）から液室側（ノズルの内部側）に向かって大きくなるように形成されたテーパ形状のノズルが提案されている。上述したノズルのテーパ形状を広角化する（吐出側の開口径と液室側の開口径の差がより大きくなる形状にする）ことで、ノズルの流路抵抗を低減化して液面形状の表面張力を増加させ、リフィル速度の向上を図る技術が提案されている。

特許文献１に記載された発明では、ノズルのテーパ面に径の変化角度が不連続に変化する不連続点が１つ存在し、テーパ形状自体の角度が小さくてもインク流入側の径とインク吐出側の径との差が大きくなって、安価で且つ優れたインク液滴吐出性能が実現されている。

特許文献２に記載された発明では、ノズル形状が２層以上の形状を持つとともに隣接する相のノズル形状は異なるように構成され、飛翔粒子の方向性、安定性の確保及び速度向上を達成するとともに駆動電圧の低減が実現されている。
特開２００２−１３７３８１号公報 特開平７−６０９７３号公報

しかしながら、テーパ形状を広角化すると、吐出前にノズル内に液面を引き込んだ時に液面が球面状態となってしまい（図１２参照）、ノズル内に気泡が混入しやすくなってしまう。即ち、ストレート形状のノズルは開口部の径が最も大きく（ノズルの全長において開口部の径と同一径）、気泡が抜けやすい構造であり、気泡を巻き込む可能性が低いといえるが（図１３参照）、図１２に示すテーパ形状のノズル１５１は、気泡ポケット１００（液柱１０２の周囲部に形成される液面の凹部形状）がノズル１５１の内部に向かって広がってしまい、吐出完了後にこの気泡ポケット１００が閉じて気泡となりノズル１５１の内部に残存してしまう。

特許文献１に記載された発明では、テーパ形状の角度が小さいとノズルの流路抵抗を低減化することができず、リフィルの高速化を実現することが困難であり、一方、テーパ形状を広角化すると上述したようにノズル内部への気泡の巻き込みが懸念される。

特許文献２に記載された発明では、ノズル開口部の近傍がストレート形状となっているので、ノズルの流路抵抗を低減化することができず、リフィルの高速化を実現することが困難である。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ノズルの流路抵抗を低減化してリフィルの高速化を実現するとともに、リフィル時の気泡の巻き込みを防止するノズル板及び液体吐出装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係るノズル板は、液体を吐出するノズルが形成されたノズル板であって、前記ノズルは、液体吐出面側から前記ノズルの内側に向かって開いた形状を有する第１の面と前記液体吐出面側から前記ノズルの内側に向かって絞られた形状を有する第２の面が液体吐出面側から前記第１の面、前記第２の面の順に連続して設けられた構造を２つ以上有し、前記第１の面の前記液体吐出方向の長さａと、前記第２の面の前記液体吐出方向の長さｂと、の関係は、次式、ａ＞ｂ＞０を満たすことを特徴とする。

本発明によれば、ノズルの内側面を液体吐出方向と直交する面に対して非対称な鋸歯形状とすることで、ノズル内のインクの表面張力が上昇し、リフィルの高速化が見込まれるとともに、リフィル時におけるノズルの内部への気泡混入が防止される。

また、第１の面にメニスカス面が存在する時間が第２の面にメニスカス面が存在する時間より大きくなり（即ち、メニスカスと液体吐出面（水平面）とのなす角が上下非対称となり）、その結果、メニスカスと液体吐出面とのなす角が大きくなる時間が増えるためリフィルが高速化される。

ノズルの液体吐出方向の長さｌと、前記第１の面の垂直方向の長さａと、前記第２の面の垂直方向の長さｂ、との関係は、次式、ｌ≧２×（ａ＋ｂ）を満たす態様が好ましい。

前記ノズルの内側面の液体吐出方向と平行な面を断面とする断面形状における第１の面及び第２の面は、直線でもよいし曲線でもよい。

また、上記目的を達成するために、請求項２に記載の発明に係るノズル板は、液体を吐出するノズルが形成されたノズル板であって、前記ノズルは、液体吐出面側から前記ノズルの内側に向かって開いた形状を有する第１の面と、前記液体吐出方向と直交し、前記液体吐出面に形成された開口を前記液体吐出方向に投影した位置に開口が形成される第２の面が液体吐出面側から前記第１の面、前記第２の面の順に連続して設けられた構造を２つ以上有することを特徴とする。

請求項２に記載の発明によれば、第２の面の液体吐出方向の長さｂをｂ＝０とすると、内側面が液体吐出方向に非対称鋸歯形状を有するノズルの流路抵抗を最小にすることができ、リフィル高速化の点において好ましい。

第２の面に形成される開口は、液体吐出面に形成される開口を液体吐出方向と平行にノズルの内側に投影した開口とする態様が好ましい。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２記載のノズル板の一態様に係り、前記ノズルの内側面は、前記液体吐出面に形成された開口から前記第１の面が形成されることを特徴とする。

請求項３に記載の発明によれば、液体吐出面から液体吐出方向と平行方向に形成されるストレート形状の部分を持たないので、ノズルの流路抵抗が低減化される。

請求項４に記載の発明は、請求項１、２又は３記載のノズル板の一態様に係り、前記ノズルの前記液体吐出方向と平行な面を断面とする断面形状において、前記第１の面の前記液体吐出面側の端部を結んだ線及び前記第１の面の前記液体吐出面と反対側の端部を結んだ線は、前記液体吐出方向と平行であることを特徴とする。

請求項４に記載の発明によれば、平均のノズル径が一定になるので、ノズル内へ気泡が混入しにくくなる。

請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のうち何れか１項に記載のノズル板の一態様に係り、前記第１の面の前記液体吐出面側の端部における前記ノズルの半径ｒ_１と、前記第１の面の前記液体吐出面と反対側の端部における前記ノズルの半径ｒ_２と、の関係は、次式ｒ_２／ｒ_１≦１．２を満たすことを特徴とする。

