JP2008232672A - 樹脂製マイクロチャネルアレイの製造方法 - Google Patents
樹脂製マイクロチャネルアレイの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008232672A JP2008232672A JP2007069455A JP2007069455A JP2008232672A JP 2008232672 A JP2008232672 A JP 2008232672A JP 2007069455 A JP2007069455 A JP 2007069455A JP 2007069455 A JP2007069455 A JP 2007069455A JP 2008232672 A JP2008232672 A JP 2008232672A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal structure
- resin
- microchannel array
- metal
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Optical Measuring Cells (AREA)
- Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
Abstract
【解決手段】基板31上に微小溝16と同一形状の第1のレジストパターン32を形成するステップと、第1のレジストパターン32上に金属を堆積し、微小溝16を転写した第1の金属構造体33を形成するステップと、第1の金属構造体33上に第1及び第2の窪み13、14、壁部15を転写した第2のレジストパターン34を形成するステップと、第2のポジレジストパターン34上に金属を堆積し、第1及び第2の窪み13、14、壁部15及び微小溝16と同一形状の第2の金属構造体35を形成するステップと、第2の金属構造体35上にめっきにより金属を堆積し、第2の金属構造体35を転写した第3の金属構造体36を形成するステップと、第3の金属構造体36を金型として樹脂成形品を形成するステップとを備えたも樹脂製マイクロチャネルアレイの製造方法。
【選択図】図2
Description
第1の窪み13は、1つの本体部131と複数の分岐部132とからなる。本体部131は、第1の基板10の端部に形成されている。そして、矩形状の本体部131には、流入口11が形成されている。他方、分岐部132は、本体部131から第1の基板10の中央部に向かって延設され、櫛歯状に分岐して形成されている。
次に、めっきを行い、微小突起17に相当する凹部を有する、すなわち、微小突起17を転写した凹凸パターンを有する、図2(b)に示すような第1の金属構造体33を得る。めっき方法は特に限定されないが、例えば電解めっき、無電解めっき等を挙げることができる。めっきされる金属は特に限定されないが、ニッケル、ニッケル-コバルト合金、銅、金を挙げることができ、経済性・耐久性の観点からニッケルが好ましく用いられる。
図2(a)に示すように、平面ガラス基板31上に、クラリアント社製ポジレジスト「AZ−P4400」を5μm膜厚となるよう塗布・乾燥させた。次に、マスクパターンと上記ガラス基板31とを位置合わせし、微小突起17に対応した位置をマスクして、コンタクトUV露光機にてihg線を照射した。その後、アルカリ現像し、壁部15上の高さ5μmの微小突起17と同一形状の凹凸パターンを有する第1のレジストパターン32を形成した。
まず、平面ガラス基板41上に、東京応化工業製ネガレジスト「PMER N−CA3000PM」を80μm膜厚となるよう塗布・乾燥させた。次に、マスクパターンを位置合わせし、壁部15に対応する位置以外をマスクして、コンタクトUV露光機にてihg線を照射し、熱処理を行った。次に、上記と同じネガレジストを5μm膜厚となるよう重ねて塗布・乾燥させた。その後、マスクパターンを位置合わせし、微小突起17に対応する位置以外をマスクして、コンタクト露光機にてihg線を照射し、熱処理を行った。アルカリ現像後、第1及び第2の窪み13、14、壁部15及びその上の微小突起17に相当する形状を備えた、図3(a)に示すような2段構造のレジストパターン42を形成した。
11 流入口
12 流出口
13 第1の窪み
131 本体部
132 分岐部
14 第2の窪み
141 本体部
142 分岐部
15 壁部
16 微小溝
17 微小突起
20 第2の基板
31 基板
32 第1のレジストパターン
34 第2のレジストパターン
33 第1の金属構造体
35 第2の金属構造体
36 第3の金属構造体
41 基板
42 レジストパターン
43 金属構造体
Claims (3)
- 一端部に流入口が形成された本体部と、他端部に向かって当該本体部から複数分岐して形成された分岐部とを有する第1の窪みと、
前記他端部に流出口が形成された本体部と、前記一端部に向かって当該本体部から複数分岐して形成された分岐部とを有し、かつ、当該分岐部が前記第1の窪みの分岐部と交互に配置された第2の窪みと、
前記第1の窪み及び第2の窪みの分岐部同士を区画する壁部と、
前記壁部上に形成され、前記第1の窪み及び第2の窪みの分岐部同士を連通する微小溝とを備える樹脂製マイクロチャネルアレイの製造方法であって、
基板上にポジレジストを塗布し、パターニングすることにより、前記微小溝と同一形状の凹凸パターンを有する第1のレジストパターンを形成するステップと、
前記第1のレジストパターン上にめっきにより金属を堆積し、前記微小溝を転写した凹凸パターンを有する第1の金属構造体を形成するステップと、
前記第1の金属構造体上にポジレジストを塗布し、パターニングすることにより、前記第1及び第2の窪み、壁部を転写した凹凸パターンを有する第2のレジストパターンを形成するステップと、
前記第2のポジレジストパターン上にめっきにより金属を堆積し、前記第1及び第2の窪み、壁部及び微小溝と同一形状の凹凸パターンを有する第2の金属構造体を形成するステップと、
前記第2の金属構造体上にめっきにより金属を堆積し、前記第2の金属構造体を転写した凹凸パターンを有する第3の金属構造体を形成するステップと、
前記第3の金属構造体を金型として樹脂成形品を形成するステップとを備えた樹脂製マイクロチャネルアレイの製造方法。 - 前記第3の金属構造体の内側面のテーパー角度が75〜85°であることを特徴とする請求項1に記載の樹脂製マイクロチャネルアレイの製造方法。
- 前記第3の金属構造体を金型として射出成形することを特徴とする請求項1又は2に記載の樹脂製マイクロチャネルアレイの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007069455A JP4833120B2 (ja) | 2007-03-16 | 2007-03-16 | 樹脂製マイクロチャネルアレイの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007069455A JP4833120B2 (ja) | 2007-03-16 | 2007-03-16 | 樹脂製マイクロチャネルアレイの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008232672A true JP2008232672A (ja) | 2008-10-02 |
JP4833120B2 JP4833120B2 (ja) | 2011-12-07 |
Family
ID=39905664
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007069455A Expired - Fee Related JP4833120B2 (ja) | 2007-03-16 | 2007-03-16 | 樹脂製マイクロチャネルアレイの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4833120B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003071849A (ja) * | 2001-08-30 | 2003-03-12 | Columbia Music Entertainment Inc | スタンパ製造方法 |
