JP2008209429A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 短パルスレーザ光を出射する短パルスレーザ光源と、
   該短パルスレーザ光源からの短パルスレーザ光の分散を補償する分散補償光学系と、
   該分散補償光学系により分散を補償された短パルスレーザ光を顕微鏡本体に導く光ファイバと、
   該光ファイバのコアに入射させる短パルスレーザ光を集光させるカップリング光学系と、
   前記光ファイバのコアに入射させる短パルスレーザ光の光軸を調節するビーム位置補正機構と、
   前記光ファイバの出射端と前記顕微鏡本体との間に配置され、前記光ファイバから出射される短パルスレーザ光の光量を検出する光量検出器とを備える顕微鏡用照明装置。
2. 前記光量検出器により検出された短パルスレーザ光の光量が最大となるように前記ビーム位置補正機構を制御する制御部を備える請求項１に記載の顕微鏡用照明装置。
3. 前記ビーム位置補正機構と前記カップリングレンズとの間に、短パルスレーザ光の光軸ズレを検出する光軸ズレ検出機構を備える請求項１または請求項２に記載の顕微鏡用照明装置。
4. 前記光軸ズレ検出機構が、光軸方向に間隔をあけて配置された２つの絞り機構からなる請求項３に記載の顕微鏡用照明装置。
5. 前記光軸ズレ検出機構が、短パルスレーザ光のスポット位置を検出するポジションセンサからなる請求項３に記載の顕微鏡用照明装置。
6. 前記光軸ズレ検出機構が、２次元的な撮像素子からなる請求項３に記載の顕微鏡用照明装置。
7. 前記光軸ズレ検出機構が、光量検出器と、該光量検出器に入射する短パルスレーザ光の光束を制限する絞りとを備える請求項３に記載の顕微鏡用照明装置。
8. 短パルスレーザ光の波長に対応づけて前記ビーム位置補正機構の調整目標値を記憶する記憶部を備え、前記ビーム位置補正機構が短パルスレーザ光の波長に応じて記憶部に記憶されている調整目標値に調節される請求項１から請求項３のいずれかに記載の顕微鏡用照明装置。
9. 前記ビーム位置補正機構が前記光ファイバの入射端を移動させる光ファイバ移動機構からなる請求項１または請求項２に記載の顕微鏡用照明装置。
10. 前記光軸ズレ検出機構と前記光ファイバの入射端との間に配置され、短パルスレーザ光の光ファイバへの入射を制限可能な減光手段を備える請求項３から請求項７のいずれかに記載の顕微鏡用照明装置。
11. 前記光ファイバの出射端に対向して配置され、短パルスレーザ光の波長に基づいて光軸方向に移動可能な少なくとも１つのレンズを有するズーム光学系を備える請求項１から請求項１０のいずれかに記載の顕微鏡用照明装置。
12. 前記短パルスレーザ光源と、前記ビーム位置補正機構との間に、音響光学素子または電気光学素子が配置され、
    該音響光学素子または電気光学素子と、前記ビーム位置補正機構との間に、非点較差補正光学系が配置されている請求項１に記載の顕微鏡用照明装置。
13. 前記ビーム位置補正機構と前記カップリングレンズとの間に、短パルスレーザ光の光軸ズレを検出する光軸ズレ検出機構を備え、
    前記制御部が、前記光軸ズレ検出機構により検出された光軸ズレに基づいて前記ビーム位置補正機構を制御し、光軸が所定の範囲に調節された後には、光量検出器により検出された短パルスレーザ光の光量が最大となるように前記ビーム位置補正機構を制御する請求項２に記載の顕微鏡用照明装置。
14. 前記光軸ズレ検出機構と前記光ファイバの入射端との間に配置され、短パルスレーザ光の光ファイバへの入射を制限可能な減光手段を備え、
    この減光手段は、前記制御部が前記光軸ズレ検出機構の検出結果に基づいて前記ビーム位置補正機構を制御するときは前記入射の制限を行い、前記光量検出器の検出結果に基づいて前記ビーム位置補正機構を制御するときは前記入射の制限を行わないものである請求項１３に記載の顕微鏡用照明装置。
15. 請求項１から請求項１４のいずれかに記載の顕微鏡用照明装置と、
    該顕微鏡用照明装置から出射された短パルスレーザ光を２次元的に走査させるスキャナと、
    該スキャナにより走査された短パルスレーザ光を標本に照射する一方、標本において発生した蛍光を集光する対物レンズと、
    該対物レンズにより集光された蛍光を検出する光検出器とを有する顕微鏡本体とを備える蛍光顕微鏡装置。