請求項５に記載の発明によれば、第１の面と第２の面から構成される段差部（液体吐出側が第１の面、ノズル内部側が第２の面となるノズル径の最大位置を含む凹んだ空間）への気泡残留を防ぐとともにリフィル時間を短縮できる。

段差部が大きすぎると（ｒ_２／ｒ_１が大きくなると）、リフィルの時にメニスカス面が段差部を飛び越えて次の段差部に到達してしまい、段差部の奥に気泡が入り込んでしまうので、段差の大きさ（ｒ_２／ｒ_１）は１．２以下とすることで段差部の奥の方へ気泡が入り込むことを防止できる。

請求項６に記載の発明は、請求項１乃至５のうち何れか１項に記載のノズル板の一態様に係り、前記ノズル内に形成されるメニスカス面と前記液体吐出面とのなす角θは、次式０＜θ＜９０°を満たすことを特徴とする。

請求項６に記載の発明によれば、ストレート形状を有するノズルと比較するとメニスカス面と水平面とのなす角θは擬似的に大きくなるので、液体の表面張力による発生圧力が大きくなり、リフィルが高速化される。

また、上記目的を達成するために、請求項７に記載の発明に係る液体吐出装置は、請求項１乃至６のうち何れか１項に記載のノズル板と、前記ノズルから吐出される液体に吐出力を付与する吐出力付与手段と、を具備する液体吐出ヘッドと、前記ノズル内のメニスカス面を静定状態から前記ノズルの内部に引き込んだ後に前記メニスカス面を前記ノズルの外側へ押し出し、更に、前記メニスカス面を前記ノズルの外側へ押し出した後に再び前記メニスカス面を前記ノズルの内部方向に引き込むように前記吐出力付与手段を制御する吐出制御手段と、を備えたことを特徴とする。

請求項７に記載の発明によれば、引き−押し−引き方式によってノズルから液体を吐出する場合において、リフィルを高速化することができるとともに、リフィル時のノズル内部への気泡の巻き込みを回避でき、高速且つ安定した好ましい液体吐出を実現することができる。

本発明によれば、ノズルの内側面を液体吐出方向に非対称な鋸歯形状とすることで、ノズル内のインクの表面張力が上昇し、リフィルの高速化が見込まれるとともに、リフィル時におけるノズルの内部への気泡混入が防止される。

以下添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。

〔ヘッドの構造〕
図１は、本発明に係るノズル板１を用いた液体吐出ヘッド（以下、ヘッドと記載する。）５０の立体構造を示す断面図である。

図１に示すヘッド５０は、ノズル５１となる開口が形成されたノズル板１と、ノズル５１に対応して設けられる圧力室５２及び供給口５４を介して圧力室５２と連通する共通流路５５が形成される流路プレート２と、圧力室５２の天井面を形成する振動板５６と、下部電極（図１に示すヘッド５０では振動板５６と兼用）を備えるとともに、下部電極と反対側の面に個別（上部）電極５７を備えた圧電素子５８と、を順に積層した構造を有している。

圧電素子５８の個別電極５７に駆動電圧（駆動信号）を印加することによって圧電素子５８及び振動板５６が変形すると、圧力室５２に収容される液体がノズル５１から吐出される。ノズル５１から液体が吐出されると、共通流路５５から供給口５４を通って新しい液体が圧力室５２に供給される。

図１に示すヘッド５０が液体を吐出させるために、圧電素子５８の上部電極５７と下部電極（振動板５６）間に印加される駆動電圧には、Pull-Push-Pull方式（引き−押し−引き方式）が適用される。

Pull-Push-Pull方式の駆動電圧を圧電素子５８に印加すると、第１の引き電圧（Pull電圧）印加時には、静定状態の圧電素子５８は圧力室５２を静定状態よりも拡張する方向に動作し、その後、押し電圧（Push電圧）を印加すると拡張した圧力室５２を縮小する方向に動作する。このように圧電素子５８を動作させると、圧力室５２内の液体が液柱状となってノズル５１の外部に押し出される。

更に、第２の引き電圧（Pull電圧）を印加すると、圧電素子５８は押し電圧の印加終了よりも圧力室５２を拡張させるように動作して、ノズル５１の外部に押し出された液柱状の液体をノズル５１の内部に引き込むことで、ノズル５１の外部の液柱の一部が引きちぎられ液滴となって吐出される。

また、第２の引き電圧印加時には、吐出された液滴と同量の液体が共通流路５５から供給口５４を介して圧力室５２に充填され、その後、メニスカス面が所定の位置に静定すると次の吐出が可能になる。

図２は、図１のノズル５１（図１中、符号３で示す部分）を拡大して図示した拡大図である。図２に示すように、液体吐出方向（図２中下から上に向かう方向）と平行な面を断面とする断面形状において、ノズル５１の内側面５１Ａは、上下方向に非対称な鋸歯状（液体吐出方向と直交する面に対して液体吐出方向の形状及び反対方向の形状が非対称な鋸歯状）となっている。即ち、ノズル板１の外側面（ヘッド５０の最外面）であるとともに液室プレート２が接合される面と反対側の面である液体吐出面１Ａには、半径ｒ_１の開口部５１Ｂが形成されるとともに、開口部５１Ｂからノズル５１の内側へ半径がｒ_１からｒ_２（但し、ｒ_１＜ｒ_２）まで連続的に変化する、ノズル５１の内側に向かって開いたテーパ形状を有する第１のテーパ部４Ａと、第１のテーパ部４Ａの開口部５１Ｂと反対側の端部からノズル５１の内側へ半径がｒ_２からｒ_１まで連続的に変化する、ノズル５１の内側に向かって絞られたテーパ形状を有する第２のテーパ部４Ｂが形成されている。