JP2003094495A (ja) * | 2001-09-20 | 2003-04-03 | Asahi Kasei Corp | 熱可塑性樹脂製精密成形品の製造方法 |
JP2005265634A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | National Food Research Institute | 樹脂製マイクロチャネルアレイ及び製造方法及びこれを用いた血液測定方法 |
JP2006519711A (ja) * | 2003-01-29 | 2006-08-31 | ヘプタゴン・オサケ・ユキチュア | 構造化された素子の製造 |
WO2006095615A1 (ja) * | 2005-03-07 | 2006-09-14 | Kuraray Co., Ltd. | マイクロチャネルアレイ及び製造方法、並びにこれを用いた血液測定方法 |
JP2006285085A (ja) * | 2005-04-04 | 2006-10-19 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 微細構造体の作製方法および微細構造体 |
-
2007
- 2007-03-16 JP JP2007069455A patent/JP4833120B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003071849A (ja) * | 2001-08-30 | 2003-03-12 | Columbia Music Entertainment Inc | スタンパ製造方法 |
JP2003094495A (ja) * | 2001-09-20 | 2003-04-03 | Asahi Kasei Corp | 熱可塑性樹脂製精密成形品の製造方法 |
JP2006519711A (ja) * | 2003-01-29 | 2006-08-31 | ヘプタゴン・オサケ・ユキチュア | 構造化された素子の製造 |
JP2005265634A (ja) * | 2004-03-18 | 2005-09-29 | National Food Research Institute | 樹脂製マイクロチャネルアレイ及び製造方法及びこれを用いた血液測定方法 |
WO2006095615A1 (ja) * | 2005-03-07 | 2006-09-14 | Kuraray Co., Ltd. | マイクロチャネルアレイ及び製造方法、並びにこれを用いた血液測定方法 |
JP2006285085A (ja) * | 2005-04-04 | 2006-10-19 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 微細構造体の作製方法および微細構造体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4833120B2 (ja) | 2011-12-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4753672B2 (ja) | 樹脂製マイクロチャネルアレイの製造方法及びこれを用いた血液測定方法 | |
JP4520166B2 (ja) | 樹脂製マイクロチャネル基板及びその製造方法 | |
WO2006095615A1 (ja) | マイクロチャネルアレイ及び製造方法、並びにこれを用いた血液測定方法 | |
US20160184820A1 (en) | Microfluidic device | |
US10160145B2 (en) | Microfluidic device | |
KR100961850B1 (ko) | 친수성 필름을 이용한 무동력 미세 유체 칩 | |
JP4317472B2 (ja) | 樹脂製マイクロチャネルアレイ及び製造方法 | |
CA2504080C (en) | A manufacturing method of a microchemical chip made of a resin and a microchemical chip made of a resin by the method | |
JP4833120B2 (ja) | 樹脂製マイクロチャネルアレイの製造方法 | |
US8792190B2 (en) | Lens and method for manufacturing same | |
JP2008232655A (ja) | マイクロチャネルアレイ | |
JP2008233003A (ja) | 樹脂製マイクロチャネルアレイ | |
CN110426761B (zh) | 带有金属光阑的环烯烃共聚物微透镜阵列及其制备方法 | |
JP2008232656A (ja) | 樹脂製マイクロチャネルアレイの製造方法 | |
KR100911908B1 (ko) | 금형의 제조방법 및 그것에 의하여 얻어진 성형품 | |
JP2008232673A (ja) | マイクロチャネルアレイ及びその製造方法 | |
EP1553049A2 (en) | Method for manufacturing moulded micromechanical structures | |
Bundgaard et al. | Cyclic olefin copolymer (COC/Topas®)-an exceptional material for exceptional lab-on-a-chip systems | |
EP2360115B1 (en) | Method of producing a polymer stamp for the reproduction of devices comprising microstructures and nanostructures, a corresponding polymer stamp, and a corresponding device | |
KR20060115429A (ko) | 다층 필름 구조의 랩온어칩 및 이의 제조방법 | |
KR101597210B1 (ko) | 비 포토리소그래피 기반의 랩온어칩용 마이크로채널 형성방법 | |
WO2010113545A1 (ja) | 射出成形用マスター型の製造方法、射出成形用マスター型及び射出成形用金型 | |
US10166543B2 (en) | Cell capturing cartridge | |
JP3132162U (ja) | 樹脂製マイクロチャネルアレイ | |
JP3132113U (ja) | マイクロチャネルアレイ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091001 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110629 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110705 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110913 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110921 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4833120 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140930 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |