JP2008222456A - 炭素複合部材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】炭素複合部材1は、炭素基材10上に、熱分解炭素層11が形成されている。熱分解炭素層11の表面には突起12が形成されており、この突起12は、炭素系粉末13を核とし、その周りに熱分解炭素を結晶成長させることにより形成される。突起12の短径は5〜3000μmの範囲であり、その面密度は102〜108個/m2の範囲である。
【選択図】図1B
Description
また、本発明に係る炭素複合部材は、前記突起の短径が5〜3000μmの範囲であり、突起の面密度が102〜108個/m2の範囲であることが好ましい。
さらに、本発明に係る炭素複合部材は、半導体製造装置用部材として使用することが好ましい。
図4に、部分的に突起12が形成されている炭素複合部材の一例を示す。図4に示す炭素複合部材は、シリコン単結晶引き上げ装置用の保温部材20である。この保温部材20には、部分的に突起12が形成されている突起領域21が複数設けられている。このように、保温部材20の一部に突起領域21が形成されているので、突起12に熱が集中することが少なくなり、保温部材20のほぼ全体に均一に熱を保持することができる。
突起12の短径は、1000μm以下であることがより好ましく、500μm以下であることがさらに好ましい。また、突起12の短径は、10μm以上であることがより好ましい。
また、炭素系粉末13としては、熱処理後に炭素化するものを含めて炭素であればどのようなものでも構わない。具体的には、黒鉛粉末、コークス粉末、カーボンブラック、炭素繊維粉末、カーボンナノチューブ、フラーレン、熱分解炭素粉末、熱硬化性樹脂粉末等を使用することができる。高純度であることが要求される用途の場合は、あらかじめ純化した炭素系粉末を使用することが望ましい。
このように炭素系粉末13のサイズを変更することにより、突起12のサイズを所望のものに変更することができる。例えば、図1Aに示す炭素複合部材1で用いた炭素系粉末13の繊維径は約10μmであり、突起12の高さは約40μm、幅は約140μmである。また、図2Aに示す炭素複合部材1で用いた炭素系粉末13の粒子径は約15μmであり、突起12の高さは約20μm、幅は約90μmである。
この炭素複合部材をラテックスからなる防塵手袋を着用し、コーティングされた面を掴んで持ち上げたが、落下の危険なく持ち上げることができた。
実施例1と同様にラテックスからなる防塵手袋を着用しコーティングされた面を掴んで持ち上げたが、落下の危険なく持ち上げることができた。
実施例1と同様にラテックスからなる防塵手袋を着用しコーティングされた面を掴んで持ち上げたが、落下の危険なく持ち上げることができた。また、凹凸面の無い表面を掴んで炭素複合部材を持ち上げたが、表面の摩擦力だけでは滑り、持ち上げることができなかった。
10 炭素基材
11 熱分解炭素層
12 突起
13 炭素系粉末
Claims (4)
- 炭素基材上に熱分解炭素層が形成された炭素複合部材であって、前記熱分解炭素層の表面に、炭素系粉末を核としてその周りに熱分解炭素を結晶成長させた突起が複数形成されていることを特徴とする炭素複合部材。
- 前記熱分解炭素層の表面に、前記突起が部分的に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の炭素複合部材。
- 前記突起の短径が5〜3000μmの範囲であり、前記突起の面密度が102〜108個/m2の範囲であることを特徴とする請求項1又は2に記載の炭素複合部材。
- 請求項1から3のいずれかに記載の炭素複合部材が半導体製造装置用部材であることを特徴とする炭素複合部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP5105909B2 JP5105909B2 (ja) | 2012-12-26 |
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Country Status (1)
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JP7364375B2 (ja) | 2019-07-12 | 2023-10-18 | イビデン株式会社 | 炭素複合部材 |
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JP5105909B2 (ja) | 2012-12-26 |
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A977 | Report on retrieval |
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