更に、ノズル５１の内側に向かって、１段目の第２のテーパ部４Ｂのノズル５１の内側には第１のテーパ部４Ａが形成され、更にまた、２段目の第１のテーパ部４Ａのノズル５１の内側には２段目の第２のテーパ部４Ｂが形成されている。

図２に示す態様では、半径ｒ_１を有するノズル５１の開口部５１Ｂからノズル５１の内側に向かって第１のテーパ部４Ａが形成され、半径ｒ_２を有する第１のテーパ部のノズル開口部５１Ｂと反対側の端部には、半径ｒ_２を有する第２のテーパ部４Ｂの一方の端部が接合される。更に、該第２のテーパ部４Ｂの半径ｒ_１を有する他方の端部には、２段目の第１のテーパ部４Ａの半径ｒ_１側の端部が接合され、以降、２段目の第２のテーパ部４Ｂ、３段目の第１のテーパ部４Ａ、…、のように第１のテーパ部４Ａと第２のテーパ部４Ｂが連続して交互に形成される。

言い換えると、ノズル５１の内側面５１Ａは、液体吐出面１Ａ側から第１のテーパ部４Ａと第２のテーパ部４Ｂから成る非対称の鋸状の段差が形成されるとともに、該段差が２つ以上形成された形状を有している。

本例に示すノズル５１は、最大半径となる鋸歯形状の頂点を結んだ線と、最小半径となる鋸歯形状の頂点を結んだ線と、は、ノズル５１の形成方向（即ち、液体吐出方向）と平行となるように、第１のテーパ部４Ａと第２のテーパ部４Ｂから成る非対称の鋸状の段差が形成されている。また、図２に示す断面図において、ノズル５１の内側面はノズル５１の中心を通る液体吐出方向に平行な線に対して線対称形状（即ち、非螺旋形状）となっている。

図２に示すノズル５１の内径（ノズル５１の最小半径）ｒ_１とノズル５１の外径（ノズル５１の最大半径）ｒ_２との具体例を挙げると、ｒ_１＝２０μｍ、ｒ_２＝２４μｍとする態様がある。即ち、ノズル５１の内径ｒ_１とノズル５１の外径ｒ_２との関係は、次式（１）を満たす態様が好ましい。

ｒ_２／ｒ_１≦１．２ …（１）
即ち、ノズル５１の外径ｒ_２はノズル５１の内径ｒ_１によりも２０％以内の範囲で大きく形成される態様が好ましい。

図２では、ノズル５１の開口部５１Ｂからノズル５１の内側に向かって第１のテーパ部４Ａ、第２のテーパ部４Ｂの順に上下方向に非対称な鋸歯形状を形成したが、ノズル５１の開口部５１Ｂからノズル５１の内側に向かって第２のテーパ部４Ｂ、第１のテーパ部４Ａの順に上下方向に非対称な鋸歯形状を形成してもよい。

また、図２には、ノズル５１の内側面５１Ａの形状として、第１のテーパ部４Ａ及び第２のテーパ部４Ｂの断面（ノズル板１をノズル５１の形成方向に切断した断面）形状が略直線状の鋸歯形状を例示したが、第１のテーパ部４Ａ及び第２のテーパ部４Ｂの断面形状が曲線状となる波型形状を適用してもよい。

図３(a)は、図２に示す内側面形状を有するノズル５１内にメニスカス面５がクリップされた状態を表す概念図である。図３(a)に示すように、第１のテーパ部４Ａでメニスカスがクリップされると、図３(b)に示すストレート形状のノズル５１’と比較して、メニスカス面５と水平面６（図２に示す液体吐出面１Ａと平行な面）とのなす角θが擬似的に大きくなるために、図３(b)に示すストレート形状のノズル２５１よりも液体の表面張力による発生圧力Ｐ_ｎが大きくなり、図３(b)に示すストレート形状のノズル２５１と比較してリフィルが高速化される。

なお、液体の表面張力による発生圧力Ｐｎは、次式（２）で表される。なお、式（２）中、σは液体の表面張力、ｒ_ｎ（ｒ_１≦ｒ_ｎ≦ｒ_２）はメニスカスのクリップ位置におけるノズルの半径である。

Ｐｎ＝（２×σ×ｓｉｎθ）／ｒ_ｎ …（２）
即ち、図３(a)に示す上下方向に非対称な鋸歯状の形状のノズル５１のメニスカス面５と水平面６とのなす角θと、図３(b)に示すストレート形状のノズル２５１のメニスカス面５と水平面６とのなす角θ’は、次式（３）の関係を満たすので、上下方向に非対称な鋸歯状の形状を有するノズル５１では、ストレート形状のノズル２５１に比べて（２）式で表される液体の表面張力が大きくなることでメニスカス面の戻り（静定）が早くなり、リフィルを高速化することができる。

θ＞θ’ …（３）
また、図１２に示す段差のないテーパ形状のノズル１５１と比較して、図３(a)に示す上下方向に非対称な鋸歯状の形状のノズル５１は平均のノズル径が一定となり、図４に示すように気泡ポケット１００がノズル５１の内部に向かって広がらない凹状態（凹形状）となり、リフィル時におけるノズル５１の内部への気泡混入が制御され、ノズル５１内部への気泡混入が防止される。

また、メニスカス面５と水平面６とのなす角θは、次式（４）
の条件を満足する。

０＜θ＜９０° …（４）
図１２に示すような段差のないテーパ形状を有するノズル１５１では、メニスカス静定時にメニスカス面５と水平面６とのなす角θが９０°以上になり、気泡の巻き込み効果が低下してしまうので、メニスカス面５と水平面６とのなす角θが式（４）の条件を満足するようにノズル５１の内側面５１Ａには第１テーパ部４Ａ及び第２テーパ部４Ｂが形成される。

上記（４）式に示す条件を満たすためには、ノズル５１の内側面に対する液体の接触角が９０°未満であることが必要である。この条件は、本発明に関わらず一般的なインクジェットヘッドにおけるノズルの条件である。

また、上記（４）式に示す条件を満たすためには、水平面６と第１のテーパ部４Ａとのなす角γと、第１のテーパ部４Ａに対するインクの接触角λとの関係が、次式（４’）を満たすことが必要となる。

９０°＜γ＋λ＜１８０° …（４’）
即ち、使用し得るすべての種類のインクにおいて、上記（４）式及び（４’）式を満たすようにノズル５１は構成される。

なお、メニスカス面５は、ノズル５１の開口部５１Ｂ（図２参照）近傍（ノズル５１の開口部５１Ｂを一方の端部とする１段目の第１のテーパ部４Ａ）にクリップされ、１段目の段差（第１のテーパ部と第２テーパ部の接合部）を超えないことを基本とするが、仮に、段差を超えた場合にも、第１のテーパ部４Ａでクリップされる。

メニスカス面の引き込み速度が所定の速度を超えて、第１の段差がメニスカス面をクリップする力を超えた場合には、メニスカス面が段差を超えてしまうことがあり得るので、第１のテーパ部４Ａでメニスカス面をクリップさせるためには、メニスカス面の引込速度はメニスカス面を引く強さとメニスカス面を引く時間の長さで決まるので、メニスカス面の引く強さを抑えるか、もしくは時間を短くするように構成する。

図５は、図２に示すノズル５１の内側面５１Ａの一部を更に拡大し、第１のテーパ部４Ａと第２のテーパ部４Ｂから成る鋸状の段差を図示した拡大図である。

図５に示すように、第１テーパ部４Ａのノズル５１の形成方向（垂直方向、ノズル板１の厚みの方向）の長さａと、第２のテーパ部４Ｂのノズル５１の形成方向の長さｂは、次式（５）の関係を満たしている。

ａ＞ｂ≧０ …（５）
なお、図６に示すように、第２のテーパ部４Ｂを液体吐出面１Ａと平行とする（ｂ＝０とする）態様も好ましい。第２のテーパ部４Ｂのノズル５１の形成方向の長さｂが相対的に大きくなると、リフィルにかかる時間が長くなるという関係があるので、リフィル時間の短縮化の観点では、第２のテーパ部４Ｂのノズル５１の形成方向の長さｂは０であることが好ましい。

第１テーパ部４Ａのノズル５１の形成方向の長さａと、第２のテーパ部４Ｂのノズル５１の形成方向の長さｂの一例を挙げると、ａ＝７μｍ、ｂ＝３μｍが挙げられる。

一方、ｂ＞０とすることで、第１のテーパ部４Ａと第２のテーパ部４Ｂから構成される段差部４Ｃ（図５参照）の奥の方に気泡が残りにくくなるので、段差部４Ｃに気泡を侵入させないという観点では、ｂ＞０とする態様が好ましい。

また、第１テーパ部４Ａのノズル５１の形成方向（垂直方向、ノズル板１の厚みの方向）の長さａと、第２のテーパ部４Ｂのノズル５１の形成方向の長さｂは、ノズル５１の流路長（ノズル板１におけるノズル５１の流路長、即ち、ノズル板の厚み）をｌとすると、次式（６）の関係を満たしている。

ｌ≧２×（ａ＋ｂ） …（６）
即ち、式（６）は、鋸歯状の段差が２段以上含まれていることを示している。

上記の如く構成されたノズル板１を備えたヘッド５０によれば、ノズル５１の内側面を上下方向に非対称な鋸歯形状とすることで、メニスカスの表面張力が上昇し、リフィルが高速化（リフィル時間が短縮）される。また、ノズル５１の平均半径が一定となるために、図１２に示すテーパ形状を有するノズル１５１に比べて気泡が混入しにくい。

〔ノズル板の製造方法〕
ノズル板１の製造方法の一例を挙げると、第１のテーパ部４Ａが形成された第１のプレートと、第２のテーパ部４Ｂが形成された第２のプレートとを、それぞれ電鋳法などの薄膜形成方法を用いて複数作成し、これらを交互に接合してノズル板１を製造する方法が挙げられる。

〔装置の全体構成〕
次に、本発明に係るノズル板１を用いたヘッド（インクジェットヘッド）５０を搭載した装置の一例として、記録媒体上に吐出したカラーインクにより所望のカラー画像を形成するインクジェット記録装置（画像形成装置）の全体構成を説明する。図７は本発明の実施形態に係るインクジェット記録装置の全体構成図である。

同図に示すように、このインクジェット記録装置１０は、黒（Ｋ），シアン（Ｃ），マゼンタ（Ｍ），イエロー（Ｙ）の各インクに対応して設けられた複数のインクジェットヘッド（以下、ヘッドという。）１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙを有する印字部１２と、各ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１４と、記録媒体たる記録紙１６を供給する給紙部１８と、記録紙１６のカールを除去するデカール処理部２０と、各ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙのインク吐出面（ノズル形成面）に対向して配置され、記録紙１６の平面性を保持しながら記録紙１６を搬送する吸着ベルト搬送部２２と、記録済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部２６と、を備えている。

なお、図７に示すヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙは、図１に示すヘッド５０と同等のものであり、ここでいうインクは図４等に図示した液体と同等のものである。

インク貯蔵／装填部１４は、各ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するインク供給タンクを有し、各色のインクは所要のインク流路を介してヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙと連通されている。

また、インク貯蔵／装填部１４は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段（表示手段、警告音発生手段）を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。なお、図７に示すインク貯蔵／装填部１４を含むインク供給系の詳細は後述する。

図７では、給紙部１８の一例としてロール紙（連続用紙）のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。

複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコード或いは無線タグなどの情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される記録媒体の種類（メディア種）を自動的に判別し、メディア種に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。

給紙部１８から送り出される記録紙１６はマガジンに装填されていたことによる巻きクセが残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部２０においてマガジンの巻きクセ方向と逆方向に加熱ドラム３０で記録紙１６に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。

ロール紙を使用する装置構成の場合、図７のように、裁断用のカッター（第１のカッター）２８が設けられており、該カッター２８によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター２８は、記録紙１６の搬送路幅以上の長さを有する固定刃２８Ａと、該固定刃２８Ａに沿って移動する丸刃２８Ｂとから構成されており、印字裏面側に固定刃２８Ａが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃２８Ｂが配置される。なお、カット紙を使用する場合には、カッター２８は不要である。

デカール処理後、カットされた記録紙１６は、吸着ベルト搬送部２２へと送られる。吸着ベルト搬送部２２は、ローラ３１、３２間に無端状のベルト３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部１２のノズル面に対向する部分が水平面（フラット面）をなすように構成されている。

ベルト３３は、記録紙１６の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引穴（不図示）が形成されている。図７に示したとおり、ローラ３１、３２間に掛け渡されたベルト３３の内側において印字部１２のノズル面に対向する位置には吸着チャンバ３４が設けられており、この吸着チャンバ３４をファン３５で吸引して負圧にすることによって記録紙１６がベルト３３上に吸着保持される。

ベルト３３が巻かれているローラ３１、３２の少なくとも一方にモータ（図７中不図示、図１１に符号８８で図示）の動力が伝達されることにより、ベルト３３は図７上の時計回り方向に駆動され、ベルト３３上に保持された記録紙１６は図７の左から右へと搬送される。

縁無しプリント等を印字するとベルト３３上にもインクが付着するので、ベルト３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部３６が設けられている。ベルト清掃部３６の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、或いはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラ線速度を変えると清掃効果が大きい。

なお、吸着ベルト搬送部２２に代えて、ローラ・ニップ搬送機構を用いる態様も考えられるが、印字領域をローラ・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面をローラが接触するので画像が染み易いという問題がある。したがって、本例のように、印字領域では画像面を接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。

吸着ベルト搬送部２２により形成される用紙搬送路上において印字部１２の上流側には、加熱ファン４０が設けられている。加熱ファン４０は、印字前の記録紙１６に加熱空気を吹き付け、記録紙１６を加熱する。印字直前に記録紙１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。

印字部１２の各ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙは、当該インクジェット記録装置１０が対象とする記録紙１６の最大紙幅に対応する長さを有し、そのノズル面には最大サイズの記録媒体の少なくとも一辺を超える長さ（描画可能範囲の全幅）にわたりインク吐出用のノズルが複数配列されたフルライン型のヘッドとなっている（図８参照）。

ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙは、記録紙１６の送り方向に沿って上流側から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の色順に配置され、それぞれのヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙが記録紙１６の搬送方向（以下、紙送り方向と記載）延在するように固定設置される。

吸着ベルト搬送部２２により記録紙１６を搬送しつつ各ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙからそれぞれ異色のインクを吐出することにより記録紙１６上にカラー画像を形成し得る。

このように、紙幅の全域をカバーするノズル列を有するフルライン型のヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙを色別に設ける構成によれば、紙送り方向（副走査方向）について記録紙１６と印字部１２を相対的に移動させる動作を１回行うだけで（即ち１回の副走査で）、記録紙１６の全面に画像を記録することができる。これにより、記録ヘッドが紙搬送方向と直交する方向に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。

本例では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態に限定されず、必要に応じて淡インク、濃インク、特別色インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタなどのライト系インクを吐出するインクジェットヘッドを追加する構成も可能である。また、各色ヘッドの配置順序も特に限定はない。更に、記録紙１６に処理液とインクとを付着させた後に、記録紙１６上でインク色材を凝集又は不溶化させて、記録紙１６上でインク溶媒とインク色材とを分離させる２液系のインクジェット記録装置では、処理液を記録紙１６に付着させる手段としてインクジェットヘッドを備えてもよい。

印字検出部２４は、印字部１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサを含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりその他吐出異常をチェックする手段として機能する。

本例の印字検出部２４は、少なくとも各ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙによるインク吐出幅（画像記録幅）よりも幅の広い受光素子列を有するラインセンサで構成される。このラインセンサは、赤（Ｒ）の色フィルタが設けられた光電変換素子（画素）がライン状に配列されたＲ受光素子列と、緑（Ｇ）の色フィルタが設けられたＧ受光素子列と、青（Ｂ）の色フィルタが設けられたＢ受光素子列と、から成る色分解ラインＣＣＤセンサで構成されている。なお、ラインセンサに代えて、受光素子が二次元配列されて成るエリアセンサを用いることも可能である。

印字検出部２４は、各色のヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙにより印字されたテストパターンを読み取り、各ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙの吐出検出を行う。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドットの着弾位置の測定などで構成される。

印字検出部２４の後段には後乾燥部４２が設けられている。後乾燥部４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹き付ける方式が好ましい。

後乾燥部４２の後段には、加熱・加圧部４４が設けられている。加熱・加圧部４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラ４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。

加熱・加圧部４４によって記録紙１６を押圧すると、多孔質のペーパーに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパーの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。

こうして生成されたプリント物は排紙部２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部２６Ａ、２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える不図示の選別手段が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）４８によってテスト印字の部分を切り離す。カッター４８は、排紙部２６の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に本画像とテスト印字部を切断するためのものである。カッター４８の構造は前述した第１のカッター２８と同様であり、固定刃４８Ａと丸刃４８Ｂとから構成される。

また、図１には示さないが、本画像の排出部２６Ａには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられる。

図９(a)は、ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙ（ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙは同一構造を有するので、以下、ヘッド５０と記載する。）の構造例を示す平面透視図であり、図９(b)はその一部の拡大図である。また、図９(c)はヘッド５０の他の構造例を示す平面透視図である。

記録紙１６上に印字されるドットピッチを高密度化するためには、ヘッド５０におけるノズルピッチを高密度化する必要がある。本例のヘッド５０は、図９(a),(b)に示すように、インク滴の吐出孔であるノズル５１と、各ノズル５１に対応する圧力室５２等からなる複数のインク室ユニット５３を千鳥でマトリクス状に（２次元的に）配置させた構造を有し、これにより、ヘッド長手方向（紙送り方向と直交する方向）に沿って並ぶように投影される実質的なノズル間隔（投影ノズルピッチ）の高密度化を達成している。

記録紙１６の送り方向と略直交する方向に記録紙１６の全幅に対応する長さにわたり１列以上のノズル列を構成する形態は本例に限定されない。例えば、図９(a)の構成に代えて、図９(c)に示すように、複数のノズル５１が２次元に配列された短尺のヘッドブロック５０’を千鳥状に配列して繋ぎ合わせることで記録紙１６の全幅に対応する長さのノズル列を有するラインヘッドを構成してもよい。また、図示は省略するが、短尺のヘッドを一列に並べてラインヘッドを構成してもよい。

各ノズル５１に対応して設けられている圧力室５２は、その平面形状が概略正方形となっており、対角線上の両隅部にノズル５１と供給口５４が設けられている。各圧力室５２は供給口５４を介して共通流路５５（図１参照）と連通されている。共通流路５５はインク供給源たるインク供給タンク（図９(a)〜(c)中不図示、図１０中符号６０として記載）と連通しており、該インク供給タンクから供給されるインクは図１の共通流路５５を介して各圧力室５２に分配供給される。

かかる構造を有するインク室ユニット５３を図９(b)に示す如く、主走査方向に沿う行方向及び主走査方向に対して直交しない一定の角度αを有する斜めの列方向に沿って一定の配列パターンで格子状に多数配列させることにより、本例の高密度ノズルヘッドが実現されている。

即ち、主走査方向に対してある角度αの方向に沿ってインク室ユニット５３を一定のピッチｄで複数配列する構造により、主走査方向に並ぶように投影されたノズルのピッチＰはｄ×cosαとなり、主走査方向については、各ノズル５１が一定のピッチＰで直線状に配列されたものと等価的に取り扱うことができる。このような構成により、主走査方向に並ぶように投影されるノズル列が１インチ当たり2400個（2400ノズル／インチ）におよぶ高密度のノズル構成を実現することが可能になる。

なお、本発明の実施に際してノズルの配置構造は図示の例に限定されず、副走査方向に１列のノズル列を有する配置構造など、様々なノズル配置構造を適用できる。

また、本発明の適用範囲はライン型ヘッドによる印字方式に限定されず、記録紙１６の幅方向の長さに満たない短尺のヘッドを記録紙１６の幅方向に走査させて当該幅方向の印字を行い、１回の幅方向の印字が終わると記録紙１６を幅方向と直交する方向に所定量だけ移動させて、次の印字領域の記録紙１６の幅方向の印字を行い、この動作を繰り返して記録紙１６の印字領域の全面にわたって印字を行うシリアル方式を適用してもよい。

〔インク供給系の構成〕
図１０は、インクジェット記録装置１０におけるインク供給系の構成を示した概要図である。インク供給タンク６０はヘッド５０にインクを供給する基タンクであり、図７で説明したインク貯蔵／装填部１４に含まれる。インク供給タンク６０の形態には、インク残量が少なくなった場合に不図示の補充口からインクを補充する方式と、タンクごと交換するカートリッジ方式とがある。使用用途に応じてインク種類を変える場合には、カートリッジ方式が適している。この場合、インクの種類情報をバーコード等で識別して、インク種類に応じた吐出制御を行うことが好ましい。

図１０に示したように、インク供給タンク６０とヘッド５０の中間には、異物や気泡を除去するためにフィルタ６２が設けられている。フィルタ・メッシュサイズは、ノズル径と同等若しくはノズル径以下（一般的には、２０μｍ程度）とすることが好ましい。

なお、図１０には示さないが、ヘッド５０の近傍又はヘッド５０と一体にサブタンクを設ける構成も好ましい。サブタンクは、ヘッドの内圧変動を防止するダンパー効果及びリフィルを改善する機能を有する。

また、インクジェット記録装置１０には、ノズル５１の乾燥防止又はノズル近傍のインク粘度上昇を防止するための手段としてのキャップ６４と、ノズル面の清掃手段としてのクリーニングブレード６６とが設けられている。

これらキャップ６４及びクリーニングブレード６６を含むメンテナンスユニットは、不図示の移動機構によってヘッド５０に対して相対移動可能であり、必要に応じて所定の退避位置からヘッド５０下方のメンテナンス位置に移動される。

キャップ６４は、図示せぬ昇降機構によってヘッド５０に対して相対的に昇降変位される。電源ＯＦＦ時や印刷待機時にキャップ６４を所定の上昇位置まで上昇させ、ヘッド５０に密着させることにより、ノズル面をキャップ６４で覆う。

印字中又は待機中において、特定のノズル５１の使用頻度が低くなり、ある時間以上インクが吐出されない状態が続くと、ノズル近傍のインク溶媒が蒸発してインク粘度が高くなってしまう。このような状態になると、圧電素子５８が動作してもノズル５１からインクを吐出できなくなってしまう。

このような状態になる前に（圧電素子５８の動作により吐出が可能な粘度の範囲内で）圧電素子５８を動作させ、その劣化インク（粘度が上昇したノズル近傍のインク）を排出すべくキャップ６４（インク受け）に向かって予備吐出（パージ、空吐出、つば吐き、ダミー吐出）が行われる。

また、ヘッド５０内のインク（圧力室５２内）に気泡が混入した場合、圧電素子５８が動作してもノズルからインクを吐出させることができなくなる。このような場合にはヘッド５０にキャップ６４を当て、吸引ポンプ６７で圧力室５２内のインク（気泡が混入したインク）を吸引により除去し、吸引除去したインクを回収タンク６８へ送液する。

この吸引動作は、初期のインクのヘッドへの装填時、或いは長時間の停止後の使用開始時にも粘度上昇（固化）した劣化インクの吸い出しが行われる。なお、吸引動作は圧力室５２内のインク全体に対して行われるので、インク消費量が大きくなる。したがって、インクの粘度上昇が小さい場合には予備吐出を行う態様が好ましい。

クリーニングブレード６６は、ゴムなどの弾性部材で構成されており、図示せぬブレード移動機構（ワイパー）によりヘッド５０のインク吐出面（ノズル板表面）に摺動可能である。ノズル板にインク液滴又は異物が付着した場合、クリーニングブレード６６をノズル板に摺動させることでノズル板表面を拭き取り、ノズル板表面を清浄する。なお、該ブレード機構によりインク吐出面の汚れを清掃した際に、該ブレードによってノズル５１内に異物が混入することを防止するために予備吐出が行われる。

〔制御系の説明〕
図１１はインクジェット記録装置１０のシステム構成を示す要部ブロック図である。インクジェット記録装置１０は、通信インターフェース７０、システムコントローラ７２、画像メモリ７４、モータドライバ７６、ヒータドライバ７８、プリント制御部８０、画像バッファメモリ８２、ヘッドドライバ８４等を備えている。

通信インターフェース７０は、ホストコンピュータ８６から送られてくる画像データを受信するインターフェース部である。通信インターフェース７０にはＵＳＢ（Universal Serial Bus）、ＩＥＥＥ１３９４、イーサネット（登録商標）、無線ネットワークなどのシリアルインターフェースやセントロニクスなどのパラレルインターフェースを適用することができる。この部分には、通信を高速化するためのバッファメモリ（不図示）を搭載してもよい。ホストコンピュータ８６から送出された画像データは通信インターフェース７０を介してインクジェット記録装置１０に取り込まれ、一旦画像メモリ７４に記憶される。

画像メモリ７４は、通信インターフェース７０を介して入力された画像を一旦格納する記憶手段であり、システムコントローラ７２を通じてデータの読み書きが行われる。画像メモリ７４は、半導体素子からなるメモリに限らず、ハードディスクなど磁気媒体を用いてもよい。

システムコントローラ７２は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）及びその周辺回路等から構成され、所定のプログラムに従ってインクジェット記録装置１０の全体を制御する制御装置として機能するとともに、各種演算を行う演算装置として機能する。即ち、システムコントローラ７２は、通信インターフェース７０、画像メモリ７４、モータドライバ７６、ヒータドライバ７８等の各部を制御し、ホストコンピュータ８６との間の通信制御、画像メモリ７４の読み書き制御等を行うとともに、搬送系のモータ８８やヒータ８９を制御する制御信号を生成する。

画像メモリ７４には、システムコントローラ７２のＣＰＵが実行するプログラム及び制御に必要な各種データなどが格納されている。なお、画像メモリ７４は、書換不能な記憶手段であってもよいし、ＥＥＰＲＯＭのような書換可能な記憶手段であってもよい。画像メモリ７４は、画像データの一時記憶領域として利用されるとともに、プログラムの展開領域及びＣＰＵの演算作業領域としても利用される。

モータドライバ７６は、システムコントローラ７２からの指示にしたがってモータ８８を駆動するドライバである。図１１には、装置内の各部に配置されるモータ（アクチュエータ）を代表して符号８８で図示されている。例えば、図１１に示すモータ８８には、図７のローラ３１（３２）を駆動するモータや、図１０のキャップ６４を移動させる移動機構のモータ、図１０のクリーニングブレード６６を移動させる移動機構のモータなどが含まれている。

ヒータドライバ７８は、システムコントローラ７２からの指示にしたがって、図７に示す加熱ファン４０の熱源たるヒータや、後乾燥部４２のヒータなどを含むヒータ８９を駆動するドライバである。

プリント制御部８０は、システムコントローラ７２の制御に従い、画像メモリ７４内の画像データから印字制御用の信号を生成するための各種加工、補正などの処理を行う信号処理機能を有し、生成した印字データ（ドットデータ）をヘッドドライバ８４に供給する制御部である。プリント制御部８０において所要の信号処理が施され、該画像データに基づいて、ヘッドドライバ８４を介してヘッド５０のインク液滴の吐出量や吐出タイミングの制御が行われる。これにより、所望のドットサイズやドット配置が実現される。

プリント制御部８０には画像バッファメモリ８２が備えられており、プリント制御部８０における画像データ処理時に画像データやパラメータなどのデータが画像バッファメモリ８２に一時的に格納される。また、プリント制御部８０とシステムコントローラ７２とを統合して１つのプロセッサで構成する態様も可能である。

ヘッドドライバ８４は、プリント制御部８０から与えられる画像データに基づいてヘッド５０の圧電素子５８に印加される駆動信号（駆動電圧）を生成するとともに、該駆動信号を圧電素子５８に印加して圧電素子５８駆動する駆動回路を含んで構成される。なお、図１１に示すヘッドドライバ８４には、ヘッドの駆動条件を一定に保つためのフィードバック制御系を含んでいてもよい。

印字検出部２４は、図７で説明したようにラインセンサを含むブロックであり、記録紙１６に印字された画像を読み取り、所要の信号処理などを行って印字状況（吐出の有無、打滴のばらつきなど）を検出し、その検出結果をプリント制御部８０に提供する。

プリント制御部８０は、必要に応じて印字検出部２４から得られる情報に基づいてヘッド５０に対する各種補正やヘッド５０のメンテナンスを行う。

印刷すべき画像のデータは、通信インターフェース７０を介して外部から入力され、画像メモリ７４に蓄えられる。この段階では、ＲＧＢの画像データが画像メモリ７４に記憶される。

画像メモリ７４に蓄えられた画像データは、システムコントローラ７２を介してプリント制御部８０に送られ、該プリント制御部８０においてインク色ごとのドットデータに変換される。即ち、プリント制御部８０は、入力されたＲＧＢ画像データをＫＣＭＹの４色のドットデータに変換する処理を行う。プリント制御部８０で生成されたドットデータは、画像バッファメモリ８２に蓄えられる。

プログラム格納部９０には各種制御プログラムが格納されており、システムコントローラ７２の指令に応じて、制御プログラムが読み出され、実行される。プログラム格納部９０はＲＯＭやＥＥＰＲＯＭなどの半導体メモリを用いてもよいし、磁気ディスクなどを用いてもよい。外部インターフェースを備え、メモリカードやＰＣカードを用いてもよい。もちろん、これらの記録媒体のうち、複数の記録媒体を備えてもよい。なお、プログラム格納部９０は動作パラメータ等の記録手段（不図示）と兼用してもよい。

なお、本発明の適用として、インクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置を例示したが、本発明の適用範囲はインクジェット記録装置（インクジェットヘッド）に限定されず、薬液、処理液、水など液体を吐出する液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置に広く適用することが可能である。

本発明に係るノズル板を用いたヘッドの断面図 図１に示すノズルの拡大図 図２に示すノズル内側面の拡大図 本発明の効果を説明する図 上下非対称の鋸歯形状の詳細構造を説明する図 図２〜図５に示す上下非対称の鋸歯形状の他の態様を説明する図 本発明に係るノズル板を用いたヘッドが搭載される装置（インクジェット記録装置）の全体構成図 図７に示すインクジェット記録装置の印字部周辺の要部平面図 図７に示すヘッドの構造例を示す平面透視図 図７に示すインクジェット記録装置のインク供給系の構成を示す概要図 図７に示すインクジェット記録装置の制御系の構成を示す概要図 従来技術に係るテーパ形状を有するノズルの断面図 従来技術に係るストレート形状を有するノズルの断面図

符号の説明

１…ノズル板、４Ａ…第１のテーパ部、４Ｂ…第２のテーパ部、１０…インクジェット記録装置、１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙ，５０…ヘッド、５１…ノズル、５２…圧力室

Claims (7)

1. 液体を吐出するノズルが形成されたノズル板であって、
   前記ノズルは、液体吐出面側から前記ノズルの内側に向かって開いた形状を有する第１の面と前記液体吐出面側から前記ノズルの内側に向かって絞られた形状を有する第２の面が液体吐出面側から前記第１の面、前記第２の面の順に連続して設けられた構造を２つ以上有し、
   前記第１の面の前記液体吐出方向の長さａと、前記第２の面の前記液体吐出方向の長さｂと、の関係は、次式、
   ａ＞ｂ＞０
   を満たすことを特徴とするノズル板。
2. 液体を吐出するノズルが形成されたノズル板であって、
   前記ノズルは、液体吐出面側から前記ノズルの内側に向かって開いた形状を有する第１の面と、前記液体吐出方向と直交し、前記液体吐出面に形成された開口を前記液体吐出方向に投影した位置に開口が形成される第２の面が液体吐出面側から前記第１の面、前記第２の面の順に連続して設けられた構造を２つ以上有することを特徴とするノズル板。
3. 前記ノズルの内側面は、前記液体吐出面に形成された開口から前記第１の面が形成されることを特徴とする請求項１又は２記載のノズル板。
4. 前記ノズルの前記液体吐出方向と平行な面を断面とする断面形状において、前記第１の面の前記液体吐出面側の端部を結んだ線及び前記第１の面の前記液体吐出面と反対側の端部を結んだ線は、前記液体吐出方向と平行であることを特徴とする請求項１、２又は３記載のノズル板。
5. 前記第１の面の前記液体吐出面側の端部における前記ノズルの半径ｒ_１と、前記第１の面の前記液体吐出面と反対側の端部における前記ノズルの半径ｒ_２と、の関係は、次式
   ｒ_２／ｒ_１≦１．２
   を満たすことを特徴とする請求項１乃至４のうち何れか１項に記載のノズル板。
6. 前記ノズル内に形成されるメニスカス面と前記液体吐出面とのなす角θは、次式
   ０＜θ＜９０°
   を満たすことを特徴とする請求項１乃至５のうち何れか１項に記載のノズル板。
7. 請求項１乃至６のうち何れか１項に記載のノズル板と、
   前記ノズルから吐出される液体に吐出力を付与する吐出力付与手段と、
   を具備する液体吐出ヘッドと、
   前記ノズル内のメニスカス面を静定状態から前記ノズルの内部に引き込んだ後に前記メニスカス面を前記ノズルの外側へ押し出し、更に、前記メニスカス面を前記ノズルの外側へ押し出した後に再び前記メニスカス面を前記ノズルの内部方向に引き込むように前記吐出力付与手段を制御する吐出制御手段と、
   を備えたことを特徴とする液体吐出装置。

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